漢星科技股份有限公司漢星科技股份有限公司 EVERSTAR CORPORATIONEVERSTAR CORPORATION 台北縣汐止市台北縣汐止市22101 22101 新台五路新台五路11段段8181號號1010樓之樓之55

TEL : 02TEL : 02--26982698--1236 FAX : 021236 FAX : 02--26982698--12371237 EE--MAIL : eversta.co@msa.hinet.netMAIL : eversta.co@msa.hinet.net

VOC Abatement SystemVOC Abatement System茂德科技股份有限公司茂德科技股份有限公司

重慶重慶

專案專案

公公 司司 簡簡 介介

‧‧經營理念經營理念

本公司成員均具有專業技術的背景，秉持著誠信與嚴謹的態度本公司成員均具有專業技術的背景，秉持著誠信與嚴謹的態度

精神來提供客戶最好的服務。精神來提供客戶最好的服務。我們服務的對象遍及半導體業、電子業、化工業、醫院及飯店我們服務的對象遍及半導體業、電子業、化工業、醫院及飯店

等各行業，除了提供相關設備等各行業，除了提供相關設備，，也提供客戶舊有設備效率提升或改也提供客戶舊有設備效率提升或改善的規劃評估建議善的規劃評估建議，，以長期累積的專業技術與服務，贏得客戶的支以長期累積的專業技術與服務，贏得客戶的支

持與信賴，並以客戶的需求和權益為優先，而成為客戶長期的合作持與信賴，並以客戶的需求和權益為優先，而成為客戶長期的合作

夥伴關係，我們深信擁有用心的專業服務以及專業的技術背景，定夥伴關係，我們深信擁有用心的專業服務以及專業的技術背景，定

能使客戶更加滿意與成功，進一步達到彼此雙贏的結果。能使客戶更加滿意與成功，進一步達到彼此雙贏的結果。

核核 心心 事事 業業

•• 環保設備工程環保設備工程1.1.有機溶劑廢氣處理設備有機溶劑廢氣處理設備

VOC Abatement System VOC Abatement System ，，Thermal Thermal

OxidizerOxidizer，，Regenerative ThermalRegenerative Thermal

OxidizerOxidizer，，CatalyticCatalytic Thermals OxidizerThermals Oxidizer

2.2.焚化爐及廢熱回收系統焚化爐及廢熱回收系統

Incinerator & Heat Recover SystemIncinerator & Heat Recover System

3.3.生物濾床除臭系統生物濾床除臭系統

BioBio--Oxidizer SystemOxidizer System

4.4.酸鹼廢氣洗滌塔系統酸鹼廢氣洗滌塔系統

Wet Scrubber SystemWet Scrubber System

5.5.水處理設備系統水處理設備系統

6.6.設備維護保養設備維護保養

核核 心心 事事 業業

‧‧能源設備工程系統能源設備工程系統1.1.BurnhamBurnham 煙管式鍋爐煙管式鍋爐

2.2.BryanBryan 水管式鍋爐水管式鍋爐

3.3.SussmanSussman 電熱式鍋爐電熱式鍋爐

4.4.Vahterus Vahterus 板殼式熱交換器板殼式熱交換器

5.5.國產鍋爐、桶槽、鍋爐房週邊設備及配管工程。國產鍋爐、桶槽、鍋爐房週邊設備及配管工程。

6.6.設備維護保養設備維護保養

核核 心心 事事 業業

‧‧其他設備工程其他設備工程

1.1.熱交換器熱交換器

((殼管式殼管式))

2.2.壓力桶槽製作安裝壓力桶槽製作安裝

3.3.煙囪及採樣平台煙囪及採樣平台

實實 績績

‧‧

茂德科技茂德科技88吋吋&12&12吋廠吋廠

VOCVOC濃縮濃縮++ TOTO焚化處理系統焚化處理系統

44套套

‧‧

茂德科技中科茂德科技中科1212吋廠吋廠

VOCVOC濃縮濃縮++ RTORTO焚化處理系統焚化處理系統

22套套

106000CMH106000CMH

‧‧

力晶半導體力晶半導體1212吋廠吋廠

VOCVOC濃縮濃縮++ RTORTO焚化處理系統焚化處理系統

22套套

78000CMH78000CMH

‧‧

翔準先進光罩翔準先進光罩

VOCVOC濃縮濃縮++ COCO焚化處理系統焚化處理系統

22套套

‧‧

翔準先進光罩翔準先進光罩

VOCVOC活性碳吸附處理系統活性碳吸附處理系統

11套套

‧‧

華隆微電子華隆微電子

VOCVOC濃縮濃縮++ TOTO焚化處理系統焚化處理系統

11套套

‧‧

友達光電友達光電

VOCVOC濃縮濃縮

++ TOTO焚化處理系統焚化處理系統

11套套

‧‧

南亞塑膠南亞塑膠

VOC+ TOVOC+ TO焚化處理系統焚化處理系統

55套套

48000CMH48000CMH

‧‧

台塑石化台塑石化

VOC+ TOVOC+ TO焚化處理系統焚化處理系統

11套套

‧‧

茂德科技茂德科技

VOC +VOC + 廢熱回收處理系統廢熱回收處理系統

11套套

‧‧

力晶半導體力晶半導體

VOC+ TOVOC+ TO及熱交換器系統及熱交換器系統

11套套

‧‧

達信科技達信科技

VOC+RTOVOC+RTO焚化處理系統焚化處理系統

22套套

48000CMH48000CMH、、

55000CMH55000CMH

‧‧

龍騰光電龍騰光電

VOCVOC濃縮濃縮+RTO+RTO焚化處理系統焚化處理系統

44套套

80000CMH *280000CMH *2

330000CMH *20000CMH *2

實實 績績

‧‧ 中德電子科學園區廠中德電子科學園區廠

高溫熱水鍋爐系統高溫熱水鍋爐系統

‧‧ 元太電子科學園區廠元太電子科學園區廠

不鏽鋼電熱式蒸氣鍋爐不鏽鋼電熱式蒸氣鍋爐

‧‧ 合喬科技科學園區一廠合喬科技科學園區一廠

熱水鍋爐系統熱水鍋爐系統

‧‧ 合晶科技楊梅廠合晶科技楊梅廠

熱水鍋爐系統熱水鍋爐系統

‧‧ 華治科技科學園區廠華治科技科學園區廠

電熱式熱水鍋爐系統電熱式熱水鍋爐系統

‧‧ 聯友光電聯友光電

蒸氣鍋爐系統蒸氣鍋爐系統(2(2、、33廠廠))

‧‧ 瀚宇彩晶瀚宇彩晶

電熱式蒸氣鍋爐電熱式蒸氣鍋爐

‧‧ 長榮航空空廚長榮航空空廚

蒸氣鍋爐系統蒸氣鍋爐系統

‧‧ 立榮航空空廚立榮航空空廚

蒸氣鍋爐系統蒸氣鍋爐系統

‧‧ 潤弘工程潤弘工程

蒸氣乾燥系統蒸氣乾燥系統

‧‧ 亞太飯店亞太飯店

蒸氣及熱水鍋爐系統蒸氣及熱水鍋爐系統

‧‧ 晶華飯店晶華飯店((天祥天祥) ) 蒸氣及熱水鍋爐系統蒸氣及熱水鍋爐系統‧‧ 華邦華邦、、旺宏、明基、達方、神達、穩懋、友達、華碩、力晶、統寶、台灣凸旺宏、明基、達方、神達、穩懋、友達、華碩、力晶、統寶、台灣凸

板板……等等、及其他工業界、飯店界所需之高溫蒸氣熱水鍋爐系統等等、及其他工業界、飯店界所需之高溫蒸氣熱水鍋爐系統

VOC VOC 處理設備介紹處理設備介紹

•• 原理原理–– 大風量低濃度大風量低濃度: : 吸附吸附+RTO+RTO焚化處理工法焚化處理工法

•• 系統設計系統設計–– 廢氣風量廢氣風量150,150,000000

CMH(CMH(兩座沸石轉塔兩座沸石轉塔7575,,000 CMH/SET)000 CMH/SET)

–– 濃度濃度

5500~300 ppm as CH4~300 ppm as CH4

–– 靜壓靜壓

--150 mmAq at 20150 mmAq at 20℃℃

–– 吸附溫度吸附溫度25~3025~30℃℃，，脫附溫度脫附溫度250250℃℃((最高可達最高可達300300℃℃))–– 操作時間操作時間24 hr/D24 hr/D,,360 D/Yr360 D/Yr

吸附濃縮蓄熱焚化系統吸附濃縮蓄熱焚化系統 流程圖流程圖 Absorber with RTO Flow DiagramAbsorber with RTO Flow Diagram

吸附濃縮蓄熱焚化系統吸附濃縮蓄熱焚化系統 流程圖流程圖(3D)(3D)

系統管路示意圖系統管路示意圖

系系 統統

計計

算算

系系 統統

計計

算算

系系 統統 計計 算算

系系 統統 計計 算算

系系 統統 計計 算算

濃縮吸附器濃縮吸附器((Rotor Concentrator)Rotor Concentrator)

•• 濃縮吸附器濃縮吸附器–– 型式型式::環式轉輪環式轉輪((立式立式))–– 吸附材吸附材::沸石沸石(Zeolite block) (Zeolite block) –– 材質選用材質選用-- SUS304 for Air stream SUS304 for Air stream –– 箱體箱體--全焊式全焊式,,並附並附PrePre--filterfilter–– 傳動方式傳動方式--環狀外齒式旋轉盤軸承環狀外齒式旋轉盤軸承

+ + 減速齒輪馬達減速齒輪馬達

•• 安全裝置安全裝置–– 設置設置N2N2及消防水噴灑頭於脫附及冷卻區之進出口及消防水噴灑頭於脫附及冷卻區之進出口,,由溫度聯控由溫度聯控

電磁閥電磁閥–– 吸附區進出口設置清洗水噴灑頭吸附區進出口設置清洗水噴灑頭

環式轉輪吸附器構造圖環式轉輪吸附器構造圖 Carousel (Cylinder) typeCarousel (Cylinder) type

沸石模組特性沸石模組特性(Zeolite block)(Zeolite block)

•• High performanceHigh performance•• Low pressure dropLow pressure drop•• IncombustibleIncombustible

60

40

20

Honeycle Thickness400mm

200mm

0 1 2 3 4 5

Pres

sure

Los

s (m

mA

q)

Surface Velocity (m/s)

FeaturesFeatures

Adsorbent

Density (kg/m3)

CompressiveStrength(N/cm2{kgf/cm2})

Standard RegenerationTemperature(℃)

Cell sizeHeightPitch

Open Area Rate(%)

Applicablesolvents

Hydrophobic Zeolite Hydrophobic Zeolite

290

Activated Carbon

290 200

147 {15} 147 {15} 147 {15}

180~200 180~200 200

1.93.3

60

Low polarity solvents Molecular gauge solvents (Eg. Toluene, xylene)

Ploarized solvents (Eg. Acetone, MEK) Halogen type solvents (Eg. Methylene chlo-ride)

For broad range of solvents However, not suitable for methanol, met- hylene chloride and ketone type solvents.

60 60

1.93.3

2.13.3

HZ-A HZ-B HZ-C

Note: Figures are typical values, and should not be used for specification purposes.

Applicable VOCApplicable VOC

Aromatic type

B TypeA Type C TypeVOC

Toluene

O-Xylene

P-Xylene

Acetone

MEK

Cyclohexanone

Ethyl Acetate※Methanol

IPA

Methylene chloride

Trichloroethylene

○

◎

◎

○

○

◎

◎

△

◎

X

X

○

×

○

○

◎

◎

○

△

◎

◎

◎

◎

◎

◎

○

△

X

◎

X

○

X

◎

Ketone type

Ester type

Alcohol type

Halogen type

※ We recommend hydrophilic HONEYCLE-MS for Methanol

◎ Excellent △ Possible

○ Good X Cannot be used

環式轉輪吸附器環式轉輪吸附器的特點的特點

•• 壓損低壓損低,,不影響系統靜壓不影響系統靜壓•• Zeolite Zeolite 不會摩損不會摩損•• 可進行可進行300C300C高溫脫附高溫脫附,,維持高效率維持高效率•• 低洩漏低洩漏,,效率高效率高•• ZeoliteZeolite模組化設計模組化設計,,維修更換容易維修更換容易

氧化爐氧化爐 (Oxidizer)(Oxidizer)•• 型式型式--RTORTO 蓄熱燃燒雙槽式蓄熱燃燒雙槽式(Pollutant loading < 10 g/m3)(Pollutant loading < 10 g/m3)•• 材質材質: : 碳鋼碳鋼6MM,6MM,內襯內襯200MM200MM厚陶瓷棉磚厚陶瓷棉磚(160 kg/m3),(160 kg/m3),最高最高

工作溫度工作溫度12601260℃℃

•• 操作溫度操作溫度: 800~850: 800~850℃℃((可調整設定可調整設定))•• RTORTO爐內設計流速爐內設計流速: 1 m/sec: 1 m/sec•• 蓄熱陶瓷蓄熱陶瓷: MLM: MLM--160, 305x305x101 mm, 900kg/m3,160, 305x305x101 mm, 900kg/m3,最高工最高工

作溫度作溫度11001100℃℃, , 內部壓損內部壓損100~150 mmAq/100~150 mmAq/槽槽•• 瓦斯燃燒機瓦斯燃燒機: MAXON or North American : MAXON or North American •• 瓦斯控制閥組瓦斯控制閥組(Gas Train)(Gas Train)•• RTORTO去除率去除率: 96% : 96% 熱回收率熱回收率: 93~95%: 93~95%•• RTORTO預熱時間預熱時間: < 1hr: < 1hr•• RTORTO表面平均溫度表面平均溫度:

Thermal Oxidizer Thermal Oxidizer 外觀外觀

氧化爐風機氧化爐風機Oxidizer FanOxidizer Fan

•• 材質材質SUS304 for CasingSUS304 for Casing•• 防火花結構防火花結構: AMCA type B: AMCA type B•• Brand: NYB, DH30Brand: NYB, DH30--264264•• Capacity: 16258 CMH, SP 625 mmWG Capacity: 16258 CMH, SP 625 mmWG 2828RPM, 60 HP, Belt drive2828RPM, 60 HP, Belt drive

•• 振動要求振動要求: ISO G2.5: ISO G2.5•• 含高效率彈簧避震器含高效率彈簧避震器

燃燒風扇燃燒風扇(Combustion Air Fan)(Combustion Air Fan)

•• 材質材質S400 for Casing & ImpellerS400 for Casing & Impeller•• 外加防塵吸網外加防塵吸網•• Brand: NYBBrand: NYB•• Capacity: 1140 NCMH, SP 943 mmWG Capacity: 1140 NCMH, SP 943 mmWG 3500RPM, 7.5 HP, 3500RPM, 7.5 HP, 直結式直結式

•• 振動要求振動要求: ISO G2.5: ISO G2.5•• 含高效率彈簧避震器含高效率彈簧避震器

Poppet DamperPoppet Damper

•• Material: Material: –– Disc.: SUS304Disc.: SUS304–– Frame & Base: Mild steel and coated with Frame & Base: Mild steel and coated with

epoxy paint.epoxy paint.•• Actuator: Pneumatic TypeActuator: Pneumatic Type•• Leakage < 1% @ 250 mmAqLeakage < 1% @ 250 mmAq•• Respond time: 1~2 sec Respond time: 1~2 sec •• Seal: High temp silicone 300Seal: High temp silicone 300℃℃

Poppet DamperPoppet Damper外觀外觀

以上為以上為Poppet DamperPoppet Damper示意圖示意圖,,尺寸及構造以實際為準。尺寸及構造以實際為準。

RTO & Ceramic MediaRTO & Ceramic Media

熱交換器熱交換器Heat ExchangerHeat Exchanger

•• 型式型式::殼管式殼管式(Shell & Tube)(Shell & Tube)•• 材質材質::外殼外殼SUS304 6t mm,SUS304 6t mm,管側管側SUS316L, SUS316L,

∮∮11--1/41/4”” x 2.5 t mmx 2.5 t mm•• 傳熱面積傳熱面積:140 M:140 M22，耐溫，耐溫900900℃℃•• 保溫保溫::陶瓷纖維陶瓷纖維100T+100T+岩棉岩棉50T50T外加不銹鋼外加不銹鋼

皮皮•• 附件附件::可掀旋鈕式端門設計，利於保養清理可掀旋鈕式端門設計，利於保養清理

控控 制制 系系 統統

•• VOC VOC 現場控制盤現場控制盤–– 製程系統風機控制製程系統風機控制–– 氧化爐燃燒系統控制氧化爐燃燒系統控制

•• 安全連鎖安全連鎖•• 搖控功能之選擇搖控功能之選擇

–– 中控室操作系統運轉中控室操作系統運轉

現場控制盤現場控制盤(Local Control Panel)(Local Control Panel)

VOCVOC監控螢幕監控螢幕

系統參數設定螢幕系統參數設定螢幕

補償值參數設定螢幕補償值參數設定螢幕

系統警報螢幕系統警報螢幕

其他輔助控制螢幕其他輔助控制螢幕

系統啟動確認警語

密碼輸入鍵盤

密碼設定螢幕

結語結語

•• 安全系統操作安全系統操作•• 經濟省能的運轉成本經濟省能的運轉成本•• 強力以及可靠的技術支援服務強力以及可靠的技術支援服務

漢星科技股份有限公司�EVERSTAR CORPORATION�台北縣汐止市22101 新台五路1段81號10樓之5�TEL : 02-2698-1236 FAX : 02-2698-1237� E-MAIL : eversta.co@msa.hinet.net 公 司 簡 介核 心 事 業核 心 事 業核 心 事 業實 績實 績VOC 處理設備介紹吸附濃縮蓄熱焚化系統 流程圖 Absorber with RTO Flow Diagram吸附濃縮蓄熱焚化系統 流程圖(3D)系統管路示意圖系 統 計 算系 統 計 算系 統 計 算系 統 計 算系 統 計 算濃縮吸附器(Rotor Concentrator)環式轉輪吸附器構造圖 �Carousel (Cylinder) type沸石模組特性(Zeolite block)FeaturesApplicable VOC環式轉輪吸附器的特點氧化爐 (Oxidizer)Thermal Oxidizer 外觀氧化爐風機Oxidizer Fan燃燒風扇(Combustion Air Fan)Poppet DamperPoppet Damper外觀RTO & Ceramic Media熱交換器Heat Exchanger控 制 系 統現場控制盤(Local Control Panel)VOC監控螢幕系統參數設定螢幕補償值參數設定螢幕系統警報螢幕其他輔助控制螢幕結語