Exhaust system


Presentation TitleComponent of Exhaust SystemComponent of Exhaust System

1.General Exhaust System(GEX):Inert Gas, N2, Air, Hot Air, CO2 , N2O etc will be included

2.Acid Exhaust System(SEX) The corrosive gas, toxic gas , acid etc will be includedHF, HCl, SF6, BCl3, Cl2, CH3COOH, H3PO4, NHO3, NF3

3.CVD Exhaust System(CVD EX.)Flammable gas etc. will be included

NH3, PH3/H2, SiH4, NF3, NO2.

4.AMX Exhaust System (AMX) a.Stripper Exhaust System: Stripper

b.Alkalize Exhaust System: NaOH , NH3, Developer

5.Solvent Exhaust System(SOX): IPA, NBA


Presentation Title

Item Number Capacity RemarkGeneral Exhaust 5+1 275,000 m3/h

Acid Exhaust 3+1 150,000 m3/h

Ammonia Exhaust 1+1 50,000 m3/h

Solvent Exhaust 1+1 58,000 m3/hCVD Exhaust 2+1 36,000 m3/h

Exhaust Air Volume


Presentation Title

General ExhaustDry Exhaust : (<50C) (GS:Galvanize Steel)Wet Exhaust : Moisture Exhaust (PPS:Polypropylene)High Temperature Exhaust: (>50C) (GS+Insulation)

Acid ExhaustAcid Exhaust System(SEX) (PPS+Sprinkler)

CVD Exhaust System(CVD EX.) (SUS Spiral DUCT)

Amonia Exhaust.Stripper Exhaust System (SUS Pipe + Insulation)

Alkalize Exhaust System (PPS+Sprinkler)

Solvent ExhaustSUS Pipe

Duct MaterialDuct Material


Presentation Title

GE

X F

low C

hart

一般排氣風車

一般排氣風車

一般排氣風車

惰性氣體房

(ANNEAL)退火機

(photo)-黃光熱排氣

(SUPTTER)濺鍍機

(TEST)測試機

製程真空排氣

-去光阻機熱排氣

-乾蝕刻機熱排氣

玻璃更換機

一次拋光機

玻璃加卸載機

大氣

清洗機

塗佈機

ARRAY層

Rubbing

液晶間隔塗佈機

液晶密封機

鑽模壓製機

液晶密封烤箱機

二次拋光機

面板退火機

偏光板機

液晶密封烤箱機

雷射切割機

液晶充填烤箱機

液晶密封烤箱機Cell層

清潔真空排氣一般排氣風車

大氣

大氣

大氣一般排氣風車

一般排氣風車

大氣

大氣


Presentation TitleGeneral Exhaust SystemGeneral Exhaust System


Presentation TitleSEX & CVD EX. Flow Chart

毒性及易燃性氣體房

乾蝕刻機

SIN蝕刻機

化學氣相沉積機

ITO蝕刻機

AL /M o蝕刻機

SiO蝕刻機大氣

清洗機

酸洗槽

CVD廢氣排氣

化學酸房及酸儲藏室

毒性氣體房

化學氣相沉積機

濾袋式粉塵收集器

洗滌塔

化學吸附室

風車

風車

風車

濾袋式粉塵收集器酸廢氣排氣

ARRAY層洗滌塔

洗滌塔

風車

風車

風車

大氣

大氣

燃燒室

洗滌塔風車大氣


Presentation TitleAcid Exhaust SystemAcid Exhaust System


Presentation TitleCVD Exhaust SystemCVD Exhaust System


Presentation Title

NH3氣體房

化學鹼房及儲藏室

去光阻機台

顯影機台

大氣鹼廢氣排氣

洗滌塔

洗滌塔

風車

風車

大氣

冷凝器

AMX Exhaust System Flow Chart


Presentation TitleAmmonia Exhaust SystemAmmonia Exhaust System


Presentation Title

Solvent Exhaust System

有機清洗槽

有機清洗槽

黃光鍍膜機

去光阻機台

有機廢氣處理設備

大氣

有機廢氣排氣

ARRAY層

CELL層

化學有機房及儲藏室

去光阻液儲藏室

風車

風車

大氣

(SUS Spiral Duct + Sprinkler)


Presentation TitleSolvent Exhaust SystemSolvent Exhaust System


Presentation Title

Thank youThank you


Presentation TitleVOC Abatement SystemVOC Abatement System


Presentation Title

Scrubber 之結構圖


Presentation Title

SCRUBBER( 主體結構圖 --1)

Exhaust Air

隔柵網

****** *********** ****** ***********

循環水箱 (Re-circulation Tank)

****** ********* ****** ********** ***** ***********

******* ********** ****** *********** ************************ ********* *****

************ ***** ***********

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****** *********** ****** ************ ***** ******************* ***********

****** ************

隔柵網

FAN

Demister( 除霧層 )

******************

填充層 ( Scrubber Package ) 噴嘴管路及噴嘴

(Spiral nozzles)


Presentation TitleSCRUBBER( 主體結構圖— 2)

循環水泵 (Re-circulating Pump)

循環水壓力計

(Nozzle Manometer)

1 2

洗滌塔壓差計

(Scrubber Manometer)

FAN

Exhaust Air酸鹼度檢測計

(PH Sensor) 導電度檢測計

(Conductivity Sensor)

Dosing Tank

加藥管注入口

(Ball valve for Chemical Inlet)

Pump

(Spiral nozzles)

液位檢測計

(Level Sensor)

ab


Presentation Title補水閥

排水閥


Presentation Title

Scrubber 之控制圖

a

b

BA


Presentation Title1. 為氣體行進之方向；經風管所吸取之氣體 (酸 OR 鹼 ) 會先經由隔柵網進入填充層，在填充層中經由

拉西環表面積所附著的水與其通過之氣體做附著效應，使其化學物質能夠在此層做一沉澱沖洗之效果，而

通過填充層後之氣體隨之進入除霧層顧名思義該層主要是將氣體中之水分稀釋出來，同樣得也是藉由與拉

西環間的附著關係將其水分稀釋出來 ( 如果含水量過則所排出之氣體會呈白色煙霧狀 ) ，最後再經由 FAN 的

運轉將氣體排入大氣之中。 2. 為水循環流動之方向；水經由內循環 pump 抽打至洒水頭，再經散射的方式 ( 約 150 度 ) 平均的噴灑在

拉

西環上面


Presentation Title

Acid Design Basis Data

1.Scrubber Type ： Acid, Horizontal

2.Airflow ： 50,000 CMH

3.Intake Air Speed Max ： 2.5 m/s

4.Inlet Temperature ： 23℃

5.Inlet concentration ： 20ppmv of HCl

6.Removal Efficiency ： 99% HCl

7.Dosing Chemical ： NaOH

Scrubber Performance Calculation


Presentation Title

洗滌塔尺寸設計

填充材寬度與高度氣體流量＝ 50,000 CMH ＝ 13.89 m3/s

氣體流速＝ 2.5 m/s

有效交錯截面積＝ 13.89/2.5 ＝ 5.56 m2

取寬度為 3 m ，則高度＝ 5.56/3 ＝ 1.85

實際設計取高度為 2.3 m

則實際氣體流速＝＝ 2.01 m/s



Presentation Title

填充深度計算氣體質量流率 (Ｇ )

23℃ 下之氣體流量＝ 50,000×(273/(273+23))

＝ 46,114.86 CMH

在 1atm 、 23℃下，空氣的密度＝ 0.0744 lb/ft3

＝ 1.2 kg/m3

則氣體質量流率＝ 46,114.86×1.2/(3×2.3)

＝ 8,020 kg/m2 ． hr

＝ 1,643 lb/ft2 ． hr



Presentation Title

液體質量流率 (Ｌ )

選擇標準液體質量流率為 3,000 lb/hr ． ft2

（ 6 gpm/ft2 ）則 HTU (for HCl/NaOH) ＝ 3× Ｌ -0.48× Ｇ 0.33

（每轉換單元的高度）＝ 3×3,000 -0.48×1,643 0.33

＝ 0.74 ft

而 NTU ( 數換單元的數目 ) ＝ ln (20/0.2)

＝ 4.6

則填充深度＝ 0.74×4.6 ＝ 3.4 ft ＝ 1 m （＜ 1.2 m)

（ HTU for H2SO4 ＝ 0.85 ，最小填充深度 3.91 ft ）



Presentation Title

最小循環水量

液體質量流率＝ 3,000 lb/hr ． ft2

＝ 6 gpm/ft2

灑水面積＝ 3×1.2 ＝ 3.6 m2

最小循環水量＝ 6×3.6×10.764 gpm

＝ 232.5 gpm ＝ 880 l/min

循環泵流量＝ 80m3/hr ＝ 1,333 l/min ( ＞ 880 l/min)



Presentation Title

加藥量計算

HCl+NaOHNaCl+H2ONominal flow rate :50,000×(273/(273+23))= 46,115 CMH

HCl的摩爾流率 46,115m3/hr×20/106(ppm)×36.5(kg/kg-mole)/22.4(m3/kg-

mole)

= 1.5 kg/hr=0.041 kg-mol/hr

NaOH 消耗量 1 mol HCl 須要 1 mol NaOH 來反應 0.041×1×40 = 1.64 kg/hr(100%NaOH) = 8.2

kg/hr(20%NaOH)

= 6.8 L/hr (20% NaOH 的比重 =1.21)



Presentation Title

加藥量計算

Nominal flow rate :50,000×(273/(273+23))= 46,115 CMH

NH3的摩爾流率 46,115m3/hr×20/106(ppm)×17(kg/kg-mole)/22.4(m3/kg-mole)

= 0.7 kg/hr=0.041 kg-mol/hr

H2SO4 消耗量 2 mol NH3 須要 1 mol H2SO4 來反應 0.041×1/2×98 = 2.0 kg/hr(100%H2SO4) = 10

kg/hr(20%H2SO4)

= 8.5 L/hr (20%H2SO4 的比重 =1.18)


2NH3+2H2O→2NH4OH+H2SO4→(NH4)2SO4+2H2O


Presentation Title

潤溼因子 (Humidity factor)

潤濕因子：洗滌循環水量／（填充物比表面積 × 洗滌塔填充段水平截面積），單位為 m2/hr

Hf ＝ 80 / (108 × (3 × 1.2 )) ＝ 0.21 m2/hr ( ＞0.1 m2/hr)

循環水箱之 pH值酸排循環水箱之 pH 值設定為 8 （範圍 7

～ 9 ）鹼排循環水箱之 pH 值設定為 6 （範圍 5

～ 7 ）

Exhaust system

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