ICS_35.240.70;71.040.40 一一 L 67 臀羚

ICS＿ 35.240.70;71.040.40 一一

L 67 臀羚中华人民共和国国家标准

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

表面化学分析数据传输格式

Surface chemical analysis-Data transfer format

（ISO 14976：1998，IDT)

2004-04-30发布 2004-12-01实施

率替留瞥臀瓣譬蓬臀臀暴发“

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

前言

本标准等同采用ISO 14976:1998《表面化学分析数据传输格式》。

本标准提出单位：全国微束标准化委员会。

本标准归口单位：全国微束标准化委员会。

本标准负责起草单位：北京大学化学与分子工程学院。

本标准主要起草人：刘载维。

本标准参加起草人：朱永法、丁泽军、龚沿东、张毅、沈电洪、刘芬。

标准分享网 www.bzfxw.com 免费下载

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

引言

在表面分析领域有许多商品化的仪器是由计算机来控制的。这些计算机同时还被用来处理所获取

的数据，通过一些内设的子程序完成谱峰合成、退卷积、背底扣除、谱峰面积测量、考虑不同级次杂峰时

的定量测量、二维成像、深度剖析、平滑、微分及其他各项处理功能。尽管如此，许多测试人员希望在另

外一台计算机上，通过他们自己的特殊方式，用他们自己专门编写的程序在其全面控制下完成数据处理

工作。他们需要在采集数据的计算机上对数据进行适当的编码以适于传输，然后在接收数据的计算机

上将其解码为所需要的形式。各制造厂商、各型号的仪器的数据格式不尽相同，这些数据格式也没有公

开发表。综上所述，需要制定一个标准的数据传输格式，以推进交流、减少编码解码的程序数目以及减

少数据分析的不确定性。

GB/T 19499-2004八S014976：1998

表面化学分析数据传输格式

1 范围

本标准规定了计算机之间通过直接连接的并行或串行接口、电话线、局域网或其他通讯手段进行数

据传愉的一种格式。所传输的数据用普通显示器或打印机可显示或打印的字符进行编码。该格式适用

于AES, EDX, FABMS, ISS, SIMS, SNMS, UPS, XPS, XRF及其他相仿的分析方法。它涵盖了谱图、二

维元素像、深度剖析及其他多种实验技术所获取的数据流。

2 格式描述

2.1 概述

本格式的设计在附录A中作了介绍。本格式用英国标准BS 6154:1981《元语言语法定义方法》中

定义的元语言成分来描述，其中一些恰当的要素在2.2和2.3中给出。

在本格式中，有一些参数仅与实验方式、扫描模式和测试技术这三项条目的某些特定情形相关，故

此设立了只有在相关条件成立的前提下才包含这些参数的条款。这种有条件的包含关系虽然可以用元

语言来描述，但要用一种比简单列表更复杂的结构。为了保持结构的简明性，这些参数用任选序列来表

示，并附带一个括号文本注释以定义每个选项被包含的条件。

2.2 元语盲的构成

元语言是由定义如何生成线性字符序列的一系列规则的标记组成的。只有按照这些规则生成的字

符才能被插人到序列中。一个序列可以视为由若干子序列组成的序列。在标记中的一个子序列由单引

号（‘夕）或双引号（“”）括起来的给定字符所表示。子序列本身连同括号字符一起叫做一个终端字

符串。

终端字符串是语法基元之一例。

语法基元之前可以加一个后缀星号（＊）的整数，以描述同样的语法基元连续出现的特定次数。一

个语法基元连同其前置的整数及星号（如果有的话），叫做一个语法因子。

一个语法因子可以后接一个减号（一），其后再紧跟另一个语法因子，这种子序列叫做语法项。

多个语法项可以连续写出，但要用逗号（，）将它们分隔开，以表示通过逐个应用每个语法项所生成

的子序列。单个的语法项或成组的由逗号分隔开的语法项，叫做单一定义。

多个单一定义可以连续写出，但要用竖线符（t）将它们分隔开，以表示子序列由单一定义中的一个

且只能是一个所生成，即列表可选子序列。一个单一定义或多个由竖线符分隔的单一定义叫做定义

列表。

现在来解释语法项中出现在第二个语法因子之前的减号所表示的含意。它是为了避免由此语法项

生成任何可能由第二个语法因子生成的子序列。第二个语法因子叫做语法例外。

每个定义列表可被赋予一个唯一的名称。该名称可以包含一个或多个字符，但第一个字符必须是

字母，其他后续字符可以是字母或数字。名称中的空格符和换行符都没有意义。此名称叫做元标识。

将元标识赋予一个定义列表是通过在元标识后加一个等号（＝），再后接定义列表，最后再加一分号

（；）来实现。这叫做一项语法规则。

一个或多个语法规则共同组成一套生成线性字符序列的规则，这一整套规则叫做语法。

以终端字符串作为其例所引入的语法基元，现在可定义为下列之一：

a) 没有任何字符，表示没有字符被加人到序列中。这叫做一个空序列。

b) 一个左方括号（［）后接一个定义列表再后接一个右方括号（」），表示生成一个空序列或定义列


GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

表中的一个子序列。这叫做任选序列。

c）一个左大括号（｛）后接一个定义列表再后接一个右大括号（｝），表示生成一个空序列或一系列

连续的任意数量的子序列，其中的每个子序列都是由定义列表生成的。这叫做一个重复序列。

d) 一个左括号（()后接一个定义列表再后接一个右括号（）），表示由所括起的定义列表所生成的

任意子序列。这叫做一个组序列。

e) 如前所述，一个元标识，表示由在一项指定的语法规则中的定义列表所生成的任意子序列。

f) 如前所述，一个终端字符串，表示被括起来的子序列。

9）一个问号（？）后接若干文字再后接一个问号，表示由所括起来的文字通过另外一种语言描述

的一个子序列，因为它不能用元语言自身所描述。这叫做一个特殊序列。

字符左括号和星号（（，）后接若干文字再后接另一组星号和右括号（，）），叫做括号文本注释。这

种注释加人语法中后不影响其原来所描述的意义，但为人工阅读提供了方便。它可以在语法中除元标

识、整数、特殊序列或终端字串以外的任意位置出现。

除终端字串以外，纸面上的编排格式不影响语法的含义。

注1：以下是元语言中特殊符号的总集。前6个按2.2中所表述的优先级别由高向低排列，此排序到后面成对的

字符处停止。

＊在一个整数之后，指定其后的语法基元在语法因子中出现的次数。

一在语法项中的语法例外之前。

，在单一定义中分隔顺序出现的语法项。

｝在定义列表中分隔可供选择的多个单一定义。

＝在语法规则中将定义列表与定义的元标识分隔开。

；终止一条语法规则。

‘和’或

“和”括起一组字符以生成一个终端字符申，表示所生成的那些字符。

（，和。）括起一项注释以生成一个文本注释，给人工阅读者提供附加信息。

（和）括起一个定义列表以生成一个成组序列，在普通的代数学意义上将这些元素集合起来。

｛和｝括起一个定义列表以生成一个重复序列，一个语法基元可以缺省或重复多次。

〔和］括起一个定义列表以生成一个任选序列，一个语法基元可以缺省或仅被包含一次。

？和？括起一些文本以生成一个特殊序列，一个语法基元由元语言以外的其他语言所描述。

2.3 附加规则

一些参数需要重复多次，具体的重复次数取决于格式中该先前的某参数的值。元语言中没有描述

这种依赖关系的条款。在这种情况下，这些参数被表示为重复序列，给出实际重复次数的那个参数的名

称由紧跟的一个文本注释给出。

一个值为1E37的实数被用来表示其实际值不详的虚拟值。仅可能出现在日期或时间中的不详整

数，用一1来做虚拟值。

注2：当元标识出现在括号文本注释中时，以斜体字打印。

注3：在定义实验和数据块的语法规则中，定义列表中的每个元标识与数据采集计算机中的一个简单变量或数组变

量相对应。按本格式输出时，每个变I或数组元素都是一个由十进制值为13和10的ASCII字符（即回车符

和换行符）组合成的硬回车符结尾的子序列表示。该子序列生成一个普通的整数或实数，以表示所存储的数

值或等效的文本字符申。每个元标识由一个选定的意义明确的词或短语构成，必要时可以用括号文本注释进

一步加以说明。首先给出实验和数据块两项语法规则，然后按字母顺序给出其余的各项语法规则。

2.4 格式

experiment(＊实验＊）＝format identifier（＊格式标识＊），

institution identifier（，机构标识，），

instrument model identifier（＊仪器型号标识二），

operator identifier（，操作者标识‘），

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

experiment identifier（，实验标识‘），

number of lines in comment（＊注释的行数二），

{comment line(＊注释二）｝

( * comment lin。出现的次数由前面number o f lines in comment的值给出。

注释可以含有仪器最近一次校正的细节。二），

experiment mode（＊实验方式，），

scan mode（＊扫描模式‘），

[number of spectral regions ，谱区间的个数‘）〕

（＊一般来说，一次实验中只用到一种测试技术，但也可能有多种。number of spec-

tral region：的值是所有各种测试技术各自的谱图区间数的总和。

当且仅当experiment mod。的值为‘MAP', MAPDP' , NORM’和‘SDP’时，

才会插人二umber of spectral regions.‘），[number of analysis positions（二分析位置数二），

number of discrete x coordinates available in full map(，在全部二维元素像中有效的离

散x坐标数＊）

number of discrete y coordinates available in full map（，在全部二维元素像中有效的离

散y坐标数＊）

（‘以上三项当且仅当experiment mode的值为‘MAP’或‘MAPDP’时才被插人。

注意若number of discrete x coordinates in full map和number o f discret y

coordinates in full map的乘积大于number of analysis positions的值时，则二维元

素像中的某些点位将为空白。，），

number of experimental variables(实验变量数＊）

（二实验变量是指那些在同一数据块中保持恒定，但在整个实验中不同的数据块中

可不相同的参数。二），

{ experimental variable label(＊实验变量标志‘），

experimental variable units(＊实验变量单位‘）｝（二以上两项出现的次数由前面的 number of experimental variables的值给出。

关），

0' , carriage return(‘回车‘），

number of manually entered items in block(＊数据块中手T -输人条目数‘），

(prefix number of manually entered item(，手I输人条目的前缀数‘）｝

( * prefix number of manaully entered item的出现次数由前面number o f mana-

ully entered items in block的值给出。如果该值大于零，则顺序出现的prefix number of manaully entered item的值应为递增的顺序。定义block的语法规则中所有

需操作者人工键人的数据项之前的注释括号中的前缀值都应收人此列表中。若有用

实数表示的数据项而操作者不能提供该项的值，则计算机应插人值1E37.＊），

number of future upgrade experiment entries(＊待升级实验条目数* ),

number of future upgrade block entries(，待升级数据块条目数‘）（，在将来本格式因升级而加人更多的不可选、不重复的参数时，number o f future

upgrade experiment enteree：和number of future upgrade block entries才有意义。

这些新参数的个数应插入在此处，以使旧程序能够跳过新数据中这些新的参数，同

样，新程序也不会试图在旧数据中读取这些新参数。目前这两项的值都应设为零。

苦），


GB/T 19499--2004八S014976：1998

future upgrade experiment entry(，待升级实验条目‘）｝

( * future upgrade experiment entry出现的次数由前面的number of future up-

grade experiment entrie：的值给出。它被定义为一text line，这样，由未来升级的

格式在此所插人的任意‘nteger, real number或text line均可按text line读取后舍

弃。，），

number of blocks(，数据块数，），

{ block(，数据块，）｝一

（＊减号后跟空序列只是一个分隔符，表示这里至少要有一个数据块。

block出现的次数由前面number o f block：的值给出。，），

experiment terminator（，实验终止符，）；

block（二block identifier（，数据块标识二），

数据块，）

sample identifier（，样品标识，），

（二1，） [year in full（＊公元年份全称＊）〕

（＊公元年份，如‘1987'‘），

（，2，） [month（，月，）〕，

（，3，） [day of month（，日＊）」，

（，4＊） [hours(，小时，）」

（二24小时制时间，），

（* 5，） [minutes（，分＊）〕，

（，6，） [seconds（，秒＊)]

（，若上面六项中任一项的值不可知，则应输人一1作虚拟值。二），

（，7，） [number of hours in advance of Greenwich Mean Time(，与格林威治标准时间的时差

，）〕，

（，8，） [number of lines in block comment(＊块注释中的行数，），（，8，） i comment line(＊注释＊）｝〕

（＊comment line出现的次数由前面的number of lines in block comment的值给出。二），

（，9，） [technique（＊测试技术＊）〕，

（，10二） [x coordinate(，x坐标＊）

（，从1开始的，点阵中的点沿激发源的x扫描偏转方向的顺序数。，），

（＊10，） y coordinate(，Y坐标＊）〕

（，从1开始的，点阵中的点沿激发源的y扫描偏转方向的顺序数。

当且仅当experiment mod。的值为‘MAP’或‘MAPDP’时，上面两项才将被插人。，），

（＊11＊） {value of experimental variable(＊实验变量值，）｝

（＊例如，value of experimental variabl。可以是以秒为单位的总时间，以秒为单位的总

溅射时间，以离子数／m2为单位的总戮射流量，以K为单位的温度，以电子伏特为单位的

能量或以原子质量单位为单位的质量。当这些变量的值随时间缓慢变化时，该变量的值

应为开始记录本数据块数据时的值，除非在experimental variable label中另有说明。

value of experimental variabl。出现的次数由前面的number of experimental variables

的值给出，其赋值的顺序与前面的experimental variable label和experimental variable unit：的顺序相同。，），

（二12，） [analysis source label(＊分析源标志，）〕，

GB/T 19499-2004/1SO 14976：1998

（，13，） [sputtering ion or atom atomic number(，溅射离子或原子的原子序数‘），（，13，）number of atoms in sputtering ion or atom particle(，在溅射离子或原子粒子中原子的数

目二），

（＊13＊）sputtering ion or atom charge sign and number( *溅射离子或原子电荷的符号和数目，）〕

（‘当且仅当（1) experiment mode的值为‘MAPDP', MAPSVDP' , SDP’及‘SDPSV',

或（2) technique的值为‘FABMS', FABMS energy spec', ISS' , SIMS'，SIMS energy

spec', SNMS’或‘SNMS energy spec’时，以上三项将被插人。‘），（，14 * ) [analysis source characteristic energy（二分析源的特征能量二）〕

（，以电子伏特为单位的能量＊），

（，15，）[analysis source strength(＊分析源的强度，）〕（，对于XPS和XRF是以瓦为单位的功率；对于AES, EDS, ISS, SIMS和SNMS是以纳

安为单位的束流值，对于FABMS是当量束流。，），

（，16＊） [analysis source beam width x(＊分析源x方向束宽‘）

（＊样品上源束在与之垂直的平面中的宽度，以微米为单位。，），

（，16二）analysis source beam width y(＊分析源y方向束宽‘）〕（，样品上源束在与之垂直的平面中的宽度，以微米为单位。二），

（，17，） [field of view x ( * x方向视场，）

（，以微米为单位二），

（，17二） field of view y( * y方向视场，）〕

（，以微米为单位。

当且仅当experiment mode的值为‘MAP', MAPDP', MAPSV' , MAPSVDP’或

SEM’时，以上两项才被插人。＊），

（，18＊） [first linescan start x coordinate(，第一行线扫描x起始坐标，），

（＊18，）first linescan start y coordinate(，第一行线扫描y起始坐标，），（，18＊） first linescan finish x coordinate(，第一行线扫描x终止坐标＊），

( * 18 * ) first linescan finish y coordinate（二第一行线扫描y终止坐标‘），

（，18＊） last linescan finish x coordinate(，结束行线扫描X终止坐标，），

（，18二）last linescan finish y coordinate(＊结束行线扫描y终止坐标＊）〕

（关当且仅当experiment mod。的值为‘MAPSV', MAPSVDP’或‘SEM’时，以上六项才

被插人。

它们被用于给出二维元素像的大小与形状，以及样品上各采样点的扫描顺序。

如下图所示，在所使用的坐标系中，X值在扫描区域中自左向右由1递增，y值在扫描区域

中自上而下由1递增。

巨 N,1N,M ，），

( * 19 * ) [analysis source polar angle of incidence（二分析源人射极角＊）〕

（，相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。二），

（二20＊）[analysis source azimuth(＊分析源方位角＊）〕（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

（二21二） [analyser mode(＊分析器模式＊）〕，


GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

（二22二） [analyser pass energy or retard ratio or mass resolution(，分析器通能或减速比或质量分

辨率，）〕

（，能量以电子伏特为单位，质量以原子质量单位为单位。关），

（，23‘） [differential width(，微分宽度，）〕

（，以电子伏特为单位的调制正弦波或计算机微分处理的峰一峰值。

当且仅当technique的值为‘AES diff'时，,di万erential width才将被插人。＊），

（，24 * ) [magnification of analyser transfer lens(‘分析器传输透镜的放大倍数‘）〕，（二25＊） [analyser work function or acceptance energy of atom or ion(‘分析器逸出功或原子或离

子的接受能二）〕

（＊在AES, ELS, ISS, UPS和XPS的情况下，是恒为正值的逸出功。在FABMS, SIMS

和SNMS的情况下，离子的接受能是质谱仪能量过滤器的通能。‘），

（‘26＊） [target bias(，靶偏压＊）〕

（，target bias以伏特为单位，含有符号。，），

（‘27‘） [analysis width x( * x方向分析宽度二）（＊对于FABMS, FABMS energy spec, ISS, SIMS, SIMS energy spec, SNMS和

SNMS energy spec,analysis width x是被场栩所限制的激发源束在样品台上与源束垂直的平面中x方向的宽度，对于AES diff, AES dir, ELS, UPS和XPS，是分析器狭缝长度

除以分析器电子透镜的放大倍率所得的值，对于EDX和XRF，是激发源束在 x方向的宽

度。analysis width x的单位为微米。，），（‘27‘） analysis width y( * y方向分析宽度二）］

（，类似于analysis width x但是对y方向而言。‘），

（‘28‘）[analyser axis take off polar angle ＊分析器轴向飞离极角，）（，相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。二），

(* 28 *) analyser axis take off azimuth（二分析器轴向飞离方位角，）〕（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

（‘29，）[species label(＊物质标志，）〕（二元素符号或分子式。＊），

（‘30‘）[transition or charge state label（＊跃迁或荷电态标志二）（二例如，AES中的‘KLL', XPS中的‘1 s' ,SIMS中的‘-1', * ),

（‘30‘）charge of detected particle(＊被检测粒子的荷电＊）〕（，例如，对于AES和XPS为一1，对于正离子的SIMS为＋1。二），

（，31＊） [abscissa label(＊横坐标的标志＊），

（‘31，） abscissa units(，横坐标单位，），

（‘31‘） abscissa start(＊横坐标起点，），

（‘31‘） abscissa increment(＊横坐标增量＊）〕（＊当且仅当：can mod。的值为‘REGULAR’时，以上四项才将被插人。＊），

（＊32＊） [number of corresponding variables(，对应变量数‘）

（‘当数据的形式是两个或多个变量值的数组时，number of corresponding variables等

于变量的个数，否则其值为la＊），

（，32‘） {corresponding variable label(＊对应变量标志＊），

（，32‘）corresponding variable units(，对应变量单位二）｝〕（‘上面两项出现的次数由前面的number of corresponding variable：的值给出。，），

（‘33‘） [signal mode(，信号模式，）〕，

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

（二34，） [signal collection time(＊信号采集时间，）］

（，除EDX和XRF中是谱图总的采集时间外，对每通道或二维点阵中每点，均为每单

次扫描的采集时间，以秒为单位。，），

（二35，）[number of scans to compile this block(，形成该数据块的扫描次数＊）〕，

（＊36，）[signal time correction(信号时间修正二）〕（＊除了在EDX和XRF中是活时间校准的采集时间以外，本项均指系统的死时间。在

表示死时间的情况下，正值表示计数率应通过除以（(1-measured rate X dead time)来校

正，负值表示应通过乘以（exp (true count rate X dead time)）来校正。若谱图数据已经过

死时间校正，则此处的值为零，而所用的死时间的值要在注释行中或别处给出。

signal time correction的单位为秒。‘），

（＊37＊）仁sputtering source energy(，溅射源能量，）

（，以电子伏特为单位的能量。，），

（＊37＊）sputtering source beam current（，溅射源束流，）

（，以纳安为单位的电流，或对于中性粒子是当量流。＊），

（，37，）sputtering source width x ( *溅射源x方向宽度，）

（＊样品台上与溅射源束垂直的平面中的宽度，以微米为单位。＊），

（，37，）sputtering source width y（＊溅射源y方向宽度＊）

（，样品台上与溅射源束垂直的平面中的宽度，以微米为单位。，），

（＊37，） sputtering source polar angle of incidence（＊溅射源人射极角＊）

（二相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。，），

（，37二） sputtering source azimuth（＊溅射源方位角，）

（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。二），

（＊37二）sputtering mode(，溅射模式‘）〕

（＊sputtering mod。的值为‘continuous'（采集谱图数据的同时持续溅射），或为‘cyclic'（采集谱图数据时暂停溅射）。

以上七项是关于溅射源的，是对分析源的补充，用于如深度剖析、AES diff,AES dir,

EDX,ELS,UPS,XPS和XRF中。

以上七项当且仅当下面两个条件都满足时才将被插人，(1) techniqu。的值为‘AES diff',

AES dir'，EDX', ELS'，UPS'，IXPS’或‘XRF' ; (2) experiment mod。的值为‘MAP-

DP'， MAPSVDP'，SDP’或‘SDPSV'。二）

（二38二） [sample normal polar angle of tilt（＊样品法线倾斜极角‘）

（，相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。二），

（，38＊）sample normal tilt azimuth(，样品法线倾斜方位角‘）〕（二顺时针方向相对于样品台坐标系的Y轴方向的角度，以度为单位。＊），

（＊39＊）[sample rotation angle(，样品旋转角度＊）〕（，顺时针方向绕样品法线旋转的角度，以度为单位。若是相对于样品的某一特定方向

的角度，则该方向须在第8项的注释行中给予定义。，），

（二40 * ) [number of additional numerical parameters（二附加数字参量数‘）〕，

( * 40 * ) { additional numerical parameter label（二附加数字参量标志，），

（，40＊） additional numerical parameter units(，附加数字参量单位＊），

（＊40＊） additional numerical parameter value(，附加数字参量值＊）｝

（二上面一组三个数据项的出现次数由前面。umber o f additional numerical parameter：的值给出。二），


GB/T 19499--2004八SO 14976：1998

{future upgrade block entry(＊待升级数据块条目＊）｝ ( * future upgrade block entry的出现次数由前面number of future upgrade block en-

trie，的值给出。它被定义为一text line，这样，由待升级的格式在此所插人的任意inte-

ger,real number或text line均可按text lin。读取后舍弃。，），

number of ordinate values（＊纵坐标值的总数，） ( * number of ordinate values的值等于number o f corresponding variables的值和将传输的对应变量(corresponding variables）组的个数的乘积。，），

{minimum ordinate value(，最小纵坐标值，），

maximum ordinate value( *最大纵坐标值，）｝（二上面两个数据项出现的次数由前面number of corresponding variable：的值给出。

它们出现的顺序与前面给出corresponding variable label值的顺序相同。，），

{ordinate value(＊纵坐标值＊）｝－ ( * ordinate value出现的次数由前面number of ordinate value：的值给出。若number

o f corresponding variable：的值大于1，则数据将以连续的整组发送，每个数据组包含与

某一对应变量对应的一纵坐标值，其顺序与前面给出每个corresponding variable label值的顺序相同。

减号后跟空序列表示这里必须至少有一个纵坐标值。二）；

abscissa increment(‘横坐标增量＊）二实数（＊相关的单位详见abscissa start下面的表。＊）；

abscissa label(‘横坐标标志，）＝文本行；

abscissa start(‘横坐标起始点，）二实数；

abscissa units(‘横坐标单位，）一单位（二下表列出了对各technique和experiment mode取值时abscissa units的通常取值，仅供

参考。

对应于不同分析测试技术的单位

实验方式 AES diff, AES dir, FABMS, SIMS， FABMS energy spec,, EDX, ELS, ISS, SNN S SIMS energy spec, UPS, XPS, XRF SNMS energy spec

M AP

MAPDP 6 ev' 4 up或 s' 'eV'

NORM

SDP

SDPSV s' s'

怜）；

additional numerical parameter label(‘附加数字参量标志＊）二文本行； additional numerical parameter units（二附加数字参量单位，）＝单位；

additional numerical parameter value(，附加数字参量值，）＝实数；

analyser axis take off azimuth(‘分析器轴向飞离方位角，）＝实数； analyser axis take off polar angle(＊分析器轴向飞离极角，）＝实数； analyser mode(，分析器模式＊）＝O FAT'｛FRR'｝constant delta m' I constant m/del-

to m'），回车：

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

analyser pass energy or retard ratio or mass resolution(，分析器通能或减速比或质量分辨本领，）＝实数；

analyser work function or acceptance energy of atom or ion(‘分析器逸出功或原子或离子的接受能，）＝实数；

analysis source azimuth(，分析源方位角‘）二实数；analysis source beam width x(，分析源x方向束宽，）＝实数；

analysis source beam width y(，分析源y方向束宽‘）＝实数；analysis source characteristic energy(，分析源的特征能量‘）＝实数；

analysis source label(，分析源标志‘）＝文本行；analysis source polar angle of incidence(，分析源人射极角‘）＝实数；analysis source strength(，分析源的强度‘）＝实数；analysis width x( * x方向分析宽度＊）二实数；

analysis width y( * y方向分析宽度‘）＝实数；block identifier(，数据块标识＊）二文本行；

carriage return(，回车＊）＝？7位ASCII字符CARRIAGE RETURN后跟7位ASCII字

符LINE FEED?；

character（＊字符，）＝‘’I‘！’I‘”’｝‘＃’I‘＄’｝‘％’I‘＆’｝‘”｝‘（’I‘）’｝‘＊’I‘＋’ ｝‘，’I‘一’｝‘．’I‘／’｝‘0'｝‘I' I‘2，｝‘3’｝‘4’｝‘5’｝‘6’｝‘7'｝‘87 I‘9’｝‘：’I

‘；’｝‘＜’｝‘＝’！‘＞’｝‘？夕｝‘＠’｝‘A'｛‘B'｝4C}｝‘D' I‘E'｝F'｝G'｝‘H’｛

‘1'｝1’｝‘K’】‘L'｝‘M' I‘N’！‘O'｝‘P’｝‘C2'！‘R’｝‘5’｝‘T’｝‘U’｝‘V’｝

‘W' I‘x' I‘Y，｝‘2，｝‘〔’｝‘＼’｝‘〕’I‘一，I‘＿，｝“，I‘a，｝‘b，｝‘c，1‘d' I‘e，｝‘f，

｝‘9，｝‘h’｝‘i'｝6i’！‘k' I‘1'｝‘m，｛‘n，｝‘0，｝‘p' I‘q，｝‘r，｝‘5，｝‘t，｝‘u’！‘v，

I‘w，｝‘x' I‘y' I‘：，｝‘｛’I‘I’I‘｝’I‘～’

（，一个字符可以是空格符或是94个由ANSI X3.4-1986所定义的字符中的任意

一个图形字符。7位ASCII字符集是采用信息处理ISO 646:1983的美国国家标准

版本。其他版本的ISO 646可能会用其他不同的字符代换‘＃’，‘＄’，‘＠’，‘〔’，

‘＼’，‘〕’，“’，‘、，，‘｛’，‘｝’或‘一’。＊）；

charge of detected particle(＊被检测粒子的荷电‘）＝整数；comment line(，注释行二）二文本行；

corresponding variable label(，对应变量标志＊）＝文本行；

corresponding variable units(，对应变量单位，）＝单位；day of month（二日二）＝整数；

decimal number(，小数位数＊）二仁sign], [{digit}，‘．’〕，｛digit｝一

（，后跟空序列的减号表示decimal number中至少有一位数。，）

differential width(，微分宽度，）二实数；

digit(＊数字二）= 40Y｝1'｛2'｝3'｛4'｝5'｝6'｝7'｝8'｝69}；

experiment identifier(＊实验标识，）＝文本行；

experiment mode(，实验模式，）＝ (MAP'！MAPDP'｝ MAPSV'｝ MAPSVDP'｝

NORM' I'SDP' 1 SDPSV' I SEM'），回车；

（，实验中每个数据块的内容由。xPeriment mod。的值按如下定义：

MAP’ 对应于规则二维空间点阵中某给定点的谱图。

MAPDP' 对应于深度剖析某给定深度层面的规则二维空间点阵中的某给定点的

谱图。


GB/T 19499-2004/LSO 14976：1998

MAPSV’ 对于规则二维空间点阵中的每个点，由个数固定的一组变量的单值所构

成的一个完整的数据组。注意一条 x方向线扫描是由一个 number o f

analysis positions的值等于number of discrete x coordinates available

in full map的值的二维谱图组成，即分立的y坐标的个数为1。在y方

向线扫描中，x坐标和y坐标的角色互换。

MAPSVDP'对于深度剖析某层面规则二维空间点阵中的每个点，由个数固定的一组

变量的单值所构成的一个完整的数据组。顺序排列的数据块对应于深度

剖析中顺序排列的各层面。

NORM’ 独立的数据，或一组与一个或多个实验变量的一系列确定值相对应的数

据。数据可以是谱图型，或是其他类型。

SDP，对应于深度剖析中某一特定层面的谱图。

SDPSV’ 对于深度剖析中的每个层面，由个数固定的一组变量的单值所构成的一

个完整的数据组。

` SEM’ 规则二维空间点阵各点的电子发射的强度数据组。

＊）；

experiment terminator(，实验终止符，）='end of experiment'，回车；

experimental variable label(，实验变量标志‘）二文本行； experimental variable units(＊实验变量单位‘）＝单位； field of view x( * x方向视场，）＝实数；

field of view y( * y方向视场，）＝实数；

first linescan finish x coordinate(，第一行线扫描x终止坐标，）＝整数；

first linescan finish y coordinate(＊第一行线扫描y终止坐标，）二整数； first linescan start x coordinate(，第一行线扫描x起始坐标＊）＝整数；

first linescan start y coordinate(＊第一行线扫描y起始坐标‘）二整数； format identifier ＊格式标识二）= VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data

Transfer Format 1988 May 4'，回车；

future upgrade block entry（二待升级数据块条目‘）＝文本行； future upgrade experiment entry（二待升级实验条目‘）二文本行； hours(，小时，）＝整数；

institution identifier(，机构标识＊）＝文本行；

instrument model identifier（二仪器型号标识二）＝文本行；

integer（二整数二）= [sign], {digit｝一，回车；

( * integer的值须在一1E37至1E37的范围内。

后跟空序列的减号表示intege；至少有一位数字。，）

last linescan finish x coordinate( *结束行线扫描x终止坐标，）＝整数；

last linescan finish y coordinate(＊结束行线扫描y终止坐标，）二整数；

magnification of analyser transfer lens(，分析器传输透镜的放大倍数‘）＝实数； maximum ordinate value（二最大纵坐标值，）＝实数；

minimum ordinate value(，最小纵坐标值二）＝实数；

minutes(，分二）＝整数；

month（二月＊）二整数；

number of additional numerical parameters(，附加数字参量数，）＝零个或多个；

number of analysis position(，分析位置数，）＝一个或多个； number of atoms in sputtering ion or atom particle（二在溅射离子或原子粒子中原子的数目

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

二）＝一个或多个；

number of blocks(，数据块数，）＝一个或多个；

number of corresponding variables（二对应变量数＊）一一个或多个；number of discrete x coordinates available in full map（二在全部二维元素像中有效的离散x

坐标数＊）＝一个或多个；

number of discrete y coordinates available in full map(＊在全部二维元素像中有效的离散y坐标数二）＝一个或多个；

number of experimental variables(，实验变量数，）二零个或多个；number of future upgrade block entries(＊待升级数据块条目数＊）＝零个或多个；

number of future upgrade experiment entries(＊待升级实验条目数＊）一零个或多个；number of hours in advance of Greenwich Mean Time( 与格林威治标准时间的时差二）＝

实数；

number of lines in block comment(＊块注释中的行数，）＝零个或多个；

number of lines in comment(＊注释的行数，）＝零个或多个；

number of manually entered items in block(＊数据块中手s输人条目数＊）＝零个或多个；number of ordinate values（二纵坐标值的总数，）＝一个或多个；

number of scans to compile this block(，形成该数据块的扫描次数‘）＝一个或多个；number of spectral regions(＊谱区间的个数二）＝一个或多个；one or more(＊一或更多＊）＝整数（＊one or mor。的值必须大于零。二）；

operator identifier( *操作者标识‘）一文本行；ordinate value(＊纵坐标值＊）＝实数；

prefix number of manually entered item(，手工输人条目的前缀数‘）一一个或多个；real number（二实数二）= decimal number, [E', [sign], {digit｝一］，回车

( * real number的值须在一IE37到一1E-37,零，或 1E-37到1E37的范围内。

后跟空序列的减号表示幂次部分如果有的话，则至少要有一位数字。＊）；

sample identifier(＊样品标识＊）＝文本行；sample normal polar angle of tilt（二样品法线倾斜极角＊）一实数；sample normal tilt azimuth（二样品法线倾斜方位角‘）二实数；

sample rotation angle（二样品旋转角度‘）＝实数；scan mode(＊扫描模式，）＝ (REGULAR' I 'IRREGULAR' l MAPPING')，回车

（＊若。.xperiment mod。的值为‘MAPSV', MAPSVDP’或‘SEW ，则：can mode的值必须

为‘MAPPING'，除此之外，若数据的组成形式是：一个横坐标的开始值，横坐标的增量和

对应于一个或多个实验变量的若干个完整的纵坐标值组，则scan mod。的值为‘REGU-

LAR'，否则、can mode的值为‘IRREGULAR'.＊）；

seconds(＊秒＊）＝整数；

sign(‘符号二）＝‘＋’｝‘一’；

signal collection time( *信号采集时间‘）一实数；signal mode(‘信号模式‘）＝(analogue' I pulse counting'），回车；

（二数字化记录的模拟信号可能含有符号，仪器的增益值可以在块内的注释中说明。脉冲

计数的信号值是大于等于零的整数。，）

signal time correction(＊信号时间修正‘）＝实数；species label(＊物质标志＊）＝文本行；sputtering ion or atom atomic number（二溅射离子或原子的原子序数二）＝一个或多个；sputtering ion or atom charge sign and number( 溅射离子或原子电荷的符号和数目‘）二


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

一个或多个；

sputtering mode(‘溅射模式，）＝O continuous' I cyclic'），回车；

sputtering source azimuth(溅射源方位角，）二实数； sputtering source beam current( *溅射源束流‘）二实数；

sputtering source energy(‘溅射源能量＊）＝实数； sputtering source polar angle of incidence(，溅射源人射极角‘）＝实数；

sputtering source width x( *溅射源x方向宽度，）＝实数；

sputtering source width y(‘溅射源y方向宽度＊）＝实数； target bias( *靶偏压，）二实数；

technique（，测试技术，）＝( AES diff' I AES dir'｝EDX'｝ELS'｝FABMS'｝FABMS energy

spec'‘ISS'｝, SIMS'｝‘SIMS energy spec'｝‘SNMS' I‘SNMS energy spec' I‘UPSI｝

'XPS' I XRF'），回车；

（＊各分析技术如下：

AES diff 微分俄歇电子能谱

AES dir 直接俄歇电子能谱

EDX X射线能量色散谱

ELS 电子能量损失谱

FABMS 快原子轰击质谱

ISS 离子散射谱

SIMS 二次离子质谱

SNMS 溅射中性粒子质谱

UPS 紫外光光电子能谱

XPS X射线光电子能谱

XRF X射线荧光谱

关）；

text line(‘文本行，）＝80 *［字符〕，回车；

transition or charge state label( *跃迁或荷电态标志，）二文本行，units(，单位，）＝ (c/s'｝d'｝degree' 1 eV' I'K,｝ micro C'｝micro m'｝m/s'｝n'｝ nA'｝

4ps1 1 s, I u, I V,），回车；

（＊这些值是以下单位的缩写：

c/s' 每秒计数

d’ 无量纲，即纯数，如每通道计数

degree，以度为单位的角度 ev，电子伏特

K’ 开尔文

micro C，微库仑，或微库 micro m，微米 m/s，每秒米 n，未在此处定义，可在标注中给出

nA，纳安 ' ps，皮秒

‘s夕秒

‘ u’ 标准原子质量单位

V’ 伏特

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

关）；

value of experimental variable(，实验变量值，）＝实数；

x coordinate(，x坐标，）二一个或多个；

y coordinate(＊y坐标，）＝一个或多个；year in full(＊公元年份全称‘）二整数；zero or more(，零或更多＊）＝整数

（＊zero or mor。的值大于等于零。＊）；

2.5 谱仪几何位2的规范

相对于样品台固定正交坐标系的x,y和：位移方向定义的激发源、分析器轴、溅射源与样品的所有

角度标记在图1中。若样品台不具备x,y和：方向的位移设施，则：方向取竖直向上的方向，x方向取

水平面中操作者在仪器前方并面向仪器时的右手方向，y方向取同水平面中操作者的正前方向。仪器

前方的定义可以是任意的，但必须在设定系统的几何位置关系时明确地加以定义。

一子

样品合（操作杆）

｝

一x 、

倾拱方位

圈 1 确定角度几何定向之间的关系


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

附录 A

（规范性附录）

格式的设计

表面分析为科学家们提供了多种分析技术和许多可调的实验参数。通常情况下，不仅是谱仪部分，

而且整个仪器都是处于计算机的控制之下，这使得所有的参数能够被自动地记录下来。解释谱图所需

数据处理的复杂性使保持完整的记录成为基本要求，经传输后的数据也要同样完整。若所有的参数都

包含在本格式中，则每个参数可以用它的位置来标识，参数的重复次数也将被明确地表示。

仅使用那些普通显示器或打印机可以显示或打印的字符的优越性在于，可以方便无阻地通过通讯

协议来传输它们，还可以人工地检查数据。这是设计本格式所遵循的基本原则。

数据传输可以划分为如下三个分立的过程：发送计算机将格式化的数据写人一个文本文件，将该文

本文件传送到接收计算机，接收计算机将数据转换为它自己的数据格式。文本文件可以通过通讯传输

的方式进行传送，并采用标准的文件传输协议如KERMIT,XMODEM或局域网协议，或者将其写入诸

如软磁盘之类的可移动存储介质，然后在兼容的系统间交换存储介质。数据压缩及差错校验等文件传

输的细节，未在本格式中规定，因为这些是应该由传输协议实现的功能。当前的格式简单地定义了数据

采集计算机发送和数据接收计算机接收字符的组织顺序。

本格式涵盖了多种实验。最简单的实验是一个对应于一些规则扫描的变量（如能量或质量数）的计

数值谱图，本格式可以将这种数据编码为一个横坐标的起点，一个横坐标的增量和一组纵坐标的值的列

表。本格式还涵盖了那种由对应于每一横坐标值，有完整一组其他变量的纵坐标值构成的谱图。在罕

有的无规扫描变量的情况下，可以将完整的一组与两个或多个变量相关的数值按本格式编码成数据块。

这两种扫描模式分别叫做REGULAR和IRREGULAR。第三种扫描模式，MAPPING，用于表示扫描

成二维像格式的数据。

上述任何一类谱都能被编码为一个数据块，并且，可将多个具有同样扫描模式的谱图组合成为一个

整体的综合实验数据。每个谱图都可以用下面任意一种测试技术（technique）获得：AES diff（微分俄歇

电子能谱），AES dir（直接俄歇电子能谱),EDX(X-射线能量色散谱）,ELS(电子能量损失谱），FABMS

（快原子轰击质谱），ISS(离子散射谱）,SIMS(二次离子质谱）,SNMS(溅射中性粒子质谱），UPS紫外

光光电子能谱），XPS(X一射线光电子能谱）和XRF(X一射线荧光谱）。在质谱中，谱图通常是质量的函

数，但也可以是给定质量下的出射粒子能量的函数，相应的测试技术分别叫做FABMS energy spec（快

原子轰击质谱之能量谱）,SIMS energy spec（二次离子质谱之能量谱）和SNMS energy spec溅射中性

粒子质谱之能量谱）。

在表面分析实验中，每一个谱图对应样品表面上不同的点情况是常见的，如在二维像中，或者，像溅

射深度剖析实验中那样对应样品表面下不同的深度。一个实验中谱图之间的这种相互关系通过实验模

式（experiment mode）表示。四种实验模式分别是MAP（二维像）,SDP（深度剖析）,MAPDP（二维像深

度剖析）和NORMAL（普通谱图）。在MAP模式下，每个谱图对应于二维空间点阵中的一个给定点。

在SDP模式下，每个谱图对应于整个的成分溅射深度剖析中的一个给定的层面。在MAPDP中，每个

谱图对应于整个成分溅射深度剖析中给定层面内二维空间点阵中的给定点。在NORM模式下，每个

谱图可能互不相关，或者每个谱图可能对应诸如温度或时间等的一个或几个实验变量的给定的一组

单值。

作为数据采集计算机中数据精简的结果，或者由于实验的设计的原因，我们可以对二维像中每点或

深度剖析中每个层面，用若干变量的一组完整的单值来替代谱图。在这种情况下，我们可以将二维像或

深度剖析编码为一单个数据块，而不是一整个实验。为此，我们包含了以下四种实验模式：MAPSV,

SDPSV,SEM和MAPSVDP。在MAPSV模式下，每组数值对应于常规二维空间点阵中的一个点。在

SDPSV模式下，每组数值对应于成分深度剖析中的一个层面。SEM是电子发射强度的二维像。在

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

MAPSVDP模式下，一个数据块中的每组数值对应于常规二维空间点阵中的一个点，而顺序的数据块

则对应于溅射深度剖析中依次排列的各层面。对于二维像来说，数据块本身含有各数值组如何按行与

列排列的信息。

上述选项涵盖了多种不同的实验。例如，线扫描是MAPSV的一个特例，包含谱图的多点深度剖

析可能只包含MAPDP中有限的选定点。本格式也涵盖了一些非标准应用技术，如谱仪的强度／能量

响应函数和AES与EDX的比分散图。

在许多实验中，获知各种粒子的人射和出射角是重要的。此处，这些角度在如图 1所示的相应于

样品台x,y,：位移方向的固定正交坐标系中定义，而不是相对于参照样品本身所定义的坐标系。尽管

相对于样品本身的角度更具物理意义，但数据采集计算机仅能直接获取固定参照系中的数据。样品的

角度可以由仪器的参数设置导出，但这种变换并不总是正确的。误差的传递与人为差错的减少，极大地

得益于记录原始数据，而不是导出数据。

此处给出本格式结构的主体思路或许是有益的。由本格式所定义的是实验(experiment)。它包含

一组作为一个整体应用于实验的参数，后跟若干数据块（block)，再后跟一个实验终止符。每个数据块

包含一组应用于该数据块的参数，后跟表示一条曲线、一个谱图或一张二维像的一系列纵坐标值。作为

一个整体应用于实验的参数按其出现的顺序分为下面几组：

该实验在其所在的研究环境中的标识符；

可选的注释；

实验模式；

数据块的数目及其组织顺序；

指向人工输入参数的指针；

待升级参数。

应用于数据块的参数按其出现的顺序组成如下所示的一组：

在实验中该数据块的标识符；

样品标识符；

日期与时间；

可选的注释；

测试技术；

分析测试参数；

分析器参数；

谱图记录参数；

溅射参数；

样品方向参数；

附加参数与待升级参数。

为了说明本格式的应用，在附录B中给出了多种实例。为了帮助那些其表面分析仪器仅有有限选

件的程序员，附录C给出了本格式的一些简单的部分编码版本，它们是由本格式的第 2章派生出来，可

用于特定的常规简单情况。本格式是基于更早的VAMAS标准数据传输格式‘z)发展而来的，但有三处

改动：

a) 谱仪几何位置关系的描述是基于一个右手的而不是左手的坐标系；

b) 包含或不包含参数表中的记录个数被设为零以简化本格式；

C）回车符由一个7位的ASCII字符CARRIAGE RETURN改为双字符序列，即CARRIAGE

RETURN后接LINE FEED,

后者是多种计算机系统下纯文本文件中采用的行结束符。为帮助程序员解读本格式，参考文献 2

提供了一些程序的骨架结构。注意，这些程序可以读出并使用条目个数不为零的包含或不包含参数表，

即它们可以解读本格式和原始的VAMAS格式。另外，这些程序当然不能允许前面的C）条改动。


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

附录 B


格式实例

B.1 概述

附录B. 2. 1-B. 2.12给出了本格式的一些实例。在所有的实例中，实验开头部分的那些条目，即

从format identifier（格式标识）起至注释行（包括这些注释行）部分，还有实验终止符，都被略去。与之

类似，数据块开头的部分条目，即block identifier（数据块标识符）,number of lines in block comment（块注释中的行数）和块注释行亦被略去。被传输文本的所有字符在此均以缩排格式出现，以节省印刷面

积，carriage return由逗号加空格替代。从institution identifier（机构标识）至experiment identifier

（实验标识）这些条目的实例是NPL, VG ESCALAB 2, PJ Cumpson, Mass Study。数据块内自years

（年份）至number of hours in advance of Greenwich Mean Time（与格林威治标准时间的时差）的这些

条目的实例为1986, 5, 1, 18, 45, 21, 0。这些条目简单明确，故没有重复。

B. 2 原型应用

B. 3提供了B. 2. I -B. 2. 4各实例的详细注解。

B. 2. 1 C 1 s峰周围区间宽度为25 eV的一个XPS谱

实验参数如前所述，再加上

NORM, REGULAR，1，0，0，0，0，0，1，

有一个数据块，其参数同前，再加上

XPS, Al，1486.6，300，500，500，45，90，FAT, 20，3，4. 5，0，1000，5000，15，0，C,

is，一1，binding energy, eV, 275，0.05，1，counts per channel, d, pulse counting, 0. 5，

1，400E-9，0，0，0, 0，501，3214，33008，

后面跟501个纵坐标值。

图B. 1说明了B. 2. 1中实例。

B. 2.2 一个点的AES深度剖析，三种元素的窄扫描直接谱，第一个元寮从权开始

实验参数为

SDP, REGULAR, 3，1，time in seconds，s, 0，0，0，0，300，

有300个数据块。第一个数据块的参数为

AES dir, 0, electron gun，18，1，1，5000，10，3，3，45，180，FRR, 4，3，4.5，0，2000，

5000, 15，0, O, KLL，一1，kinetic energy, eV, 530，一0. 5，1，counts per channel, d,

pulse counting, 0. 5，1，400E-9，2000，120, 500，500，20，270, continuous, 0，0，0, 0，

100，20154，31192，


B.2.3 不同元素的两个SIMS二维像，将质讲仪按两套分立的质，数设I，第一个质f数为45 amu

实验参数为

MAPSV, MAPPING, 1，unified atomic mass units, u, 0，0，0，0，2，

有两个数据块。第一个数据块的参数为

SIMS, 45，gallium gun, 31，1，1，10000，1.3，0.1，0.1，12.8，12.8, 1，1，128，1，128，

128，20，270，constant delta m, 0. 9，1，4. 3，0，12. 8，12.8，0，180，SiOH，1，1，1，

counts per pixel, d, pulse counting, 0. 03，1，400E-9，0，0，0，0，16384，294，681，

图B. 2说明了B.2.3中实例的第一数据块。

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

B.2.4 一块集成电路芯片上四个点，三个元寮徽分AES谱的深度剖析谱，第一个元素为权

这是一个二维像中的某些点没有数据的实例。

实验参数为

MAPDP, REGULAR, 3，4，128，128，1，time in seconds，s，0，0，0，0，1200，


AES diff, 15，38，0，electron gun, 18，1，1，5000，1020，2，2，300，300，45，180，FRR,

4, 5, 3, 4.5, 0, 2000, 5000, 15, 0, 0, KLL，一1, kinetic energy, eV, 530，一 0.5, 1,

counts per channel, d, analogue, 0. 5，1，400E-9，2000，120，500，500，20，270，cyclic,

0，0，0，0，100，381，4320，


B. 2.5 含锡的不锈钢，5张对应于 10次撰尾于权气中影晌的SNMS谱图

实验参数为

NORM, REGULAR, 5，1，oxygen exposure in seconds, s，0，0，0，0，50，


SNMS，0，argon, 18，1，1，100，10000，3000，3000，0，0，constant delta m，0.9，1，5.1，

0，1000，1000，30，180，Sn, 0，0，mass, u，120.5，一0. 1，1，counts per channel, d,

pulse counting, 0. 03，1，400E-9，0，0，0，0，31，15，38941，


B. 2. 6 一个单点的循环溅射深度剖析AES徽分谱，单值、3个元素,1000个深度，实验持续8h

实验参数为

SDPSV, REGULAR, 0，0，0，0，0，1，

有一个数据块，参数如下

AES diff, electron gun, 18，1，1，5000，1020，100，100，45，180，FRR, 4，5，3，4.5，0，

1000，5000，15，0，Al Mg O, KLL，一1，time in seconds, s, 0，28.8，3，Al intensity, d，

Mg intensity, d, O intensity, d, analogue, 3，1，400E-9，2000，120，3000，3000，20，

270，cyclic, 0，0，0，0，3000，381，4320，23，9793，782，5640，

后面跟3000个纵坐标值。这些数据也可以按分别与Al,Mg和O相应的三个数据块传送。这种

传送方式也是同样有效的。

图B. 3说明了B.2.6中的实例。

CIS

一飞一

橄卞＿ g 一划用攀 0. 05 eV的

固定间隔

。一粉。补 300 275

结合能/eV

图B.1 Cis的XPS谱，扫描宽度为25 eV


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

— 128像S一

兀万万－兀万万万万－丁只 1 ．．．．．． ⋯ ⋯

1 ．．．．．． ⋯ ⋯

1 0 ． ⋯

｛一：7h 921E 图B. 2 在质谱中质f数为45的分子离子的S iu 圈像

，口习蔽、

M“ 以／／、、～ 1竺二二二二二二二二二二二

d I

0 10 000 20000

时间／秒

图B. 3 对样品一点溅射8h后得到的三个元紊的徽分强度的AES深度剖面圈

B. 2.7 一只集成电路芯片上5个点、100个深度、持续 1个小时、3种元紊在0-100 eV范围内的SIMS

能，谱

采谱区间为0-100 eV，不能由此区分不同元素，故用其他实验变量来区分。

实验参数为

MAPDP, REGULR, 1，5，128，128，2，unified atomic mass units，u，time in seconds, s,

0，0，0，0，1500，

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998


SIMS energy spec，37，21，28，0，argon, 18，1，1，1000，100，0. 5，0.5，300，300，20，

270，constant delta m，0.9，1，2.0，0，1E37，1E37，0，0，Si，1，1，electron volts, eV, 0，

0.2，1，counts per channel，d，pulse counting，0.03，1，400E-9，0，0，0，0，501，0，4927，


B. 2. 8 在 100个深度剖面上，作为刻蚀深度函数的3个元素的AES谱和 1个EDX谱的联合二维像

实验参数为

MAPDP, REGULAR, 4，16384，128，128，1，time in seconds，s，0，0，0，0，6553600，

有“53600个数据块！第一个数据块的参数为

AES dir, 1，1，0，electron gun, 18，1，1，20000，25，o.2，0.2，300，300，45，180，FRR,

2, 3, 4, 5, 2000, 5000, 15, 0, 0, KLL，一1，electron volts, eV, 520，一1, 1, counts per

channel，d, pulse counting，0.03，1，400E-9，2000，1020，3000，3000，20，270，cyclic, 0，

0，0，0，31，831，5420，


B. 2. 9 直接谱模式下，在屏幕的下部约2/3处横跨一块集成电路的对4种元素峰值和背底的x方向

的AES线扫描

实验参数为

MAPSV, MAPPING，1，kinetic energy eV, eV，0，0，0，0，8，


AES dir, 530，electron gun, 5000，10，0. 1，0. 1，12.8，12.8，1，40，128，40，128，40，

45，180，FRR, 2，3，4. 5，0，2000，5000，15，0，O, KLI,，一1，1，counts per channel, d,

pulse counting, 0. 01，1，400E-9，0，0，0，0，128，3081，34333，

后面跟128个纵坐标值。另外，我们也可以用含有8个相关的变量，共1024个纵坐标值的一个数

据块。

s. 2. 10 用于校正AES谱的修正曲线

实验参数为

NORM，REGULAR，1，0，0，0，0，0，1，


AES dir，electron gun，1E37，1E37，1E37，1E37，1E37，1E37，FRR，4，3，4.5，0，2000，

5000，15，0，all elements，any，一1，kinetic energy eV，eV, 0，0.5，1，normalising fac-

tor, d，pulse counting, 3，1，0，0，0，0，0，4001，0，10000，


B. 2. 11 非均匀间隔的靶偏压和溅射时间下两套SIMS强度值的溅射深度剖析数据

实验参数为

SDPSV，IRREGULAR，1，unified atomic mass units, u，0，0，0，0，2，

有两个数据块。第一个数据块的参数为

SIMS, 11，oxygen, 8，2，1，5000，900，500，500，20，270，constant delta m，0.9，1，3.0，

1E37，300，300，0，0，boron，1，1，3，counts per channel，d，target bias，V, sputtering

time, s, pulse counting, 2, 1，400E-9, 0, 0, 0, 0, 300, 2, 100517，一2. 8，一1. 7,

0，3581，


B. 2. 12 3个元素100次分析的AES比分散图

实验参数为


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

NORM，IRREGULAR, O，0，0，0，0，0，1，


AES dir, electron gun, 20000，10，0.01，0.01，45，180，FAT, 50, 1，4.5，0，2000，

5000, 15，0, Al Mg Si, KLL，一1，3, Al Mg intensity (N1一N2)/(Nl+N2)，d, Si inten-

sity (N1一N2)/(Nl+N2)，d, pulse counting, 1，1，400E-9，0, 0, 0, 0, 300, 0, 1，0, 1，

0，1，


B. 3 实例注释

虚拟标题和注释已被加人，为了节省空间格式标记被简化。实际仪器和标识已经在样本中给出，但

除了说明文本项外，没有实际意义。

B.3.1 B.2.1中实例的注释

格式标识 VAMAS Surface Chemical etc

机构标识 NPL

仪器型号标识 Kratos XAM 800

操作者标识 WAD

实验标识 Gold medal contamination

注释的行数 1

注释行 example 1

实验方式 NORM

扫描模式 REGULAR

谱区间的个数 1

实验变量数。

0

数据块中手工输人条目数。

待升级实验条目数 0

待升级数据块条目数 0

数据块数 1

数据块标识 1st block id

样品标识 1st sample id公元年份全称 1986

月 5

日 1

时 18

分 45

秒 21

与格林威治标准时间的时差。

块注释中的行数 0

测试技术 XPS

分析源标志 Al

分析源的特征能量 1486.6

分析源的强度 300

分析源x方向束宽 500

、 GB/T 19499--2004/ISO 14976：1998 I

分析源Y方向束宽 500

分析源人射极角 45

分析源方位角 90

分析器模式 FAT

分析器通能或减速比或质量分辨本领 20

分析器传输透镜的放大倍数 3

分析器逸出功或原子或离子的接受能 4.5

靶偏压 0

x方向分析宽度 1000

Y方向分析宽度 5000

分析器轴向飞离极角 15

分析器轴向飞离方位角。

样品标志 C

跃迁或荷电态标志 is

被检测粒子的荷电一1

横坐标标志 binding energy

横坐标单位 eV

横坐标起始点 275

横坐标增量 0.05

对应变量数 1

对应变量标志。ounts per channel对应变量单位 d

信号模式 pulse counting信号采集时间 0.5

形成该数据块的扫描次数 1

信号时间修正 400E-9

样品法线倾斜极角。

样品法线倾斜方位角。

样品旋转角度 0

附加数值参量数。

纵坐标值的总数 501

最小纵坐标值 3214

最大纵坐标值 33008

紧跟501个纵坐标值和

实验终止符 end of experimentB.3.2 B.2.2中实例的注释


机构标识 NPI_

仪器型号标识 Riber MAC 2

操作者标识 WAD

实验标识 Tantalum pentoxide standard注释的行数 1

注释行 example 2


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

实验方式 SDP



实验变量数 1

实验变量标志 time in seconds

实验变量单位 s

0

数据块中手工输入条目数。

待升级实验条目数。

待升级数据块条目数。

数据块数 300


样品标识 1 st sample id公元年份全称 1986

月 5

日 1

时 18

分 45

秒 21


块注释中的行数。

测试技术 AES dir

实验变量值。

分析源标志 electron gun溅射离子或原子的原子序数 18

溅射粒子中离子或原子的数目 1

溅射离子或原子的荷电符号与数目 1

分析源的特征能量 5000



分析源y方向束宽 3



分析器模式 FRR

分析器通能或、减速比或质量分辨本领 4



靶偏压 0





样品标志 0

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

跃迁或荷电态标志 KLL


横坐标标志 kinetic energy横坐标单位 eV


横坐标增量一0.5

对应变量数 1

对应变量标志。ounts per channel对应变量单位 d




溅射源能量 2000

溅射源束流 120

溅射源x方向宽度 500

溅射源Y方向宽度 500

溅射源人射极角 20

溅射源方位角 270

溅射模式。ontinuous

样品法线倾斜极角。

样品法线倾斜方位角 0






紧跟100个纵坐标值，299以上的块和

分段实验终止符 end of experimentB.3.3 B.2.3中实例的注释


机构标识 NPL

仪器型号标识 VG SIMSLAB MIG 300

操作者标识 WAD

实验标识 IC4261

注释的行数 1

注释行 3

实验方式 MAPSV

扫描模式 MAPPING

实验变量数 1

实验变量标志 unified atomic mass units

实验变量单位 u

0


GB/T 19499-2004/LSO 14976：1998

数据块中手工输人条目数 0



数据块数 2

数据块标识 lst block id

样品标识 lst sample id

公元年份全称 1986

月 5

日 1

时 18

分 45

秒 21

与格林威治标准时间的时差 0


测试技术 SIMS

实验变量值 45

分析源标志 gallium gun

溅射离子或原子的原子序数 31


溅射离子或原子的电荷符号和数目 1


分析源的强度 1.3

分析源x方向束宽 0.1

分析源Y方向束宽 0.1

x方向视场 12.8

Y方向视场 12.8

第一行线扫描x起始坐标 1

第一行线扫描Y起始坐标 1

第一行线扫描x终止坐标 128

第一行线扫描y终止坐标 1

结束行线扫描x终止坐标 128

结束行线扫描Y终止坐标 128



分析器模式 constant delta m分析器通能或、减速比或质量分辨本领 0.9



靶偏压 0

x方向分析宽度 12.8

Y方向分析宽度 12.8


分析器轴向飞离方位角 180

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

样品标志 SiOH

跃迁或荷电态标志 1

被检测粒子的荷电 1

对应变量数 1

对应变量标志 counts per channel对应变量单位 d




样品法线倾斜极角 0



附加数值参量数 0




紧跟16384个纵坐标值，第二个块和

实验终止符 end of experimentB.3.4 B.2.4中实例的注释

格式标识 VAMAS Surface Chemical etc机构标识 NPL

仪器型号标识 PHI Multiprobe 610

操作者标识 WAD

实验标识 IC failure diagnoses注释的行数 1

注释行 example 4实验方式 MAPDP



分析位置数 4

在全部二维元素像中有效的离散x坐标数 128

在全部二维元素像中有效的离散Y坐标数 128

实验变量数 1

实验变量标志 time in seconds实验变量单位 s

0

数据块中手工输人条目数 0



数据块数 1200


样品标识 1st sample id


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

公元年份全称 1986

月 5

日 1

时 18

分 45

秒 21



测试技术 AES dir

x坐标值 15

Y坐标值 38

实验参量值 0

分析源标志 electron gun溅射离子或原子的原子序数 18


溅射离子或原子的荷电符号和数目 1




分析源y方向束宽 2

x方向视场 300

Y方向视场 300



分析器模式 FRR

分析器通能或减速比或质量分辨本领 4

微分窗口宽度 5



靶偏压 0





样品标志 O

跃迁或荷电态标志 KLL


横坐标标志 kinetic energy

横坐标单位 eV


横坐标增量一0.5

对应变量数 1

对应变量标志 counts per channel

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

对应变量单位 d

信号模式 analogue

信号采集时间 0. 5



溅射源能量 2000

溅射源束流 120

溅射源x方向宽度 500

溅射源Y方向宽度 500

溅射源人射极角 20

溅射源方位角 270

溅射模式。yclic

样品法线倾斜极角 0







紧跟100个纵坐标值，1199以上的块和

实验终止符 end of experiment


GB/T 19499--2004/ISO 14976：1998

附录 C


部分编码版本格式

C. 1 概述

本格式的部分编码版本可能更适合于这样的用户：其所用仪器仅能提供有限的可选功能。在这些

部分编码版本中，那些定义实验种类的变量由常量替代，一些参数将被舍弃，因为其值不存在。C. 2-

C. 4是三种常用的实验的部分编码格式。值得强调的是，对于同类的实验，这些部分编码版本的格式将

给出与本标准第2章定义的格式的输出结果完全相同的编码输出，仅有的差别是它们的使用范围不同。

这些部分编码版本不含人工输人项目。

C. 2 不局限于样品上的某个特定位！，仅有一种测试技术、一个实验变．，含有若干规则扫描的谱或

谱区间的实验

B. 2. 5中的实例表述如下

experiment= format identifier（，格式标识，）， institution identifier（＊机构标识＊），

instrument model identifier（，仪器型号标识二）， operator identifier（‘操作者标识，），

experiment identifier（，实验标识＊）， number of lines in comment（二注释的行数，）， { comment line}（，注释，） ( * comment line出现的次数由前面number o f lines in comment的值给出。

注释可以含有仪器最近一次校正的细节。，），

NORM'，回车，

REGULAR'，回车，

number of spectral regions(＊谱区间的个数二）， 1，回车，

experimental variable label(，实验变量标志＊）， experimental variable units（二实验变量单位，）， 0'，回车，

0'，回车，

0'，回车，

0'，回车，

number of blocks（二数据块数，）， { block(，数据块，）｝一


block出现的次数由前面number o f block：的值给出。，），

experiment terminator（二实验终止符二）；block= block identifier（，数据块标识，）

sample identifier（＊样品标识＊）， year in full(‘公元年份全称二）

GB/T 19499-2004八S014976：1998

（＊公元年份，如‘1987'＊），

month（，月，），

day of month（‘日‘），

hours（二小时，），

minutes（＊分二），

seconds（，秒＊）

（，若上面六项中任一项的值不可知，则应输入一1作虚拟值。，），

number of hours in advance of Greenwich Mean Time(，与格林威治标准时间的时差，），

number of lines in block comment(，块注释中的行数，），

{comment line(＊注释，）｝

（，comment line出现的次数由前面number of lines in block comment的值给出。＊），

technique（，测试技术‘），

value of experimental variable（二实验变量值＊）

（二例如，value of experimental variabl。可以是以秒为单位的总时间，以秒为单位的总溅射时间，以离子数／m2为单位的总溅射流量，以K为单位的温度，以电子伏特为单位的能量或以

原子质量单位为单位的质量。当这些变量的值随时间缓慢变化时，该变量的值应为开始记录

本数据块数据时的值，除非在。xperimental variable label中另有说明。，），

analysis source label(，分析源标志‘），

[sputtering ion or atom atomic number(，溅射离子或原子的原子序数‘），

number of atoms in sputtering ion or atom particle(，在溅射离子或原子粒子中原子的数目二），

sputtering ion or atom charge sign and number(溅射离子或原子电荷的符号和数目，）〕

（‘当且仅当technique的值为‘FABMS', FARMS energy spec', ISS', SIMS', SIMS

energy spec', SNMS’或‘SNMS energy spec’时，以上三项将被插人。‘），

analysis source characteristic energy（，分析源的特征能量‘）（，以电子伏特为单位的能量，），

analysis source strength(＊分析源强度‘）（＊对于XPS和XRF是以瓦为单位的功率；对于AES, EDS, ISS, SIMS和SNMS是以纳安

为单位的束流值，对于FABMS是当量束流。，），

analysis source beam width x（二分析源束宽x*)

（＊样品处源束在与之垂直的平面中的宽度，以微米为单位。，），

analysis source beam width y(＊分析源束宽y*）

（＊样品处源束在与之垂直的平面中的宽度，以微米为单位。＊），

analysis source polar angle of incidence(，分析源人射极角，）（＊相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。，），

analysis source azimuth(，分析源方位角‘）（＊顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

analyser mode(＊分析器模式‘），

analyser pass energy or retard ratio or mass resolution(，分析器通能或减速比或质量分辨＊）（，能量以电子伏特为单位，质量以原子质量单位为单位。二），

[differential width(，微分宽度，）〕（二以电子伏特为单位的调制正弦波或计算机微分处理的峰一峰值。

当且仅当technique的值为‘AES diff’时，differential width才将被插入。＊），


GBIT 19499-2004八S0 14976：1998

magnification of analyser transfer lens(，分析器传输透镜的放大倍数，）， analyser work function or acceptance energy of atom or ion(‘分析器逸出功或原子或离子的接受能，）

（二在AES, ELS, ISS, UPS和XPS的情况下，是恒为正值的逸出功。在FABMS, SIMS和

SNMS的情况下，离子的接受能是质谱仪能量过滤器的通能。，），

target bias(，靶偏压，）

（二target bia：以伏特为单位，含有符号。，），

analysis width x(，分析宽度x*）

（‘对于FABMS, FABMS energy spec, ISS, SIMS, SIMS energy spec, SNMS和SNMS

energy spec,analysis width x是被场栩所限制的激发源束在样品台处与源束垂直的平面中

x方向的宽度，对于AES diff, AES dir, ELS, UPS和XPS，是分析器狭缝长度除以分析器电

子透镜的放大倍率所得的值，对于EDX和XRF，是激发源束在x方向的宽度。analysis

width x的单位为微米。‘），

analysis width y(，分析宽度y‘）

（，类似于analysis width x但是对y方向而言。，），

analyser axis take off polar angle(，分析器轴飞离极角‘）（，相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。，），

analyser axis take off azimuth（二分析器轴飞离方位角，）

（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

species label(，物质标记‘）（，元素符号或分子式。，），

transition or charge state label(，跃迁或荷电状态标志‘）

（，例如，AES中的‘KLL', XPS中的‘1s', ,SIMS中的‘-1' ,，），

charge of detected particle(‘被检测粒子的荷电‘）

（＊例如，对于AES和XPS为‘一1'，对于正离子的SIMS为‘+1',＊），

abscissa label(＊横坐标标志，），

abscissa units(，横坐标单位，），

abscissa start(，横坐标起始点＊），

abscissa increment（二横坐标增量，）

1' , carriage return(，回车‘），

corresponding variable label(＊对应变量标志‘）（二本例中，对应变量为强度。，）

corresponding variable units(，对应变量单位，）， signal mode(，信号模式‘），

signal collection time(＊信号采集时间‘）（＊除EDX和XRF中是谱图总的采集时间外，对每通道或二维点阵中每点，均为每单次扫描

的采集时间，以秒为单位。二），

number of scans to compile this block(＊构成块的扫描数，），

signal time correction(‘信号时间校正，）

（＊除了在EDX和XRF中是经活时间修正的采集时间以外，本项均指系统的死时间。在表

示死时间的情况下，正值表示计数率应通过除以（(1-measured rate X dead time)来校正，负值

表示应通过乘以（exp(true count rateXdead time)）来校正。若谱图数据已经过死时间校正，

则此处的值为零，而所用的死时间的值要在注释行中或别处给出。

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

signal time correction的单位为秒。‘），

sample normal polar angle of tilt（样品的倾斜极角）

（＊相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。，），

sample normal tilt azimuth（样品的倾斜方位角）（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

sample rotation angle（样品的旋转角）

（，顺时针方向绕样品法线旋转的角度，以度为单位。若是相对于样品的某一特定方向的角

度，则该方向须在第8项的注释行中给予定义。＊），

number of additional numerical parameters(，附加数字参数的数目＊），

{additional numerical parameter label(，附加数字参数标志二），

additional numerical parameter units(，附加数字参数单位‘），

additional numerical parameter value(，附加数字参数值，）｝

（二上面一组三个数据项的出现次数由前面附加数字参数数目的值给出。二），

number of ordinate values（二纵坐标值数目，）

minimum ordinate value(，最小纵坐标值，），

maximum ordinate value(＊最大纵坐标值＊），

{ordinate value（二纵坐标值，）｝一

（，纵坐标值出现的次数由前面纵坐标值数目的值给出。，）；

abscissa increment二实数（，相关的单位详见横坐标起点下面的表。，）；

abscissa label＝文本行；

abscissa start＝实数；

abscissa units二单位

（，下表列出了对technique取各个值时abscissa units的通常取值，仅供参考。

三测试技术单位

AES diff, AES dir, EDX, ELS, ISS, UPS, XPS, XRF 4ev'

FABMS, SIMS, SNMS ‘u’或 ‘s'

FABMS energy spec, SIMS energy spec, SNMS energy spec eV'

，）；

additional numerical parameter label＝文本行；

additional numerical parameter units＝单位；

additional numerical parameter value＝实数；

analyser axis take off azimuth＝实数；

analyser axis take off polar angle＝实数；

analyser mode= (FAT' I FRR' I constant delta m' I constant m/delta m'），回车；

analyser pass energy or retard ratio or mass resolution＝实数；

analyser work function or acceptance energy of atom or ion＝实数；

analysis source azimuth＝实数；

analysis source beam width x＝实数；

analysis source beam width y二实数；

analysis source characteristic energy＝实数；

analysis source label＝文本行；

analysis source polar angle of incidence＝实数；


GB/T 19499---2004/1S0 14976：1998

analysis source strength＝实数；

analysis width x＝实数；

analysis width y＝实数；block identifier＝文本行；

carriage return=？7位ASCII字符CARRIAGE RETURN后跟7位ASCII字符LINE FEED?;

character＝‘’！‘！’｝‘”’｝‘＃’｝‘＄’｝‘％’｝‘＆’｝‘”I‘（’｛‘）’｝‘，’1‘＋’｝‘，’！‘一’｝‘．’｛‘／’

I0'｝‘1’｝‘2'｝‘3'｛‘4'｝‘5’｝‘6'｝‘7’1‘8'｝‘9’｝‘：’｝‘；’1‘＜’｝‘＝’｝‘＞’｝‘？’｝

‘＠’｝‘A'｝ B'｝‘C，｝‘D'｝‘E' I 'F1｝G'｝‘H'｝‘I'｝J’｝K'｝‘L'｝M'｝N'｝‘O'｝

‘P'｝‘Q，｝R'｝‘S1｝'T'｝‘U'｝‘V'｝‘W'｝6x}｝‘Y'｝‘Z'｝‘［’｝‘＼’｝‘7’｝‘一，｝‘＿，｝‘、，

I‘a' I‘b' I‘c' I‘d' I‘e' I‘f' I‘g' I h' I i'｝LJ’｝‘k'｛‘1' I‘m' I‘n' I o'｝‘p' I‘q' I

‘r' I‘s'！‘t'｝‘u'｝‘v'｝‘w'‘x' I y'｝‘：，｝‘｛’｝‘｝’｛‘）’｝‘～’

（二一个字符可以是空格符或是94个由ANSI X3.4-1986所定义的字符中的任意一个图形

字符。7位ASCII字符集是采用信息处理ISO 646-1983的美国国家标准版本。其他版本的

ISO 646可能会用其他不同的字符代换‘＃’，‘＄’，‘＠’，‘〔’，‘＼’，‘］’，‘一’，‘”，‘｛’，‘｝’或 ‘～’。，）；

charge of detected particle=整数；

comment line＝文本行；

corresponding variable label＝文本行；

corresponding variable units二单位；

day of month＝整数；

decimal number= [sign]，〔｛digit}，‘．’〕，｛digit｝一

（，后跟空序列的减号表示decimal number中至少有一位数。，）

differential width＝实数；

digit二‘0’｝‘1’｝‘2'｝3’｝4’｝‘5’！‘6’｝‘7’！‘8'｝‘9’；

experiment identifier＝文本行；

experiment terminator= end of experiment'，回车；

experimental variable label＝文本行；

experimental variable units二单位；

format identifier二‘VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4，，

回车；

hours＝整数；

institution identifier＝文本行；

instrument model identifier二文本行；

integer= [sign],｛ digit｝一，回车；（＊整数的值须在一1E37-1E37的范围内。，）

magnification of analyser transfer lens二实数；

maximum ordinate value＝实数；

minimum ordinate value＝实数；

minutes＝整数；

month二整数；

number of additional numerical parameters＝零或更多；

number of atoms in sputtering ion or atom particle＝一或更多；number of blocks＝一或更多；

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

number of hours in advance of Greenwich Mean Time＝实数；

number of lines in block comment=零或更多；

number of lines in comment＝零或更多；

number of ordinate values＝一或更多；

number of scans to compile this block＝一或更多；

number of spectral regions＝一或更多；

one or more＝整数（＊one or more的值必须大于零。＊）；

operator identifier二文本行；

ordinate value＝实数；

real number= decimal number,仁'E', [sign], {digit｝一」，回车

( * real number的值须在一1E37到一1E-37，零，或1E-37到1E37的范围内。

后跟空序列的减号表示幂次部分如果有的话，则至少要有一位数字。，）；

sample identifier＝整数；

sample normal polar angle of tilt＝实数；

sample normal tilt azimuth＝实数；

sample rotation angle＝实数；seconds=整数；

sign=‘＋’｝‘一’；

signal collection time＝实数；

signal mode= C analogue' I pulse counting'），回车

（，数字化记录的模拟信号可能含有符号，仪器的增益值可以在块内的注释中说明。脉冲

计数的信号是值大于等于零的整数。，）；

signal time correction＝实数；

species label＝文本行；

sputtering ion or atom atomic number＝一或更多；

sputtering ion or atom charge sign and number=整数；

target bias＝实数；

technique=（‘AES diff'｛‘AES dir'｛‘EDX'｝‘ELS'｝‘FABMS'｝‘FABMS energy spec'｝‘ISS'｝

` SIMS,｝'SIMS energy spec'｝SNMS'｝‘SNMS energy spec'｝‘UPS'｝ XPS'｝ ),CIZF'），回

车；

text line= 80二［character]，回车；

transition or charge state label＝文本行；

units=（‘c/s'｝‘d'｝‘degree'｝‘eV' I‘K'｝‘micro C' I‘micro m'｝m/s'｝‘n'｝‘nA' I‘ps'｝‘s'｝

‘u' I V'），回车


c/s’ 每秒计数

d’ 无量纲，即纯数，如每通道计数

degree' 以度为单位的角度

` ev，电子伏特

K，开尔文

micro C，微库仑，或微库

micro m’ 微米

4 m/s’ 每秒米


GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

n’ 未在此处定义，可在标注中给出

nA’ 纳安

4 ps，皮秒 ‘s’ 秒

‘ u夕标准原子质量单位

V’ 伏特

关）；

value of experimental variable＝实数；

year in full＝整数；

zero or more二整数

（‘zero or more的值大于等于零。，）；

C. 3 分析不局限于样品上某点，仅使用一种测试技术如AES或SIMS，与娥射相关的一组规则扫描的

谱区间组成的实验（如溅射深度剖析）

B.2.2中的实例表述如下

experiment= format identifier（＊格式标识二）， institution identifier（＊机构标识＊），

instrument model identifier（二仪器型号标识＊），

operator identifier（＊操作者标识关），

experiment identifier（，实验标识＊）， number of lines in comment（，注释的行数，）， {comment line}（＊注释＊） ( * comment line出现的次数由前面number of lines in comment的值给出。

注释可以含有仪器最近一次校正的细节。关），

SDP'，回车，

REGULAR'，回车，

number of spectral regions,

1'，回车，

time in seconds'，回车，

s'，回车， 0'，回车，

0'，回车，

0'，回车，

0'，回车，

number of blocks，

｛block｝一


block出现的次数由前面number of blocks的值给出。＊），

experiment terminator（‘实验终止符，）；

block=block identifier（二数据块标识＊）

sample identifier（二样品标识二）， year in full(＊公元年份全称＊）

GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

（＊公元年份，如‘1987'‘），

month（＊月＊），

day of month（二日二），

hours（＊小时关），

minutes（，分，），

seconds（＊秒＊）

（二若上面六项中任一项的值不可知，则应输人一1作虚拟值。＊），

number of hours in advance of Greenwich Mean Time(，与格林威治标准时间的时差，），

number of lines in block comment（二块注释中的行数＊），

{ comment line（二注释，）｝

（，comment lin‘出现的次数由前面number of lines in block comment的值给出。，），


value of experimental variable（二实验变量值‘）（二例如，value of exprimental variable可以是以秒为单位的，在开始记录每个数据块时总

的溅射时间。＊），

analysis source label(，分析源标志＊），（＊时间是对每一个通道或点阵点的每次扫描时间，而对EDX和XRF则是谱总的采集时间＊）

number of scans to compile this block(，组成数据块的扫描数二），

signal time correction(＊信号时间校正‘）

（，除了在EDX和XRF中是活时间校准的采集时间以外，本项均指系统的死时间。在表示

死时间的情况下，正值表示计数率应通过除以（(1-measured rate X dead time）来校正，负值表

示应通过乘以（exp(true count rateXdead time)）来校正。若谱图数据已经过死时间校正，则

此处的值为零，而所用的死时间的值要在注释行中或别处给出。

signal time correction的单位为秒。‘）[sputtering source energy(，溅射源能量关）

（＊以电子伏特为单位的能量。＊），

sputtering source beam current（＊溅射源束流‘）

（，以纳安为单位的电流，或对于中性粒子是当量流。＊），

sputtering source width x（二溅射源x方向宽度‘）（，样品台上与溅射源束垂直的平面中的宽度，以微米为单位。，），

sputtering source width y（＊溅射源y方向宽度‘）（二样品台上与溅射源束垂直的平面中的宽度，以微米为单位。，），

sputtering source polar angle of incidence（‘溅射源人射极角‘）

（二相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。二），

sputtering source azimuth（＊溅射源方位角‘）

（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。＊），

sputtering mode(＊溅射模式，）〕（二sputtering mode的值为‘continuous'（采集谱图数据的同时持续溅射），或为‘cyclic'（采

集谱图数据时暂停溅射）。

以上七项是关于溅射源的，是对分析源的补充，用于如深度剖析、AES diff,AES dir,EDX,

ELS,UPS,XPS和XRF中。

以上七项当且仅当techniqu。的值为‘AES diff', AES dir', EDX', ELS' , 'UPS', IXPS’或‘XRF’时才将被插人。二）


GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

sample normal polar angle of tilt(，样品法线倾斜极角，）（，相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。，），

sample normal tilt azimuth(＊样品法线倾斜方位角二）（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

sample rotation angle(＊样品旋转角度，）（，顺时针方向绕样品法线旋转的角度，以度为单位。若是相对于样品的某一特定方向的角

度，则该方向须在注释行中给予定义。，），

number of additional numerical parameters(＊附加数字参量数，），

{additional numerical parameter label(，附加数字参量标志，）， additional numerical parameter units(＊附加数字参量单位，）， additional numerical parameter value(＊附加数字参量值，）｝（‘上面一组三个数据项的出现次数由前面number of additional numerical parameters的值给出。二），

number of ordinate values，纵坐标值数目＊） minimum ordinate value(，最小纵坐标值，），

maximum ordinate value(＊最大纵坐标值，）， {ordinate value(，纵坐标值，）｝一（，纵坐标值出现的次数由前面纵坐标值数目的值给出。，）；

abscissa increment＝实数（，相关的单位详见abscissa start下面的表。，）；

abscissa label＝文本行；

abscissa start＝实数；

abscissa units＝单位（‘下表列出了对technique取各个值时abscissa unit：的通常取值，仅供参考。

陈襄 NU-t R*AES diff, AES dir, EDX, ELS, ISS, UPS, XPS, XRFFABMS, SIMS, SNMSFABMS energy spec, SIMS energy spec, SNMS energy spec令关）；




analyser axis take off azimuth二实数；analyser axis take off polar angle＝实数；

analyser mode= O FAT' I FRR' I constant delta m' I constant m/delta m'），回车；

analyser pass energy or retard ratio or mass resolution二实数；


analysis source azimuth二实数；


analysis source beam width y＝实数；

analysis source characteristic energy＝实数；

analysis source label＝文本行；analysis source polar angle of incidence＝实数；

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998


analysis width x＝实数；

analysis width y＝实数；block identifier＝文本行；


character=''｝‘！’｝‘”’I‘＃’】‘＄’｝‘％’｝‘＆’｝‘” ｝‘（’｝‘）’！‘，’｝‘＋’｝‘，’｝‘一’I‘．’｝‘／’

｝0'｝‘1'｝‘2’｝‘3’｝4’！‘5’｝‘6’｝‘7’｝‘8'｝‘9’｝‘：’｝‘；’｝‘＜’｝‘＝’I‘＞’｝‘？’｛

‘＠’｝‘A'｝B' I‘C1｝'D'】‘E'｝‘F' I‘G'｛‘H’I‘I'｝6 1’｝‘K' I‘L'｝‘M'｝N' I‘0，

｝‘P' I Q'｝R'｝‘S'｝‘T'｝‘U'｝‘V' I W'｝‘x' I‘Y'｝‘Z'｝‘〔’｝‘＼’｛‘〕’｛‘一，｝‘＿，

I‘、，｝‘a'｝‘b' I‘。，I‘d'I'e'I‘f' I‘g' 1‘h' I‘i' 14j’I‘k' I‘1'｝‘m'！‘n' I o'｝‘p'］

‘q，｝‘r' ‘s' I‘t' I‘u' I v' I‘w'｝‘x' I‘y，1‘z' I‘｛’I‘｝’I‘｝’I‘～’

（，一个字符可以是空格符或是94个由ANSI X3. 4 -1986所定义的字符中的任意一个图形

字符。7位ASCII字符集是采用信息处理ISO 646:1983的美国国家标准版本。其他版本的

ISO 646可能会用其他不同的字符代换‘＃’，‘＄’，‘＠’，‘〔’，‘＼’，‘〕’，‘一’，,4,,， 1{'， }’或

‘～夕。二）；

charge of detected particle＝整数；



corresponding variable units二单位；

day of month＝整数；

decimal number= [sign]，〔｛digit}，‘．’〕，{digit｝一

（＊后跟空序列的减号表示decimal number中至少有一位数。，）


digit= 0'｝‘1’！2’｝‘3'｝4’｝‘5’｝‘6’｝‘7’｝‘8’｝49’；



format identifier=‘VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4'，

回车；

hours＝整数；

institution identifier＝文本行；

instrument model identifier＝文本行；

integer= [sign], {digit｝一，回车；

（二integer的值须在一1E37-1E37的范围内。，）



minimum ordinate value二实数；

minutes＝整数；

month＝整数；


number of atoms in sputtering ion or atom particle＝一或更多；

number of blocks＝一或更多；


number of lines in block comment=零或更多；


GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

number of lines in comment=零或更多；



number of spectral regions＝一或更多；

one or more＝整数（，one or more的值必须大于零。，）；

operator identifier＝文本行；

ordinate value＝实数；

real number= decimal number, ['E', [sign], {digit｝一〕，回车

（二real number的值须在一1E37到一1E-37,零，或1E-37到1E37的范围内。

后跟空序列的减号表示幂次部分如果有的话，则至少要有一位数字。，）；

sample identifier＝文本行；


sample normal tilt azimuth＝实数；

sample rotation angle二实数；

seconds＝整数；

sign=‘＋’｝‘一’；


signal mode= (analogue'｝pulse counting'），回车


计数的信号是值大于等于零的整数。二）


species label＝文本行；

sputtering ion or atom atomic number二一或更多；

sputtering ion or atom charge sign and number＝整数；

sputtering mode= O continuous' ( cyclic'），回车；

sputtering source azimuth＝实数；

sputtering source beam current＝实数；

sputtering source energy＝实数；

sputtering source polar angle of incidence＝实数；

sputtering source width x＝实数；

sputtering source width y＝实数；target bias＝实数；

technique二（‘AES diff' I‘AES dir' I‘EDX' I‘ELS'！‘FABMS' I‘FABMS energy spec'｝‘ISS'｝

‘SIMS'！‘SIMS energy spec'｝‘SNMS'｝‘SNMS energy spec'｝‘UPS'｝‘XPS,｝'XRF'），

回车；

text line= 80 * [character]，回车；


urits=（‘c/ s'｝‘d'｝‘degree'｝‘eV'｝‘K'｝‘micro C'｝‘micro m'｝‘m/s,！‘n'｝‘nA' I‘ps'｝‘s'｛

u' J ,V,），回车


c/s’ 每秒计数

d7 无量纲，即纯数，如每通道计数

'degree，以度为单位的角度

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

eV，电子伏特

K，开尔文

` micro C，微库仑，或微库

' micro m，微米

m/s’ 每秒米

‘ n’ 未在此处定义，可在标注中给出

nA，纳安

4 ps，皮秒

‘s’ 秒


V’ 伏特

二）；


year in full＝整数；

zero or more＝整数

（＊zero or more的值大于等于零。关）；

C. 4 仅使用一种测试技术如AES, EDX或S u E..'，由若干表示不同元素强度的单值二维像组成的实验，

二维图由从（1,1)开始的X-线扫描构成并仅随一个实验变f变化

B.2.3中的实例表述如下

experiment= format identifier（＊格式标识，），

institution identifier（＊机构标识，），

instrument model identifier（二仪器型号标识* ),

operator identifier（，操作者标识‘）， experiment identifier（＊实验标识‘），

number of lines in comment（，注释的行数＊），

{comment line)（二注释二）

( * comment lin。出现的次数由前面number of lines in comment的值给出。

注释可以含有仪器最近一次校正的细节。＊），

MAPSV'，回车，

MAPPING'，回车，

1'，回车，

experimental variable label（二实验变量标志‘），

experimental variable units(‘实验变量单位‘）， 0'，回车，

0'，回车， 0'，回车，

0'，回车，

number of blocks,

｛block｝一

（，减号后跟空序列只是一个分隔符，表示这里至少要有一个数据块。

block出现的次数由前面number o f block、的值给出。＊），


GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

experiment terminator（关实验终止符，）；block= block identifier（，数据块标识，）

sample identifier（，样品标识‘），

year in full(，公元年份全称‘）

（，公元年份，如‘1987'‘），

month（，月，），

day of month（＊日＊），

hours（＊小时，），

minutes（二分＊），

seconds（，秒＊）

（，若上面六项中任一项的值不可知，则应输人一1作虚拟值。＊），

number of hours in advance of Greenwich Mean Time（二与格林威治标准时间的时差二），

number of lines in block comment（二块注释中的行数二），

{ comment line(，注释，）｝

（二。omment lin。出现的次数由前面number of lines in block comment的值给出。，），


value of experimental variable

（，例如，value of experimental variabl。可以是以秒为单位的总时间，以秒为单位的总溅射

时间，以离子数／m“为单位的总溅射流量，以K为单位的温度，以电子伏特为单位的能量或以

原子质量单位为单位的质量。当这些变量的值随时间缓慢变化时，该变量的值应为开始记录

本数据块数据时的值，除非在。xperimental variable label中另有说明。

关），

analysis source label(＊分析源标志‘），

[sputtering ion or atom atomic number(＊溅射离子或原子的原子序数‘）， number of atoms in sputtering ion or atom particle(，在溅射离子或原子粒子中原子的数目，），

sputtering ion or atom charge sign and number（二溅射离子或原子电荷的符号和数目‘)]

(*当且仅当（1) experimental mode的值为‘MAPDP', MAPSVDP', SDP’及‘SDPSV',

或（2) technique的值为‘FABMS'，FABMS energy spe。夕，ISS夕，SIMS,，'SIMS energy

spec', SNMS’或‘SNMS energy spec’时，以上三项将被插人。，），

analysis source characteristic energy（二分析源的特征能量‘）

（＊以电子伏特为单位的能量＊），

analysis source strength( 分析源强度‘）

（，对于XPS和XRF是以瓦为单位的功率；对于AES, EDS, ISS, SIMS和SNMS是以纳安

为单位的束流值，对于FABMS是当量束流。，），

analysis source beam width x（‘分析源束宽X*）

（，样品处源束在与之垂直的平面中的宽度，以微米为单位。，），

analysis source beam width y(，分析源束宽Y，）

（二样品处源束在与之垂直的平面中的宽度，以微米为单位。二），

field of view x（*x方向视场，）

（二以微米为单位，），

field of view y( * y方向视场‘）

（二以微米为单位。，）

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

1'，回车，1'，回车，

first linescan finish x coordinate(＊第一行线扫描x终止坐标＊），

1'，回车，

last linescan finish x coordinate(，结束行线扫描x终止坐标，），

last linescan finish y coordinate(，结束行线扫描y终止坐标，）

（＊以上六项用于给出二维像的大小与形状，以及样品上各采样点的扫描顺序。

如下图所示，在所使用的坐标系中，x值在扫描区域中自左向右由1递增，y值在扫描区域中

自上而下由1递增。

口二），

analysis source polar angle of incidence(，分析源人射极角‘）

（，相对于样品台坐标系中向上的：轴方向的角度，以度为单位。，），

analysis source azimuth(，分析源方位角‘）（＊顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），

analyser mode(‘分析器模式‘），

analyser pass energy or retard ratio or mass resolution(‘分析器通能或减速比或质量分辨‘）

（，能量以电子伏特为单位，质量以原子质量单位为单位。，），

[differential width(，微分宽度，）〕（二以电子伏特为单位的调制正弦波或计算机微分处理的峰一峰值。

当且仅当technique的值为‘AES diff’时，di万erential width才将被插人。，），

magnification of analyser transfer lens(，分析器传输透镜的放大倍数‘），analyser work function or acceptance energy of atom or ion(，分析器逸出功或原子或离子的接受能，）

（，在AES, ELS, ISS, UPS和XPS的情况下，是恒为正值的逸出功。在FABMS, SIMS和

SNMS的情况下，离子的接受能是质谱仪能量过滤器的通能。，），

target bias(＊靶偏压‘）

（二target bias以伏特为单位，含有符号。，），

analysis width x(，分析宽度x‘）

（‘对于FABMS, FABMS energy spec, ISS, SIMS, SIMS energy spec, SNMS和SNMS

energy spec,analysis width x是被场栩所限制的激发源束在样品台处与源束垂直的平面中

x方向的宽度，对于AES diff, AES dir, ELS, UPS和XPS，是分析器狭缝长度除以分析器电

子透镜的放大倍率所得的值，对于EDX和XRF，是激发源束在x方向的宽度。analysis

width x的单位为微米。，），

analysis width y（二分析宽度y*)

（，类似于analysis width x但是对y方向而言。，），

analyser axis take off polar angle(，分析器轴飞离极角‘）（二相对于样品台坐标系中向上的：轴方向的角度，以度为单位。，），

analyser axis take off azimuth（，分析器轴飞离方位角‘）

（，顺时针方向相对于样品台坐标系的y轴方向的角度，以度为单位。，），


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

species label(，物质标志＊）

（，元素符号或分子式。二），

transition or charge state label(跃迁或电荷态标志‘）

（＊例如，AES中的‘KLL', XPS中的‘1 s' ,SIMS中的‘-1'。二），

charge of detected particle(＊被检测粒子电荷‘）（二例如，对于AES和XPS为‘-1'，对于正离子的SIMS为‘+1'. * ),

number of corresponding variables(＊对应变量数‘）

（＊当数据的形式是两个或多个变量值的数组时，number of corresponding variable：等于变量的个数，否则其值为to＊），

i corresponding variable label(＊对应变量标志‘），

corresponding variable units（二对应变量单位＊）｝（＊上面一对数据项出现的次数由前面number of corresponding variables的值给出。‘），

signal mode(，信号模式‘）， signal collection time(，信号采集时间‘）（＊除EDX和XRF中是谱图总的采集时间外，对每通道或二维点阵中每点，均为每单次扫描

的采集时间，以秒为单位。＊），

number of scans to compile this block(，构成块的扫描数，），

signal time correction(，信号时间校正‘）（＊除了在EDX和XRF中是经活时间修正的采集时间以外，本项均指系统的死时间。在表

示死时间的情况下，正值表示计数率应通过除以（(1-measured rate X dead time)来校正，负值

表示应通过乘以（exp(true count rateXdead time)）来校正。若谱图数据已经过死时间校正，

则此处的值为零，而所用的死时间的值要在注释行中或别处给出。

signal time correction的单位为秒。，），

sample normal polar angle of tilt（样品倾斜极角）（关相对于样品台坐标系中向上的z轴方向的角度，以度为单位。二），

sample normal tilt azimuth（样品倾斜方位角）（二顺时针方向相对于样品台坐标系的Y轴方向的角度，以度为单位。，），

sample rotation angle（样品旋转角）

（＊顺时针方向绕样品法线旋转的角度，以度为单位。若是相对于样品的某一特定方向的角

度，则该方向须在注释行中给予定义。二），

number of additional numerical parameters(，附加数字参数的数目‘），

{additional numerical parameter label(＊附加数字参数标志‘）， additional numerical parameter units(，附加数字参数单位‘）， additional numerical parameter value(＊附加数字参数值，）｝

（二上面一组三个数据项的出现次数由前面附加数字参数数目的值给出。＊），

number of ordinate values ＊纵坐标值数目＊）

（二纵坐标值数目的值等于对应变量数目的值和将传输的对应变量组的个数的乘积。二），

minimum ordinate value(，最小纵坐标值，），

maximum ordinate value(，最大纵坐标值，），

tordinate value(＊纵坐标值，）｝一

（，纵坐标值出现的次数由前面纵坐标值数目的值给出。，）；



GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998


analyser axis take off azimuth＝实数；

analyser axis take off polar angle＝实数；analyser mode= ( FAT' I FRR' I constant delta m' I constant m/delta m'），回车；

analyser pass energy or retard ratio or mass resolution＝实数；


analysis source azimuth＝实数；


analysis source beam width y＝实数；

analysis source characteristic energy＝实数；analysis source label＝文本行；

analysis source polar angle of incidence＝实数；


analysis width x＝实数；analysis width y＝实数；

block identifier＝文本行；


character=‘’｝‘！’｝‘”’I‘＃夕｝‘＄’｝‘％’｝‘＆’｝‘”I‘（’｝‘）’｝‘，’｛‘＋’I‘，’｝‘一’I‘．’｝‘／’

I‘0'｝‘1’I‘2’｝‘3’I4’｝‘5’I‘6’｝‘7’｝‘8' I‘9’｝‘：’｝‘；’｝‘＜’｝‘＝’｝‘＞’｝‘？’I

‘＠I｝‘A'｝4135'｝‘C'｝D'｝‘E'｝‘F，｝G'｝‘H’｝4 1夕！6J}｛‘K'｝‘L'｝‘M'｝‘N’｝‘O'

！‘P'｝‘Q'｝‘R' I‘S'！‘T，｝‘U'｝‘V，1‘W，｝‘x' I‘Y'｝‘z' I‘〔’！‘＼’｝‘〕’｝‘一，！‘＿，

I‘、，I‘a' I‘b' I‘。，I‘d'｝‘e' I‘f' I‘g' I‘h' I‘i' I J’｝‘k'｝‘1' I m'｛n'｛o'｛‘p，｝

‘q夕｝‘r'｝‘S' I‘t’｝‘u，｝v'｝‘w，｝‘x，｝‘y，｝‘：，｝‘｛’｝‘｝’｛‘｝’｝‘～’

（＊一个字符可以是空格符或是94个由ANSI X3. 4-1986所定义的字符中的任意一个图形

字符。7位ASCII字符集是采用信息处理ISO 646:1983的美国国家标准版本。其他版本的

ISO 646可能会用其他不同的字符代换‘＃’，‘＄’，‘＠’，‘〔’，‘＼’，‘」’，‘一’，‘·’，‘｛’，‘｝’或 ‘一’。＊）；

charge of detected particle=整数；



corresponding variable units＝单位；

day of month=整数；

decimal number= [sign]，［t digit)，‘．’〕，{ digit｝一

（＊后跟空序列的减号表示decimal number中至少有一位数。关）


digit二‘a'｝‘1'｝‘2’1‘3’！‘4’｝‘5’｝‘6’｝‘7'｝‘8'｝9’；



experimental variable label＝文本行；

experimental variable units＝单位；

field of view x＝实数；

field of view y＝实数；

first linescan finish x coordinate＝整数；


GB/T 19499-2004八S014976：1998

format identifier= VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4，，

回车；

hours＝整数；

institution identifier“文本行；

instrument model identifier＝文本行；

integer=仁sign], {digit｝一，回车； ( *integer的值须在一1E37-1E37的范围内。，）

last linescan finish x coordinate=整数；

last linescan finish y coordinate=整数；



minimum ordinate value＝实数；

minutes＝整数；

month=整数；


number of atoms in sputtering ion or atom particle＝一或更多；

number of blocks＝一或更多；number of corresponding variables＝一或更多；


number of lines in block comment二零或更多；

number of lines in comment=零或更多；



one or more=整数

（‘one or more的值必须大于零。，）；

operator identifier＝整数；

ordinate value“实数；

real number= decimal number, ['E', [sign], {digit｝一〕，回车

( * real number的值须在一1E37到一1E-37，零，或1E-37到1E37的范围内。后跟空序列的减号表示幂次部分如果有的话，则至少要有一位数字。二）；

sample identifier＝文本行；


sample normal tilt azimuth=实数；

sample rotation angle＝实数；

seconds＝整数；

sign=‘＋’｝‘一’；


signal mode= (analogue' I pulse counting'），回车


计数的信号是值大于等于零的整数。，）


species label二文本行；

sputtering ion or atom atomic number＝一或更多；

GB/T 19499-2004/1S0 14976：1998

sputtering ion or atom charge sign and number＝整数；

target bias＝实数；

technique＝（‘AES diff'｛‘AES dir'｝EDX'｝‘ELS'！‘FABMS'｛FABMS energy spec'！‘ISS'｛

‘SIMS'｝‘SIMS energy spec'｝‘SNMS'｝SNMS energy spec'｝‘UPS'｝‘XPS'｝‘XRF'），

回车

text line= 80 * [character]，回车，


units=（‘c/s'！d' I‘degree'｝‘eV'｛‘K'！micro C'｝‘micro m'｛m/s'｝6n, I‘nA' I‘ps' I‘s'｝

u' I V'），回车

（，这些值是以下单位的缩写：

c/s’ 每秒计数

d' 无量纲，即纯数，如每通道计数

degree，以度为单位的角度

eV，电子伏特

K，开尔文

micro C，微库仑，或微库

micro m，微米

m/s夕每秒米

‘ n’ 未在此处定义，可在标注中给出

nA，纳安

4ps，皮秒

秒


V，伏特

‘）；


year in full＝整数；zero or more＝整数

（＊zero or mor。的值大于等于零。＊）；


GB/T 19499-2004/ISO 14976：1998

参考文献

(1) BS 6154：1981 British Standard-Method of defining syntactic metalanguage, British Stand-

ards Institution, London (1981）

(2) DENCH，W A, HAZELL,L Band SEAH，M P. VAMAS surface chemical analysis stand-

and data transfer format with skeleton decoding programs, Surface and Interface Analy-

sis，November 1998,vo1 13，nos 2 and 3，p63-122

ICS_35.240.70;71.040.40 一一 L 67 臀羚

Documents

Transcript of ICS_35.240.70;71.040.40 一一 L 67 臀羚

ICS_35.240.70;71.040.40 一 一 L 67 臀羚

Documents

Transcript of ICS_35.240.70;71.040.40 一 一 L 67 臀羚

ICS_35.240.70;71.040.40 一一 L 67 臀羚

Transcript of ICS_35.240.70;71.040.40 一一 L 67 臀羚