SENSORS AND DEVICES FOR MEASUREMENT OF MAGNETIC...
Transcript of SENSORS AND DEVICES FOR MEASUREMENT OF MAGNETIC...
29
9������.682.86:548.522+621.382.61
���7��)2��� �� ���������0�������������(�����$��������� :���� ��������”
"��"�������������� ��-��%��<���-�%�$�����8�����
���"���%��>��8�9%��8 ����.����� ����, 2002
I.A. Bolshakova
SENSORS AND DEVICES FOR MEASUREMENT OF MAGNETIC FIELD
IN EXTREMAL COUDITIONS
Bolshakova I.A., 2002
������ ����*� ������� ��*� �0�� ������.��)� �/� �� �����0� ���;����)������;���� ����' ��)��� /���1� � �������&��� ��� �������������)��� ������.���0��������;�:� ���43 ���0� ��� ��;3 ���0� ���� ��� ������ ��� �������� � �35, ������.���0�:���������!�/�&���� ����� ����*���������#�*��:����*��������� �����0���� :������ �������������� ���;�����;�����0������;���� ����' ��)����������� �� ����������0�:�� ������#��������������3�����3 �����!�/���� �����������;�*
��������� ����������� ���� � � ��!����"#������ #��� $��%�� ��� ���#����� � � ���"��#&�
magnetic measurement facilities: theoretical and experimental investigations of A3B5 semiconductor crystal growth and doping technology, investigations of their electrophysical properties and radiation resistance, creation of magnetic field microsensors and measuring devices, their application in technique, outer space and high energy physics equipment.
����3�
.����������� �����������������)���(�����$����� ���(��%�$��1���$��� �(������)�– ���������� �$������ �����)�� ��������� ������������� �� ���� �� ����$� ���������)$� – ��������� �$����������������(������������%��������� ����������1���� ���%�� �������– �����;!����.�����#�������–�������)��%������ �����%�������������������)�������-����)����(�����$�����
/���������������%��$� ����$��)���������������������(������������������������������������ �������� ��� ������ ��� ��� �%� � ��� ������������� ��� ��������%��$� ������%�
����������� ��������%�����(�������)�G,������(������������ ���≤���������%���������-������ �)�� �� ������ � ��� ���� �������� ��������%��(�� ������ � �� ��(�����$� �������$��������� ���1�( ������� ��� ��������� ��� ��� ������� )��$� ����$����� ���������� ���������(�����(���)���������������������� �������� ���'+���
7� ������� ��������� ��� %����� ��������%�� ������ )��$� � �� ��������� ��� ��������)���(������������%��$����������)���������%��$� ������� �������
����������(�����(���)��)������������� ��%�)��������������$���(������������%-��$�������)$����(����)��%�)����������������������������������������$��� ��!3�5.
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
30
/������������������)����)�������)�������� @1A����)��$�����%�)������������)������- ���������������� �1����� ���������� �������� ��� ����$� ���+������)���+�%�)�� �� ����(�� ��� �������"�� ��� ���� ������� ��$���(�)�� )�� ��)����)����+� �)��1 ��������%��$�1������$��������%�� #� �� �(�� ��� �� ������� �������� ��������%� ����� ����������� ����������� "����������%� ����)�� ���������������1�������������������)����������������$����������–�����)���� )$������������)�����(����� ��������
���������������"E����1.����8'1.� �1������������������� ��%�)����������" ����)���� (������� 1����� ���������)� 1������-$������$� �������� ����" ����)� �����������������������������������)�������)+������� �������$���(�����������)��$����������������������)���
�� ������� ������ ��������� ��� %����� ���������)� ������������ �������������� ���������������������������(�������$�����$�������������������������������������������(���%-��$� ��(������������$� ������� ��� ��������%��$� ������� �� �����������)�� ��(�����$����������
��%����' ���0�!�/���-����&�������#��� � ���43 ���0� ���� ��� ������ ��������������� ��35�/�;�/� �:�!�/�
�������+����������)�1�����-$������$����������"������ ����%�)��������" ���������������������$������������������(���(�������������$���������������(�+� ��� ����� )������ ���� ���� �����)� ����������� ��$���(����$� ���� ����" ����)� ��� ��������)����������������$�������������1������������������)������(�������+��
��$������� ��������� ���������)� ��$� �������� +� ���������������� ������ ���� �(�������1����$������$��� ���)��� �������%�)������ %�����$�����������+���������������-������$����������������������������(��������)��� ��� InSb�)�����(����� �����������J2���)�InAs���GaAs – Cl2.
,��������������� ������ ������� InSb-J2, InAs-Cl2 �� GaAs-Cl2� � �� ���������� �)��������$� ������������ ��� ��� �� )��$� �� ���� ����" ����� ������������� �����������-����$������������*����$ ������������"��������������������������(�������1������������InAs-Cl2�+���+6����+62, InCl3����1.4��������������������)����"�����������%������������1.����������������+���������
InAs��� + InCl���� ��InCl��� +1/4As����; (1) 2InAs��� + InCl���� ���InCl��� +1/2As����. (2)
�����������������������(�+�%�)� ���)���������GaAs-Cl2����)��������������(�������������������� +� ���� (��(������ (����GaCl, GaCl2, GaCl3� ��� �������������� ������ 1.4�� ��������)����)������������%����������GaAs����������������+�
2GaAs��� + GaCl3��� ���GaCl��� +1/2As4���; (3) GaAs��� + GaCl2��� � 2GaCl��� +1/4As4���. (4)
����� (������� 1���� �������� InSb-J2� ���������%� ���������� InJ, InJ3, Sb4� ��� Sb2�� ��������+���"���������+����������InSb����������������+�������)������������ ����)�
InSb(����+InJ3��� � 3InI���+1/2Sb4��� . (5) �)� ��������)� �����%��$� ��$���(����$� �������� ����" ����)� �������������
� �� �����$������ ������� ���� ���������� �����%��$� ������� ����������� (������� 1���������� ����$� ������� 1��� ����)�� �������� ����)�%� ��������$� $������$� �������� �������$ ������$�����������������(���
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
31
.�� ����� �� ���������� ������-� �������������������������(�������1�����)��������� ��1.-Cl2��5�������������������������)������%��$��������InCl� �� As4� ��������%� ��� ��%�� ������� ����� � ��������� ������-� ��� �� InCl3� ����� ���� +�%�)��������%��������� InCl2����������-� ��$� ��"�� ���� ���� �� ������ ����+��,���� As2�� $���� �� ���% +�%�)� �����������)��������� ��������������-������ �������)�� ���� ��� ����%�����)����� ��� �� ��� ����� ���$� �� �$���������������� ��)����������������������$�� ������ ������ ��As4.
*����$ ���� ��������� �������(�� �������� ���� �� ��� �������� "�� �)� ��$� �������� ����������� ������� �� ��������� �� �$� �������)� ����� ��%�)� ��� ��������� "�� +� ����������������(���������� ����)������������������(���� �1�� ��,�� ���������%� �������-� � � ����� ������� ���� ����)��� ������� � � ��� ������ ���� �������������� �$� ����-��� ��$����%���������� �����������)������������������(���)���$��������������+�%�)����–����)�����"��+��������%��� �������1���������������������(������� ��:)�������� �������� � ��� �������������� )�� �����%��� ������� ��� ����� ������������� InAs�� ����%��� ������% �� � ���� ����� ������� ��� �������(�+�%�)� �������� ����� �����%��$� ������� InCl2� ��InCl3��"����������%�������"���)��������(������������������� ����� �������)�����$���� ��������
7����)�� ��������"���)���������)����������������$����������������������$������-���������� ���������� +�%�)� �( ����)� �$� ������� ���� ����� ��� ���� ����" ����)�� � ����������������$ �����������InAs-Cl2����InSb-J2������$ ����)���( ������������������ ���Sn. ���������$ ���$������������( ���������� �������������)������ ��(���"����(�������1��������$��������� � �%� ����������%�(��(���������������� ����7������ ���������InAs-Sn-Cl2 ���� � �%�SnCl2 � SnCl4�������������)���������� �������%�)����������+������������� ����)�
SnCl2����Sn���+SnCl4���. (6) ���������� �����$ ���� ��������"�� �������)� �( ���(�� ���������� ��������� ���
����+� ��� $�������� ������� ����� ���������� �����%��$� ������� (�����$� ���������������������������%�� ��������(�+�%�)����� ���)���������$�������%�����������������������)�� ��#��%�(�������� ������������������"���������)��( ���(������� ������� �InAs-Cl2�� �������%�������������������������$������������
*����$ ������������InSb-Sn-J2���������"������������������������ �����)������������������� +� ���� ��� ������� ��� ����� ������� ������� � ��� ��� ���� �� ��"��� �)�����������)��������%�(������������ �����������������/�����������)�� ��������"�������%-��������������������(�������1������������ InSb-Sn-J2����������������������)������������� �� ��� �����%��� ������ ����������� (�������1���� �������� InAs-Sn-Cl2�� ����� ���������InSb������������ �����)�����������������%�� ��
&������ +�%�)���������GaAs-Cl2����������$ ��������������������(���)��������� ��������� �������� ���������� �����%� � ������� � � ������������������������� �� ������� �����������������������%���������
P��� �� #������ ��� ������� ������� �� �����
������� ������ �� ��� ���� 1 – InCl2, 2 – As4, 3 – InCl3, 4 – InCl, 5 – As2
600 640 680 720 760 800 840 880 920 960
������������ �� �
������������� ������
���������������������
106
105
104
103
102
10
1
10-1
10-2
10-3
10-4
10-5
1 2
3 4
5
2,4
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
32
2����������� ��� ����" ����)� �������������� InSb, InAs ��� GaAs �� ���������$��������$������������%����%���������$������$ ����������������$��������������)����������� ���$�������$���$���(����$������������������ ������������� ����������
������������������ ���������������������������������������
������������� InSb, InAs �� GaAs� � �� ��������� �� �������1������������ $������$�����������$����������������������)��(��(�������������$���(�)�(�������������$�����-��������+���������%������ ����������������������������������������������� �� ����������$�����������������������������������1������$�������������
�������������InSb�����" ����)�����������������������������$���������$��� �$��������$���$���(����$���������$��������� ������������������������������� ��������
���� �������������������)���� ����� ��3��(���-3�� �������%����� ���⋅10-4���⋅�-1��2���(�)��������������������$�������������������)������� ������������(�����������)����������%�
������⋅��%-1��,�������%���$���(����(������� ���(������ *������� ��������$� ���������� �������� �–������� ������ ����–��������� ���"����
0,01–���� ��� 3����� ���� � –� ������������ ����������� ���)���� ���� � <211>� ���� <111>, ����$�)�(������������%���
:����)������� ������ ������1������$� �������������������������� ������� ��%�)��( ����)�� �$� ������� ���� ����� ���� ���������� ���� ��� ��� ���� ����" ����)�� 7������ �InSb��( �������� �����������)��� ������"���������������� ����������������������������������������)���(�������)�����������������(�����(���)�$����%��(���� ��.����% � ���������������� ��%�)������������� ����� ����������
�)���������)�����������������������������������������)�������������������"�� ���������%� ��� ����������(�� ���������)�� )�� ������ � ������ � ���� ��� ���������� ����)������� #�������%� ������������� ������� �� �������$� ���� ����� � ���� ��� Sn� �� ����������������������������� �����$�����$������⋅1016���-3�����⋅1019���-3��)���������������������2.
!���������%����������)��������������
��%��$� ���������� ���%��� �⋅1018 ��-3 ���)(�+�%�)� ��� ������� ����� �� �����-��� � ����������� ���%��� ���� �(���3. #��% ���)������ �Sn���"�������������-������ ��������%� ��� ���� ���)� ��-� %� ����� ������������� ��%��$� ���-�������� ���� ���)�)+�%�)���1��������$����������+������ ����
�� ����� � ��������� ����"���)� ��-���������� ���������� $����%��$���(�����$���������� �������� ����(�� "���� ���-��������$���(����$���$�������������)����������������$� �������������� !3�5
�� )������ ��"��� ������� ���������� �$� ������1������$� ���������� ��� ����������(�� �����-����)�� *�������)� �%�(�� ��$�� � A� �� +�%�)� ��� ���$� �������$� (������$�� ��� �� �� ��$���������+���������%���������)�����������������(�����������������(��������� ������-�����)�� �����%���� ������������� ������� ���)� �� #(����� ��� �����+�� ��(�%���� ������-
0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0 2,2
1017
1018
1019
300 K��������
Con
cent
ratio
n (c
m-3)
�� ����� � ��� �
����� �� ������� ���� ����! ��� �� ���� ���� � ��������� ���� InSb ��� ���� � �����!
����$��! ������� Sn
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
33
������%������ �������� @A� �)� �����(�� ������� � ��� +� �����%���� �����%� �����������������������)� �����)��� ����� ��+�%�)�1��� ����)�����)�3����������������� ��$�1�����������������1������� ����������� ������%�)� ��� ����� � �� �� (�� (������� ��������+� ��������%�����"���)� ������������ ���������� ���������������$� �������������� ��� �����(��� ����-����)� �� �$� ���+��� ������� �������$� ����������$� ��1������ � ��()��� ���%��$� 1 �� ���������������(��������� ��"�� ��������%� �����$ ������1�������� ������������ A�����������-��������������������������������+���������%��� � ���������������������������1��������� ��+��� ������� ��� ������������%� �������� ��1���� �������)� �� ���������������� �������������������������)�@�A��
,�$���(����� ���+�����)� ��������$� ��"�� (������ ����� � ��� ����������� � ���������������(������ �(����(���( ����)�����������������������$����� �������������� -������� ����������� ���� �%�� � ��������+�%�)�� "�� ���� ������ ������� ���������������� ����� � ������������$�������������������������������)�����������)�����$��-��(������)������������������������)� ���������������������%��$����� ����� �����������)��$� ��� ����������� ���������������(�� ������� � ��)�)�����%�)� � ����"����� ��(������������������������
��������� �( ����)� �������������� ��"E� �������� ��� ���� �$� ���� ������ �%�� ��������)���$���(����$� �������� ��������������� �)�����(�������%�����(������ � �$������%�������������� ���$�(��(������������� �����������������������������������%��(�������� 1�����-$��������� ���������)��� ���� ���� "�� �������)�� ���������%� ���������)���� �������������$��( ���$����� ����Sn, Mn, Cr, Au��16��2E��������������������� �� �� �����������%����������1����������������������������������"E�
���������� ���������)� �������� �������� �����%���� ���� ������ ������� �)��( ����)���������������InSb�����$�� ������������������ ��(����������(���������-����)� ��$��������������� �� �������$���(�����(�� �)�� �����%��$� � ����������$� ����$���������� �( ���� ���� ��� Sn�� ���������� �( ���� ���� ��� Al� ��� Cr�� ���� �%�� � � �����$������� �-�� ��� "�� �� ��� %����� ����������$� ���������%� In ��������� ��� �����)�����$� �������� ���+ Sn�� ��-�� (��� �( ����)� ������������ ���� ���� Al�� ��������������� �� ������� )���� � ��+��� �������)+�%�)� ���� ���������$� ���� ���� �������$� ������� A��������������� ��������%� ��� ��1�������� ���������(�� ������� �� !� ��������)� �������������$� ������� �)� � ���$� ��1�������� ��������%� ��� ��������)� ������� �)� ����������$���1�������"���������������+������������� � ��������%������������������� ���$��� ���������� ����+� ��� ����� � �����%����%� $�������������� )�� ������� �������� ������-�����%��� ���������)� @4A�� *�� %����� ��������%� ������������ ���������� ����������������(�����(���)����(�������$���������������������(�����$�����������������"E��� � �%���������������� ��$�������$�
������������� ��1.� ����" ����)� ������ �� �������$� ����������$�� ��� �� �������-����)�� $+6� )�� �������� ����� �(����� ,������ ����� ������ ��� ����" ������ ��1.�� ��������� ����� ��"E��� ����������������.���� ����������������� ������������������������������������� ���������������������–����������������%������ �� ������(��������%�� �������� ������������� ���������)� ��� ������������ )��� � �� � �� ���� ���� ������� ���������������� �������)��)����� ��(������ �����������.��� ��� �����)� ��$���(����(������� �������� –�� (������ ��� ������� ��� ����� ������������� � �� ���/�������� �������� ��1.��������������������'$������������������������� �����������������"�����������
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
34
���� �� %� ����&�� ��������� ���� ���
� ������ � ����� � ��� ���
���� �� %� ����&�� ��������� ���� ���
� ������ � ������ � ��� ���
������������� 8'1.� � �� ��������� �� ��������� �������� �� �����������)�� $+6� ���
���� � ������ )�� (��-������� ,������ ����� ������ ����" ����)� ��������� ������� �� ������������ ��� ��� �� �� ����� �������������� ��������%� ��%�(�� ����� � –�� (���� /��������������������� �������� ��� ����� 4�����������%�1��� � �����$� ��������� ������ �������-������$����������������������������� �� ����������
��������.���0��������!�/�&���� ����� ����*���;� ������������������ �'�()
���������������������!3�5�������������������+������"���������)�� $�����������������)� �� ��� � ���� ��������%� �����% ��� �������� �)� ��������)� ��������� ��(�����(�� �)��*�����������$���(�)�����" ����)�����( ����)���������������InSb������)+������ �������� �� ������ � ��������� ������������� ������� ���)� �� /�������� �������� ����%� �����%����������� ��%���� �� �����������������)�������+�����������������$����:���������� +�%�)����������)��� �$� ��$�������� ��������� ������ ���� �� )��$� ������������ "�� ���� ������ ���������������������$���������$�������+�%�)����������%�������$�����$��)� ����%����A������ �%�(�� ��������� )��� ��������%� ����� �4���2�� .�� ����� � �������� ����$�)� ����������������InSb������������������������������)������� ����"�������������
0 20 40 8060
�������������
σ, � ����
���
���
���
���
�� � �
���� �� '���� ��������� ���� InSb ���
����� ����� ��� � ����$��� �������� InSb (n =2⋅1015c�-3)
���� �� %� ����&�! ���������� ��������
��������� ���� InSb ����� ������� ������ � �–4 ����
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
35
2�����1�������������������������������� InSb��������)������������������ $�����%�����������������-���������������������%������� ������������������( ���$����� ���
.�� ����� �� ��������� ������� ���� ���������� ���������-��� ��� � $������� ������� ��������������$�InSb���(�����$�������������� ����,������������������ ��%�)��)�����-����)� �������������� ��(�����(�� �)� �� ������ � ��������� ������� ��� �4,2–���� ��� ������ ��������-4 ,–10 ,��
���� �� #������ ��� ������� � ��� ��! (���� ��� � �������� � ���
� ��������� ���� InSb� �������� ������ �� ���� ����� 1–2⋅1015
��-3; 2–3,6⋅1015
��-3; 3–8,6⋅1015
��-3; 4–5,3⋅1016
��-3; 5–2,9⋅1017
��-3; 6–4,7⋅1017
��-3
�)������������)����������$��"�������������)�����$���������%��$� ������� -
��������)������������������������)������"������������������������������ InSb���(������������������� ����������)��$�+��������������������� ���Sn���������������������� ���Al� ��� Cr�� .�� ����� �� �������� ������� ���� ���������� ��������� -��� ��� � $������� ��������������$�InSb���(�����$�Sn,Sn:Al, Sn:Cr, Sn:Al:Cr.
������$����� ������������1�������������������������������� InSb����)������ �����������)����$�������������%�� ����������������� ����������
/������ � �����1������������ ������InSb����)�)+����������� ��������������-�������������������������������N = 4⋅1016–5⋅1018���-3��� ��%������������������� ��� = = N�/N����������%�H�����"����������+������� �����������������A�����$����������� ���� ��������� ���������@�A��������"�$������������)$�������� ��%������������������+��"����)�)+�%�)� � ���� ����� ������������� ������� ���)� �� )�� ��� � �� �������� ��� ������-�����%�����������������
!�������+����������������� ������InSb��)�������"�+�����������A�������������,�� ����� ����)��� ���������� ����(������� ������ �� ��������� � ��� � ��������������� ���� ��������+����)��� ��� ��� ���������� ������1������,�������+����)���������� �����)����������1�����)�"���������� ��)������������������������ %�������(������������)������������ ������������� ����%����%�1�����$����� ����,���������+����)���������� �����)�������������1�������������1��������"���)����������� ���������� �����)������$ ���� �������)�������$������������$���1�������������+�������������������������� ������ ����������)�� �� �� ����������������� �������)+����$�� ���� ����$����� �����������������������������(���
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
36
)��� ��������������"���������)����������$����������$����� �����������Al (1��������In (1,63) ���������� ��������%� ��� ��1�������� ������������ A������� ��� ��$ ���� ��(�� ��������%����%���1 �� ����� ����������(�� ������� �� )��� ����(����%� ��%� ������� �)� �������$�����������$���1�������"���������������+������������� ���������%���������������Al����������1�������������������������������� InSb���)�)+�%�)��� ������ ������ ����������������������������� �����������������)�������������������������$� ������$�����������RH = = f(103/T����������������)�����������(�����$�������+������������� �����
.
������������ �� ��� �� ��
�
�
�
�
�
�
�
1 06
1 05
1 04
������������ T, K
�
�
�
���
�
�
���������
�µ
··
��
����
���
�
���� �� #������ ��� ������� � ��� ��! (���� ��� � �������� � ��� � ��������� �������� ��������� ���� InSb:
1 – InSb (2⋅1016��
-3), 2 – InSb<Sn> (7⋅1016��
-3), 4 – InSb<Sn,Cr> (3,5⋅1017��
-3), 5 – InSb<Sn,Al> (3,2⋅1016
��-3), 6 – InSb <Sn,Al> (3⋅1016
��-3),
8 – InSb<Sn,Al,Cr> (6,5⋅1016��
-3� ����� ����! ������ ��� ��� )�
-����� )���� �����+� �� InSb� (��������������������������)�)+�������(����� ����
������1�����������������������������������������������,��������� ������������"������ -���$��� ����������������%��������� ������%����%�$�����������������������������)��-����������"���������������������� ��� ����d����������������������+����)�����1������������ ���������)�������$�� ��$�������������������
/����� ��������� 1������ ��$������� ��� ������1������� ����������� ����"���$� �����-��������� ��� ����$� ��������$� ���� ��$�� �������$� ��� ���� ����" ����)�� �����)��%���������� ��� �$� ������� ������������� �� ������%�������� ���������)���� )��� ��� �%�������%�)����������������� �����������������)�
5. %��������������;�����;�����0� ������.���0� ����������)����3�� �������������0�2 ���������*�������
.�� ������� �������������� ��������� � ������ ��(�������� ��(������ ������������������������%� ��� �� ��� ��� ����$������������������ �� ��������������%� ����� ����� �$� ������������������������1������������)��%� � � �������$���(����� ����������(������-
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
37
�)� ��������� ��������������)��������+���������)���������� �������)�� �1 ����)������-���)���:�� ��+���������%� ��� ��%��� ��������� ��$���(������ ������ ��(�������)�� �� ������"���� $�������������� ���������� /����� ������������� �(�����$� ��������������� +�(��������� ������������������)���������)�����$����������������������
��(������������������������������������� ������� ������ ����������������-� ����������������(������4��������������������������������������×0,05×0,02 ��3���� 0,15×0,06×�������3�����������+�������� �$�� ����$������������������" +� �⋅10-5���-3, ��(����-6�(������������� �����%���-9����������� �����)�����������������������������-���%�)��������� ������ ������������$�� ������������������������������%�����������������1�( ��������(������� ��������� �)� �����������)� �� )���� ����� ������������)� ������-����)� �� ��������$� ��� ������$� �� ������ ���������� � �� ��(�������� �����%��� ������ �������� ���� ���������� ��� � � ���������)� ����������)� � � �%��$�"����$� ���������� �����(�������� ����� ������ �� ���������� 1�%(�� ������ ��� ����� ���� *������� ����$� �����������"������������ �������������������������������.������$�����$������$������ �� ��%�������������������)���1���������(������������)���(���������� ���������%������������-��$���(�����$��)$�
��������� ��� ������� �������������� InSb ������������� ��(�����(�� �)� ����������������������(� ������$�$����������������
�����&��������������������;�������������������
%������ InSb &���� ������� IS-1 IS-2 IS-3 ����������� n� �-3 2⋅1016 2⋅1017 2⋅1018 %������ �������� KB� �⋅��-1 40 35 9 '���� ��( ���� �� ) 5 25 60 �$���( ��� R��� * 10 5 1,4 ��$���( ��� ����� * 5 2 1 +�������� ������� Uo� � 0,07 0,07 0,03 ���!�,�� ����(���� ��� 1,5 1,0 ≤1,0 �����������( ���!�,�� ���, %⋅����-1 1,8 0,05 0,05
��(������ ��������� ��(�������� ��� ������� ���������������$� ��������������� ���
��������%����������������+������� �����-����� ��� ���$� �������������������%�)��%�����(��������������(������������(����������������� ����������������%���� ����������-����)��� ��������� �� �����$� ����$� ��� ���� �$� ����" ����)� ������� +� ��(�������)�������������������$������������������$������������� �������� ����������
,���� �)� ����������)� ��� ����� ���� �����$� ��(�����$� ���� ���%��� ��-4– 10-3� ,����������� ��%�� ������������������������ � ������������������������������15���-3���)�
��(�����$� ���� �⋅10-2–5⋅10-1� ,� �������� �����������)� ������� �⋅1017� ��-3�� �)� ��%��$�
��(�����$� ���� –�� ,� ��� 1���������� ������� ��� – (3–4)⋅1017� ��-3�� �� �� ������ �
���������������� ���– (2–6)⋅1018���-3. .�� ����� � �������� ��������%� $����%���� ��� (�� �������������� ���� ��(�������
��� ���������%��$���(�����$��)$�–11 ,����1��������$�������� ��$��������������)�����������������(�����(���)��������������+����������⋅1017���-3.
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
38
������.���0� �����#�*��:� ���*������ �����-������� ���������)��������)����� ���� �$�$�-������������� ���������)� ������������ ������-������ )��� ��������%� �����% �� � �������)� �������������A����������������������2������������� ���������)� ��������)� ��� ������ � ��- %���� �����������9*-���0����������������������1���������+�����(�� ������ � �)�����$���������%������� �����*���)��/��������)���������%� ���-���������������� ������(�+��2�F����–�������� �����-��������� �–3)⋅1010�⋅��-2�-1� ��� 1������� ��14� �⋅��-2, 1015� �⋅��-2, 1016� �⋅��-2������ ���������)� ������-��%� ��� ���������� ������� ���� ��%�(�� � �������������������������������������������InSb ��� �������������� �� ������� �� ����� �( ����)� ����������������������( ���$����� ���
5�� � ���������� ��"��� �)� ����������)� ������������ ������������������������ InSb ���������� ����)���������������(������ �(����(���( ����)� �$������������ ����)��� �)���������������������� ������������� ����)���������)���������������� ���–������������$����������������Sn�)������������( ��������� ����������������$� ������$����$�� -����%� ��� ����������� "�� ������� �����$� ���������� � ������ �����$� ���������� ��
������%�������(�+��2�>�������V�)����������������%����I��/���%�����%����%����������-��������( ��������� ��� ���$����%�)�������$����� ��-5���� ��-4�����I��������������� ����������������������� ����$��������������������������������$ ��������������������1����������� ����$� �������������������)�Sn���+� ���( � ���� ������������������������1������������%������������$��� ������$�������������������������+�%�)���������)���+������������������� ���� ���� � �� SnSb��/����� �( ����)� ������ ��� ��������%� ��� ���� ���$� ��������������$�$����������������������SnSb��&�������� +�%�)����� ���Al����Cr������$���%� �����"���������������������������� ����(�����������������$�������$�
���������)���� ����������)� ����������������������$�������������������������� �����������������)�����������)�� �$���������)����������)�������������������$���������%��$� ������$� �� �$������ ����–����� I�� )��� � �� �����%��� �)� ��+�� ����������������������(����������0�������������(�����$������������� � �%�������������� ��� ���������*������������������%������������������������)���������������������)������-����)� ��������������������������$�$�������������������������������������)� ���$�� $�-������������(����� �����)���������������–�����$���(�������� ��������
.����� ��������� ��� %����� �������)� ��� � �����$� 1������� �����$� ����������
(0,9⋅1014 �⋅��-2, 5⋅1014 �⋅��-2, 5⋅1015 �⋅��-2�����$���������������������������� InSb<Sn> �������0–13).
.������� �������������������� �������������������������� ���)� ������+�����������)�
�������� ����������� ��� ������%��� ����(�+�� �,������� �� �������$� InSb<Sn>� �� ����������$������������������)����������������� �–3)⋅1016 ��-3���� �–3)⋅1018 ��-3���)���%�$����-��$�1������� �����$�����������3�F���⋅1014 �⋅��-2��3�F����⋅1014�⋅��-2��3�F����⋅1015�⋅��-2. .�� ��� �� � ������ ���������� ��� ���� ���)� ���������� ������ ������������� ��� ���% ���)����$������ ������������� �� ������$�� ������ $�������� ���������� �����(�+�%�)� �)� ���$� �-$�
���
���
���
���
���
���
���
���
���
���
� � � � � � � � ��
�������� ������ �� �
�������
��������
�
�
���� �� ��� ��� ������� ��������
������ ����������� �n = 4⋅1017��
-3) � ��� �� ���� � ������ 1 – ��� ��� )� � – ��� �� )
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
39
1������� �����$��������������������������������% �������������������(�����������)�������� ������������� ������+� � ��%�� � ��������� ��$����$� �������������� "�� ���)����� ������������������ %����������������)�������+�����������������InSb���1�������������������� ��)�� ����)������������������������������
:�������������������� +�%�)���������� %����������������)���� ����������)� �������� ����������� ��� ������ � � $������� ������� ���)� � ������ ���� ��� ������� ����������������������#���� ����������+��"�������������)����������������)�� $�����%�����- +�%�)���������������������+�������������������������������%���$����������������(�+������1��� �������%�� ���������������)�������(����� ��������� $������������% ���)�������(�����$����������
/����������� %������������)������ �����"�������+�����������(�����������)������+��� ���������������$� �������������� �������%�)� ������� ��� ��)�� ����)�� )������� ���%����������������$�������������������)�����������)� ��"����������)+����� ��-�)��$�� $�����������������%������������)������(����� �
1016 1017 1018 1019-1
0
1
2
3
4
5
6
7
8��� ���������
��⋅����
�⋅����
���⋅����
�⋅����
���⋅����
�⋅����
����������
�������� ���
∆
n/n,
%
������������ ���
���. 10. ������ ���� ���� ����! ���!� ������ � ��������� ���� InSb<Sn>
����� �������� �������� � �����
1016 1017 1018
0
5
10
15
20
25
30
35
40
1016 1017 1018 1016 1017 1018
��������
������
����������������
���
��������
������
������������ ���
��������
������
�� �����������
��� �����������
���. 11. )��� ����� ������� �� ����� ����� ��������� ���� InSb<Sn> �� � �����
�������� �������� � �����
1016 1017 1018 1019104
2x104
3x104
4x104
5x104
6x104
7x104
8x104
��� ���������
�� ����������
��� ����������
��⋅����
�⋅����
���⋅����
�⋅����
���⋅����
�⋅����
����������
���������
�
����
������������ ���
���� ��� ���� �������� � ���!� ������ � ��������� ���� InSb<Sn� ��� �������
�������� �������� � �����
100 1010 1011 1012 1013 1014 1015 1016 1017 1018 1019
1016
1017
1018
1019
InSb 300 K
����������������
���
��
������ �� ����-2
���� ��� ������� ���� ����! ���!� ������
� ��������� ���� InSb ��� &�$��� �������
� ����� *���� � ���! – ��������� �� �
����� � �� ��� ��� ���! – ��� ���������
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
40
#� �����������%��� ��������$� ����������� ������������� ������� ���)� � ���� ��������������(�����������)� ������ ���������� �������)��+�� ������� � ������������������������)� �� ��� )���� �)� ����(�� ���������������(�� ������� � ���� ��+�%�)� 1������)� ����)�3����� ������ ����� ��$���������� ���$�1�����������+������������,����������������+��
�)��������������� InSb<Sn>��)����������� ����������+�n = 2,5⋅1018���-3.�,���������������)�������� +� �����%���� �� �������$� InSb�� ��� )���� ������ �������$� ���������� ������� ������%���������$�����$�����������(�����������)����+�������%�����:����� %�����������
�(��� ��%�)����������.��������[6]��)��� �(������������������+��(� ��InAs���)�)��(�������%���������������+��+��⋅1018���-3.
#������)� ������ �$� ����� �������(�� ������� � ������������� ������� ���$����%�)� ��������������������������%��$�������������������%�����–0,03 %.
5�� � �� �������� ��"��� ��������� �( ����)� �������������� InSb� ���������������� �����Al� ��� Cr� ��+� ���( � ��"�� ����"���� � $�����%� ������� ���)� ��"�� �������������+� ��� � ������%� ��������������� �� ������ ����"���� ����� � �����%����%� �$� $������-��������*�� %��������������)���� ����������)� ��������������������������������(�������������������InSb�������������������–16.
1016 1017 1018
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
1017 10180,0
0,5
1,0
1,5
2,0
Φ � ����
������
����������
���������
������������
��������
��������������������
∆n/
n, %
������� � ��� ��� ����
���� ��� ������ ���� ���� ����! ���!� ∆n/n ������� ��� ������� ���� ����
� ��������� ���� InSb ����� �������� �� &�$��� ��
15 ⋅��-2
1016 1017 1018 1019
-5
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
1017 1018
0
5
10
Φ � ����
�⋅����
����������������� ���������
∆ n/n
, %
����������� ���� � ����
InSb<Sn:Cr> InSb<Sn:Al> InSb<Sn:Al:Cr> InSb<Te>
���� ��� ������ ���� ���� ����!
���!� ∆n/n ��� ����� ������� ���� ���� � ��������� ���� InSb ����� ��������
�� &�$��� ��16 ⋅��-2
.���������������������������� %��������������)�������������������������������������
�)��-$������������ ����$����������InSb<Sn:Cr>, InSb<Sn:Al> InSb<Sn:Al:Cr >���)����������)��$����������������� �����$��������������1���������15 �⋅��-2������16��⋅��-2.
.������� � � �������������������������� ������� $������������������������1������
1016 �⋅��-2��.����� ��������� $���������������������(�+�%�)��)�InSb<Sn:Al:CrG�����% ����������� ������ ����(�� ������� � ��������������:������� � ��� �����������)�� ��� �����(���������� (���� ����)�������+��1�����$����� ���� ���������������)������+���(����-�������������������� ���������%����������!3-�5.
.������������� ���������������������������������������������)�����������������"E���(�����$��� �����?����5�����������"���������������InSb<TeG������������������������������������ ���%�)�����������������"E<Sn:Al:Cr>.
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
41
1017
1018
-40
-35
-30
-25
-20
-15
-10
-5
0
Φ � ����
�⋅����
����������
����� �����������
∆µ/µ
, %
����������� ���� � ���
InSb<Sn:Cr> InSb<Sn:Al> InSb<Sn:Al:Cr> InSb<Te>
���� ��� ������ ���� �������� � ���!� ��� ����� ������� ���� ����
� ��������� ���� InSb ����� �������� �� &�$��� ��
16⋅��-2
1016
1017
1018
1019
-6
-5
-4
-3
-2
-1
0
����
������
����
������
����
������
����������
������
�����
∆KB/K
B,
%
������������ ���
���� ��� )��� ����� ������� ������!
���� ���� �! �� ����� � ������������ ����� �������� ������ &�$����� �������
� ����
5�� ��� ������ �� ����� ��� ��� ���� ��������� ������ ������������� ������� ���)� � �)� ���$�
������ ����$� ���� ����$� ��������� �� ������������$� InSb� �)� +� ��� ������%��$�������%� ��� ��$����$� �����������)$� � ��������� ��⋅1018� ��-3����� ��(���� ����� ��������)��������(�+�%�)��)����$�1�������
-�������������� �������������� ��(�����(�� �)�� ��������$� ��� ������� ����"���$� ������������$� ��������������� +� ��������� ��� ����������(�� ���������)� ��� ��� �����"�$�1������� �����$������������������������� ������"����(�%��������������)����������������-�$�� ����$������������$��������������� +�%�)���������%������⋅1018���-3.
/��������������������������(������������$���������������������� ������������������(������������%�������������)����������( ���(�����(���)��������������$����)���-��$� ��������� ��� � ��������� � �������� �� �������� ��� ����)� ����������+�� ��� ���+�������� �����������"��� ������������� ��$�������$�
6�%������;�&���/�1�/��&���0�������.��)
������(����� ����������)� +� ����$������ ����(��� ��������)� ������� ���)����$� ���1���������������������������������������,�� ���0�������������(�����$�����������%�� �������� ����)+�%�)� ������ ��(��� ����� �����������$� � �����$� �������� ����$�� )��������%������� Keithly-2000, Keithly-��� ��;!�� ��� (� ������� LakeShore� ���� ��;!��� �������������+�����������%��$���������������������������)���������������������������-����)����������$���������������%������������)����������)��������������������-������$�����������������������Hall Measurement System HMS��������;!������������������I������(���������������,��������.-���)�������$�������%��$����������%����������������I��������.-�� �� ��������� ����� I� �)� ���������)� ��������� ��� ��� ��)� ���������)� ��� ���������%��������������������,�-�����,�-��)����������)�$������������������������$���������������������������������������
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
42
������ ,�-�� ����������� �)� ����-����)� ������$� ��������%� �%���$� $�-������������������������� ����������� ����I�������������������������$��������������� �$� ��(�������)�� ���� ���������� ����������HMS-7504 ��������+�%�)�����������������$� ��� ����� ���� !�� �����)��� ��HMS-�������+��)��� ��+��$������(�
��-�� ��� ����)��� ��(���������10-����%��(�� ��� ������� ����������� � �-�+��� ��" � ��� ��������%� ���������%�� �������� ���� ���������� �������%�)� ����-������)���-�������������������������)��$�+� ���������� ��-�� (��� ����)��� �����-������������ ��������������� �����������)��������$��������������(�� ��������-�%��� � ����� � ����)�����(�� ������-����)� �����������������(����������������
)���� �����"���� ��� ��%���� �� ������ ������� ��������������� ��������� ����"�����������%�����������)��������I��
������ ,�-� ����������� �)� �����������$� ���������%� ������ $������������� �����-�����������)���� ������$�����������(�����������)����$�����������% �����������I��,����������� �������%� ���)(�+�%�)� ����)��� �����%���� �������� ����������)�� )��� �����)��%�������� ����� ������� ��������%��(�� �������������� �������1�������(�� �������� �-�����%��� �������� ��(�� �� ������������� ��-����%��� ������ � �����(�� ������%����� �Keithly-��������� ��(��� ����������)� �� ������������)�%�)����1��������������������(�����(���)� � �����������%���� ���(���������� ��(���-���������� )��� ��������� +�%�)� �� ��������� ���"��
�������°�������������������������������� ��� ���� � ���$� �������� �$��)�%� ����-
��%��� ���������� �� ��������� ��1���������������1�����$� ���$� �222-����� �)� �����(�����������������������%�����(������������-����)�����������)�����+����( ���������� ��������������� ����)��������������� �������������(��1��������� ����������� %������
7���� ��.���0������������� ���;�����;�����0� 3���/��1����� ��������;���� ����' ��)�����������: ����������
.����� ��������� ����� ��$���� ��� ������� ���� ��(������������%��$� �������������������$��������������)�������������(�����(���)�
��������3��)��� �������� ���������;3� ��;�����;�� ���0� ��0� �����#�*���� 3�� ������3���#�:� �"����������������;3). #��������������)���������������������� ����)�� ���
���� ��� *���� � ��� ��-� �� ����� HMS-7504): 1 – EM4; 2 – LakeShore 647; 3 – ��� ������� ��
4 – Keithley 485 Autoranging Picoammetr; 5 – Keithley 220; 6 – 7001 Switch System;
7 – 2000 Multimeter; 8 – PC IEEE-488 card; 9 – ���� � ��� �� – ���� �������� ���������� 11 – ����� � � �� – �� ����� ����� � �
���� ��� +����� ������ ����
�������� �������-2
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
43
����$�������� ����������)���(�����(�� �)� �� �������� ��������� �� �����������$� ���)�-����$� ��������� ��� ���� ������$� ��������������7� ������$�����������$� ��������%��$�������$�� ����$�� )����0�� �;�������)��� #�"2� �.�����������/75�� �*���)�� ��"����(��������� �� ���������$� ������������� ��� ���� ���������� � �� ������������� ������ ���������+�%�)����� �"����������������������������������������+�� ����� ���(�������-����)� +� �������%������ ���� �����$ ���$� ���������� +�%�)� �������)� ��(�����(�� �)�������)��(���������� ����������� ������������� �� � �������)�����$����������
���������(���(�����(���)� �������������$� ���)�����$� �����������������+��)������1����$� ������������"������(������������$� ������� ������������� ��$� ������-��� ���� +� ������� ������� ����������� ��������%� ���������� ��������������%�� �������%� ��������%����%��� ����$����������� ��������������$�
����������$���������������������������$���� ������������(������������$�������������$����%��$��������$��)�����������������)�����$�����������.�������� �������(����-��������$�������������5�*-������������$��)���+���������������)�����������������)���(�����(���)��������������$����)�����$����������������������$����%��$��������$�$��������� ��%�)� �)���� �����(�� ��-�� ��� $����%��� �������� ��� �%� ��������� ��������������$� ��(�����$� �)$��:)� �����(�� $����%��$� �����������+� ������ � ��� �%-����%������������$� ���)�����$�������������(�����������)��$�+�����������������-�� (������� �������� $����%��$� ��������� �����)��%� ����� ����� ��(�������%��� ��������%������������������������$��)�5�*-�����������������������������(����������)����-����+�� $����%��� �������� �����)��%� ����������� )�� ��������� �������)�� ���� �� ���)����� �������(�����(���)�
/������� ����������%� ����������� �������� �)(�+� ����������� ��� �������(���������)��� ��� +�%�)� ��� 1��� ������ ������� ������������� �������(�� ��(�����(�� �)� ����������������� ���������� �������� � $����%���� ��� (��� � ����� � � ��������� ��(������������ ���$��)�%� 1 ������ ����������)� ��������%��(�� ����� ,������� ��(������ ���1��� +�%�)� ������������ ����������� �� ��� )���� ���$����%�)� �������������� ������� ��-��������������%����%�����$���(������������$����������� ����+�%�)����� ���������� ���������� ��� �������� ��� ��������������� ���� ���� ��� ������� �� �������$� ����������$� ����$���������� ������������������(�������(���������(������ ��+��������)������� ��������)��� �� ����1��� ���������� ���������������(�� �������������� ����� ��(��� ����������� �������������� �����%���� ��� ����� ������ ��(�� ��� � ��� ��������%� ��� �������������)��������(���)��
�� (����������������������������������+�����"�����������%�����������)��,��������������$� ��(���������$� �����������$� �� ���������� ����������� ��(�����(�� �)�� )���$���������� �)� ������������� ���)�����$� ���������� +� ����%���� ����������� ��� � ����������� �������)� ��� ����� �)�� ��� �� ��� ����������������%� ������� ��+�� ����������-��"���)��������������������)�������$������������$�������� +�%�)���������� � ��������������� ���$�1�������� ��� ��������� �������%������ ������� ���� ����)� ��������(�����$��������������(������1 ���(�� ��������������������+���������������������������� �����������������������$���������
���������������� �%��$��������������(������������%����������������������-�����(���������������$�����������������������)��!(�����������)+� ���� ����������1��� ����)� ��%��$� �������$� ��(�����$� ����� +� �1��������� ��� )�� ���(����� �����$�
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
44
������%� ��������%��$� ���� �� ��� +�%�)� ��� ��%�$� ������$�� ���������� � ������� $������-�������� ����������)� �� ����(��%���� ��� ��1����������� �������$� ��(�� �� ��������� ��������������1����������� ��� ����(��%���� �������$� ��(�� �� �����%��� ������ ������-$ ������������1 ����������������)������������%��(����(�����(���)�
>�����������������)���1�������������� ����(��%�����������$���(�� ��"��+�������-������� � ����� � �(�������� � ������� ����$�������� ����������)� �������� �������������������)������� ���(�� �� ��1������������������� �����1����������(������)���(�� ���1��������(������������������� ����(��%������������ ���,������������������������-� ��������(���)�������������������� ���+��∆B = 1 J?���������������$���������������)�δB = 10-3������%��� ��������%����������������� ������(�� ���∆Bmin = 1 µ?�����)(����)������������%���� ���������� ��� ����������� �����%�����������������������(�����$����� ��������������� ?���������+�����������)����������(��������� ���(�� � ���������%��-� ����������� ��������� �9��/���������"�������$��������������+���������������)�������*� ���)���������)(�+� ���������������������1�������������� ����(��%�����������$���(�� ��.������� ��� ���������� ����(�� ���������)� +� �������� ����(��%���� ��������� ����������������(����� � �����������(��–�����������-���������� ������������ ������(����������� �������(����� � �������������������������� ������������������ +�%�)�������������������� ��–����9��"�� ������)+���������� ������ ���)� �������)��������%��(��������-����(���)�3max���������%������������������������ ����∆Bmin �������������–160 �9�
3 ����)�����������)���������%��(���������+�%�)� ���()����������
∑=
⋅=n
0j
jjHo BaU , (6)
���(��������������������� +�%�)��������������������������)�%
⋅=
⋅=
,dB
)B(dUG
dB
)B(dU
;)B(UG)B(U
XHoXHe
XHoXHe
(7)
��� !Ho, UHe –� ������%��� ��� �����)��� �������)� $����%���� ��� (��� ����������� 3X – �������)� ��� ����� ����������(�� �)�� aj –� ���1���+���� �������%��(�� �)� �� 8 –
���1���+�������1 �1 ���������-�������)��)�����������+�%�)�������� �������$� ���������%�� ��-$�����$����%������� (������-� �������(�����(���)�;!H / dB ���������%�)������ %���������-������)���1���������(�������-��(�� �)� ��� ��� ����(��� -����)����������
����������������(�����-�� ���������������)�����������-������$� ��(������������$� ��-
������� ����� ���������� ��������%� ��1������� �� ��%� ������ ����$� ��������� ��� �������������������(�� � ��� –� 1 �������%��-����(������(�� ��(������������(�� �������������
D r i f t
∆B∆B
∆U ( B )
B e B x
o
∆U ( B )o
∆U ( B )e
Magnet icinduct ion, B
Hal l vo l tage,U
U (B )H o
U = f (B)H o
U = f (B)H e
x
U (B )=H e xU (B )H o e
correction error
true (measuring)
���� ��� ,������ � �������! ���� �1� * ��� ���
%"''�
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
45
( 3���� ��� 3����� �+�� +� �������� ���� �������� ����������)� –� ����������������������������� ��� �������������� �� �������� � �)� )��(�� �����"���� ������������ ������ 1). 3�����+��������)���������������������%������1 ��������������%���������������������������������������� �������� ��� ��� = 1 ���� �������� ���� = 0,05 �����%����%� ������� F 500. ������� �������1�������������������������+�%�)������������∆B = 5 �?�
��� ���� � �������� ���������( � �$��)�%:� �������� ����� ������� ������� ��� �������3��������%���������������%����������������������1������+������)��������� ��+�%�)��� �����1������ ���� ����-����� 9������� ���� ������� +� ������+� �������)� ��(�������������)����������� ��������(������1��� ����)��������$���(�������"��
��������������%������������������������������)��:����+� ���( ����������������-���(���(�����(���)������������������ �����������������(������������ ���������������������� � ���)�� �� ������ � ��+��� ����"���� ������������%� ��� %������ ����������)� ��������$� ����$� ���������� � ��� �����������$� ���)�����$� ���������� :�� +� ����+�� ���������%��$�1 ������������� �%��$�������������������)�
!(������ ����������)�� ������������� �(����� ��� ������������ �������� ��� %������������������������������(�����������������)��
��������� �����������������( � ��� �������1 �������%�����$���������������� ����-����+��������)����������3��)����/���1� � ����' ���0��������)��$���������(������������-�����%������ ��(����� �����������)������(�������������� �������������� ��,������%�����������)� �� ��(�����$� �)$� +�,� ��������%� ���"�� ���� ���� I� �� ����$� ���������)� �������� ����������� �� ����(�+��2� G� �������� ���1�������3� F� ��14�K ��-2��*�� %�������������� ��� ������ ���� �������� �������� ����)� ��� ������������ ���1�������� �Magnet Technology-������@���������������
��������#�/�*��*�;����(����*���;���������:�����(������������%������������+� �������-��(������� ���������� )���� ���������� �� ��� %����� ��������� ����+�� ������������$� ������ � ������� ��(����������� –� ����������)� ������ � ��(�����(�� �)� ���������������$����+���$��������� ����( �� �� �%��$�������$���%��$���(�������-�������-��������������)��������� �������+��������%�����������������$�����������(������ ��������������������� ������� �������� ��(�����$� ���� ���� � ,��� ������������ ��(������ �)� �����������1������ �$� ������ � �� ��������� ��������� �����%����� ������ ���)��� ���-��������������)������(��� ��������������(��"���������%�����������������(� �������������������������)� ��"������$�� �����"����������������� �����������(���� �������������)������1����$� ������������� ������� �����(��1 ����)� �)� � � �%��$� ������$� ��(������������ ������� ����� ���������$�������$��� ����-�������$���������
����������� ������ �������$� ��$����� ��� ������ ����������)� ��(�����$� ������������ "�� �)� �����(��1 ����)� �)� �� ���������� ��������$� ���+���$� ��������%-�� ���+������������)�������$�������%�$����%��$����������������������7��%�� ������ �����������(��1 ����)��)�����(�+����������)�����%��$������$������������$�������%�$����%��$����������
7� 0����������� ��(�����$� ��������� ���������� ��� ��(�������� ������� ���������������-��(������� �������� �%46��"-'�-��� ������ ��� ��� ���� � )���� �$��)�%� ��������������������������������������(�� �� �����1����������������������)�����������)������� ��������"���)�����������(����������������)�
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
46
���� �2� ������ ������ ������ ��� ���� ��� ��
�)�%46��"-'�-������������ +�%�)���������������%��������������)������%�/���)6�,�
�����������%�����3%-� ��������������������������������������L��;*9.�M�����)�-����&<?�������
*����%�����������%�(����+����(����(�����������������+������ �,������������������%�����������)� ��� 1��������� � ���������� � �����"����� ������� ��� �����" +� ���� �,������������ %���������������)������� ���� �������(�����(���)��������������������������(��(����+����–������������
�)�����������������������������%46��"-'�-�������� ����������� %���������������-�)�� ��������������(����������������)��%"*7�-1”
����������� �� ���� �� �������� � �������� � ���� �������� �� ���� � ����� ���
� ������������� ������������������������ ������������������� ��� �����������
����� � ��������� ������� ������� ��� �������� �� ������� ����� ��� ������� ���� ���
��������� �� ��� ����� ����������������������������!������������������
���� ��� ������� �����$��� ��������� ������!
���� ��� ���� ���� ��� ������� �����$��� ���������
������ � ������! ���� ��� ����
�����;��!� #������������ ��;���� � *+,-24. ��������� ��(����� �)� �����������
������)��%�)� �� ��0"� �5���)�� �� ���������� ���������� �����)� �� �������$� ��)$� �)����� ����)� ���� ���)�����$� ��������� ��� �� ������ �����(����$� ������%�� ����� +������������(�������������������������)������������������������%�)�������$������$����+����������)��$���(��������������������+�%�)��������������,�� �������������%�)���������$���(��������)�����������%���� ��������������%�������������� ��� ���+���:����(������ ��������%�)�� ����������� ���� ������� ��� ����������� ���������)� ������ ���(�����(�� �)� �� ����$� �������$��������� � ��� ���� ���� ������������������������-
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
47
�� ������ ��"����(���������������$��������$�$��������� +�%�)�������������������������"��+���� ������ ��������������5�*-��������)���(������������)����-�� (����������%����� ������� ��(������ � ��� ���� �–�� ���� �)� �����������)� ����������$� ������� �����(�����������
�����(��1�%5!�– 24�������������)�����������)����������(�������� ���(�����-(���)��������������������� ��� ����$������$������� �������(������ ��$��)�%��������-��%��-��� �����������������������������������(�-��1����������������������������� ���(�� ��� ����)�� ����������)����%����%� ������� ����������)� ��� �� )��$� �������– ����������)� ��(�����(�� �)�� � ������ –� ����������)� ������� ���� �� ����� –� ����-��������������������
������)� ��������� ��(�����(�� �)� ��� ������� ���� ��� �������� �$���� ������������(���(�� ��(�� � �� ��1����$� ������� ���+������ �� +��� � ��������%��-��� ������ ��� �� )��� ���$����%�)�����������%�� �� ���������������)���(�����(���)��,������ ���)������)+�������������������%� ���%����%��������� ���+�� ��%��� ���������)�������-����)����������������������������)���(���������%�������+�%�)�����������%��������������"���)��������� ���������� ������������)�����1�������������� ��+�%�)� ��������(�������� �%�(�������������(������(���-��1����(�������������������������������������-�)���������$����1���+������������)��������� �������������������� +�%�)������1���+�����������)��/V�F������������������������������%��-��� ��������������������+�%�)����������)����������+�%�)�
���������� ���(����� ����)�� ���%��)���������������������)������� ���� �����������������)����������������(� ��$�����������%������������������������ +����������)�������� ����������)� �� ���-1���+������������)�
*�� %����� ���������%������� � ��(�����(�� �)������� �����������(����(-��� � ��0"� �� ���� ��(�� ��� -��%���� �������� ������������������������� ���5�����������������������.����� �� ������� ������ ������� ��(���-���� ��� ����� � ���� ���$�� ���������$������������(����(-��� � ,���� ������)+�%�)���-���� �������� �����(��1�� ����)� ���������)� ������ ���(�����(���)��)�����������(����(��� ������ ��%� ������� .
����������0� ��;������� ������������ � 3� �����&���� ��������. ��(����� ��������������������������������������������������(����������������������������������InSb, ���������� ��%�)� �� ��(�����$� ���������$� ��(���$� �������� ���+������� ��� ��������������������$��������� ������������������������%���(����������������(�����$����������$���(��������1������)����)���������+�%�)������)$������������(�����)�� ������������� �%�
��� �� �
�
���
���
���
���
�
���
���
� �� �� �� �� �� �� �� �� �� ��� ��� ���
������
����������
��
��
��
��
��
��
��
��
�
��
���
���
���
���
���
���
���
���
��
��
���
���� ��� �������� ���� ��� ����
� ����� � ���� � ����� ����� ���� �
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
48
���������� �����%� )�� �������� ��������(�� ���)�� � �)� ����"���)� ��������� ���+���������������(������� �
*������������������%���(�����$���������������+�����$������ �������)������������)�
�$�����(�����$����������$���(���$������� �����$�������������$� ����$���������(�������� �
��� ����� ���� �������� ��� � � ��������(�� ����� � ������ �. ,��� ������ )�� �� ��������%�
������������(������������(����������������� �������
���� ��� '�������� �� -). ��������� -������ ���� �
���. ��� '��� � ��������
���� ��������� ����� �
7� ���� ���� �)� ������� �������%�)� �� �����$����������� ���������� ��(�����7�������
������� ���������������������������������(�����7��������Egypsat���)�����������)���
������������������%�)��������������(�������)������� ����������� �������)�8(�� ��
��)��� ������������ � �%������������ ���������������
��2����;���� ����' ��)����������:
�������� �$�����������������������)������������������(�����(���)���������������
���������������(����������0�����������
• ����������� ��� ������ ����(���������� �������$� ������� �)� ��������������������������
• ������������(�����������)���(�����$����������������+������ ���������(�)������*�����
• ��1������������(�����������)������������$���(�����$����� • ����������� ������ ���������� N� ����� �)� �������������� ���(�������� ������������
1������������$�������������� ���$���������������
• ����������������������� �����������)����������)�������������(�����$�������
������ ��
,���������� ��� �����������%������������)��������� ���������� ��$���(�������-
" ����)���� �� ���-��������$������������������������������!3�5�������������������$�
�������� ����������� �� ��������%��$� ����$� ��%��$� ��� �����������$� ��(�����$� �����
����(����$� ������� ��� ������$� ����������$� ����������%� ��� ���������� ��������$�
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua
49
���+��$���(�����$���������������(��� ���� ��)����������)�$������������������������-
��������������������������������������;���(������������%������������)������������)���
�������� � ����� ������� ���������%���� ��$����� ������$� ����(���� �� ������������ ���
������������$�����
����0��
*������ ��������� ��� ��������� ������������� ������� �� �� ��� 7�������� ��������(���(��������7����������.� ����-��$���(����(������� �7�������
��������0����������� ������+� ��)� � ��� ���)��)� �� ������� ���������� � ��1������.���������������� ������������ ��� ����� � ���������� ��������� ������ � � ������ -��������� ���������������� ��� ����������� ��$������ �������� � .������%��(�� ���������� ��0%����%�������$������
1. Controlled growth of oriented amorphous silicon nanowires via a solid–liquid–solid (SLS) mechanism / D.P.Yu, Y.J.Xing,Q.L.Hang and other // Physica. – 2001. – E 9. – 2. 305–309.
2. Brudnyi V.N., Grinyew S.N., Stepanov V.E. Physica B. Cond. Matter. – 1995. – 212. – 2�429.
3. Bolshakova I. Improvement of radiation resistance of magnetic field microsensors. Sensors & � �!��"#$%������&$ical. – 1999. – 76. –�2��152–155.
4. Bolshakova I., Koptsev P., Melnyk I., Moskovets M., Krukovsky S., Zayachuk D. Control of parameters of III-V compound microcrystals and epitaxial layers by means of complex doping // Crystal Research and Technology. – 2001. Vol. 36. –�9��–10. – P. 989–997.
5. 3������������:��"�������7�3�������! �����)�*���(�. ����0�2�� ���� �� ���� � #-� "��� ��������� ������ ���������������� ����������� ��� !�� �! �� ���;�����������"��
������:������ ��-��– 1982. –����'���(� –������ 6. +�� ��*�,���:������ ��������2-�����*�����4�����)����;����� ���� �������������-
��� !�� �! ����� �������-���-� ���������� � ���0 � ��� �" � �������� ������ -������– 1986. –�9����–�����–8.
Lviv Polytechnic National University Institutional Repository http://ena.lp.edu.ua