TF-1000 シリーズ · tf-1000 mini-thermal flowmeter tg-es265-9 tokyo keiso co., ltd. 3 tf-13...
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概要TF-1000 MINI-THERMAL シリーズは、従来パージメータなどで各種ガス流量の現場計測を行なっていたアプリケーションのリモート指示、コントロールを目指して開発されたコンパクトで低価格のサーマルマスフローメータです。中~大口径タイプも取り揃え、各種ガスサプライライン、ユーティリティライン、空調ラインなど幅広い分野にてご利用いただけます。DC24V電源、DC4~ 20mA出力も加わり、汎用機器との電源共通化を図ることができ、手軽にリモート化することが可能になりました。
特長● 温度・圧力の補正不要(熱式質量流量計測方式)● 高速応答(90%応答 0.5 秒以内)● 最小0~2 L/min(nor)、最大 0~750m3/h(nor)をカバーする流量範 囲● 上下流直管長が短い配管レイアウト(整流器内蔵)● シンプルな構造、軽量設計● 高耐久性(永年のノウハウに裏付けられた高耐久性センサ)● 手軽なメンテナンス(全量通過方式)● 周辺機器を完備、最適なシステムをフレキシブルに構成できます。
製品ラインアップセンサとパネル取付け用コンバータユニットをパーフェクトラインアップ。目的、用途にあわせて選択いただけます。
マスフローメータ● 低価格・コンパクトTF-100□ P 高性能エンジニアリングプラスチック製本体TF-100□ S SCS14精鋳本体
● 標準タイプTF-11□□ ステンレス製本体、中~大口径対応TF-13□□ ステンレス製本体、低圧力損失タイプ
● 屋外設置・防水構造ハウジングTF-12□□ ステンレス製本体、中~大口径対応TF-14□□ ステンレス製本体、低圧力損失タイプTF-15□ 1 ステンレス製本体、流量指示計装備、中~大口径対応
コンバータTM-2000 流量表示+積算表示+上下限警報表示 アナログ出力+積算パルス出力+警報出力標準装備
動作原理TF-1000 MINI-THERMALではガス流路に感温抵抗体RwとRaを置き、Rwを電流 Iで加熱してその温度Twとガス温度Taとの差Tw-Taが一定となるように電流 Iを制御します。感温抵抗体からガスに熱伝達される熱量Rw・I2 は通過するガスの質量流量の関数となり、電流Iから質量流量が測定できます。熱量検出のための電気回路は、ガスの温度に対する物性値変化によるわずかな特性の変化も補正するユニークな構成となっており、広い温度範囲にわたり、質量流量を高精度に計測することができます。電流 Iはリニアライズされ所定の流量に比例した電気信号に変換されて出力されます。
豊富なラインアップ、抜群のコストパフォーマンス
TF-1000 シリーズ ミニサーマルマスフローメータ
TG-ES265-92017 022000 01
改訂3版
K
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-92 TOKYO KEISO CO., LTD.
形 式 TF-100□P/S TF-11□□ TF-12□□
タ イ プ コンパクトタイプ ステンレス製、標準タイプ
ハ ウ ジ ン グ 材 質 ABS樹脂(非防水)IP20相当 ADC12(防水)IP65相当
電 気 接 続
形 式 コ ー ド
専用コネクタ付ケーブル G1/2、M3ネジ端子
形式コード 内容TF-121234
PSF0 40 60 81 21 6
1/4B(8A)3/8B(10A)1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)
RcメネジスウェジロックJIS 10Kフランジ
010 2 00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2
- -
流量範囲
電源/出力
接続規格
接続口径
TF-121□
TF-122□
TF-123□
TF-124□
TF-111□
TF-112□
TF-113□
TF-114□
スケールレンジ
測 定 対 象 気体全般(ただしH2またはHeを10%以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です。)
周 囲 及 び ガ ス 温 度 0~60℃ TF-100□P(ポリアセタール本体製)は0~50℃となります。
ガ ス 圧 力 ー0.07~1.0MPa
精 度 ±2.0%F.S.(25℃基準)
温 度 影 響 スパン:±0.1%F.S./℃以内
圧 力 影 響 スパン:±0.1%F.S./0.1MPa以内
レ ン ジ ア ビ リ テ ィ 1:20
ステンレス製、防水構造タイプ
流 量 レ ン ジ最小 0~ 2L/min(nor)最大 0~120L/min(nor)
電 源 / 出 力TF-1□□0 DC±12VまたはDC±15V、+150mA、ー20mA/DC0~5V(負荷抵抗5kΩ以上)TF-1□□1 DC24V±10%、+150mA/DC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)
管 路 TF-100□P:ポリアセタール、PFA、SUS316TF-100□S:SCS14、PFA、SUS316
SUS316(TF-1□1□はSUS316、PFA)
セ ン サ接 ガ ス 部材 質 SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFEの組合せ
シ ー ル フッ素ゴムまたはCR
最小 0~ 2L/min(nor)最大 0~1000L/min(nor)
プ ロ セ ス 接 続TF-100□P:Rc1/4TF-100□S:Rc1/4またはOD1/4B SWL
TF-1□1□: Rc1/4 OD1/4B、3/8B、1/2B SWL 15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1□2□: Rc1/4、3/8 OD1/4B、3/8B、1/2B SWL 15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1□3□: Rc3/8、1/2 OD3/8B、1/2B、3/4B SWL 15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1□4□: Rc3/8、1/2、3/4 OD3/8B、1/2B、3/4B SWL 15A、20A、25A、JIS10Kフランジ
形式コード内容TF-11
1234
PSF0 40 60 81 21 6
1/4B(8A)3/8B(10A)1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)
RcメネジスウェジロックJIS 10Kフランジ
0
0 2 00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2
1
120 L/min(nor)まで
0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100L/min(nor)0~120L/min(nor)0~150L/min(nor)0~200L/min(nor)0~250L/min(nor)0~300L/min(nor)0~400L/min(nor)0~500L/min(nor)0~600L/min(nor)0~800L/min(nor)0~1000L/min(nor)
250 L/min(nor)まで500 L/min(nor)まで1000L/min(nor)までDC±12V(15V)DC0~5VDC24V/DC4~20mA
- -
流量範囲
電源/出力
接続規格
接続口径
スケールレンジ
形式コード内容TF-100
01P
0 2
0 4
00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 1
1/4B(8A)
Rcメネジスウェジロック
ポリアセタールSCS14S
PS
120L/min(nor)まで
0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100 L/min(nor)0~120 L/min(nor)
DC±12V(15V)DC0~5VDC24V/DC4~20mA
- -流量範囲
ボディ材質
電源/出力
接続口径
接続規格
スケールレンジ
※スウェジロック継手はTF-100□Sのみ製作致します。
(上記プロセス接続より接続口径を選択) (上記プロセス接続より接続口径を選択)
0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100L/min(nor)0~120L/min(nor)0~150L/min(nor)0~200L/min(nor)0~250L/min(nor)0~300L/min(nor)0~400L/min(nor)0~500L/min(nor)0~600L/min(nor)0~800L/min(nor)0~1000L/min(nor)
120 L/min(nor)まで250 L/min(nor)まで500 L/min(nor)まで1000L/min(nor)までDC±12V(15V)DC0~5VDC24V/DC4~20mA
標準仕様・形式コード(1000L/min(nor)まで)
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 3
TF-13□□ TF-14□□ TF-15□1
低圧力損失、非防水 低圧力損失、防水構造タイプ
ADC12(防水)IP65相当ABS樹脂(非防水)IP20相当 AC2A(防水)IP65相当
専用コネクタ付ケーブル 2-G1/2、M3ネジ端子G1/2、M3ネジ端子
形式コード内容TF-15
1234
0 2 00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2
PSF0 40 60 81 21 6
1/4B(8A)3/8B(10A)1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)
RcメネジスウェジロックJIS 10Kフランジ
1
120 L/min(nor)まで250 L/min(nor)まで500 L/min(nor)まで1000L/min(nor)まで
AC85~240V/DC4~20mA
- -
流量範囲
電源/出力
接続規格
接続口径
TF-1511
TF-1521
TF-1531
TF-1541
スケールレンジ
気体全般(ただしH2またはHeを10%以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です。)
0~60℃
ー0.07~1.0MPa
±2.0%F.S.(25℃基準)
スパン:±0.1%F.S./℃以内
スパン:±0.1%F.S./0.1MPa以内
1:20
指示計付、防水構造タイプ
最小 0~ 150L/min(nor)最大 0~1000L/min(nor)
TF-1□□0 DC±12VまたはDC±15V、+150mA、ー20mA/DC0~5V(負荷抵抗5kΩ以上)TF-1□□1 DC24V±10%、+150mA/DC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)
AC85~240V、4VADC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)
SUS316 SUS316(TF-1511はSUS316、PFA)
SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFEの組合せ
フッ素ゴムまたはCR
最小 0~ 2L/min(nor)最大 0~1000L/min(nor)
TF-1□2□:Rc1/2または15AJIS10KフランジTF-1□3□:Rc3/4または20AJIS10KフランジTF-1□4□:Rc1または25AJIS10Kフランジ
TF-1511:Rc1/4、3/8、1/2 OD1/4B、3/8B、1/2B SWL 15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1521:Rc1/4、3/8、1/2 OD1/4B、3/8B、1/2B SWL 15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1531:Rc3/8、1/2 OD3/8B、1/2B SWL 15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1541:Rc3/8、1/2、3/4 OD3/8B、1/2B、3/4B SWL 15A、20A、25A、JIS10Kフランジ
形式コード内容TF-13
32
40
1 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2
PF0 81 21 6
1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)
RcメネジJIS 10Kフランジ
1
250 L/min(nor)まで
0~150 L/min(nor)0~200 L/min(nor)0~250 L/min(nor)0~300 L/min(nor)0~400 L/min(nor)0~500 L/min(nor)0~600 L/min(nor)0~800 L/min(nor)0~1000L/min(nor)
500 L/min(nor)まで
DC±12V(15V)DC0~5V1000L/min(nor)まで
DC24V/DC4~20mA
- -
流量範囲
電源/出力
接続口径
TF-132□
TF-133□
TF-134□
接続規格
スケールレンジ
※120L/min(nor)以下の流量レンジはTF-111□をご使用下さい。※必要直管長は上流側5D、下流側不要で、流量計の口径と 同一 口径で配管して下さい。
形式コード内容TF-14
32
40
PF0 81 21 6
1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)
RcメネジJIS 10Kフランジ
11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2
- -
流量範囲
電源/出力
接続口径
TF-142□
TF-143□
TF-144□
接続規格
スケールレンジ
※120L/min(nor)以下の流量レンジはTF-121□をご使用下さい。※必要直管長は上流側5D、下流側不要で、流量計の口径と 同一口径で配管して下さい。
(上記プロセス接続より接続口径を選択) (上記プロセス接続より接続口径を選択)
(上記プロセス接続より接続口径を選択)
0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100 L/min(nor)0~120 L/min(nor)0~150 L/min(nor)0~200 L/min(nor)0~250 L/min(nor)0~300 L/min(nor)0~400 L/min(nor)0~500 L/min(nor)0~600 L/min(nor)0~800 L/min(nor)0~1000L/min(nor)
250 L/min(nor)まで
0~150 L/min(nor)0~200 L/min(nor)0~250 L/min(nor)0~300 L/min(nor)0~400 L/min(nor)0~500 L/min(nor)0~600 L/min(nor)0~800 L/min(nor)0~1000L/min(nor)
500 L/min(nor)まで
DC±12V(15V)DC0~5V1000L/min(nor)まで
DC24V/DC4~20mA
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-94 TOKYO KEISO CO., LTD.
外形寸法・概略質量TF-1000 コンパクトタイプ
16
2-Rc1/4
MASS FLOWMETER TF-1000
MINI-THERMAL
TOKYO KEISO
FLOWNo.MFG.
GASTYPE
FLOW
(2)
※(6)
72
2-M3深4
7040
3222
70
76
12.5
(2)
※(6)
2-Rc1/4TOKYO KEISO
MASS FLOWMETERMINI-THERMAL
FLOW
NO.
GAS
MFG.TYPE
FLOW RATE
※:TF-1□□1は6mmとなります。
2-SWL
MASS FLOWMETER TF-1000
MINI-THERMAL
TOKYO KEISO
16
72
(2)
※(6)
FLOWNo.MFG.
GASTYPE
RATEFLOW
3222
L
2-M3深4
4070
121
128
1243/8SWL
1/2SWL
1/4SWL
L接続・規格
L
70
76
12.5
(2)
※(6)
2-SWL TOKYO KEISO
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
FLOW
NO.
TYPE
GAS
MFG.FLOW RATE
1/4SWL 127
1/2SWL
3/8SWL
134
130
接続・規格 L
77
76
16
(2)
※(6)
2-RcTOKYO KEISO
FLOW
MASS FLOWMETERMINI-THERMAL
MFG.TYPE
NO.
GAS
FLOW RATE
77
76L
16
(2)
※(6)
2-SWLTOKYO KEISO
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
FLOW
TYPEMFG.NO.GAS FLOW RATE
1341/2SWL
3/8SWL
1/4SWL
130
127
接続・規格 L
〔 TF-1000P=約120g TF-1000S=約250g
〔
(2)
70
12.5
180
76
※(6)
FLOW RATE
MASS FLOWMETER
TOKYO KEISO
MINI-THERMAL
TYPEMFG.GAS
FLOW
NO.
10
646
□25
2-M4深4
[Rc、SWL、フランジ接続]取付寸法(底面)
(2)
1677
180
76
※(6)
FLOW RATE
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
TOKYO KEISO
TYPE
GAS
MFG.
FLOW
NO.
2-M4深46 64
10
□32
取付寸法(底面) [Rc、SWL、フランジ接続]
TF-1100ステンレス標準タイプ
[TF-1000P.TF-1000S]
[TF-1110]
[TF-1120]
・Rcネジ接続
・Rcネジ接続 (約450g)
・フランジ接続 (約1.9kg)
・Rcネジ接続 (約650g)
・フランジ接続 (約3.0kg)
・SWL接続 (約740g)
・SWL接続 (約530g)
・SWL接続(TF-1000Sのみ適用 約330g)
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 5
[TF-1130]
[TF-1140]
・Rcネジ接続 (約1kg)
112
83
19
(2)
※(6)
2-RcFLOW
NO.
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
GAS
TYPEMFG.
FLOW RATE
TOKYO KEISO
(2)
83
19
200
104
※(6)
MASS FLOWMETERMINI-THERMAL
TOKYO KEISO
GAS
MFG.FLOW RATE
FLOW
NO.
TYPE
□38
30
5027 2-M4深6
[フランジ接続]取付寸法(底面)
22.5
90
136
(2)
※(6)
2-Rc
MASS FLOWMETERMINI-THERMAL
FLOW RATE
TOKYO KEISOFLOW
MFG.NO.GAS
TYPE
90
30
7033 2-M4深6
□45
136L
22.5
(2)
※(6)
[Rc、SWL接続]取付寸法(底面)
2-SWL
GAS
MFG.TYPE
TOKYO KEISO
FLOW RATE
FLOW
NO.
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
206
197
192
3/4SWL
1/2SWL
3/8SWL
接続・規格 L
230
128
90
22.5
(2)
29
30
70
□45
2-M4深6
※(6)
[フランジ接続]取付寸法(底面) FLOW
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
GAS
NO.
TYPEMFG.
TOKYO KEISO
FLOW RATE
NO.
L112
83
19
(2)
※(6)
2-SWL
FLOW RATEGAS
FLOWTOKYO KEISO
MASS FLOWMETERMINI-THERMAL
TYPEMFG.
5031
30
□38
2-M4深6
[Rc、SWL接続]取付寸法(底面)
3/4SWL 182
3/8SWL
1/2SWL
168
173
接続・規格 L
・フランジ接続 (約2.5kg)
・Rcネジ接続 (約1.5kg)
・フランジ接続 (約3.3kg)
・SWL接続 (約1.8kg)
・SWL接続 (約1.2kg)
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-96 TOKYO KEISO CO., LTD.
・Rcネジ接続 ・SWL接続
W
BC 2-M4深6
□W
L125
54
G1/2
[Rc、SWL、フランジ接続]取付寸法(底面)
2-Rc
H
LL1
2-SWL
3/8
305035
12015838
2.2
176
2.1
□W
質量(kg)
A
CB
呼び径
L1H
L1/4159
3830
2950
1/2166
3/8
108158
1621/4171
1/2
160165
4.1
2213/8
3038158135
32.570
3.4TF-122□ TF-121□ 形 式 TF-124□ TF-123□
1911/2181
1/4188
4530
3590
1/2196
3/8216
3/4230
・フランジ接続
L
L1
(H)
JIS 10K (RF) (FF)20A
JIS 10K (RF) (FF)15AJIS 10K (RF) (FF)
A51A02 A52A52A02A51 20AJIS 10K (RF) (FF)
25A 15A 25A
H
C
AB
質量(kg)
接 続
□WL1
規 格 L
呼び径
5.7
223
28.5
139
127
4.5
139
4.425
3050
19610038
139
31
3050
208
38112
6.4 □321-FT 式 形 TF-122□ □421-FT □121-FT
254
142.5
152
3070
31
3090
38 45
1/2Rc接続
A524/3フランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)
1 15A 20A
4444A 30 030303
C質量(kg)
B 8032.51.5
352.2
9032120
5.82.83.335120
28.580
3.8形 式 TF-1320 TF-1330 TF-1340TF-1320TF-1340 TF-1330
3190
L1□WH
接 続 規 格 呼び径
L
3883
4590
145 1601845472
290137
9954 38
64
190 233152
67.545
254
※TF-13□1は6mmとなります。
・フランジ接続
L
L1
(H)
(2)
※(6)
MINI-THERMAL
TOKYO KEISO
MASS FLOWMETER
FLOW
GAS
MFG.TYPE
FLOW RATE
NO.
・Rcネジ接続
(2)
H□W
2-M4深6C B
※(6)
2-Rc
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
FLOW
TYPEMFG.NO.GAS
TOKYO KEISO
FLOW RATE
L
A
A
[Rc、フランジ接続]取付寸法(底面)
TF-1200防水構造ハウジングタイプ
TF-1300低圧力損失、非防水ハウジングタイプ
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 7
3/8162
15838
108
5029
30
2.6
□W
質量(kg)
BC
A
呼び径 L
HL1
1/4159
1/2196176
2.7
158120
3/8
38
355030
1/2166
1/4171
38
3.9
7032.5
30
1/4188
1/2181
3/8191135158
3/4230
45
4.6TF-1511形 式 TF-1521 TF-1531 TF-1541
9035
30
3/8216
1/2221
165160
JIS 10K (RF) (FF)25A
JIS 10K (RF) (FF)15A 20A 20A
JIS 10K (RF) (FF)15A 25A
JIS 10K (RF) (FF)呼び径
□W
質量(kg)
規 格
H
BC
A
LL1
接 続
139
50254.9
30
38100196
139
5031
30
5.0
11238
208152
142.5
254
6.9
139
7030
28.56.2
形 式 TF-1511 TF-1521 TF-1541TF-1531
38127223
9031
30
45
54
25
G1/2
2-Rc
C
L
HB
A
2-M4深6□W
[IRc、接続]取付寸法(底面)
2-SWL
・Rcネジ接続 ・フランジ接続
・SWL接続
・フランジ接続
・Rcネジ接続
L1
H
106
86
□
2-M4深6C B
A
2-G1/2
[Rc、SWL接続]取付寸法(底面)
2-Rc
W
1/2フランジ接続 JIS 10K (RF ) (FF)
13/4Rc接続
20A15A 25A呼び径 接 続 規 格 145
158
32.52.1
LL1
AB
H□W
C質量(k g)
190
44120
17454
353.9
160
3090
16545
352.8
3080
38
3.4
139
233137
28.5
3080
38
4.4
142.5309031
25415245
6.4TF-142□ 形 式 TF-144□ TF-142□ TF-143□ TF-144□
147
12044
32
184290
54
TF-1400低圧力損失、防水構造ハウジングタイプ
TF-1500指示計付、防水構造ハウジングタイプTF-143□
15A 20A 20A15A 25A25A
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-98 TOKYO KEISO CO., LTD.
形 式 TF-115□ TF-125□ TF-1551
タ イ プ 標準タイプ 防水構造タイプ
ハウジング材質 ABS樹脂(非防水)IP20相当 ADC12(防水)IP65相当 AC2A(防水)IP65相当
電 気 接 続
形 式 コ ー ド
口径別フルスケール
専用コネクタ付ケーブル G1/2、M3ネジ端子 2-G1/2、M3ネジ端子
測 定 対 象 気体全般(ただしH2またはHeを10%以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です。)
周囲及びガス温度
±2.0%F.S.(25℃基準)
0~60℃
ガ ス 圧 力
スパン:±0.1%F.S./℃以内
ー0.07~1.0MPa
精 度
スパン:±0.1%F.S./0.1MPa以内温 度 影 響
1:20
圧 力 影 響
SUS304またはSUS316
レンジアビリティ
SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFEの組合せ(SCS14) SUS304
指示計付、防水構造タイプ
TF-1□□0 DC±12VまたはDC±15V、+150mA、ー20mA/DC0~5V(負荷抵抗5kΩ以上)TF-1□□1 DC24V±10%、+150mA/DC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)
AC85~240V、4VADC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)
管 路
セ ン サ接ガス部材 質
フッ素ゴムまたはCRシ ー ル
Rcメネジ(1B~2B)JIS 10K フランジ(25A~80A)プ ロ セ ス 接 続
口径
25A
32A
40A
50A
65A
80A
流体名フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限
AIR 30 75 65150 90200140320220520320750
N2 30 75 65150 90200140320220520320750
O2 30 75 65150 90200140320220520320750
CO 30 75 65150 90200140320220520320750
CO2 30 75 65150 90200140320220520320750
Ar 30 75 65150 90200140320220520320750
NH3 23 57 49114 68152106243167395243570
CH4 15 38 33 75 45100 70160110260160375
C2H6 17 42 36 84 50112 78179123291179420
C3H8 14 35 30 69 41 92 64147101239147345
C4H10 12 30 26 60 36 80 56128 88208128300
13A 15 37 32 74 44 98 69157108255157368
m3/h(nor)
※フルスケール=(AB)×10C m3/h(nor) (例) 30m3/h(nor)→300 400m3/h(nor)→401 750m3/h(nor)→751
※フルスケール=(AB)×10C m3/h(nor) (例) 30m3/h(nor)→300 400m3/h(nor)→401 750m3/h(nor)→751
※フルスケール=(AB)×10C m3/h(nor) (例) 30m3/h(nor)→300 400m3/h(nor)→401 750m3/h(nor)→751
電 源 / 出 力
-
-
---46PF253240506580
-
-
--
01A B C
TF-11
流量範囲
電源/出力
スケールレンジ材質SUS304/SUS316
接続規格
接続口径
5 750m3/hまで(流量レンジ参照)DC±12V or ±15V /DC0~5V出力DC24V/DC4~20mA流量定格SUS304(フランジ接続のみ選択可)SUS316(全形式選択可)Rcメネジ (1B~2B)JIS 10Kフランジ(25~80A)1B (25A)1-1/4B (32A)1-1/2B (40A)2B (50A)2-1/2B (65A)3B (80A)
内容形式コード
-
-
---46PF253240506580
-
-
--
01A B C
TF-12
流量範囲
電源/出力
スケールレンジ材質SUS304/SUS316
接続規格
接続口径
5 750m3/hまで(流量レンジ参照)DC±12V or ±15V /DC0~5V出力DC24V/DC4~20mA流量定格SUS304(フランジ接続のみ選択可)SUS316(全形式選択可)Rcメネジ (1B~2B)JIS 10Kフランジ(25~80A)1B (25A)1-1/4B (32A)1-1/2B (40A)2B (50A)2-1/2B (65A)3B (80A)
内容形式コード
-
-
-
-46PF253240506580
-
-
-1
A B C
TF-15
流量範囲
電源/出力
スケールレンジ材質SUS304/SUS316
接続規格
接続口径
5 750m3/hまで(流量レンジ参照)
DC85~240V /DC4~20mA流量定格SUS304(フランジ接続のみ選択可)SUS316(全形式選択可)Rcメネジ (1B~2B)JIS 10Kフランジ (25~80A)1B (25A)1-1/4B (32A)1-1/2B (40A)2B (50A)2-1/2B (65A)3B (80A)
内容形式コード
標準仕様・形式コード(中~大口径タイプ)
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 9
(68)
195(2)
※(6)
2-Rc1
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
FLOW RATE
TOKYO KEISO
GAS
FLOW
MFG.NO.TYPE
φ50
L
(H)
(2)
φD
※(6)
2-Rc
BTOKYO KEISO
FLOW RATE
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
NO.
FLOW
GAS
TYPEMFG.
Rc接続 2/1-1 24/1-1接 続
B (二面幅)
呼び径 規 格 LH
φD
7655
215
60
230796065
270857075
質量(kg) 1.8 1.9 2.6
195
(68)
(2)
※(6)
MINI-THERMALMASS FLOWMETER
TOKYO KEISO
FLOW RATE
TYPEMFG.NO.
FLOW
GAS
L
(H)
(2)
※(6)
GAS
TYPEMFG.
FLOWTOKYO KEISO
FLOW RATE
MASS FLOWMETERMINI-THERMAL
NO.
65Aフランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)32A 40A 50A 80A
29093
呼び径
L
接 続 規 格 21576
23079 85
270 320100H
8.04.1 4.3 5.9 9.0質量(kg)
195
(143)
φ50
54
25
2-Rc1
G1/2
Rc接続 1-1/21-1/4 2
HB (二面幅)
φD
接 続 規 格 呼び径
L
55151215
606065
154230
7075
質量(kg) 2.3 2.4 3.1
270160
※TF-1151は6mmとなります。
L
φD
(H)
54
2-Rc
G1/2
B
TF-125□防水構造ハウジングタイプ
TF-115□標準タイプ
・Rcネジ接続(Rc1) 継手のニ面幅:46 (約1.9Kg)
・フランジ接続 (約3.6kg) (25A)
・Rcネジ接続(Rc1-1/4~Rc2)
・フランジ接続(32A~80A)
・Rcネジ接続(Rc1-1/4~Rc2) 継手の二面幅:46 (約2.4kg)
・Rcネジ接続(Rc1)
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-910 TOKYO KEISO CO., LTD.
195
(143)
L
(H)
フランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)65A40A32A 50A 80A接 続 規 格
呼び径
HL 230
154215151
270160
290168
320175
質量(kg) 6.4 8.4 5.9 8.5 9.5
Rc接続 1-1/4 1-1/2 2
B (二面幅)
接 続
55φD 60
規 格 呼び径
HL
151215
06 0765 75
質量(kg) 2.8 2.9 3.6
154230 270
160
(143)
195
(H)
L
フランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)32A 65A50A40A 80A
規 格 LH 151
215168290
154230
160270
175質量(kg) 5.1 9.05.3 6.4 10.0
320
接 続 呼び径
(143)
195
φ50
25
106
86
2-Rc1
2-G1/2
L
(H)
86
106
φD
2-G1/2
2-Rc
B
TF-1551指示計付、防水構造ハウジングタイプ
継手の二面幅:46 (約2.9kg)
・Rcネジ接続(Rc1)
(約4.1kg) ・フランジ接続(25A)
・フランジ接続(32A~80A)
(約4.6kg) ・フランジ接続(25A) ・フランジ接続(32A~80A)
・Rcネジ接続(Rc1-1/4~Rc2)
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 11
形式TF-100□PTF-100□STF-111□ TF-112□ TF-113□ TF-114□ TF-115□ TF-121□ TF-122□ TF-123□ TF-124□ TF-125□ TF-132□ TF-133□ TF-134□ TF-142□ TF-143□ TF-144□ TF-151 TF-152 TF-153 TF-154 TF-155
上流側
不要
5d(注1、2)
不要
5d(注1、2)
5d
(注3)
5d
(注3)
不要
5d(注1、2)
下流側
不要
5d(注1、2)
不要
5d(注1、2)
不要
(注3)
不要
(注3)
不要
5d(注1、2)
不要 不要
1
1
1
11
設置上の注意
●形式別必要直管長(d:配管内径)
(注1):流量計と異なった口径を配管する際には、±1サイズまでと し流量計と同一口径の直管部を設けた後に配管して下さい。
(注 2):Rcネジ込み継手はSch80 以下の配管をご使用下さい。(注 3):流量計の配管と同一口径で配管して下さい。
●異物混入防止のため取付前に配管をフラッシングして下さい。●絞り弁・分岐弁などは下流側に設置して下さい。●電気ノイズをさけるために配線はシールド線を使用し他の電力・動 力線との併設は避けて下さい。●本体に流れ方向を示す矢印があります。この方向に計測気体が流れ るように配管して下さい。●流量指示計付TF-15□1の場合の取付姿勢・流れ方向は下図の通り です。ご注文時に指定して下さい。
1999
水平取付
流れ方向、左→右
1999
水平取付
流れ方向、右→左
●保守点検のためバイパス配管を設置して下さい。
10
9
8
7
6
5
4
3
2
1
0
0 100 200 300 400 500
流量[L/min(nor)
TF-100□S/100□P/11□□/12□□/15□□一次圧力 大気圧 温度20℃
600 700 800 900 1000
30
25
20
15
10
5
0
0 100 200 300 400 500
流量[m3/h(nor)
TF-115□/125□/1551 中~大口径タイプ一次圧力 大気圧 温度20℃
600 700 800
2
1.5
1
0.5
0
0 100 200 300 400 500
流量[L/min(nor)
TF-13□□/14□□ 低圧力損失タイプ一次圧力 大気圧 温度 20℃
600 700 800 900 1000
]
]
]
圧力損失[kPa]
圧力損失[kPa ]
圧力損失[kPa]
120L/min(nor) 250L/min(nor) 500L/min(nor) 1000L/min(nor)
25A 32A 40A 50A 65A 80A
250L/min(nor) 500L/min(nor) 1000L/min(nor)
圧力損失(下記のグラフはAIR におけるデータ)
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-912 TOKYO KEISO CO., LTD.
概要TM-2000ミニコンバ-タユニットはTF-900、TF-1000、TF-5000、TF-6000、(H-) EP-TF-5300 シリ-ズマスフロ-メ-タと組み合わせて使用する専用変換器です。DIN72 角のハウジングに検出器駆動用電源と検出器からの流量信号より瞬時流量表示、積算流量表示、積算パルス出力、上・下限 2点警報出力機能を備え、また流量信号の再出力機能を標準装備していますので、各種ガス流量の総量把握や異常流量の監視などに幅広く使用できます。またミニサ-マルマスフロ-メ-タからのDC0 ~ 5V 信号入力のほか、DC4 ~ 20mA の信号入力にも対応しており DC4 ~ 20mA出力の流量計と組み合わせ、流量表示・積算・警報などの用途に幅広く使用できます。
標準仕様● 瞬時流量⦆ 表示 : 4 桁 LCD文字高さ 13mm 表示精度 : 検出器精度に±0.1%F.S.±1dig 付加 アナログ再出力(選択) : a) DC4~ 20mA 負荷抵抗 500Ω以内 最大出力値 22.4 mA b) DC0 ~ 5V 負荷抵抗100kΩ以上 最大出力値 5.56 V 出力精度 : 検出器精度に±0.1%F.S. 付加● 積算機能 表示 : 7 桁 LCD文字高さ 6mm 積算パルス : 出力 オ-プンコレクタ 定格 DC30V、20mA Max パルス幅 100mS(固定) パルスレ-ト 積算カウンタに同期 積算精度 : 検出器精度に±0.1%F.S. 付加 積算率 : 60 ~ 18000 c/h 積算リセット : リモ-ト、およびパネルキ-による
リセット● ロ-カット : 標準 2%(パネルキーにより任意設定可) 適用範囲 : 流量表示、流量出力、積算表示、
積算パルス出力● 警報機能 警報表示 : 赤色 LED動作時点灯 警報出力 : SPST NO(a接点)またはNC(b接点) (ただし電源OFF時はオ-プン) 設定精度 : ±1.0% F.S. 接点定格 : AC125V、0.4A/DC30V、2A 設定点数 : 上限・下限の各 1点 設定範囲 : フルスケ-ルの 0~ 100% 設定方式 : パネルキーによる設定 ヒステリシス幅 : 1±0.5%F.S.(固定)● アナログ入力(選択) : a)DC4~ 20mA 入力抵抗 250Ω b)DC0~ 5V 入力抵抗 200kΩ● その他の機能 マルチデ-タ : 8 種類まで設定可
(パネルキーによるチャンネル切替) リニアライズ機能(オプション)(選択) : a) 4 次式係数方式 b) 開平式係数方式● データバックアップ : 設定値、積算値EEROMに記憶、10年間● 外部供給電源 : DC±12V、+ 200mA、- 200mA
● その他の仕様 電源 : AC85 ~ 250V 50/60Hz 消費電力 : 15VA 電気接続 : 棒状端子 環境条件 : 0 ~ 50℃(結露しないこと) 耐電圧 : 電源~接地端子間 AC1500V、1分間 絶縁抵抗 : 電源~接地端子間 20MΩ以上
(DC500V) 構造 : 屋内仕様(IP20 相当) ハウジング材質 : ガラス繊維入りABS樹脂 質量 : 約 450g
形式コ-ド
DC4~20mA
DC0~5V
DC4~20mA
DC0~5V
H:NO、 L:NO
H:NC、 L:NC
H:NO、 L:NC
H:NC、 L:NO
リニア
4次式係数方式
開平式係数方式
H :上限
L :下限
NO :a接点
NC :b接点
形式コード
TM -
アナログIN
アナログOUT
警報OUT
入出力特性 標準
オプション
オプション
1
2
2
1
2
1
2
3
4
-
-
-
-
H
R
内 容
適用検出器及び専用ケーブル
適用検出器
TF-900/1000/1100/1300
TF-1200/1400
TF-5300/6300
(H-)EP-TF-5300
HM1000/5000(オプション)
ケーブル名称
SC-MM2
SC-MA2
SC-FM2
SC-EP2
SC-HM
ケーブル長
標準:2m
最大:100m
TM-2000 シリーズ ミニコンバータユニット
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 13
TM-2000 CONVERTOR
5.5 106 1772
72
90以上
100以上
67+0.7
0
パネルカット寸法と取付間隔
(注)取付パネルの板厚は1~5mmを推奨します。
67+0.70
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
20191817161112131415
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
20191817161514131211
ANALOGOUT INTO METER
RESETNO WIREING
HIGH
○DC4~20mA○DC0~5V
○NO○NC
○NO○NC
○DC4~20mA○DC0~5V
LOW POWERALARM
F.G.ALARM
AC85~250V
(C) (E) (+) (-) +V COM -V (+) (-)
PLUSE DC POWER ANALOGOUT
TM-2000 CONVERTOR
TOKYO KEISO
MODE
UNIT:(nor)
L/h
L/min
m3/h
Lm3
LO
HI
MODE
上限警報
表示上段:流量表示下段:積算表示
単位表示
アップキー
ダウンキー
シフトキー
モードキー
下限警報
外形寸法
表パネル 端子配置
結線
TM-1000 シリーズから TM-2000 シリーズに機種変更される際に既設ケーブルを引き続き使用する場合は、コンバータへ差し込むコネクタソケットを切断しケーブル被覆を 7mm程度剥いて下記のように接続して下さい。
番号
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
内 容
未使用
(C) 積算パルス
(E) 出力
(+) アナログ
(‒) 出力
(+V) 検出器用
(COM) 電源
(‒V)
(+) アナログ
(‒) 入力
内 容
未使用
積算表示のリセット
上限警報出力
下限警報出力
接地
AC電源
番号
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
6 7 8 9 10+V COM ーV (ー)
検出器
専用ケーブル
赤 緑 黄 白 黒(+)
TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-914 TOKYO KEISO CO., LTD.
5Cケーブル
SC-MCケーブル SC-MM2ケーブル
DC0~5V
DC4~20mA DC4~20mA
DC0~5V
DC±12Vまたは
DC±15V
DC±12Vまたは
DC±15V
コントロール
ループへ
コントロール
ループへ
市販電源
4Cケーブル
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市販電源TF-1000
TF-1000P、TF-1000S、TF-11□0、TF-13□0
SC-MPケーブル
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市販電源
DC24V 市販電源
DC24V
DC4~20mA
2Cケーブル
1999
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TF-1001
TF-1001P、TF-1001S、TF-11□1、TF-13□1 TF-12□1、TF-14□1
SC-MA2ケーブル
アナログ出力
スケール/パルス出力
上限・下限警報出力
AC
TF-1000
TF-1000P、TF-1000S、TF-11□0、TF-13□0
TF-12□0、TF-14□0
TM-22□□
アナログ出力
スケール/パルス出力
上限・下限警報出力
ACACTM-21□□
●SC-MM2
赤緑黄白黒
12345
●SC-MP
赤緑白黒
1234
5.8
11.9
14.4
●SC-MA2
+ー
-12V 電 源
流量出力信号(DC0~5V)
5.8 14
14
+12VCOM
赤緑黄白黒
12345
4芯 0.3mm2φ5.6
5芯 0.3mm2φ6
5芯 0.3mm2φ6
検出器側ケーブル端末
アプリケーション
DC0~ 5V 出力タイプの場合
●市販電源を使用して ● TM-2000 シリーズミニコンバータを使用して
専用コネクタ付ケーブル DC4~ 20 mA 出力タイプの場合 M3ネジ端子 DC4~ 20 mA 出力タイプの場合
流量指示計付 TF-15 □ 1シリーズの場合
TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER
TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 15
仕様お伺い
形式
気体名
圧力
温度
フルスケール
接続口径
接続規格
流れ方向(TF-15□1の場合)
TF-1□□□-□□□-□□□
最大
□1/4B(8A) □3/8B(10A) □1/2B(15A) □3/4B(20A) □1B(25A)
□1-1/4B(32A) □1-1/2B(40A) □2B(50A) □(65A) □(80A)
□Rcメネジ □スウェジロック □JIS 10Kフランジ □VCR(オプション)
□左→右 □右→左
□L/h(nor) □L/min(nor) □m3/h(nor)
常用 最小 □MPa □kPa
最大 常用 最小 ℃
ミニコンバータ
専用ケーブル
●検出器
●付属品
TM-2□□□
□SC-MM2 □SC-MA2
ご注文、お引合いに際しては下記仕様をご連絡下さい。
http://www.tokyokeiso.co.jp
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
[email protected]使用可否、形式選定などなんでも(Anything)ご遠慮なくどうぞ。
製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。〒105‒8558 東京都港区芝公園1‒7‒24芝東宝ビル
TEL: 03‒3434‒0441(代) FAX: 03‒3434‒0455