VSN - samin4u.comsamin4u.com/upload/gallery_upload/VSN..pdf · VSN Series...

特長

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニット

VSN Series●ノズル径：φ0.4、φ0.5、φ0.6

010

2030

4050

60

高さ

010

2030

4050

60

高さ

0

50

10

40

90

60

20

30

80

70

重さ

ON OFF ON OFF

→時間

パイロットバルブ信号

真空

大気圧

→時間

→真空圧力

→真空圧力

●真空エジェクタユニットVSN●従来の真空エジェクタユニット

応答時間のバラツキが

応答時間のバラツキが小さ

い大きい

真空

大気圧


高速応答

ON OFF ON OFF

→時間


真空

大気圧

→時間

→真空度

→真空度

●真空発生器VN●従来の真空発生器

応答時間のバラツキが大きい

応答時間のバラツキが小さい

真空

大気圧


高速応答

ON OFF ON OFF

→時間


真空

大気圧

→時間

→真空圧力

→真空圧力

●真空エジェクタユニットVSN●従来の真空エジェクタユニット

応答時間のバラツキが

応答時間のバラツキが小さ

い大きい

真空

大気圧


高速応答

高さ

010

2030

4050

高さ

010

2030

4050

●単体タイプ ●マニホールドタイプ

取付けスペースに制約のあるお客様に最適。小形・軽量の真空エジェクタユニット。特に製品高さを抑えました。

高速、かつ安定した応答性を実現。（ON/OFF=5msec以下)主弁に直動バルブを採用しました。

真空発生用バルブ

真空発生用エア供給(PV)ポート

真空破壊用エア供給(PS)ポート

真空破壊エア流量調整ニードル

真空破壊用バルブ真空(V)ポート

サイレンサ

エジェクタ

真空破壊専用の制御圧力で、小型ワークの吹き飛ばし防止対策の微調整に対応。

小形レギュレータ小形ソケットタイプ真空フィルタ

真空パッド

ワーク

真空発生器VSNエア供給ポート個別タイプ

供給ポートが共通のタイプもラインナップ。※供給ポート：真空発生用エア供給ポートと

真空破壊用エア供給ポートが共通。

真空破壊エア流量は、20ℓ/minを確保。

真空破壊時に小型ワークを優しく離脱。真空破壊エア供給ポートを独立化させました（オプション）。よって、従来の流量調整に加えて、外部レギュレータにより圧力調整が可能になり、真空破壊エアの微調整が容易になりました。

●回路図

負圧用連成圧用

アナログスイッチ

分離型デジタル圧力表示器＋


負圧用連成圧用


分離型デジタル圧力表示器＋


負圧用連成圧用負圧用連成圧用分離型LED圧力表示器＋アナログスイッチアナログスイッチ

圧力センサは、アナログ出力タイプを4種類用意。負圧用アナログ出力センサ、分離型デジタル圧力表示器＋負圧用アナログ出力センサ、連成圧用アナログ出力センサ、分離型デジタル圧力表示器＋連成圧用アナログ出力センサ。

真空フィルタは、外付け（別購入品）といたしました。製品の小形化によるフィルタ交換作業の不便さを解消しました。※本製品には、真空フィルタが内蔵されておりません。　製品をより長くお使いいただくため、真空配管には必ず弊社の　真空フィルタ（下を参照ください。）をご併用ください。

86

形式／VSFJVSFJ-44

VSFJソケットタイプ

形式／VSFUVSFU-2-44

VSFU小型ユニオンタイプ ø4

ø4 ø4

ø4

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSX

VSXM

VSQ

VSZM

エジェクタシステム

VSG

VSJ

VSJM

VSK

VSKM

VSK

VSKM

VSNVSN

M

87

VSN Series仕様

仕様

注1：応答時間は、定格圧力、定格電圧供給時、真空ポートにて圧力変化が検出されるまでの時間です。配管先端部（ワーク）での真空到達時間、及び真空破壊時間はエジェクタ特性、容積（真空配管長さ）、真空破壊流量などの条件により異なります。

項目真空エジェクタユニット VSN使用流体空気使用圧力範囲 MPa 0～0.55使用温度範囲 ℃ 5～50（結露無きこと）使用湿度範囲 35～85％RH（結露無きこと）保護構造 IEC規格 IP40相当耐振動/衝撃性 m/s2 50以下/150以下

エジェクタ特性形番ノズル径（mm）定格供給圧力（MPa）到達真空圧力（-kPa）吸込流量（ℓ/min［ANR］）消費流量（ℓ/min［ANR］）VSN-E04 0.4 0.35

90.4

2 6VSN-H05

0.50.5 7 11.5

VSN-E05 0.35 3 8VSN-H06

0.60.5 9.5 16

VSN-E06 0.35 4.5 12

電磁弁仕様ユニット

項目真空エジェクタユニット VSN

真空発生用バルブ真空破壊用バルブ作動方式直動作動弁構造弾性体シール、ポペット弁定格電圧 DC24V許容電圧範囲 ±10％サージ保護回路サージキラー内蔵消費電力起動時：2.2W 保持時：0.6W（省電力回路内蔵）動作表示インジケータ緑色LED使用圧力範囲 0～0.55MPa 0～0.55MPaバルブタイプノーマルクローズタイプ応答時間（注1）真空発生（OFF→ON）/真空停止（ON→OFF）共に5msec以下

結線方式コネクタ式（ケーブル長さ：500mm）

赤色リード線：＋DC24V、黒色リード線：ー0V

真空破壊機能項目

破壊エア流量 0～20ℓ/min［ANR］（0.5MPa供給時）

注：真空破壊エア流量調整ニードルにより可変。

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSNVSN

M

88

真空用圧力スイッチ仕様項目負圧仕様（-V1）連成圧仕様（-R1）

供給電圧 DC10.8～30V（含リップル）消費電流 20mA以下圧力検出方法拡散半導体圧力センサ、ゲージ圧使用圧力範囲ー100～0kPa ー100～300kPa耐圧性 200kPa 600kPa保存温度範囲ー20～70℃（大気圧、湿度：65％RH以下）動作温度範囲ー10～60℃（結露無きこと）動作湿度範囲 35～85％RH（結露無きこと）保護構造 IEC規格 IP40相当

アナログ出力

出力電圧 1～5Vゼロ点電圧 1±0.1V（＝大気圧時） 1±0.1V（＝ー100kPa時）最大圧力点電圧 5±0.1V（＝ー100kPa時） 5±0.1V（＝300kPa時）直線性 ±0.5％F.S. 以下（at Ta＝25℃）温度特性 ±2％F.S. 以下（0～50℃、Ta＝25℃）出力電流 1mA以下（負荷抵抗：5kΩ以下）

分離型デジタル表示器仕様（-V2、-R2）項目分離型デジタル表示器

供給電源 DC10.8～30V消費電流 50mA max.（供給電圧：DC10BV、2点スイッチ出力ON時）保存温度範囲－20～70℃（大気圧、湿度60％RH以下）動作温度範囲 0～50℃（氷結しないこと）動作湿度範囲 35～85％RH（氷結しないこと）保護構造 IEC規格IP40相当

圧力表示

表示回数 4回/秒応答性デジタルフィルタにより可変約5、25、250、2500m・sec表示精度 ±1％F.S.温度特性 ±0.5％F.S.（0～50℃、基準温度：25℃）

監視機能表示桁数オーバ “999”点滅表示検出範囲オーバ “－－－”点滅表示（定格圧力：110％以上）出力過負荷検出 “E－1”点滅表示/過負荷検出出力表示ランプ点滅

ゼロ調整機能パネルスイッチ操作による圧力表示/ゼロクリア

調整ミスの監視約（10％F.S.）を越え残圧印加時のゼロ調整操作を監視し、エアー警告 “E－2”を点滅表示する。パネルスイッチで解除する。

分解能 1 digit圧力表示素子 3桁、7セグメントLED（文字高さ：8mm）赤色符号表示素子 LEDランプ（マイナス時点灯）赤色定格表示範囲表示圧力単位及び定格圧力レンジは、下表からパネルスイッチ操作により選択する。

スイッチ出力

出力点数 2点出力（SW1、SW2）出力方式 NPNオープンコレクタスイッチ容量 DC30V 100mA max.残留電圧 1.2V max.（負荷電流：100mA時）圧力設定方式パネルスイッチ操作による。圧力設定範囲－999～999 count（小数点は仕様表の定格圧力範囲に準ずる。）動作表示 LED（SW1：緑、SW2：赤）点灯（出力：ON時）繰り返し性 ±0.2F.S. ±1count温度特性 ±0.5F.S.（0～50℃ 基準温度：25℃）応答性デジタルフィルタ設定により可変5、25、250、2500m・sec応差設定 0～300count（パネルスイッチ操作による可変）過負荷保護 2点出力（SW1、SW2）OFF（過負荷電流：約200mA以上）

アナログ出力出力電圧 1～5V出力電流 1mA（負荷抵抗：5kΩ min.）

センサー入力仕様電圧入力信号 1±0.1～5±0.1V

VSN Series真空用圧力スイッチ仕様

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSJ

VSJM

VSK

VSKM

VSK

VSKM

VSNVSN

M

89

VSN Series質量表・電気回路図

電気回路図● 電磁弁 ● 真空用圧力スイッチ

質量表

形番ユニット内容質量（g）VSN-□□-□□□S-3-□ 単体タイプ、エア供給ポート個別、大気開放、センサ付 56VSN-□□-□□□S-3 単体タイプ、エア供給ポート個別、大気開放、センサなし 52.5VSN-□□-□□□J-3-□ 単体タイプ、エア供給ポート個別、集中排気、センサ付 58VSN-□□-□□□J-3 単体タイプ、エア供給ポート個別、集中排気、センサなし 54.5VSN-□□-□□NS-3-□ 単体タイプ、エア供給ポート共通、大気開放、センサ付 54VSN-□□-□□NS-3 単体タイプ、エア供給ポート共通、大気開放、センサなし 50.5VSN-□□-□□NJ-3-□ 単体タイプ、エア供給ポート共通、集中排気、センサ付 56VSN-□□-□□NJ-3 単体タイプ、エア供給ポート共通、集中排気、センサなし 52.5VSNM-□□-□□NS-3-2-□ マニホールドタイプ、エア供給ポート個別/共通、センサ付 171VSNM-□□-□□NS-3-2 マニホールドタイプ、エア供給ポート個別/共通、センサなし 164

■ マニホールドタイプでは、1連増加毎にセンサ付ユニットで1連あたり：46.5g、センサなしユニットで1連あたり：43g重くなります。例：真空エジェクタユニット、センサ付、4連マニホールドの質量は、171＋（2×46.5）＝264g→2連マニホールドの質量：171gに2ユニット分のセンサ付ユニットの質量：93gを加算します。

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSNVSN

M

-0V（黒）

+DC24V（赤）

制御回路

+DC10.8～30V（茶）

-0V（青）

ANALOG OUT（黒）

主回路

90

05

形番選定にあたっての注意事項注1： ●イ●ロの組み合わせは、“E04”、

“H05”、“E05”、“H06”、“E06”のみです。

● 保守部品・交換用サイレンサエレメント

VSN-E・専用ブラケット（VSN、VSNP共通）

VSN-B

形番表示方法● 10.3mm幅小形真空ユニット（エジェクタシステム対応タイプ）● 真空エジェクタユニット単体タイプ

VSN記号内容真空特性注1H 高真空・中流量タイプE 高真空・少流量タイプ

ノズル径注104 φ0.405 φ0.506 φ0.6

真空ポート（V）4 φ4ワンタッチストレート継手4L φ4ワンタッチエルボ継手

真空発生用エア供給ポート（PV）4 φ4ワンタッチストレート継手

真空破壊用エア供給ポート（PS）4 φ4ワンタッチストレート継手N 真空発生用/真空破壊用エア共通

排気ポート（EX）注1S サイレンサ付大気開放J φ6ワンタッチ継手集中排気

電磁弁電圧3 DC24V

真空用圧力スイッチ仕様無記号真空用圧力スイッチなしV1 負圧用アナログ出力V2 分離型デジタル表示器＋負圧用アナログ出力R1 連成圧用アナログ出力R2 分離型デジタル表示器＋連成圧用アナログ出力

H

真空特性イイ

ロ

ハ

ニ

4 3 V14 4 S

ホ

ヘ

ト

チ

ノズル径ロ

真空ポートハ

真空発生用エア供給ポートニ

真空破壊用エア供給ポートホ

排気ポートヘ

電磁弁電圧ト

真空用圧力スイッチ仕様

チ

VSN Series

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSJ

VSJM

VSK

VSKM

VSK

VSKM

VSNVSN

M

91

真空用圧力スイッチ仕様

リ形番選定にあたっての注意事項

注1： ●イ●ロの組み合わせは、“E04”、“H05”、“E05”、“H06”、“E06”、“Z00”のみです。

注2：ミックス仕様の場合は「ミックスマニホールド仕様書」を必ず記入ください。詳細については、110ページをご覧ください。

形番表示方法● 10.3mm幅小形真空ユニット（エジェクタシステム対応タイプ）● 真空エジェクタユニットマニホールドタイプ

真空特性イ

ノズル径ロ

真空ポートハ

真空発生用エア供給ポートニ

真空破壊用エア供給ポートホ

排気ポートヘ

ト

マニホールド連数チ

VSNM H 05 4 4 4 S 103 V1記号内容真空特性注1、注2H 高真空・中流量タイプE 高真空・少流量タイプZ ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。）

ノズル径注1、注204 φ0.405 φ0.506 φ0.600 ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。）

真空ポート（V）注24 φ4ワンタッチストレート継手4L φ4ワンタッチエルボ継手CX ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。）

真空発生用エア供給ポート（PV）真空発生用エア供給ポートは別表1をご覧ください。

真空破壊用エア供給ポート（PS）真空破壊用エア供給ポートは別表2をご覧ください。

排気ポート（EX）S サイレンサ付大気開放


マニホールド連数2 2連

～～

10 10連

真空用圧力スイッチ仕様注2無記号真空用圧力スイッチなしV1 負圧用アナログ出力V2 分離型デジタル表示器＋負圧用アナログ出力R1 連成圧用アナログ出力R2 分離型デジタル表示器＋連成圧用アナログ出力Z ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。）

イ

ロ

ハ

ニ

ホ

ヘ

ト

チ

リ

● 保守部品・交換用サイレンサエレメント

VSNM-E

電磁弁電圧

真空発生用エア供給ポート（PV）ポート形状ストレート継手エルボ継手

継手サイズ（mm） φ4 φ6 φ8 φ4 φ6 φ8

記号

R側のみ 4R 6R 8R 4LR 6LR 8LR両側 4 6 8 4L 6L 8LL側のみ 4H 6H 8H 4LH 6LH 8LH

ニ別表1

別表2真空破壊用エア供給ポート（PS）

ポート形状ストレート継手エルボ継手継手サイズ（mm） φ4 φ6 φ8 φ4 φ6 φ8

記号

R側のみ 4R 6R 8R 4LR 6LR 8LR両側 4 6 8 4L 6L 8LL側のみ 4H 6H 8H 4LH 6LH 8LH

真空発生用/真空破壊用共通 N

ホ

VSN Series形番表示方法

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSNVSN

M

92

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


真空特性

供給圧力－到達真空圧力、吸込流量、消費流量

VSN Series

● VSN-E04

1.上記特性の供給圧力は、真空発生時におけるものです。2. 上記特性の到達真空度がピーク値となる少し手前の供給圧力（Hタイプ：0.4～0.45MPa、Eタイプ：0.29～0.32MPa）にて異音（ブツブツ音）が出る事があります。この異音が出ている状態は、特性が不安定となっており騒音も大きくなります。又、センサなどに影響を与えトラブルの原因となることがありますので供給圧力の再設定を行ってください。

（ex1. Hタイプ真空エジェクタにて元圧が0.5MPaで真空エジェクタ動作時、圧力降下により供給圧力が0.43MPaに落ちて異音が出ている。→真空エジェクタ動作時供給圧力を0.5MPaに再設定する。）

3. ノズル径断面積の３倍の有効断面積を目安とし、配管又は、機器選定を行ってください。十分な供給エア流量を確保されていない場合満足な真空特性は、得られません。

（ブツブツ音が設定圧力でも起こる。吸込み流量不足、到達真空度の到達不足等）（ex2. Hタイプ真空エジェクタにて真空エジェクタ動作時圧力が0.5MPaなのに異音が出ている。→供給エア流量不足。（配管抵抗など

で真空エジェクタ手前で供給エア流量が絞られてしまい、特性を満足する供給エア流量が得られていない。→必要有効断面積を確保できる配管機器選定を行う。））

（ex3. ノズル径0.6mmの真空エジェクタの場合、断面積0.32×π＝0.282ｍｍ2×3＝0.84ｍｍ2よって0.9ｍｍ2以上の有効断面積を確保するよう配管、機器選定を行う。）

● VSN-H05、VSN-E05

● VSN-H06、VSN-E06

100908070605040302010

25

20

15

10

5

到達真空圧力

吸込流量

空気消費流量

供給圧力（MPa）0.2 0.3 0.4 0.5

流量ℓ/min（ANR）

到達真空圧力

（-kPa）

100908070605040302010

25

20

15

10

5

供給圧力（MPa）0.2 0.3 0.4 0.5

Hタイプ到達真空圧力

Eタイプ到達真空圧力

Hタイプ空気消費

流量

Eタイプ空気消費流

量

Hタイプ吸込流量

Eタイプ吸込流量

到達真空圧力

（-kPa）


100908070605040302010

25

20

15

10

5

Hタイプ到達真空圧力

Hタイプ吸込流量

供給圧力（MPa）0.2 0.3 0.4 0.5

Eタイプ到達真空圧力

Hタイプ空気

消費流量

Eタイプ空気

消費流量

Eタイプ吸込流量

到達真空圧力

（-kPa）


93

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


真空特性

真空破壊エア流量特性

VSN Series真空特性

● VSN-E04

● VSN-H05 ● VSN-E05

● VSN-H06 ● VSN-E06

0.5MPa

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11ニードル開度（回転）

30

25

20

15

10

5

真空破壊エア流量ℓ/min（ANR）

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11ニードル開度（回転）

30

25

20

15

10

5

0.5MPa

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11ニードル開度（回転）

30

25

20

15

10

5

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa



30

25

20

15

10

5


0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

30

25

20

15

10

5


0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11ニードル開度（回転）

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11ニードル開度（回転）

94

内部構造図● 真空エジェクタユニット単体タイプ・エア供給ポート個別タイプ、大気開放、真空用圧力スイッチ付

● 真空エジェクタユニット単体タイプ・エア供給ポート共通タイプ、集中排気、真空用圧力スイッチなし

● 真空エジェクタユニットマニホールドタイプ・真空用圧力スイッチ付

VSN Series

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM



真空破壊用エア供給ポート

真空破壊用バルブ

センサユニット

真空ポート

サイレンサエレメントエジェクタ部

真空発生用エア供給ポート


コネクタ



真空ポート

排気ポート

エジェクタ部

エア供給ポート


コネクタ


真空破壊用エア供給ポート


センサユニット

真空ポート

サイレンサエレメント

エジェクタ部

真空供給ポート


コネクタ

95

注1：真空（V）ポートの寸法につきましては、99ページの表1を参照ください。注2：真空発生用エア供給（PV）ポートの寸法につきましては、99ページの表2を参照ください。注3：真空破壊用エア供給（PS）ポートの寸法につきましては、99ページの表2を参照ください。

● エア供給ポート個別タイプ、大気開放、真空用圧力スイッチ付・VSN-□□-□□□S-3-V1/R1


VSN Series外形寸法図

外形寸法図（単体タイプ）● エア供給ポート個別タイプ、大気開放、真空用圧力スイッチなし・VSN-□□-□□□S-3

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


回路図真空発生用バルブ

真空発生用エア供給（PV）ポート

真空破壊用エア供給（PS）ポート



エジェクタサイレンサ

真空（V）ポート

真空発生用エア供給（PV）ポート（注2）

真空破壊用エア供給（PS）ポート（注3） 10.3

真空破壊エア流量調整ニードル2-46.9

2-7

2-500

（リード線長さ）

15.3

5.3

10.8

5.5

12 2-φ3.5（取付け穴）排気（EXH）ポート（大気開放）

真空（V）ポート（注1）

12.9

（ニードルストローク）

3.5

69.751.1

32

6.44.4

回路図真空発生用バルブ







圧力センサ


真空破壊用エア供給（PS）ポート（注3） 10.3


2-46.9

2-7

2-500


15.3

5.3

10.8

5.5



12.9


3.5

76.851.1

32

6.44.4

75.8

アナログセンサ

（ケーブル長さ）

3,000

47.8

96

VSN Series

外形寸法図（単体タイプ）● エア供給ポート個別タイプ、集中排気、真空用圧力スイッチなし・VSN-□□-□□□J-3

● エア供給ポート個別タイプ、集中排気、真空用圧力スイッチ付・VSN-□□-□□□J-3-V1/R1


VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


回路図

回路図






エジェクタ

排気（EXH）ポート



真空破壊用エア供給（PS）ポート（注3）

10.3


2-46.9

2-7

2-500


15.3

5.3

10.8

5.5

12

2-φ3.5（取付け穴）

（チューブ挿入深さ）

真空（V）ポート（注1）12.9


3.5

69.751.1

32

6.44.4

11.817.5

2.5 可動範囲：360°


（φ6）

φ10.5






エジェクタ



圧力センサ


真空破壊用エア供給（PS）ポート（注3）

10.3


2-46.9

2-7

2-500


15.3

5.3

10.8

5.5

12



12.9

3.5（ニードルストローク）

76.851.1

32

6.44.4

11.8（チューブ挿入深さ）17.5

2.5 可動範囲：360°


（φ6）

φ10.5

75.8

3,000（ケーブル長さ）


47.8

97


外形寸法図（単体タイプ）● エア供給ポート共通タイプ、大気開放、真空用圧力スイッチなし・VSN-□□-□□NS-3

注1：真空（V）ポートの寸法につきましては、99ページの表1を参照ください。注2：エア供給（PV）ポートの寸法につきましては、99ページの表2を参照ください。

● エア供給ポート共通タイプ、大気開放、真空用圧力スイッチ付・VSN-□□-□□NS-3-□


VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


回路図

回路図


エア供給（PV）ポート





エア供給（PV）ポート（注2）

10.3

真空破壊エア流量調整ニードル2-46.9

2-7

2-500


15.3

10.8

5.5



12.9


3.5

69.751.1

326.44.4







圧力センサ


10.3


2-46.9

2-7

2-500


15.3

10.8

5.5



12.9


76.851.1

32

6.44.4


75.8


47.8

98

VSN Series

外形寸法図（単体タイプ）● エア供給ポート共通タイプ、集中排気、真空用圧力スイッチなし・VSN-□□-□□NJ-3

● エア供給ポート共通タイプ、集中排気、真空用圧力スイッチ付・VSN-□□-□□NJ-3-□



VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


回路図

回路図





エジェクタ




10.3


2-46.9

2-7

2-500


15.3

17.5

5.5

12


真空（V）ポート（注1）12.9


69.751.1

32

6.44.4

2.5

（チューブ挿入深さ）11.8

可動範囲：360°排気（EXH）ポート

（φ6）

φ10.5





エジェクタ


圧力センサ



10.3


2-46.9

2-7

2-500


15.3

17.5

5.5



12.9


76.851.1

32

6.44.4

2.5

11.8（チューブ挿入深さ）

可動範囲：360°排気（EXH）ポート

（φ6）

φ10.510.8

75.8

12


47.8


10.8

99


● 単体用専用ブラケット・VSN-B

外形寸法図● 単体タイプの継手部寸法

φ4ワンタッチストレート継手 φ4ワンタッチエルボ継手表1：真空ポートワンタッチ継手形状

4（φ4ストレート）表2：供給ポートワンタッチ継手形状

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


9.8

φ4

6.1

7.8

11.2

9.8

φ4

6.2

7.8

11.2

7.815.411.2

9.8

φ8

φ4 8

取付けブラケット57 20

34

510

1.2

11.2（21.5）

2-φ3.5

（56.7）

5.3

15.3

9.810.3 10.8 12 12

5.5

6.4

3-M3×0.5

100

VSN Series

外形寸法図（マニホールドタイプ）● エア供給ポート個別タイプ、真空用圧力スイッチなし・VSNM-□□-□□□S-3-□

注1：真空ポートの寸法につきましては、99ページの表1を参照ください。注2：真空発生用エア供給ポートの寸法につきましては、102ページの表2を参照ください。注3：真空破壊用エア供給ポートの寸法につきましては、102ページの表2を参照ください。

● エア供給ポート個別タイプ、真空用圧力スイッチ付・VSNM-□□-□□□S-3-□-□

注1：真空ポートの寸法につきましては、102ページの表1を参照ください。注2：真空発生用エア供給ポートの寸法につきましては、102ページの表2を参照ください。注3：真空破壊用エア供給ポートの寸法につきましては、102ページの表2を参照ください。

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


2-真空発生用エア供給（PV）ポート（注2）

2-真空破壊用エア供給（PS）ポート（注3）

24+10.3×n






8+10.3×nP=10.3

10


2-10

2-4032

2-500（リード線長さ）

2-72-41.52-20

2-10

2-8

2-20

2-36

2-54

2-6

75.8

7.53,000（センサケーブル長さ）


42.4

76.8

排気ポート（大気開放）

2-真空発生用エア供給（PV）ポート（注2）

2-真空破壊用エア供給（PS）ポート（注3）




24+10.3×n8+10.3×nP=10.3

10

2-10

2-40

32



2-7

真空（V）ポート（注1）真空破壊用バルブ

2-41.52-20

2-10

2-8

2-20

2-36

2-54

2-6

69.7

7.5


101


外形寸法図（マニホールドタイプ）● エア供給ポート共通タイプ、真空用圧力スイッチなし・VSNM-□□-□□NS-3-□

注1：真空ポートの寸法につきましては、102ページの表1を参照ください。注2：エア供給ポートの寸法につきましては、102ページの表2を参照ください。

● エア供給ポート共通タイプ、真空用圧力スイッチ付・VSNM-□□-□□NS-3-□-□

注1：真空ポートの寸法につきましては、102ページの表1を参照ください。注2：エア供給ポートの寸法につきましては、102ページの表2を参照ください。

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM

エジェクタシステム2-6

2-エア供給ポート（注2）

24+10.3×n



真空（V）ポート（注1） 3.5（ニードルストローク）



8+10.3×nP=10.3

10

真空破壊用バルブ2-10

2-40


2-72-41.52-20

2-102-8

2-36

2-54

69.7

7.5

2-エア供給ポート（注2）

24+10.3×n






8+10.3×nP=10.3

10


2-10

2-4032


2-72-41.52-20

2-10

2-8

2-36

2-54

2-675.8

7.5


76.8

42.4 3,000（センサケーブル長さ）


32

102

VSN Series

外形寸法図（マニホールドタイプ）● マニホールドタイプの継手部寸法

φ4ワンタッチストレート継手 φ4ワンタッチエルボ継手表1：真空ポートワンタッチ継手形状

φ8ワンタッチストレート継手 φ6ワンタッチストレート継手 φ4ワンタッチストレート継手プラグタイプ

φ8ワンタッチエルボ継手 φ6ワンタッチエルボ継手 φ4ワンタッチエルボ継手表2：供給ポートワンタッチ継手形状

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


9.8

φ4 6.1

7.8

11.2

7.815.4

11.2

9.8

φ8

φ4 8

φ8

18.213.1

φ6

16.911.5

φ4

14.99

1.5

φ14.5φ8

22.7

18.1

17φ12.5φ6

19.7

16.7

14φ10φ4

18

14.9

13.3

103


外形寸法図

● 分離型デジタル表示器

リード線端子接続茶電源（DC10.8～30V）青 COMMON黒 SW出力1白 SW出力2灰アナログ出力（1～5V）

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


10

36.4

22

□30

□31.4 35

8.5

2.2

1000±100

オサダ製0CN－050接続ケーブル仕様ヨリ線（AWG16～26）剥きしろ（9～10mm）

2－M3×0.5

3－端子チェック窓

3－端子接続操作ボタン

3－端子挿入口

104

VSN Series

使用上の注意事項真空システム機器の一般的な注意事項については、巻頭15ページをご参照ください。

警告■ 電磁弁を作動させる場合は、漏洩電流は1mA以下であることを確認してください。漏洩電流による誤作動の原因となる危険性があります。

■ 製品には仕様外の振動、衝撃を加えないでください。製品の破損や電磁弁の誤作動原因となる危険性があります。

■ 電磁弁へ長時間連続通電するとコイルより熱が発生します。熱による火傷、及び周辺機器への影響を与える可能性があります。長時間連続通電される場合はご相談ください。

■ 本製品の電磁弁は、電流制御回路を採用しており、コイルの通電保持時に電流値を下げる機構となっております。仕様外の振動・衝撃が加わる環境でのご使用は絶対に避けてください。バルブ誤作動につながります。

■ 製品の上に乗ったり、物を置かないでください。転落事故、製品の転倒、落下によるケガ、製品の破損による誤作動などの原因となります。

■ 水や溶剤による洗浄や塗装は行わないでください。溶剤による樹脂部品の破損や、塗装によりポートが塞がれ作動不良を起こす原因となります。

■ 点検、調整などを行う場合には、電源を切り、供給エアを遮断して、残圧の無いことを確認してから行ってください。

■ 配線、配管は必ず電源が切れた状態で行ってください。また、電源投入またはエア供給の前には、必ず誤配線や誤配管が無いことを確認してください。

■ 各部のネジ締付けは適正トルクで締付けてください。製品取付けの推奨締付けトルクは、106ページの「製品固定方法」の②に、電磁弁の推奨締付けトルクは、106ページの「エレメント交換方法」に記載しております。適正な締付けが行われない場合には、エア漏れ、製品の脱落、製品各部の破損の原因となります。

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


電圧

電流

電磁弁通電時の電流・電圧波形

約20msec

起動時（消費電力：2.2W）

保持時（消費電力：0.6W）

105

VSN Series使用上の注意事項

■ 電磁弁、及びセンサのリード線には強い引張力や極端な曲げを与えないでください。断線やコネクタ部の破損の原因となります。

■ 圧縮空気中には、多量のドレン（水、酸化オイル、タール、異物）が含まれています。ドレンは製品の性能を著しく低下させますので、アフタークーラ、ドライヤで除湿し、エアー質の向上を行ってください。

■ ルブリケータは使用しないでください。

■ 配管内の錆、異物の流入は製品の故障、誤作動、性能低下の原因となります。供給ポートの直前には、5µm以下のフィルタを入れてください。また、ご使用前、及び適当な期間毎に配管内のフラッシングをお勧めします。

■ 腐蝕性ガス、可燃性ガス雰囲気中でのご使用は避けてください。また、使用流体としてのご使用は避けてください。本製品は防爆構造ではありませんので火災、爆発の原因となる可能性があります。

■ 水滴、油滴、塵などのかかる場所でのご使用は避けてください。本製品は防滴、防塵構造ではありませんので、製品の破損、性能低下の原因となる可能性があります。

■ 本製品の電磁弁のリード線には、極性があります。極性が違いますと電磁弁が作動しません。

■ 真空（V）ポートに接続する配管は、十分な有効断面積を確保できるよう、配管径、配管長を選定してください。有効断面積が十分でない場合には、吸込流量、真空破壊エア流量などの製品性能が十分に得られない場合があります。

■ 供給（PS, PV）ポートに接続する配管は、十分な有効断面積を確保できるよう、配管径、配管長を選定してください。有効断面積が十分でない場合には、圧縮空気や真空の供給量が不足し、製品性能が十分に得られない場合があります。

■ 本製品には、真空フィルタは付いておりません。真空フィルタは、弊社真空フィルタシリーズを必ずご併用ください。真空フィルタを使用しないと吸い込まれた塵、埃などが製品内部へ堆積し、真空性能低下（エジェクタシステム対応ユニット）や電磁弁の漏れ・作動不良（エジェクタシステム対応ユニット、真空ポンプシステム対応ユニット）などの原因となります。

（推奨真空フィルタ：VSFUシリーズ、VSFJシリーズ）

■ マニホールドタイプでは、エア供給量（供給ポートサイズ、配管長さ、減圧弁処理流量、その他）、及びエジェクタのエア消費量（真空特性）などの諸条件により、同時に作動できるユニット数に制限があります。マニホールドタイプで同時作動を行うような使い勝手をする場合には、弊社営業所までご相談ください。

■ マニホールドタイプで使用される場合、真空エジェクタユニットにおける真空発生時の排気、あるいは真空エジェクタユニット、真空切換ユニットにおける真空破壊エアが他の停止中のユニットの真空ポートへ廻り込む現象が発生する場合があります。

エアの廻り込みが問題となる場合には弊社営業所までご相談ください。

■ 本製品の電磁弁は連続運転を基本とします。15分を超える連続通電をする場合、10回/日以下にしてください。また、連続通電後は、通常運転に戻してください。

■ 供給（PS, PV）、真空（V）の各ポートのカートリッジ交換の際には、シール部の付着物を除去した後、止めピンを確実に挿入してください。

■ エジェクタシステム対応ユニットのサイレンサエレメントや真空ポンプシステム対応ユニット（単体）のフィルタエレメントに塵、埃などが多量に付着していると製品性能の低下につながる可能性があります。エレメントは、適当な時期でこまめに清掃、交換することをお勧めいたします。

注意

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


106

VSN Series

使用方法について

樹脂本体の取付け穴（2箇所）を利用し、M3ネジで締付け固定します。また、その時の推奨締付けトルクは、0.3～0.5N·mとなります。推奨締付けトルク範囲外で締付けた場合には、製品の脱落や破損の原因となる可能性があります。（取付け穴のピッチにつきましては、外形寸法図をご参照ください。）

1.固定方法

■ 真空破壊エアの流量調整は、真空破壊エア流量調整ニードルを右（時計方向）に廻すと流量が小さくなり、左（反時計方向）に廻すと流量が大きくなります。

※ 真空破壊エア流量の調整には、必ず適正なマイナスドライバーをご使用ください。※ 本製品は、内部にスプリングを設け、ニードルの回転止めとしておりますので、ロックナットはありません。六角部は、スパナなどで回さないでください。製品破損の原因となります。

2.真空破壊エア流量の調整方法

マニホールドタイプの場合単体タイプを直に固定する場合単体タイプにブラケットを使用し固定する場合

3.サイレンサエレメントの交換方法

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM



左廻り：真空破壊エア流量が大きく右廻り：真空破壊エア流量が小さく

■ 真空エジェクタユニット単体タイプのサイレンサエレメント（形番：VSN-E）の交換は、マイナスドライバーを使用し、止めピンを抜いてから交換を行います。サイレンサエレメント交換後は、止めピンを確実に挿入してください。

※ 止めピンの向きに注意してください。逆の向きでピンを挿入した場合には、使用中の振動などによる止めピン脱落の可能性があります。

サイレンサエレメント止めピン

107

VSN Series使用方法について


■ 真空エジェクタユニットマニホールドタイプのサイレンサエレメント（形番：VSNM-E）の交換は、真空破壊用バルブを適正なプラスドライバーを使用し取り外します。サイレンサエレメント交換後は、止めピンを確実に挿入した後、真空供給用バルブのパッキンが脱落していない事を確認の上、0.15～0.2N·mの締付けトルクにて固定ネジを締め、確実に取付けを行ってください。

4.サイレンサエレメントの交換方法

■ 真空破壊用バルブを外し、真空ポート固定用止めピンを抜き、センサユニット、あるいは真空ポートブロックを外した上でラジオペンチなどを用いてディフューザを引き抜きます。ノズルの飛び出し防止のため、本体をスポンジなどの緩衝材で塞ぎ、真空発生用エアを供給（注1）、真空発生用バルブに通電します。エア付の力により、ノズルが飛び出しますので緩衝材を取り除き、ノズルを取出してください。ノズル、ディフューザの内径、及びシール部の付着物などの除去をエアブロー、拭き取りなどにより行い（注2）ます。ディフューザにノズルを組み付け、ノズルが脱落しないように本体へ供給します。ディフューザ先端部を傷付けないように、ディフューザを押し込み、センサユニット、あるいは真空ポートを組み付けます。真空ポート固定用止めピンを確実に挿入した後、真空破壊用電磁弁の固定ネジを0.15～0.2N·mの締付けトルクにて締付けます。サイレンサエレメントの取付けは、「サイレンサエレメントの交換方法」を参照ください。（注1）＜警告＞製品にエアを供給している間は、ノズル取出口を人体に向けないでください。ノズルが飛び出

し、ケガをする恐れがあります。（注2）＜警告＞真空破壊用バルブを取り外したままエアを供給すると破壊エアがバルブの角穴より吹き出しま

す。真空破壊用バルブを取り外したままエアを供給する場合には、真空破壊エアー流量調整ニードルを全閉にしてください。

（注3）真空ポートブロックを本体に装着する際には、Oリングにゴミ、毛羽などの付着物が無い事を必ず確認してください。

（注4）ノズル、ディフューザの内径、シール部、及びシール部品（Oリング）や本体内径部には、傷を付けないでください。性能低下の原因となります。

5.エジェクタタイプのノズル、ディフューザの脱着、及び洗浄

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


サイレンサエレメント


固定ネジの締付けトルク：0.15～0.2N·m


センサユニット真空ポートブロック

止めピン

ノズル

ディフューザOリング

108

VSN Series


〈真空ポート〉■ 単体タイプの場合真空ポートのカートリッジ継手は、センサユニットボディ、あるいは、真空ポートブロックの側面部から挿入されているスプリングピン（2本）をφ1mmのピンなどの治具により抜き、カートリッジ継手を交換してください。※ カートリッジ継手を本体に装着する際には、Oリングにゴミ、毛羽などの付着物が無い事を必ず確認してください。また、Oリング、及び本体内径部に傷を付けないでください。真空回路の漏れによる性能低下の原因となります。

6.カートリッジ継手の交換方法

■ マニホールドタイプの場合真空破壊用バルブを適正なプラスドライバを使用し取り外します。真空ポートブロック、あるいはセンサユニットボディ固定用の止めピンをマイナスドライバなどで引き抜き、本体より外します。真空ポートのカートリッジ継手は、センサユニットボディ、あるいは、真空ポートブロックの側面部から挿入されているスプリングピン（2本）をφ1mmのピンなどの治具により抜き、カートリッジ継手を交換後、真空供給用バルブのパッキンが脱落していない事を確認の上、0.15～0.2N·mの締付けトルクにて固定ネジを締め、確実に取付けを行ってください。※ カートリッジ継手を本体に装着する際には、Oリングにゴミ、毛羽などの付着物が無い事を必ず確認してください。また、Oリング、及び本体内径部に傷を付けないでください。真空回路の漏れによる性能低下の原因となります。

〈供給ポート〉■ 単体タイプの場合真空発生用バルブ、あるいは真空供給用バルブを適正なプラスドライバを使用し取り外します。真空発生用エア供給ポートと真空破壊用エア供給ポート、あるいはエア供給ポートの止めピンをマイナスドライバなどで引き抜き、カートリッジ継手を交換後、真空供給用バルブのパッキンが脱落していない事を確認の上、0.15～0.2N·mの締付けトルクにて固定ネジを締め、確実に取付けを行ってください。※ カートリッジ継手を本体に装着する際には、Oリングにゴミ、毛羽などの付着物が無い事を必ず確認してください。また、Oリング、及び本体内径部に傷を付けないでください。エア漏れの原因となります。

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


カートリッジ継手


センサユニットボディ

スプリングピン

真空ポートブロック



止めピン


センサユニットボディ

真空ポートブロック

スプリングピン


真空発生用バルブ、または真空供給用バルブ

真空発生用エア供給ポート、またはエア供給ポート、または真空供給ポート用カートリッジ継手

真空破壊用エア供給ポート用カートリッジ継手

プラグ

止めピン

109


■ マニホールドタイプの場合止めピンをマイナスドライバなどで引き抜き、カートリッジ継手を交換してください。※ カートリッジ継手を本体に装着する際には、Oリングにゴミ、毛羽などの付着物が無い事を必ず確認してください。また、Oリング、及び本体内径部に傷を付けないでください。エア漏れの原因となります。※ 止めピンの向きに注意してください。逆の向きでピンを挿入した場合には、使用中の振動などによる止めピン脱落の可能性があります。

VSN Series使用方法について

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM




プラグ



プラグ

止めピン

110

VSNMミックスマニホールド仕様書のつくり方● ミックスマニホールド形番（記載例）

- - -イロハニホヘトチリ

● ミックスマニホールド仕様書

真空エジェクタユニット形番配置位置数量

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNM - H 05 4 R1 ○ ○ 2

VSNM - E 05 4 R2 ○ ○ 2

VSNM - E 05 4L R2 ○ 1

VSNM -

VSNM -

- -

- -

- -

- -

- -

イロハリ

〈真空ポートサイズのみ継手ミックス仕様の場合〉● ミックスマニホールド形番（記載例）

〈ご記入に際して〉・配管位置は真空ポートを手前にして、左から順番に設置してください。・表右端の必要数量に指定した製品形番の数量の合計を記入してください。

VSNM - Z 00 CX 4R N S 3 5 Z-



1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNM - H 05 4 V1 ○ ○ 2

VSNM - H 05 4L V1 ○ ○ ○ 3

VSNM -

VSNM -

VSNM -

- -

- -

- -

- -

- -

イロハリ

- - -イロハニホヘトチリ

VSNM - H 05 CX 4R N S 3 5 V1-

VSN Series

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSNVSN

MVSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSK

VSKM

VSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM





St.1St.2

St.3St.4

L側

R側

111


マニホールド連数2 2連〜〜10 10連

真空センサ仕様無記号真空センサなしV1 負圧用アナログ出力V2 分離型デジタル表示器＋負圧用アナログ出力R1 連成圧用アナログ出力R2 分離型デジタル表示器＋連成圧用アナログ出力Z ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください）

真空特性　注1、2H 高真空・中流量タイプE 高真空・少流量タイプZ ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください）

ノズル径　注1、204 φ0.405 φ0.506 φ0.600 ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください）

真空ポート(V)4 φ4ワンタッチストレート継手4L φ6ワンタッチエルボ継手CX 継手ミックスの場合（内訳は、仕様書に記載してください）

真空発生用エア供給ポート(PV)ユニット組合せはP***の別表1をご覧ください。

真空破壊用エア供給ポート(PS)ユニット組合せはP***の別表2をご覧ください。

排気ポート(EX)S サイレンサ付大気開放

VSNMミックスマニホールド仕様書

担当数量セット納期月日

発行年月日

貴社名

ご担当様

ご注文書No.伝票No. 受注No.

● ミックスマニホールド形番

VSNM - - -イロハニホトチ

イ

ロ

ハ

ニ

ホ

ト

チ



1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNM -

VSNM -

VSNM -

VSNM -

VSNM -

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-

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イロハ

-ヘ

-リ

ヘ

形番選定にあたっての注意事項注1： ●イ●ロの組合せは、“E04”、“H05”、

“E05”、“H06”、“E06”、“Z00”のみです。

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リ

リ

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