C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

SOLSTICE  Advanced  Electropla/ng  Tools    

for  the  Rest  of  Us  

1  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

The  big  equipment  manufacturers  focus  on  big  leading-­‐edge  300mm  tools  —  which  are  too  expensive  for  many  users    Many  users  just  need  a  good  solid  tool    that’s  designed  for  ≤200mm  substrates…    At  a  much  more  affordable  price!  

2  

Addressing  a  major  problem  in  the  equipment  industry…    

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

New  SolsHce  plaHng  systems  address  those  needs  specifically    

U/lizing  today’s  advanced  technology    Addressing  200mm  and  smaller  substrates    And  with  significantly  reduced  pricing  —  Half  compared  with  the  Big  Guys!  

3  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

Three  complementary  SolsHce  tools:  

         Model  LT    for  Development  

2  Chambers  

4  

         Model  S8  for  Volume  ProducHon  

4-­‐6-­‐8  Chambers  

         Model  S4  for  ProducHon  

4  Chambers  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

SolsHce  LT  —  A  powerful  plaHng  development  tool    

Manual  wafer  load/unload  

Automated  recipe  execu/on  

4-­‐inch  to  8-­‐inch  wafer  capability  

One  or  two  chambers  and  chemistries  

Chambers  and  soWware  match  S4/S8    

5  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

SolsHce  S4  and  S8  —  Automated  volume  producHon  tools  

CasseZe-­‐to-­‐casseZe  automa/on  

Up  to  75wph  throughput  

Automated  recipe  execu/on    

Up  to  8  chambers  and  chemistries  

4-­‐inch  to  8-­‐inch  wafer  capability  

 

6  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

SolsHce  gives  major  advantages    over  wet  bench  plaHng  

BeZer  wafer  uniformity  

Less  wafer-­‐to-­‐wafer  varia/on  

Reduced  scrap  

Less  human  exposure  to  chemicals  

Faster  pla/ng  rates  

Higher  yields  

7  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

8  

SolsHce  serves  many  market  sectors    that  use  ≤200mm  substrates  

MEMS  

LEDs  

Sensors  

Power  

RF  

Photonics  

Wafer  Level  Packaging    

Analog  /  Discrete  

Automo/ve  

And  more…  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

Applying  today’s  technology  to  today’s  process  needs  

Ni,  Cu,  Au,  Sn,  Ag,  Alloys  

Cu  RDL,  Cu  Pillar,  Cu  Damascene  

TSV  Fill,  Cu  or  NiW  

Au  Pads  and  Contacts,  Cyanide  or  Sulfite  

Lead-­‐free  Solders  

Indium,  Permalloy,  Exo/cs  

Electroly/c,  Electroless  and  Anodiza/on  

9  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

SolsHce  is  Demonstrated  at  ClassOne’s  world-­‐class  applicaHons  and  product  development  lab  

10  

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

Designed  and  driven  by  a  world-­‐class  team  of  wet  processing  professionals  

11  

Win Carpenter VP, Sales

27+ yrs wet processing

Byron Exarcos President

11+ yrs wet processing

Tim McGlenn VP, Development 26+ yrs wet processing

Kevin Witt VP, Technology

11+ yrs wet processing

Dean Campbell VP, Manufacturing 20+ yrs wet processing

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

Backed  by  world-­‐wide  sales  and  support  

12  

Atlanta, GA

Kalispell, MT London, UK

Singapore

Shanghai, China

Israel

C l a s s O n e   T e c h n o l o g y :   A d v a n c e d   W e t   P r o c e s s i n g   E q u i p m e n t   f o r   t h e   R e s t   o f   U s  

SolsHce:  A  unique  new  class    of  plaHng  tools  that  deliver…  

The  performance  you  need    At  a  price  you  can  afford!  

13