COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ +...

12

Transcript of COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ +...

Page 1: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

��� ��� ������� �� ��� �������� ���� ����������

�� �������� �� ����! ���" �! �����! �������

����� ��������� �� � ���������� �!����� "#���������� $���

%�&������� '�!� �����&����� ��� �(����������) ����� ����&���

������� ����� ��� ������ �� ��������� ������ � ������ ��������� ��� �������

��������� � �������� �� ����������� ����� ��� ������ ���� !��"�� ���� #��������������� ����� ��� !��"�� ��� �� ������� ������� !����� �����$����%�� �� &�#������ ����� ��� ����� !����� �����$

���#$�%#

�*+,-./-0 �1����1++-�23 4���5 120 �0�*� �2-36 �/2 ��1++-�23 4����5 ,17

�2 *�0 +/ 0+-��2 +, 81++�� ��+ /��*�12�6 /. 12+��/26 4��5 ���812+0 �2+/ ��8��/2

4��5 120 �+-1�20 ��8��/2 4���5 ./- �/2 2-3�� /. �� +/ ��� �.+- 12218�23 �2 +,

-123 9�������/ ./- 71-�/*� +���� $188 :�+ �1�*-�2+� ;- *�0 +/ �-/7�0 1

�1�*- /. +, �-�2+13 8�+-��18 1�+�7�+6� � �/��1-��/2 /. +, 81++�� ��+ /��*�12�6

;�+, +, �-�2+13 8�+-��18 1�+�7�+6 ;1� *�0 +/ �/2<-� ;,+,- +, 1��*��+�/2 +,1+

+, $188 ��1++-�23 .1�+/- �� =*18 +/ *2�+6 �� 718�0� (*- -�*8+� 0�/2�+-1+ +,1+ ./-

�� ���812+� +, 8�+-��18 1�+�71+�/2 �� 1�/*+ >�?� �2 +, �1� /. �� ���812+� +,

8�+-��18 1�+�71+�/2 �� 8/;- 120 �2 +, -123 ���@�?� 0�20�23 /2 +, �/2 A*2� 120

12218�23 �/20�+�/2�� �,�� -0*�+�/2 �2 1�+�71+�/2 ./- 8/;- 2-36 ���812+� �� 1 -�*8+ /.

�21�+�7 �� �8/� +/ +, ����/20*�+/-B21+�7�/��0 �2+-.1�� /- 1�/7 �/2�2+-1+�/2� /.

������������ �2��8 �+-1�2 .1��8�+1+� +, 81++�� ��+ /��*�12�6 120 8�+-��18 1�+�71+�/2

/. �� �2 �� �6 -1���23 +, 0/��23 ��8�23� C/- �/+, �� 120 �� ���812+�� ; ,17

�1--�0 /*+ 1 �/��1-��/2 /. ���B���� 120 $188 :�+ 01+1 +/ �,/; +,1+ ./- ��

���812+� �2+/ �/+, �*8 �� 120 �+-1�20 �� +, $188 ��1++-�23 .1�+/- �� =*18 +/ *2�+6

;�+,�2 ��-��2+18 --/-�

&��'�!�( �*+,-./-0 �1���1++-�23D �0�*� �2-36 �/2 ��1++-�23D $188

��1++-�23 .1�+/-D $188 :�+D -1��0 +,-�18 12218�23D 12+��/26D

�*8 ��8��/2D �+-1�20 ��8��/2�

'((����� ��)��*�� +��* ,������� �� ��� - �����$� ���� .���� � ���� ,������ ��$ +��*� ��� ,���� �����

Page 2: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

�)#$*+,%#�*)

# ,17 �2 �+*06�23 �� ���812+� �2+/ �� ./- �/� +�� +/ 1��-+1�2 �. �*�,

���812+� ��3,+ � *�0 +/ -�81� 1-�2�� 4��5 1� +, �1�2 2�+6� 0/�12+ �2 +,

�-/0*�+�/2 /. �2+3-1+0 ��-�*�+�� �1-+��*81-86 +,/� �1�0 /2 �(� 07����

# ,17 �*�8��,0 �126 /. /*- <20�23� 4�8E12� �� ������ D �186 �� ������9D

�8E12� �� ��� ���9D �22++ �� ��� ���9D �22++ �� ��� ���@4�5D �22++ �� ���

���@4�5D (F��886 �� ��� ���@D �22++ �� ��� ���@4 5D �8E12� �� ��� ���>D �1� ��

��� ���>5 /2 ���812+� ;�+, �/2 2-3�� -123�23 .-/� �� *� +/ �� 120

A*2�� �+;2 ��� ���� 120 ���� ����� +6���18 /. ���812+� *�0 �2 +,

�12*.1�+*- /. �/0-2 �(� 07���� �2 +,�� �1�- ; ;�88 �*��1-�� /*-

-�*8+� /. �*+,-./-0 �1����1++-�23 4���5 12186�� /. +,� �1+-�18�� 120

18�/ �-�2+ �0�*� �2-36 �/2 ��1++-�23 4����5 01+1 ;,��, 0�/2�+-1+ 1

�*�, ���-/70 �2��+�7�+6 +/ 0�+, +,12 ��� 0/�� # ;�88 -81+ +, �+-*�+*-18

01+1 �*�, 1� 81++�� ��+ 8/�1+�/2 +/ 8�+-��18 01+1 .-/� $188 :�+ 120 �,+

-���+12� �1�*-�2+� �2 /-0- +/ =*12+�.6 +, �132�+*0 /. +, $188

��1++-�23 .1�+/-� 1 2���1-6 �/2��0-1+�/2 ;,2 �1�23 $188 �1�*-�2+��

�, ��2+�18 �-�2� /. 1 �132+�� <80 �2 /-0- +/ �1 1 $188 �1�*-�2+

�12 �-/7/ 71-6�23 03-� /. �1--�- ��1++-�23 +,1+ 0��+/-+ +, �1�*-0

�1--�- �/2�2+-1+�/2 120 $188 �/��8�+6� -=*�-�23 1 �/--�+�/2 .1�+/-� �, $188

��1++-�23 .1�+/- 4�5 1:�+� +, �,+ �1--�- 02��+6 4+ 5 120 �/20*�+�7�+6

�/��8�+6 4��5 1��/-0�23 +/

+ ��

���/ ���

�� ��/

�����

�/

����

;,- �/ �� +, �,+ $188 �/G��2+� �� �� �,+ -���+�7�+6� �/ �� $188 �/��8�+6

120 � �� +, �,1-3 /. 12 8�+-/2 4/- 1 ,/85 H$188 �� ����>��I� #,�8 � ��

�1+,�1+��1886 ����8 +/ 1��86� �+ �� ,/;7- 0�G�*8+ +/ 1++1�2 12186+��1886

��1*� /. +, �/��8��1+0 ��1++-�23 ��,12���� �27/870 120 0�:-2��

0�20�23 /2 0/�12+ ����� 4�/-+/2 �� ��� �>J�5� �2 1000 �/��8��1+�/2

��/�� 1��1-2+ ;,2 ; �/��1- $188 �1�*-�2+� /2 0/�0 �� �*��+-1+�

;�+, +,/� /2 0/�0 �+-1�20 ��8��/2� ;,- +, $188 ��1++-�23 .1�+/- ��3,+ �

1:�+0 �6 �+-1�2 �/�12/ �� �� 4����5�

-./-$��-)#�0�-#�*+

���812+� �2+/ �*8 4���5 ��+6� ��8��/2 ;1.-� 120 �/��-��1886 171�81�8

�+-1�20 ��8��/2 ;1.-�� �J��2� +,�� 3-/;2 /2 ����@�"���J -81�0 �*:- 816-��

'(0 #�� ,��$ ����� � ��� /��� ��������� 1����� &�� ���$��� �� ����$��� #$������� ,��* ��� �������� �������

Page 3: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

;- �1--�0 /*+ 1+ -//� +��-1+*- ;�+, 1 J/ +�8+ 120 ��/ -/+1+�/2� ).�+�.-

3-/;+, /2 -81�0 �*:- 816-� �/2+1�2�23 �J? " �2 +, ��" �-1+� 1 �+-1�2

/.�

��J? �2 +, /7-86�23 ��8��/2 816-� �+-1�20 816-� ;- 3-/;2 �8/; �-�+��18

+,��2�� 4�1++,;� �� ��� �>J 5 +/ 2�*- +,1+ +, 816-� 0�0 2/+ -81� *�/2

+,-�18 +-1+�2+� �,�� ;1� �/2<-�0 �6 �/�+�12218�23 K�-16 0�:-1�+�/2

�1�*-�2+� 4�22++ �� ��� ���@4 55��, 12+��/26 ;1� ���812+0 1+ ���

�� 120 �� +/ A*2�� �2 +, -123 ����� +/ ������ ����� �.+-

���812+1+�/2 +, ;1.-� ;- �*+ �2+/ ��188 ���� 120 1�+�71+0 *��23 1 '-/���

'-/0*�+� /-�/-1+�/2 ��' �6�+� �2 +, +��-1+*- -123 .-/� 9��/ +/

����L ./- +��� �+;2 � ��/20� 120 �9�� ��/20� �2 A/;�23 2�+-/32 31��

$/;7-� +, �1M/-�+6 /. �1��8� ;- 122180 ./- ��� 1� 8/23- 12218�23

+��� �-/0*�0 8�++8 0�:-2� �2 8�+-��18 1�+�7�+6 /- �,+ -���+12��

�2218�23 1�/7 @��/ 188/;0 +, 12+��/26 +/ �2�0�:*��

�1��8� ;- 12186�0 �/+, �./- 120 1.+- 12218�23 *��23 �*+,-./-0

�1���1++-�23 4���5 120 �0�*� �2-36 �/2 ��1++-�23 4����5� �, ��� 120

�,12288�23 �1�*-�2+� ��8/60 1 ���9 �� $N �1� ;�+, 1 0+�+/- 1+

1 ��1++-�23 1238 /. � J/� )�+, �-/<8� ;- �+-1�+0 .-/� 2/2�18�320

���+-1 ;�+, +, )1+1C*-21� <++�23 �/0 4%62� �� �������5� ���� ;1�

�-./-�0 1+ +, )1-��*-6 �1�/-1+/-6 *��23 +, 0/*�8 18�32�2+ �/0 ;�+,

+, H�O �O �O I 1� +, �,1228�23 0�-�+�/2� +, �2��02+ 1238 ;1� � �J/ H���I 120 +,

��1++-�23 1238 ;1� J���/� �, 12186E�23 �1� ;1� ���� $N �/2� 120 +,

�8/��23 0�-�+�/2 ;1� H���I ;,��, ./-�0 +, ��+ �/��-/��� �+;2 ,�3,

0�+, -�/8*+�/2 120 �*G��2+ �1�� ��1-1+�/2� �, ./-�- -=*�-� �1����E�23

+, �1+, 823+,� /. +, $N �/2� �2 +, �1��8 �/ +,1+ �281�+�� 2-36 8/�� �-

*2�+ 0�+, �2��0 +, ��8��/2 �� 1� 3-1+ 1� �/����8� ;,�8�+ +, 81++- 0�120�

�1�2+1�2�23 1 �*G��2+ 2-36 0�:-2� �+;2 +, �� 120 ( 120 �� 120 ��

�1� �2 +, ���+-1� -���+�786� �*�, +,1+ +, /7-81� �+;2 0�- 86�23 ��

01�13 �1� 120 +, ( �1 /- 0�- �� 120 �� �� 17/�00� 1� -�/-+0

�-7�/*�86 4 /881-+ �� ��� ����5� ��� 120 ���� �2 �/2M*2�+�/2 ;�+, �,1228�23

,17 �2 *�0 +/ 0+-��2 +, �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 /. +, 12+��/26 ���812+

1.+- 12218�23� +/ �1�*- +, -+1�20 A*2� 120 +/ �/2�+/- 3-/�� 0�:*��/2

0*-�23 12218�23��,+ $188 :�+ �1�*-�2+� ;- �-./-�0 /2 �12 0-

'1*; �8/7-81.��,1�0 �1��8� +/ 0+-��2 +, 1�+�7 �1--�- 02��+6�

8/7-81. �1++-2� ;- .1�-��1+0 *��23 8�+,/3-1�,�� �1++-2�23 120 ��1 +�,

*��23 1 ,60-/A*/-��B2�+-�� 1��0� ��/201-6 �/2 �1�� ���+-/��/�6 4����5 ;1�

*�0 +/ 0+-��2 12+��/26 1+/��� �-/<8� �/+, �./- 120 1.+- 12218�23�

�, �1�*-�2+� ;- �1--�0 /*+ *��23 1 ��� � ��� 9C ;�+, 1 �-��1-6

�1� 2-36 /. J��� (�N ./- � � �� 12+��/26� ;,�8�+ ./- +, ��

12+��/26 1 ���� �N �1� ;1� *�0 ./- +, 12186���� �, 8/;- �-��1-6 �1�

2-36 ;1� �,/�2 +/ 2�*- +,1+ ���� 3�7� -8�1�8 �-/<8 �,1� 120 0/� �2

+, 21-��*-.1� -3�/2� 4�/*2+ �� ���� �>>@5� �, ;/- /. 4�68120�+0��1-�2

'(2����� ��)��*�� +��* ,������� �� ��� - �����$� ���� .���� � ���� ,������ ��$ +��*� ��� ,���� �����

Page 4: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

�� ����>@95,1� �,/;2 +,1+ ��� �1�*-�2+� �12 3�7 12 /7-��+��1+0

�*��+�+*+�/218 �� .-1�+�/2 ./- 0/��23 �-/<8� ;�+, �� �/2�2+-1+�/2� �2 ���� /.

������������ ��2� 1�/7 +,�� +,-�,/80 �� +20� +/ �8*�+- ;�+, 71�12���� /-

./-� �-����+1+� 1+ 871+0 +��-1+*-�� �� �/2+1�20 �2 ���71�12�6

�/��8�� /��*��� 21-��*��+�+*+�/218 81++�� ��+� 120 1��1-� 1� �*��+�+*+�/218

�� �2 �,12288�23 ��-��2+�� $/;7-� +, �� 1+/�� 0/ 2/+ �/2+-��*+

8�+-��1886� �2 /-0- +/ �02+�.6 +, :�+� /. �� �/��8��� +,� ��-��2+�

;- 0��320 ;�+, 1 -123 /. �1���*� �� �/2�2+-1+�/2� +,1+ ;-

0+-��20 �6 ���� 4C�3*- �5�

0 5 10 15 20 25 30 35

1020

1021

1x1014cm-2

2x1014cm-2

4x1014cm-2

1x1015cm-2

4x1014cm-2

1x1014cm-2

2x1014cm-2

4x1014cm-2

40keV5keV2keV

1x1015cm-2

Sb p

eak

conc

entr

atio

n (c

m-3)

Depth (nm)

���� �� �� �1 �/2�2+-1+�/2 1� 1 .*2�+�/2 /. �1 0�+, ./- +, .*88 -123 /. �� ���812+� *�0 �2

+,�� �+*06� �--/;� 1+ +, +/� �20��1+ �/2 2-36� �� A*2� �� �1-0 2�+ +/ 1�, �/�2+� )1+1

�/�2+� 1- �+-1�+0 .-/� ���� �1�*-�2+��

$-�,0#�

C�3*- � �*��-��� +, ���� 01+1 ./- �/2 2-3�� /. � �� � � 120 � ��

�*��=*2+86 ; �,/� �1��8� ���812+0 1+ � � 120 � � +/ �-./-� 1

0+1�80 �+*06� 1��*��23 +, -�*8+� ./- � � ;/*80 � �/�;,- �+;2

+,� +;/ �+-�� /. �/2 2-36��,*�� �2 +,�� ��+�/2 +, -�*8+� ./- � �

���812+� 1- �-�2+0 <-�+� ./88/;0 �6 1 �/- 0+1�80 12186��� /. � �

'(3 #�� ,��$ ����� � ��� /��� ��������� 1����� &�� ���$��� �� ����$��� #$������� ,��* ��� �������� �������

Page 5: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

���812+�� �1�8 � �,/;� +,1+ ./- �"��� ���812+� �2 �*8 ��� +, �*��+�+*+�/218

.-1�+�/2 �1�*-0 �6 ��� �� ,�3,- 421-86 ���?5 ./- 12218�23 +��-1+*-�

1+ 120 �8/; >��/ �*+ 0�-1�� ;�+, �2�-1��23 12218�23 +��-1+*-� �,

�/*2+�23 �+1+��+��� *2�-+1�2+6 /. +, �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 �� 1�/*+ �? 120

+,- �� 2/ ��32�<�12+ 0�:-2� �2 +, �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 ./- 12218�23

+��-1+*-� �8/; >��/ � � ����81- +-20 �� �2 ./- +, 8�+-��18 .-1�+�/2

�1�*-0 *��23 +, $188 :�+� ;,- +, --/- �2 +, $188 1�+�71+�/2 ��

1��-/���1+86 �?� /2�=*2+86 +, 8�+-��18 1�+�71+�/2 120 +, �*��+�+*+�/218

.-1�+�/2 1- =*18 ;�+,�2 ��-��2+18 --/- ./- 12218�23 +��-1+*-� /.

����� 120 �8/;�

�, �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 �� ,�3,- +,12 +, 8�+-��18 1�+�71+�/2 1.+-

12218�23 1+ ����� ;,��, �*33�+� +,1+ �/� 12+��/26 1+/�� 1- /2 81++��

��+� �*+ 2/+ 8�+-��1886 1�+�7� �/�+ �-/�1�86 +,6 1- �2 +, ./-� /. �/��8��

;�+, 2�3,�/*-�23 71�12��� 4�68120�+0��1-�2 �� ����>@95� �, .1�+ +,1+ +,

�*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 120 +, 8�+-��18 1�+�7�+6 1- =*18 �2 +, �1� /. �2+-�+

� ;,- ; ,17 +, ,�3,�+ 8�+-��18 1�+�71+�/2 � �� �2 1��/-0 ;�+, /*-

1��*��+�/2 +,1+ +, $188 ��1++-�23 .1�+/- �� *2�+6� 1+ 81�+ ./- +,�� �/2�2+-1+�/2

/. 12+��/26 1+/�� ���812+0 �2+/ 4���5 ��8��/2 1+ -//� +��-1+*-�

#1�� �� �7-13 718*� /7- ;1.- /. �8�+-��18 1�+�71+�/2 4$1885 120 �*��+�+*+�/218

.-1�+�/2 4���5 ./- � � �� �2 ��8��/2 1� 1 .*2�+�/2 /. 12218�23 +��-1+*- ./- ���

12218� 120 ./- 1 2/��218 A*2�� /. ���� �����

�������� ��� ���� �%�

��1���������� ������ �1

�2��3 2�

-������� ���4����

�2��352�

J�� > >�

@�� >� @@

>�� >� @@

���� @� @�

���� J� 9�

�)��� 6����� ��� $�� �� � �� ����! �! �� �����! �� ��� �� 5�7 89���5:���� ��� �

��+ ; +*-2 /*- 1++2+�/2 +/ +, 4��5 ���812+� ./- ;,��, 188 -�*8+� 1-

3�72�2 �1�8 ��� $/;7- ; 0�0 �1--6 /*+ �/� �-8���21-6 �1�*-�2+� 1+ 1

A*2� /. ������ ���� �./- �+*06�23 +, 8/;- A*2�� �2 0+1�8� C/- 1 2/��218

A*2� /. ���� ����� +, -+1�20 A*2� ./- �1��8� 122180 1+ 9���@��/ �

*��23 �/+, ���� 120 ���� ;- ./*20 +/ � @�� ���� ���� 120 @������ ����

-���+�786� �,�� -�*8+ 0�/2�+-1+� +,1+ �+ �� ���/-+12+ +/ �,� +, -+1�20

A*2� �2 188 ���812+� �2 /-0- +/ 32-1+ 12 1��*-1+ 718* ./- +, 8�+-��18

1�+�71+�/2� C/- +,�� ,�3, A*2�� +, �,+ �1--�- �/2�2+-1+�/2 �,/;0 +,1+

/286 ��? /. +, -+1�20 A*2� ;1� 8�+-��1886 1�+�71+0 �2 �*8 ��� ��1*�

'(4����� ��)��*�� +��* ,������� �� ��� - �����$� ���� .���� � ���� ,������ ��$ +��*� ��� ,���� �����

Page 6: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

��� ��/�� �2�2��+�7 �*�, �8/; 1 A*2� /. ������������� ; �-./-�0

���� 12186��� 120 ./*20 +,1+ ./- A*2�� /. ����� ����� ����� ���� 120

���� ����� +, -+1�20 A*2� ;1� 131�2 1�/*+ @�? /. +, 2/��218 ���812+0

A*2�� �, 0/� 8/�� �� �*���+0 +/ -�*8+ .-/� +, �-/����+6 /. +, �� ���812+

+/ +, �� �*-.1�� ��� /. �� ���812+� 1+ 1 A*2� /. ���� ���� �,/;0

�*�, 8�� 7�02� /. �3-31+�/2 +/;1-0� +, �*-.1� 120 1 �*�80 *� /. �� �2

�2+-�+�+�18 �/��+�/2� ./88/;�23 12218�23 1+ ���� / 120 ���� / ./- ���

4�8E12� �� ��� ��� 5� �, 1�+�7 .-1�+�/2 ./- �� ���812+� 1+ �/2 A*2� /.

����� ���� 120 ����� ���� �� 1-/*20 @�? ./- �/+, ���� 120 $188

�1�*-�2+� 120 ./- 12218�23 1+ +��-1+*-� /. 9��� J�� /- @��/ ./- ����

�,�� �� +-* ./- ���812+� �2 �/+, �*8 �� 120 ���� �+ +, ,�3,- 12218�23

+��-1+*- /. >��/ �� 01�+�71+�/2 /��*-� �/--��/2�23 +/ 1 8/;-

+��-1+*- +,12 ;1� 7�02+ ./- �� �� ���812+� �/��1-�23 �1�8 � 120

�1�8 ��� �,�� 0�:-2� �� �-/�1�86 -81+0 +/ ,17�23 1 ,�3,- �1 ��

�/2�2+-1+�/2 �2 +, �� ��-��2+� 4� C�3*- �5� #/- �6 4�11�*-1 ��

��� ��� 5 �88*�+-1+� +,�� �/2�2+-1+�/2�+��-1+*- 0�202+ 01�+�71+�/2

�1-+��*81-86 ;88� ;,-�6 01�+�71+�/2 /��*-� 1+ 8/;- +��-1+*-� ;,2 +,

�� �1���*� �/2�2+-1+�/2 �� �2�-1�0 4�11�*-1 �� �� ��� 5�

#1�� ��� �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 4����5 120 �8�+-��18 1�+�71+�/2 4$1885 1� 1 .*2�+�/2 /.

12218�23 +��-1+*-� A*2� 120 �*��+-1+ ./- �� �� ���812+� 122180 ./- ����

��1����

�������

���� �

����� ��� ����

��%�

��1����������

������ �1

�2��3 2�

-������� ���4����

�2��352�

�*8 ����� 9�� J> @�

�*8 ����� J�� @� J@

�*8 ����� @�� JJ J�

�*8 ����� >�� 99 9�

�*8 ����� J�� 9 9�

�*8 ���� ������812+0 @ �

�*8 ���� 9�� �9 ��

�*8 ���� J�� 9J ��

�*8 ���� @�� J� �>

�*8 ���� ���� �� �

��� ����� J�� JJ J@

��� ����� J�� @� @

C�3*- � �,/;� ���� 415 -120/� 120 4�5 �,12280 ���+-1 /. ��

12+��/26 1� 1 .*2�+�/2 /. 12218�23 +��-1+*-� �2 C�3*- �415� ./- 1 A*2� /.

'(5 #�� ,��$ ����� � ��� /��� ��������� 1����� &�� ���$��� �� ����$��� #$������� ,��* ��� �������� �������

Page 7: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

���� ����� +,- �� �/� ��188 �/7�2+ /. +, 12+��/26 +/;1-0� +, �*-.1�

72 1+ J��/ �*+ 2/ �2�0�:*��/2� �, �,17�/*- �� ����81- 1+ @��/ 120 1� +,

+��-1+*- �� �2�-1�0 +, :�+ ��/�� �/- �-/2/*2�0� ;,��, �*33�+�

+,1+ +, 12+��/26 �3-31+� +/;1-0� +, �*-.1�� �-,1�� 1� 1 -�*8+ /.

/��01+�/2 /- .-/� 1 F�2/;��8/*3,F :�+ 0*-�23 �/8�0��,1� ��+1��18 -3-/;+,�

/��1-�23 18�320 ���+-1 415� ;�+, �,12280 ���+-1 4�5� �,/;� +,1+ 1+

+��-1+*-� /. J��/ 120 1�/7 +,- �� 1 �1 �2 +, 2/2��*��+�+*+�/218

.-1�+�/2 �8/� +/ +, �*-.1�� �,*�� 12+��/26 �/7� +/;1-0� +, �*-.1� ;,- �+

�-/�1�86 ./-�� �-����+1+� 120 ��/�� 8�+-��1886 �21�+�7� �, �*��+�+*+�/218

.-1�+�/2 �,/;2 �2 �1�8 �� �� 1 �1���*� /. 1�/*+ J�? 1+ J��� 120 @��� �

18+,/*3, +, 8�+-��18 1�+�71+�/2 �� �*�, 8/;- 1+ +,� +;/ +��-1+*-�� (286

1+ 9��� 0/� +, �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 =*1+ +/ +, 8�+-��18 1�+�71+�/2� C/-

+,�� ,�3,- A*2� �+ ��� +,1+ +, ���� /7-��+��1+� +, �*��+�+*+�/218

.-1�+�/2� �+ �� 8�86 +,�� /��*-� ��1*� +, �1M/-�+6 /. +, ���812+0 �� ��

�/2+1�20 �2 �/2�2+-1+�/2� �2 ���� /. ����������� �2 +, ./-� /. �8*�+-� 120

�-����+1+�� �� �/2+1�20 �2 +,� �/��8�� /��*��� 21-��*��+�+*+�/218 81++��

��+� 120 1��1-� 1� �*��+�+*+�/218 �� �2 �,12288�23 ��-��2+� 72 +,/*3, �+

0/� 2/+ �/2+-��*+ 8�+-��1886 4�68120�+0��1-�2 �� ����>@95�

500 400 300 200 100 0

(a) MEIS Random Spectra of Sb-2keV, RTA-10s

Inte

nsity

(A.U

.)

Channel (A.U.)

As-Implanted T=6000C T=7000C T=8000C T=11000C

500 400 300 200 100 0

(b) MEIS Channeled Spectra of Sb-2keV, RTA-10s

As-Implanted T=6000C T=7000C T=8000C T=11000C

Inte

nsity

(A.U

.)

Channel (A.U.)

���� ����� 415 -120/� 120 4�5 �,12280 ���+-1 /. �� 12+��/26 1� 1 .*2�+�/2 /. 12218�23

+��-1+*- ./- �*8 �� 120 1 A*2� /. ���� �����

�2 C�3*- � ���� 01+1 �� �-�2+0 ./- ��� ����� ���� �� ���812+� �2 ��

120 ���� -���+�786� �2 +,� �8/+� 1��-/���1+86 ��? /. +, ���812+0 �� ��

8/�1+0 �2 2/2��*��+�+*+�/218� 8�+-��1886 �21�+�7 ��+�� 21- +, �1��8 �*-.1��

�*��+�+*+�/218 120 8�+-��18 .-1�+�/2� .-/� +,� ���+-1 1- 18�/ �-�2+0 �2

�1�8 ��� �2 +,�� �1� +, �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 �1�*-0 �6 ���� �� �2 3//0

13-�2+ ;�+, +, 8�+-��18 .-1�+�/2 �1�*-0 *��23 +, $188 :�+� C/- +,��

A*2�� +, �� �1 �� 1+ P����������� ��� +, ���� -�*8+ �� 2/+ ��32�<�12+86

'(6����� ��)��*�� +��* ,������� �� ��� - �����$� ���� .���� � ���� ,������ ��$ +��*� ��� ,���� �����

Page 8: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

0��+/-+0 �6 �� �/��8��� �, 3//0 13-�2+ �+;2 ���� 120 $188

�1�*-�2+� ./- �/+, ������812+0 �� 120 ��� �*33�+� +,1+ +, $188 ��1++-�23

.1�+/- �� �8/� +/ *2�+6 �2 �/+, �*��+-1+�� (2 �/�2+ /. 2/+ �� +,1+ ./- +,�� ��

A*2� +, �*��+�+*+�/218 120 8�+-��18 �� .-1�+�/2 ./- �� 120 ��� ��/� 8��

����81-� C/- 1 A*2� /. ����� ���� +, �� .-1�+�/2� ;- P@�? �2 �/+, �� 120

���� C/- 1 A*2� /. ����� ���� +, 8�+-��18 120 �*��+�+*+�/218 .-1�+�/2 -�1�2�

1+ P@�? �2 �+-1�20 ��� �*+ �� -0*�0 +/ P9�? �2 �*8 ��� �,�� �*��/-+� /*-

�-7�/*� 8�+-��18 01+1 �*33�+�23 �� ,1� 1 ,�3,- 1�+�7 �/8*��8�+6 �2 ��� +,12 �2

�� 4�22++ �� ��� ���@4 55� �� ;88 1� +, 21- �*-.1� �21�+�7 �� �2 �/+,

�1��8�� ;,��, 1��/*2+� ./- P��? /. +, A*2�� �/- �� �� �21�+�7 1+ /-

1-/*20 +, �1 /. +, �-/<8 �2 +, �� �1��8� �*33�+�23 +, �/8*��8�+6 8���+ ��

8/;- �2 +, �*8 �� �1�� �,�� <20�23 �� ��81�20 �6 1 �+-1�2��/��2�1+�/2

1-3*�2+ ;,-�6 +2��8 81++�� �+-1�2 2�/*-13� +, �2�/-�/-1+�/2 /. 81-3 ��

1+/�� �2 +, ,/�+ 81++�� 4�,2 �� ��� ���>5�

0 100 200 300 400

Aligned spectra Random spectra

�������������

�����������

SurfaceBulk

���� 5� �120/� 120 18�320 ���� ���+-1 ./- �� �2 4��� ����� ����5 �*8 ��8��/2 �1��8�

122180 1+ J��/ ./- ����

'(7 #�� ,��$ ����� � ��� /��� ��������� 1����� &�� ���$��� �� ����$��� #$������� ,��* ��� �������� �������

Page 9: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

0 100 200 300 400

Aligned spectra Random spectra

�������������

�����������

����������

���� 51� �120/� 120 18�320 ���� ���+-1 ./- �� �2 4��� ����� ����5 �+-1�20 ��8��/2 �1��8�

122180 1+ J��/ ./- ����

%*)%0,��*)�

�*+,-./-0 �1����1++-�23 120 �0�*� �2-36 �/2 ��1++-�23 ,17 �2 *�0

+/ 0+-��2 +, 81++�� ��+ /��*�12�6 /. 12+��/26 ���812+0 �2+/ ��8��/2 120

�+-1�20 ��8��/2 ./- �/2 2-3�� /. �� 120 ��� �.+- 12218�23 �2 +, -123

9�������� ./- 71-�/*� +���� $188 :�+ �1�*-�2+� ;- *�0 +/ �-/7�0 1

�1�*- /. +, �-�2+13 8�+-��18 1�+�7�+6� � �/��1-��/2 /. +, 81++�� ��+

/��*�12�6 ;�+, +, �-�2+13 8�+-��18 1�+�7�+6 ;1� *�0 +/ �/2<-� +,

1��*��+�/2 +,1+ +, $188 ��1++-�23 .1�+/- �� =*18 +/ *2�+6� (*- -�*8+�

0�/2�+-1+ +,1+ ./- �� ���812+� +, 8�+-��18 1�+�71+�/2 �� 1�/*+ >�?� �2

+, �1� /. �� ���812+� +, 8�+-��18 1�+�71+�/2 �� 8/;- 120 �2 +, -123 ���

@�?� 0�20�23 /2 +, A*2� 120 12218�23 �/20�+�/2�� �,�� -0*�+�/2 �2

1�+�71+�/2 ./- 8/;- 2-36 ���812+� �� 1 -�*8+ /. �21�+�7 �� �8/� +/ +,

����/20*�+/-B21+�7�/��0 �2+-.1�� /- 1�/7 1 �/2�2+-1+�/2 /. ������������

�2��8 �+-1�2 .1��8�+1+� +, 81++�� ��+ /��*�12�6 120 8�+-��18 1�+�71+�/2 /. ��

�2 �� �6 -1���23 +, 0/��23 *��- 8���+� C/- 0/��23 �-/<8� ;�+, �1

�/2�2+-1+�/2� �2 ���� /. +, 0/��23 ��8�23 /2 �,/*80 �-��� �1*+�/2 ;,2

*��23 �,1228�23 +/ 8// 1+ �*��+�+*+�/218 ��� �� 1��1-�23 /2 �*��+�+*+�/218

��+� �2 �,1228�23 ��-��2+� ��3,+ 2/+ �/2+-��*+ 8�+-��1886� C/- ��

���812+�� ; ,17 �1--�0 /*+ 1 �/��1-��/2 /. ���� 120 $188 :�+ 01+1 +/

�,/; +,1+ ./- �� ���812+� �2+/ �/+, �*8 �� 120 �+-1�20 �� 816-� +, $188

��1++-�23 .1�+/- �� =*18 +/ *2�+6 ;�+,�2 ��-��2+18 --/-�

'08����� ��)��*�� +��* ,������� �� ��� - �����$� ���� .���� � ���� ,������ ��$ +��*� ��� ,���� �����

Page 10: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

�%&)*;0-+<-�-)#�

�, 1*+,/-� +,12 +, �*;1�+ "/7-2�2+� +,�� ;/- ,1� �2 �*��/-+0 �6 +,

'*�8�� �*+,/-�+6 /. ���8�0 �0*�1+�/2 120 �-1�2�23 4'����5 /. +, �+1+ /.

�*;1�+ 43-12+ ����>���5Q43-12+ �������@5� # 18�/ +,12 +, !2�7-��+6 /.

�*--6 �/2 �1� 2+- 120 +, !2�+0 ��230/� 4!�5 �23�2-�23 120 ',6���18

���2�� ��1-�, /*2��8 4�'�� 5 ./- <212��18 �*��/-+ /. +,�� �-/M�+�

$-�-$-)%-�

���= %� �������= )��� +���� �� #�> %�'��= )�-��� ��7� �+-�� :�+� /2 ���*-�+6 �/8*��8�+6 �2

�-6�+188�2 �1+-�18�R � 32-18 �/08 120 02��+6�.*2�+�/218 �18�*81+�/2� ./- 0/�12+� �2 ��8��/2�

',6���18 �7�; � ?7R �J������J��� �

��@�"�= #� �����2+��/26 ���812+� ./- *8+-1��,188/; M*2�+�/2� �2 ��8��/2��',) �,����!2�7-��+6

/. �*--6� !2�+0 ��230/� 4!�5�

��@�"�= #�<'�����= $� -�����= )� �����= �� ;�11= $�> ����= �� A� ��B��8�+-��18 �-/<8� /.

��2� M*2�+�/2� �2 �� ���812+0 ��8��/2� �*�81- �2�+-*�2+� 120 �+,/0� �2 ',6���� ��1-�,

� � R 9>��9>��

��@�"�= #� <'�����= $� -�����= )� > ����= �� A� ��7��/; 2-36 12+��/26 ���812+1+�/2 �2 ��

+6� ��8��/2 ./- *8+-1��,188/; M*2�+�/2 ./-�1+�/2� �*;1�+ %/*-218 /. ���2� 120 �23�2-�23�

5B � ��R��J�����

�22++� ����� /;-2� �� ���+,� ���";�88�1�� �� �186� �� %�� (F��886� �� ���1886� '�%� //�

"� Q�,6-120��,� $� ���9� $�3,86 �/20*�+�7 ���0/�0 816-� �2 �+-1�20 ��� ���8�0 ',6����

8++-� C7R �@�����

�������= )���= �����= ��A�=<'�����= $���= ;�11= $�/�= ����= ��A�= %�'��= )�-���= *D$�����=0�= >

��)���= /�A� ��C���� �2+��/26 ./- 2�+6� �+18 /��0 ����/20*�+/- *8+-1�,188/; M*2�+�/2�

�2 �+-1�20 ��R 1 �*�-�/- 0/�12+ +/ 1-�2��S� %/*-218 /. �1�**� ���2� 120 ��,2/8/36� BR

�>���>��

�������= )��� $!����= �� ���= %� �����= �� <'�����= $= %�'��= )= >����= ��A� ��C����

�2,12�0 2�+6� 0/�12+ �/8*��8�+6 �2 +2��8��+-1�20 ��� �,�2 �/8�0 C�8�� E�?R ������� �������=

)��� ��C�%�� !8+-1�,188/; %*2�+�/2� ./- �+-1�2��23�2-0 ��(� )7����',)

�,����!2�7-��+6 /. �*--6� !2�+0 ��230/� 4!�5�

%����= -� &�"'��!= +���!�4���= ;���F�= ���� !�� ���=A� ��;���= ��>)�"��=

#�%�G� �� � ,1-1�+-��1+�/2 /. 8/; �2-36 �2+��/26 4��� "�5 ���812+1+�/2 �2+/ ��8��/2�

'-/�0�23 /. ���� �2+-21+�/218� /2.-2� �/2 ���812+ +�,2/8/36R � J�����

���= -� ���7 E� �1�*-�2+ /. +, C/*- �132+�� �-12�7-� �:�+�� ',6���18 �7�; B�B�(

@���@ ��

A�����=%��!�= )� /� �����== /� &� ���!����= <� A��"��= �� ;��!��= -�> ;�11= $� ��5�

�8�2+18 +,�2 <8� 0�+, �-/<8� �6 �/2 �1� 12186��� *��23 ���*81+0 12218�23 � 1 2; +//8�

%/*-218 /. ',6���� +R ���8�0 ',6���� 5B( �>J�

0�= H� �������= )��� ���= %� %�'��= )�-��� %�!��= )�><��= A� %� ��7� �-12��2+ 1�+�71+�/2

�/08 ./- 12+��/26 �2 -81�0 120 �+-1�20 ��8��/2� �/8�0��+1+ �8�+-/2���� E5����( ��J����J9�

�����'�= A� ;� >��"�����= �� - A� �7?�� ).�+� �2 ��+1��18 �*8+�816-� �R �� ���<+

0��8/�1+�/2��%/*-218 /. -6�+18 "-/;+,� ?( ��@�����

�����= <�$�= �����= ��/�= ���@��= %�A�= %��= ��&��= ����= %�;�= �77C� !8+-1��,188/; M*2�+�/2

�1�*-�2+�R � �7�; /. ���� ���-/1�,� ./- �22180 120 '-/���0 #1.-�� ��' /2.�

'-/�� ��7R J�J�J9��

'0' #�� ,��$ ����� � ��� /��� ��������� 1����� &�� ���$��� �� ����$��� #$������� ,��* ��� �������� �������

Page 11: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

)����= /� ������= #� >0�4������� �� �7?5����*-�+6 120 �1++�� ��1++-�23 '1-1�+-� 1�

)+-��20 .-/� $188 120 �/��8�+6 �2186��� �2 2��6� ��8��/2� ',6���18 �7�; �CR �9����9���

)���!���!�0���= ��/�!����= �� #� ;���= <� <�����= $� $�@@���= $� >��������= �� �7CB��,

21+*- /. 8�+-��1886 �21�+�7 12+��/26 �2 ��8��/2� %/*-218 /. ���8�0 ',6����� E7�B�( �>�@��>�@�

*D$�����= 0� �������= )��� ��)���= /�A� ����= ��A�= %�'��= )�-��� 0�"����= �� #����= #� *�

��C� %/*-218 /. �1+-�18� ���2�R �1+-�18� �2 �8�+-/2��� �7R ������>�

$����= 0� ) ������= -� /�4���= �� ������= �� #���= �� ��1���= ��> <���!�= �� <� ��5�

1--�- �/2�2+-1+�/2 120 �/��8�+6 �2 � 0/�0 ���"�� �1+-�18� ���2� 120 �23�2-�23�

��� R >����

����= �� A� �����= �� ��@�"�= #� �������= )��� 0�� 0= A�����= %� %����1��� %= %����� -=

<'�����= -�����= )� > %�'��= )� ��B� �,188/; M*2�+�/2� �2 ��8��/2 7�1 8/; +,-�18 �*03+

�-/����23� �#%� �2+-21+�/218 #/-�,/� /2 %*2�+�/2 ��,2/8/36R ������

#"��= H� �����= �� �� ����= �� <�I�= /� �� /�����= A� +�> /���= A� +� ����)�:*� ��

-16 ��1++-�23 120 +-12������/2 8�+-/2 ���-/��/�6 �+*06 /. 0.�+� �2 12+��/26����812+0

��8��/2� %/*-218 /. ���8�0 ',6���� 7E�C�(�>9@��>JJ�

��������� � '898(9(8'0

����� � 869879(8'0

� ����� � 089'89(8'0

'0(#�� ,��$ ����� � ��� /��� ��������� 1����� &�� ���$��� �� ����$��� #$������� ,��* ��� �������� �������

Page 12: COnnecting REpositories · -./-0 1 1++-23 45 120 0* 2-36 /2 1++-23 45 ,17 2 * 0 +/ 0 +- 2 +, 81++ + / * 12 6 /. 12+ /26 45 812+ 0 2+/ 8 /2 45 120 +-12 0 8 /2 45 ./- /2 2-3 /. +/ .+

����������������������������� ������������������������������������������ ���

�������������������������������������������������������

���������������������������������������� ������������������������������������������������������������������� ��������������������������������������������� ������������������

�����������������������������������

�!�

������������������� ������� �!��������� �����������������������������"������#������������������!�������������������������������$�������%���������������������������������������������&�����������������������$�������������'������������� ��(��������������������������!���������������%�&���������"������#������������$���������������������&������$��������(����(��������������)�������&�������� ���������������*���

%�����������������*����������%���������� �+(�� %�������������%��(������'����� #����'��!�����������&���������

%��!���������������,������-��������������������.�������������� ����������� ��%������$����&��� ��������!"��������#�������&����������!������������,������ %�������������%�������%�&�������������� ������� ������������������#��%������������&��������������&������$��������(����(��� �������������!������������������$��/��(���������������

������� �� �� �� ����� ���� � � ��� �� ���� ��� �������