Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ !...

153
Diamond-like amorphous carbon J. Robertson * Engineering Department, Cambridge University, Cambridge CB2 1PZ, UK Abstract Diamond-like carbon (DLC) is a metastable form of amorphous carbon with significant sp 3 bonding. DLC is a semiconductor with a high mechanical hardness, chemical inertness, and optical transparency. This review will describe the deposition methods, deposition mechanisms, characterisation methods, electronic structure, gap states, defects, doping, luminescence, field emission, mechanical properties and some applications of DLCs. The films have widespread applications as protective coatings in areas, such as magnetic storage disks, optical windows and micro-electromechanical devices (MEMs). # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: Diamond-like carbon; Properties; Applications 1. Introduction Diamond-like carbon (DLC) is a metastable form of amorphous carbon containing a significant fraction of sp 3 bonds. It can have a high mechanical hardness, chemical inertness, optical transparency, and it is a wide band gap semiconductor [1±10]. DLC films have widespread applications as protective coatings in areas such as optical windows, magnetic storage disks, car parts, biomedical coatings and as micro-electromechanical devices (MEMs). This review will describe the preparation, characterisation, bonding, electronic and mechanical properties, the deposition mechanism and some applications of DLCs. There have recently been very important advances in the science of carbon such as the development of the chemical vapour deposition of diamond [11±13] and the discovery of C 60 and carbon nanotubes [14]. There have been parallel developments in the field of disordered carbons. New ways have been developed to synthesise DLC, while a range of disordered carbons with local fullerene-like order on a nanometre length scale have been discovered. The DLCs have now been characterised in great detail. The ways to grow the most diamond-like materials are now understood. Their growth mechanism is broadly understood in terms of the subplantation of incident ions. Carbon forms a great variety of crystalline and disordered structures because it is able to exist in three hybridisations, sp 3 , sp 2 and sp 1 (Fig. 1) [3]. In the sp 3 configuration, as in diamond, a carbon atom's four valence electrons are each assigned to a tetrahedrally directed sp 3 orbital, which makes a strong s bond to an adjacent atom. In the three-fold coordinated sp 2 configuration as in graphite, three of the four valence electrons enter trigonally directed sp 2 orbitals, which form s bonds in a plane. The fourth electron of the sp 2 atom lies in a pp orbital, which lies normal to the s bonding plane. This p orbital forms a weaker p bond with an p orbital on one or more neighbouring atoms. In Materials Science and Engineering R 37 (2002) 129±281 * Tel.: 44-1223-33-2689; fax: 44-1223-33-2662. E-mail address: [email protected] (J. Robertson). 0927-796X/02/$ ± see front matter # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0927-796X(02)00005-0

Transcript of Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ !...

Page 1: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���������� ���� ���� ������

�� ����������

����������� �������� ������� ���������� ������� �� ���� ��

��������

���������� ������ ����� �� � ��������� ���� �� ���� ���� ������ ���� ����������� � � �������� ��� �� �������������� ���� � ���� ��������� �������� ������� ��������� ��� � ���� ����� �����!� "��� ��#��� ���������� ��� �� ������� ������� �� ������� ���������� ���������������� ������� ��������� ��������� �� ������ ������� �� ��� ����������� ���� �������� ��������� �� ������ ��� ���� � �������� �� ����� "�� ������#� ����� ���� � �������� �� �������#� �������� �� ����� ���� �� �������� ������� ���� � ���� ������� ������������������������ ��#���� �$%$��� � ���� ������� ������ ��� ��� ����� �������

��������� ���������� ������& '�� ������& ( ��������

� ���� ������

���������� ������ ����� �� � ��������� ���� �� ���� ���� ������ ���������� � ������������������� �� � � ������ )� ��� ��#� � ���� ��������� �������� ������� ��������� � ��������� �����! ��� �� �� � ���� ���� �� ������������� *+,+-.� ��� ���� ��#� ����� ����� �������� �� �������#� �������� �� ����� ���� �� � ���� ������� �������� ������� ���� ��� ���� ��������� �������� ��� �� ��������������������� ��#���� �$%$��� "��� ��#��� ���������� ��� �� ������� ���������������� ������� ��������� ��� ��������� �� ������ ����� ������� ��������� ��� ���� � �������� �� �����

"���� ��#� ������! ���� #��! �� ������ ��#����� �� ��� ������� �� ������ ���� �� �����#�� ���� �� ��� ������� #� ��� �� ������� �� ������� *++,+�. ��� ��� �����#��! �� �/- ��������� ��������� *+0.� "���� ��#� ���� ���� ��#�� ����� �� ��� ���� �� ���������� ��������1�� ��!� ��#� ���� ��#�� �� �� �!�������� ��� ���� � ����� �� ���������� ������� ���� ������������� ����� �� � ��������� ����� ���� ��#� ���� �����#����� "�� ���� ��#� ��� ����������������� �� ����� ������ "�� ��!� �� ���� ��� ���� ���������� �������� ��� ��� �����������"���� ������ ��������� �� �����! ���������� �� ����� �� ��� ��� �������� �� �������� �����

������ ����� � ����� #�����! �� ��!������ ��� ���������� ���������� ������� �� �� ��� �� �2��� ������� �!������������ � � � 3 ��� � + �4��� +� *�.� )� ��� � � ������������� �� �� ������� � ����������5� ���� #����� �������� ��� ���� �������� �� � ����������! �������� � � ������ ����� ���� ������� � ���� �� �� ��6����� ����� )� ��� ��������� ����������� � 3 ������������� �� �� ��� ���� ����� �� ��� ���� #����� �������� ����� �������! �������� � 3 ������� ����� ���� � ����� �� � ���� "�� ������ ������� �� ��� � 3 ���� ��� �� � � ������ ����� ��� ����� �� ��� � ������� ���� "��� � ������ ����� � ����� � ���� ���� �� � ������ �� ��� �� ���� ������������ ������ )�

������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

� "��7 �00�+33�����3/89& ��27 �00�+33�����3//3�

�*��� ������7 6�:������������ ��� �����������

-93;�;9/<=-3=> , ��� ����� ������ � 3--3 %��#��� ?������ @�A� ( ������ �����#���

'))7 ? - 9 3 ; � ; 9 / < � - 3 � - - - - B � -

Page 2: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� � + ������������� ��� �� ��� ���� #����� �������� ����� � ������� ���� ������� � � ������������ ���� ��� �+��2�� ��� ��� ����� ��� �������� ����� � ������� �� ��� � ��� , �����������

"�� �2����� �!���� �� ������ �� ������� ����#� ���� ��� ������ ���������� � ����� *++.�������� ��� � ���� B�B �A ���� �� ��� ������ �� ������ �� ��! ���� ��� ������� ����������! ��� ������ ���� ��� ������� ������ ��������#��! ������ ������ �2 ������ ����������� ��� ������ ������� ������� ��� ��� #�������� �� ��! ������������� *++.� C�� ���� ��� �������������!�� � ������� ��� ��� #�� ��� D��� ������� ������� ��� �!���� ( ����� ��� ���� ��� ��� E��� ���� �� ������������� ��� �� ����� ���������� �� �� �� �������� �� ���� *+0 +B.�

��� ��� ���� �2����� �� ������ ������ �� ������� ���� �� ��� �������� ������ ������ ���������� ��������� ��� ����� ��� �����#�� �� �� ������ �� ���������� ���� ��� ���� �� ���������������� )� �� ���� ���� �� �� ������ ���� ������� ������ "��� ��� ����� ��#������� ��� ���!� ��������� "! ��� �� ������ �� ��� #������ ����� �� ��� ��� ��� ���� �� ������� ��� ��� ������ "��� + *+/,33.�

"�� � � ������� �� ��� ������� �� �� ���! �� ��� ��������� �� ������ �� ������� ����� ������ ��� ��������� �������� ������� ��� ������������� ��������� ��� ���� ���� �� � ����������� ��� ��! �� ��� ���� ���� ������� ����� ��� ��� �� ��� �!���������� ��!� ���7F� )� �����#������ �� ��� �! ��� ��� �������� �� ��� #������ ����� �� ���� ���� �,F ��!� �� � ������! ���� ������� �� �� 4��� 3 �� ����� ���� �! ����� ��� $��� *3+.� "���� ��� ���! ���� �������������� ��� ����� �������� ���� �� ���� ����� ����! ������ ��� �#� ������ ���� "���� �� �� ������� ��� ���� ������� "�� ��� �!��������� �!���� �!���!��� ��F3�� ��� �!����!��� ��F�������� ��� ����� �� � ������� �� ��� ����� ���� ������ ��!��� ����� ��������������� �,� �������

4��� +� "�� � � � 3 � + �!�������� ��������

"��� +

��� ������ �� ��6�� �� ������ �� ���� ���� ������� ���� ����� �� ��������� �������� ������� ��� ���� �/- ���

�!���!���

� � �G� F �G� ������! �� ����� C� ��A� F������� �C'�� ���������

������� +-- - ��B+B BB +-- *+3.C�� ���� - - 3�3/; - *+B.�/- - - +�/ *+0.C���! � - - +��,+�BB -�-+ � *�.%#� ������ � - - +�9 -�0,-�; � *�.? ������� � B - 3�3 -�B *+8.���� 8-,88 - ��+ 3�B 8- */ +; +8.���7F ���� 0- �-,0- +�/,3�3 +�+,+�; +-,3- *0.���7F ���� /- 0-,B- +�3,+�/ +�;,0 H+- *0.����7F ;- �- 3�0 3�-,3�B B- *33.'�!���!��� +-- /; -�93 / -�-+ *3-.

+�- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 3: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ ���� ��� ��! ������� ����� �� ������� ������� ��#� ���� ��#�� �� �� ������ �������� ���������� ������� �� � � �������� ? �������� ��� �2���� ���� � 3 ������� ���� ��! �������� � �������� )� ��� �������� �� � � ������� ������� � ���� ������ $�I��E�� */. ��������� ���� ��� ��� �� ������� �� ���������� ���� ���� ������ ������ �� ����������� �� ���� � 3 ���� ( ����� ���� ������� ������� ���� �� ���� �������� ������� #� ��� �� ������� �'%�A�� *0. �� ��� ������� ���� ��� �������� �� ��� �������� "��� ������� ���7F� (������ ���� �� ���������� �� �� �������� 4��� 3 ���� ��� ������� �� � � ������� �� �����! ��� �� ���� ��� ��� �!������ ������� �� ����������� "��� � ���� � � ������ ������� ���� ��� �!������ ����� ��� �� ������� �! ���� ����������! '%�A� �������� �� ���� �!���������� ���������� ���� ���� ������ �����7F� �! D������ �� *33.�

� ���������� ����� �

�.�. 0�� ���

"�� ����� ���� ���� �� ���� �� ���� ���� �! (�������� ��� ������ *3�. ����� ��� ������ �������� )� �� ������ �� ������ ���� �! � ���� ����� �� �� ������� ������� *+ 30.� "��������� ��� �� ����������� �� �� ������� ���! ��� ���� ������� ��� ��������! ������� �� ��������� ���������� "�� ������ ������� �� ����� ������� �� ���� ��� ��� ��� �� ��������� ���� � �������������� ������ �����! ��+-- �A� ������ �� �!��������� ����� )� �� ��� �� ��� �� ����� ���� ����� ������� ��� ���� ������� ��� � � �������J� �!���� ������� "��� ��������� ���� ��� �������#� ��� �� ������� ��A�� �� ������� ����� � ������� ������ ��������� ��� � � ������� *+�.� "������ �� ������� ������ ��� ��� �� ��#��� � ������ ��� ��2 �� ����� +-- �A �� ������ ���� ���� � ������ �����! ������������ � ����� ��������� � ����� ��� � ������� ������ �� ������������� �������! ������� � ����� *33.�

A������ �� ������� �!����� ��� ����� ����������! �� 4��� �� )� � �! ��� ��� ���� �� ��������!���� ������ ���� ��� ������� �! ��� ���� � �������� �� � ��� ���� ������� �� �� ��� ������*3�,39.� (�������#�! �� �� ��� I������ ������ *�-. � �!��������� ��� ���� �� ������� �� ��������� � ���� *�-,�3.� (� ��� ���� �� ���� �2������� ������� � ���� ���� ��� ���� ������ �! � ����#������ "�� ������ ���� �� �!��������� ���� ��� ���� ���������� �� ���� ��� ��� ���� �� ��� ����

4��� 3� "�����! ���� ������� �� ������� �� ���� ���� ������,�!������ ��!��

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +�+

Page 4: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

#����� �� ������� �������� )� ���� ����� ��� ��� ������ ���� �� � ������ ������� �� ���� ��� ������� �������� � ���� ��2 �� ��������� ������ � ������ "��� ��� ������ ��� ��2 ����� �� ���� ��������� �� �� �� �� 3,+-G� )�� ���� ������� ���� �� ��� ���� �� ������ ��� �������� �� +--,+--- �A�

( #������ �� ��� ���� �� ������� �� ��� ������� ��� ������ *��.� F��� � ����� ������� ������ ������� �� ������� ���� ����� ���� �2 ���� �� ��������! ���� � ���� #����� ��#��� ���� ������ ��2�� �� ���� ��� ��������

4��� �� ?��������� �� #������ �� ������� �!����� ��� ����

+�3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 5: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�.�. ��� ���� �� ��� ���

4�� ��������! ��� �� �� �������� �� ��#� � �������� �� ������� ���� � ����� ��� � ����� �� ����������� ��� �����!� "��� �� �����#�� �! ���� ������� ��� ���� �� ������� �$?)@� *; 8 �0,�9.������� ���� ��� ������� �� �� ��� ������ ���� � ��� ���� ������ ���� ���� ��� � ���� �� ��� ���������� ��� +,+- A� "�� ���� ��� ���� ���������� �� B,0- A ��� ����� ������� � �������� ������ "��������� ��� ��! ������� ��� ������ ���� ���� �� �=� ����� �� ��� �� ���� "�� ��� ���� �� ��#����������� �� ��� �������� �� ������ "�� ���� ��� ���� ���������� �� ��� ������� ��� �����! �!������������ ��� ��� ��� ���� �� ������� ���� ��� ��������� �� � #����� �� ����� +-�8 "��� �� ������ � ���� ���� "�� ��#������� �� $?)@ ��� ���� �� ��#�� � ��������� �� ������� � ����� ��������! � �������� ��� �� ������������� � ����� ��� ��� �����! �� �� � �! ��������� ��� ��� � ������"�� �����#������ �� ��� �� �� ������� ���� �� ����� -�--+ (������� ��+ ��� ��� ���� ���� ��� ��E��� ��� � ������� "�� $?)@ ������ ��� ��� ��� ��#� ���� ��#����� �! �������E *; 8. F������ ���������� *�;. ��� F��#���� �� �� *�9.�

�.". ��1�����

"�� ���� ������ ��������� ������ ��� ��� �� ������� �� ��� �� � �������� *0-,09.� "�� ���������� ���� ���� ��� �� �� �� � �������� �� � ��� ���� �������� �! �� (� ����� @������ �� ����� � ����� !��� �� ��� ���� ��������� � �������� �� ����� ���� �� �������� ��� �� ������� �����$������ ��� ���� ������ ��� ������ �� ����� ��� �������� �� � ��� ��� �������� ����� ��� ����� ��� ���� �� �������� ��� ������ �� ���������� �� ��� ����� (� ��� ����������� �� � ��� ���������� � �� ������� ��� �������� ���� ��� �� ���������� �� ��� ������ �� ��� ��������� �� ���� ������ ���(� ���� �� ��� ������� ��� ��������� �� ��#� �� K��������� ���������5� ( �� ���� ��� �� � ����� ��� ��������� �� #��! ��� ��� �����!� "�� ���7F ��� �� ������� �! ������#� � �������� �! ����� � ���� �� (� ��� �!������ �� ������� ��� ���1+ ��� �� ������� ����� �� �����,�������� �����

(�������#�! �� ��� ���� � �������� � ���� �� (� ���� ��� �� ���� �� � ����� ���� ��� ��� ���������� �� ������ ��� ������ ��2 *0;.� ( ������ (� ��� ���� ��� �� ���� �� ������� ��� ������� ��� �� ������! ��� ��� �� ��������� � � �������� "��� �� ���� ��� ���� �������� �� ������� �)@(�� ����� ������

? �������� �� �������� ��� ��������� � �������� ������� �� ��� #��������! ��� ����� ���� ��� ��� ����� ���! �������� ��� ��� ���� �� ���� � � (�� ��� �� ������� ���������� ��� �� �������� �!��� ���� ���� ��� ��� ������� ��� ���! ��� ��������! ���� ������ �� ��� ��������� �������! ������������ ( �����#������ �� � �������� �� �� ��� ���� �� ������� ���� �� ��� ��#� � �����#�! ������� �� ��������� ���� �� ������ � ����� �� ���� �� ���� ��� ������ ��� ������� ��� ����� F���#�� � �������� ������� ���� � #��! ���� �������� �� ���� ��#� ���� ��#�� �� �! ?����� �� �� *0/. �������� �� �� *0;. �� ������ ��� ���� � �����#�! ���� � � �������� ��� ���� �� �� ��� �2 ���� �� ��� ������ �����

�.2. 3��� �

(� ������ ������ ��� ��������! ��� ��������� ��� �� ��� �������� ��� */ +; B-,;�.� (� ��� ����������� �� � ���� #����� �! �������� ��� ��� ���� ������� ���� � ��� ������ ������ �������� �������������� ��� ������� "��� ������� �� ��������� ���� ���� � ���� ��� ������! �� � �� +-+� ���� (�! ��� �������� ��� �!���� �� ����� �� 4��� � ����� �� ��� ������� *B0.� "�� ���� �� ! �� ��� #����� ���� ������� �� !� "�� �������� ��� �� ��� ����! ���� �� �� ���� ���� ������� �������� ���� �� ��� �! ��� ������#� �� ������� �� "� �� � �������� ����� ���� �� ��#����� �! @���� *BB.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +��

Page 6: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ������� � �� �� ��� +,+- �� ��� �� ������� � #��! ���� ������� ������! �� +-/,+-8 ( ���3�"�� � �� �� ������ �! �� �2 ���#� �������� ������� "��� ������� ���������� �� �� �� ��� ������� ����� "�� ���������� ��� �� ������� �! ������ ��� ���� ���� � ������� �������� ����� ����*B- BB. �� ����� �� 4��� 0� "��� �� ���� �� ������� �������� #����� ��� �4�A(�� "�� ������� �������� ������ � �������� ���� �� ����� -�+ " ���� ��� �2�� �� ��� ������ "�� �������� �� ��� ���� � ��������� ��� �������� ���� ���� ��� �� ���! ���� ���� ���� ��� ����� �2��� "��� ������ ������� �������������� ���� ����� ������ ��� �����#� ���� �� ���� ��� �������� ������ ��� ������ "��� ��������� ��� ��� ����� ��� �� ��� ���� ������ ��� ������ "�� ���������� ������ ���� ��� ���� ��� ���!��� ��� ��� ��� ������ �� ��� ���� (�������#�! �� ��� � �� ����� �!���� ���� �! @���� *BB. ���(����� �� �� *B/. ��� ���������� ��� ������� ��� ���� ��� �� ��� ����� E��� ���� ��� �������� "��������� ��� ��� ��� ��� �� ��� ����� ������ ��� ���� ���������� ���� ����� �-G �� ����! +--G ����� ����� �2��� "�� ���� ���� �� ��������� ���� � ��������� �� ������ ��� ����� (� ��� ������� ��� ��� ���� ��� � ���� ��� �����! �� +-,�- �A �� ������ �� ��� ��� ������� ��� �� ��� � C������������������� �� ��� �������� *//. �� ����� �� 4��� B� ( �� �� �� �������� #����� � ��� �� ��� ��������� ������ �� �������� ��� �������� ��� �����! *+;.� "�� 4�A( ����� �� � ������ �� � ��������� ������� ���+-�8 "��� ��� ���� ��! ���� �� +-�B ���� ��� ���� �� ��������

"�� ��#������� �� ��� 4�A( ��� ���� �� ������� � ����! ������� ���� ���� �� ���������� ����� � ����! ������ ��� �����! ������������ ��� ���� ������ ����� �� + �� ��+ ��� � �� �� �������� )� �� ���� �� �� ��������� ����� L��� ��� ���� �� ������� ��� �� ������� ���� �� 4�A( �� ������� ���� ���� �� ���� �� ��� �� ���� ���� ��������� ����������� "�� �����#������� ��� ���� ����������� �� ��� ���������� ��� ���� � �������� ��� ���� ��� ������� � �� �� ��������

"�� ���������� ��� ������! ������������E� �������� "���� ��� ��� ��� ������� ��� ������������ �! �������� ��� ��� ��� */9 ;� ;0.� "�� �������� ��� �� �� ��#�� �! � ������ �� +-- �!������ ������ ���� ��� ����� ������� ��� �! �������� � ������ ���� �� ��#� � ����� ���� �� K?�����5 ����� */;,;3. �� ����� �� 4��� 0��

"�� ��� ��� ��� ����������! �� �� � ���� ����� "�� ���� ���� ������ �! ����� � �� ��������� �� ����� ��� ��� �� �! ���� ����������� "�� ��� ������� ��� �� ����� ������� ��� ����� ����� "�� ���� ���� ���� ������ �������� ������� ��� ���� ���� �� �� ��������� �� ��� ���� ���� ��������� ��� ��� �� ��� �� ��� ���� ���� ��� ���� ��� � *;+.�

M� ����� ��� ��� ������� � ����� � �� �� ������ �������#��! �� ��� ��� ����� �� ��#�������!� �� ������� � �� �� ���� �������#��!� "�� ��� � �� ��������� ��#�� ������ ��� ������� ��#���� ����������! ������� ��� ����� �������� ��� ������� �#��!� M� �������������� �� �������� ��

4��� 0� ?�������� �� � ��� ����� ���� ��� ��� ?����� 4�A(�

+�0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 7: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ ��� ��� � �� ��� ���� �������#��! ���� ��� ������������ �� ��� ��� � �� ����� �� ���! �� ������� ��� ��� ������ ��� �� �� ��� ���� ���� "�� ������� �������! ��� �� �� ��#�� �! ���������� ��� ��� �� �! ����� � �������� ���� �� ��� ������� ������ �� ����� ��� ������� � �� ������ ���������� ������� */ ;�.� �� �����#� ���������� �� ��� ��� �! ���� �� ��� ���� */3.�

)��� ��� ��� �� ��� �� ������ ����� ��� ������� ��� ����� ����� "��� ��� �� ��������� �! ��#������ ����� ������� � �����#� ���� �� ����� �3- A *B9.� )� �� ����� ����� �� ��� ��� �2���� �������������� ���� ��� ������� �� ��� �� �� ����� �� ��� �������� �� ��� ����� ����� )� �� ������ �� �� ����������� ���� �#�� ����� �� +- �� �� ���� �! ����� � �������� ����� ������������� �� ��#���� ������� ����� ��� ����� ���� */9. �� �! �������� ��� ���� �! ������� ����� "�� �� ������� ���� �� �� ������� �� ��� ������� ������� ���� ��� ��������

)� ��� ��� ��� ���� ������� �� �� ������� ������� �� ��� ����� ���� �� ��� ��� �������� "�� ���������� ���! ���� ��� ������� �� �� ������� �� ��� ��� ������� ��� ����� +-,+-- ����� ���� "������ ��� �����! ����� �����! ���� ��� �������� A��! ���� ���� �������� ��� �� ��������� �! ������� ������� ��� �� ������� �! ?������ ��� ?�������� */3.�

�.4. �1���� ���� ���������

'���� �2����� ����� ���� �� (�4 ��#� #��! ����� ������� �����! ���� ����� ��� �� ���� ��#� ����� �������� �� �� ������� ���� *9 ;B,83.� "�� ���� ���� �2 ���� ������� ��� ����������"�� ������ �����! �� ���� �2 ������ ��#�� �� ��� �����! �������� �� ��� ��� �����! �� $?)@ �� ����������� ���� "�� ���� ��� �����! �� �� ������� �� ��� ���� ������ ������������ �� ��� ������ � ���)� ��� ���� �������� �� � �������� �� ���� ������ *9. �4��� /�� )� ���� ��! ���� ���� �� ��������'��� ������� ���� ���� ������ �� ����� ���� ��� $?)@ ��� 4�A( ������� *8- 83.� "���� ������� �� �� ������ �� ��� �����! �� ������ *83.� "�� ��#������ �� '�� �� ���� �� �� #���������������! ���� ������ ����� ��� �� ���� �� �� ���� ���! ��������� �������� ���� ������� ������� �� ������������ �� ���� ��������� "�� '�� ������ ��� ������ ��� ���� ��#����� �!A��#���� ��� ����! *9. ��� �! ?���� �� �� *8+.�

�.5. �� 6�

"�� ���� � ��� ��������! �� ������� ������ �� �� '%�A� *0 8�,9/ 98.� "�� ������� ���������� ��� ��������� �� ��������� ����� "�� �� ���� �� ����! �� �����#�! ��� �� �� ��� �����

4��� B� )�� �����! ������������ ���� 4�A( ����� ������� �� �� *//.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +�B

Page 8: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� �� ����� ��� ��������� �� ������� ��� ��� ����� �������� ������ �������� ��� ����������� �� �������� "�� �� ���� ������� � ���� ������� ��� ���������� "�� ������ ������! ���������� ���� ���� �� ��� ���� ������� � ������ ��2� �� ��� ��������� ���� �� �2���� �� ����� "������ � �����#� � ��� ������ �� ��� ���� ��#�� � � �����#� #����� ���� ��� ��� �� ��� ��������� ����� �N������ ��� ���� ������� ��� ��� ������� �� ��� �� *9+. �� ����� �� 4��� ;�

"�� ������� ��� �� ������ �� ���� ��� ��������� ��N���� �� �������� #������ �N�� �� ����� ���� #������ "�� �� #����� �� ��#���� ������� ��� ������� �� ��� ��� ��������� �� �� � �� �����#���#���� ��������� �� ����� ��#���� �� ��������� "��� ��� �� ��� ���� #����� #����� ��#����! ���� ���

4��� /� (#����� ��� �����! #�� ���� ��� ������ *9.�

4��� ;� %������ ��� ��� ������������� ����� ������ ������� ������� ��� ������ ���� ��� ��� ����

+�/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 9: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� ����� *80 9+.

6+

63

� 73

7+

� �3

�+�

"�� ����� �������� ���� ����� �� �������� ��N����� ��� ����� ���� #����� ��� �������������#� ���� ��� ��� �� ��� ����� ��������� "��� �� ���� ��� ��������� ��������� "�� ������#������� #����� ���������� ��� �����#� ���� �� ��#� ��� ����������� ������ �� ������ ��� � �

�������� )� ��� ������� �� ����� ��� ���� �� �2����� �! �� �� ��� ��� �� ��� �������� (� ������ �������� ��� ���� �� �2����� �! � ���� ������� �� ��� �� �����

4�� ��� �� ������� ��� ���� ����� �� � ������ �� ��� ����� ������ ������� �� ����� ����2����� ��� ��� �� ������ �������� �� ��� ����� F���#�� �#�� �� B- �"��� ������� ��� ���� �����! ����� +-G �� ��� ����������� ��2� "�� ���� ��� ���� �����! �! �������� ���� ��������������� ������ ��� ������� "�� ��� �����! �� ���� �� ����� ��� ������ #������ )� �� �������� ����� � �� ������� �� �������� ����� �������� �� �������� � ������ ��� �����! ������������� "�������� �������� ��������� ���� ���������� ������� ��� �� *9+.

� � 8��+�3 �3�

����� ��� ���!� ������ ���� ��� ��� ���� ���� ��� ��������� �� � � 8���� F���� ��� ����� �=������ �� ��+=3 ��� ��� ���� ���� ��� ������� ��� ���� ��� ������ �������� �� �� ������ ��������� "���� ��� ��� ����������� ��� �������� �� ��� ������ �� B- �"��� �� ���� ����� �� � ������� �����! ������������ ��� ��� ���� ��� �����! �� ��! ����� -�0 �� ��� ������ #����� ������! ������� #����� 6�� *0 8; 88. �� ����� �� 4��� 8��

)� �� ��������! �� ��� ���� �������� ��� ���� �� ��� ������ ��� ���#������� '%�A� �� ��� ���� �� �� ����� ������ ( ���� ������� ���� ��� �� ������� �! ����� � �������� ���� ��������� ��� ���� �� �������� ��� ������� ��� ����� ��� �������� ��� ���������� ���������!� "���

4��� 8� )�� �����! ������������� �� ���#������� ���� �� ������� �� B '� ������� ��� �� ��� ���� ���� ������ ��-�-+ '� ������� ���� D�� ��� I��� *8; 88. ��� D���� �� �� *33.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +�;

Page 10: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� � �� �����#�! ��� �� ���� �� �������� �� � ����� �� B � +-�0 "���� (� ���� ������� ������ ���� ���� ��� �2����� ��� ������ �������� ��� ��� ��� �����! ��� ������� � ������������������ �� ����� �� 4��� 8��

"��� �� � ����� � ������ ��� ���� ���� ������ �'@?� *9B. ����� �� 4��� 9�� "�� '@?�������� �� � ���������! �������� ���� �� ����� ��� ���� �2��� ������� � ���� �� ����� �������� "�� �� �� � ��� �� � ��#���� �������� ����� ���� �� ����� ���� ��� ���� �� ���� ������������ ��N����� ��� �����#� ��������� "��� �� �� ��� �����#� ���� ������� ��� ���� �� ���� � ���� ���� ����� ���� ��������� �� ��� ��������� �� ���� ����7F� "�� ���� ���� �� ������ �� ����� �� ���� �� ��������� �����������

( ������� �� ��� ��� � �� �����#�! ��� �� '%�A� �!���� �� ���� �� �� ��� ������ �� ��#����� ������ ������ �� ��� ��� ������� ��� ��� ��� �����! �� ���! ���� #��! ���� ��� �� ���#� �����"�� ���� #����� ��� � �������#� ���� �� #��! �����! ���� �� ���� �9� ��� ������� ��� ��*8/.

6� � 8�9

�+�3���

"�� ���� ��� �����! �� �� �� ������� �� ��� ���� #����� 6� �� � 86� �8 �� �-�0 �� �! ��� '%�A�� ������� �������� �� B '� �� ����� ���#� *0.�� "�� ��� ������� �� �����!

0 � 9

6�

� 8�9�+�3�0�

�� ���� ���� 6� ��� 0 �� ��� �� �� ���� 9� ( �� ����� ������ �� ��� �����! ��� ������� �� �������! ��#��� ��� ���� ������ ��� �2������ ��� ���� ���������� ��� ��� �������� ��� � �� ����� �������� ��� ������� ��� ��������� �������� ���������� ��� ��� �����!��

4��� 9� ?�������� �������� �� ��� ���� ���� ������ ��� �� %�D� ������ ����� D���� �� �� *9B 9/.�

+�8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 11: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� '@? �����#�� ���� �� ������� �! #��!��� ��� �������#� �������� ���� �� ������ 6�� "���������� ���� �������� ��� ���� �� � ������� ���� �� ��� ����� �� ��#��� ��� ����� �� #��! ������� #����� ��� ������! ��� ��� �����!�

)� ������ !���� �� ��� ������ ���� ���� �����������! ���� ������� ��� ������ *9+.� "�� ������������� �� ������ �� ��� ���� ��� ��� ���� ������! �- ��� ��� ������� ��� ������� :�� M����� �� �� ��2����� �-� "�� ���� �������� ��#� � $�2����� �����! ������������ ����� ���������� ������� ��� ������� :�

;� � �- �2 � �

8:�

� ��B�

%������� ���� �� �����! ���#� ���� �������� �����! ������� ���� � ������ � ����� �� ������ ������������ �� ��������� �� ��� ���#������

;� ��

�-��:�<�� �� �/�

����� <� �� ��� ���������� ��������!� "��� �� ����� ����������! �� 4��� +-� M#�� � ������ �����!����� ���� ��#��

;� � ;- �2 � ��

8:�

� ��;�

����� �� �� ��� ���������� �������� ( ���� :� ��2������ ��� ����������� ?����� �������� ��� �������������� ������ � ����� ��� �2����� � ������

; ��� :� ��� ��� �! ��� ��N��������� �� �����! ��� ������ ������ *9+.� "�� ������ ���������� :� �! �N������ ��� ���� �� ���������� �� ���� �� ��� �� ���� �� ��� ���� �� ��� �� ������� ������� �� ��� ���

��;��-6 � �-1@7 �8�

4��� +-� %������ ��� ������� :� ��� ��� ������������=���������� ��������! �� � � ������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +�9

Page 12: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"��� ��#��

��:�1@:� �

+

;���9�

����� � �� ��� �������#� ���� ����� 7 ��� 6 ��� ��� ������� ���� ��� #���� �� ��� ���� �- ����� ���� ������! ;� �� ��� ������! �� ����� �� ��� ��� �� �� ��� ���������� ���� �������� ��� 1@ ����� @��� #�����! �� ��� ��������� �� ��� 1@ ��� ��������� �� :� �� ������ ������������� ��������� �� ��� ��� �� �� �� ������ ������ ��� ��� ������ ������!�

"�� �����! ������ ���� ��� ���� ������! �- �! �N������ ��� ���� �������� �! ��� ���� 9�� ��� �����! ��� �� ��� �" �� ��� �����! ��� �� ��� ��� �� ��� ���� "��� ��#��

�- � 9

�1@7�"

�+-�

�� �����#� ��� ��� �� �� ���N������� �� +��/ $FE ��#���� � �����#�! ����������� �2�������� �� ��� ���� ��� �� ��� ���� ������! �� N���� �� �� ���� +-9 ����� $��� ��������� �2�������� ���������� �! ������� ��� �� ���N����! �� AF4 �� �! ����� �� �������#� ��� �� ���� �)�'�� "�� )�'�� ����� �� �!�� ��� ���� �������� (������ ������ �� �� ��� ������� �!������ ��������� �%����!����� ����� �������#�� *93,90.� )� �� %�� � ���� ������ �2�� �������� ���� �� ���� �� ������������� �� ������� �� � �!������ ��������� ���N����! �� 3�0B CFE� $������#� ���� �� � ��� ������ ���N����! ��� � ������� ��� ���� �� (� �� ��� ���� ��� � ������� ��� �� ��� �������� "�� (������ ��� �2����� ��� ��� ���� ��� ���� ������ ��� �� ��� ������� ����� ���! ���� ��� ������������ "�� (� ����� �� ���� �������� �����! �� ��� �������� ��� �! �������� ��� ����� ���� �� ���� ����� ���������� )�'� ��� %��� ����! ��#� �� ��������� �� #����� �� �����#�!���� �� �� ������������ �������� �� ��#� � �������� #������ "��� �� ���� �� ������ ��� ��� �����! �� �����! ������� ��� ��������

'���� � ��� ���� ��� ��� ��� ������ ���� �����������! �� ��� ������! ��#�� �� ��������!������ ��#� ��������� �%�D�� ������ *9/. ����� �� 4��� 9�� "�� �� �� �������#�! ��� �� �� ��� ���� ������� � ����� ���� ���� ( �����#���� ������ �������� ���� �������� ��� ����� "��� ��������� �� �������������� ��#� �� ��� ���� �� ���� ��� ��� ����� ���� �������! ������� ��#��� "����������#� ����2 �� ��� �� ����� ��#�� ��������� ���������!� "��� ��������� ��� ��#������ �� ����� �� ��� �� ��� ���� � ��� ��#������ �������� ��#� ������ ��� ������� ����� ���� � ����������� ��� �� ���� ���� ��� ���� ��� (� �� ����� �� ��� �� �����#�! ��� �� �� � ���� ���������� ��#��� � �������� #����� �� #��! ��� ��� �����!� "�� ���� ��� �2�� ��� ������� �� � ���������� ������� � �������� ���� ��������� "�� %�D� �� �N��#���� �� ��� ������ �2�� � ��� ���������� ����������� �� ��� ����� ��� ���������

"�� %�D� ������ ������� �� �2�����! �����������! ���� �� +-+3 ���� �� �#�� ���� ������ ������ ������ �� ��� ��� �����! ��� ��� ������� ������! *9/.� )� ��#�� � ������ ��� �����!������������ ���� � ����� ����� BG� "�� %�D� ������� ����7F �� � ���� ������ ������ �����+�B �� ��+� ���� ��� '@? ��� ��#�� ������� �� ������� �#�� �� �������� �� +- �� ����� ��������� �� ����� #����� )� �� ��� ����� ������������� �����������! '%�A� ������ ��� ����

"�� ��� ���� �� '%�A� ��� � ����������� ������ �� ��� ���7F �� ������� )� ��� ���! ��!� ��������� ���� �� ���������� �������� ���� �� ���E��� ���� ������ �� ���� ��#� � ���� ������������ ����� "�� �� ������� ���� ��������� �����! �2 �������! ���� ���������� ���������� �����!*0. �� ����� �� 4��� ++� 4�� ��������� � �������� �� �� �������� �� ��2����� ��� �������� ������� ��� ��� ����� ���������� ��� ����� ������� �� �!������� "��� ��N����� ����� � �������� ������� F=� ����� ���� �� ����!��� �� ���� ������! ������� ��� F=� ����� �� ��� �������� ����

+0- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 13: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

)� �� ��� ���� ���� ��� �� ������ �� ��� �� ��� ��� �����! �� � ����� "��� � ���E��� ����/F�

� ���� ��2 ������� ��N����� ���� ���� #������ �� ����� ��� ������� +-- A �� ����� (���!��� ������ ���� ���� ������� 3-- A �� ������ �� ������ (���!��� �� �� ���� � #��! ����� ������ ��� ����� ������� �� ������� ������� ��� ������ ��� ���� ����� �� ��� � ��� � ������������ ������ ��#��� ����! �3F�

� ���� *33 9;. �� ���� �� 4��� +3� "���� �� ��� ��� ���� �!���������� ���������� ���� �������� (���!��� �� ��� �������� ������ ��� ��� ��������� � ��������� F���#�� ����!��� �� �������������! ��� ��������� � �������� ������� �� �� ��� �#����� �� ���� ����! ���� ��� �������� � ���������� �������� �� ����! *98. ����� ��� ����� � �� ��� ������ ��������! �� ���� ���� �� �����������! ������ $������ ������� � � ��� ������ ��� ��������� � ��������������� �� �� �#����� �� ���� ����! ��� ��� ������ ���� �� ���� ��� �� ��#�� ��� ���� � �!�������������� F!������ ������� ��� �� ���� �� #��! ��� �!������ ��������

� ���������� ���������

"�� �! �� ���! �� ��� �� ��� � � �������� "�� �� ������� ������ ����� ������� � �

������� �� � �!���� ������ ��� ����������� */,8 +; 99 +--.� "�� ������� � � ��������� ��������� �! �� ���� ���� ��� �����! ������ +-- �A� "� ��� ��� ���� ������ �� �� ����� �� ������������� ��� �!����������� ������ ���� ��� ���� ���7F�

"�� ��������� ������ ���� �� ��� �� ������� ��������� ��� ��#�� �� �� ������ 4��� +���� ���� ��� ��� ������ ��� !���� ��� #������ �������� �� � ��� F ���� �� ������ *�0.� ? ������� �� *3B. �� ���� #������ ���������� ���� �� ���� ��� � � ����� ����� ���� ��� � �=� 3 ��2���� �! � ���������� � �������� �� ��� � 3 ������ F���#�� �������E �� �� *�0. ����� ���� ���� ������ ���� ������ ������� � �������� !��� ����������!� �� ������� )� �������� ��� � �������� !��� �� ���� ������! �� �� ����5� ������#� �����! ����� �� ����� ��� ���� ��� ��� � 3 ��� � � ����� �� ����� ������ ���������� �� � �������� !����� D��������� *+-+. ��������� ���� ��� � � ������� ����� ���� ����� ��#� �� ��� ��� ������� � �� �� ��� ��� �������� "��� ������ ��� ���� ����������� �� ��������� ��� ��� ���� ��#� �� ���� � �� ����� �� ������ ��� �������� ��� ������ ��� �������

4��� ++� C����� ���� �� ���7F �! '%�A� #�� ���������� ������� �� ��� �������� ���� ���� ���� I���� �� �� *0. ��� O���� �� *9-.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +0+

Page 14: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� +3� $��� � ����� ������������ ������ �� �F0 �3F0 ��� �3F3 �� ��������� ��������� ���� ���� I���� �� �� *9;.�

4��� +�� )�� ������ ��� ��� !���� �� ��� �������� �� ������� ���� ���� �������E �� �� *�0.�

+03 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 15: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������E �� �� *�0. ���� (���� ���!��� �� ��� �� �� ������ �� ������ �����! � ���� ���������� 1� ���������� �� ���� ���� ��� ������ ��� ������������ "��! ������� ���� ������ ��K��� ��������5 ��� �����! ���������� �� ���������� "��! ���� �� ���� ���� ��� � � �������������� �! � ���������� ��� ������� �� � 3 ������ $��� *+-3. ������ ���� ���� �� ���������� "�� � 3 ��� � � ����� ���� �� ��� ���� �� ������� ����� ���� ����������� ����� ��� ���� ����� �� ������ ����� ���� � 3 ��� � � ������ "�� �������� �� � � ����� ��������� �� ����� �� � ������������� ������� �� � 3 ������ "��� ���� ����� ���� ���� ���! ��������� �� ��� ��� ������� ���������� ��� ���� ��� ������� �� 3B ��� 8- �A ��� ����#�! *+B +-�.� F���#�� ���� ������ ������������������ �� ��� ��� ������� �������� ���� ������ #���� ��� ��� ���� ��B �A� ��� ���������;,0; �A� *+-0,+-;. �� ���������� ��� ������� �� ��� �������� )� ����� �� ����� ���� ������ ������� �������� �� ��� ���� �� N���� �������� �� ������� �� ��� �!�� ��������� ��� @������*+-8. ��� ���� ��� ��� ������� �������� ��� � 3 ����� �� �� �����

$�I��E�� �� �� *B+. ��� $�I��E�� *+-9. ����� ���� � � ������ ��� ���� ���� ��� B-G ����#���� ���� � � ������ �������� "��� ���� �� ��� ���� ������� �� ������� ��� ��� ���� ����� ��4��� +0 ���� ������� ����� �� ������ �������� ���#� ��� @�����,?���� ���� $�I��E�� *+-9. �����#�� *++-. �� ���� ���� ��� ��� �� ��� ��� ���� �� �� ������ � ��� �����#� ������ �� ��� ��� ������� ��#� ��� ��� ���#� ��� @�����,?���� ��� ��� �� �������� ��� ���� ������� ������� ����� ����� M� ������ �� � ����� ����� ��� ���� ���� ������� �� N������� ���� ��� ������� ����

��������� *99 +-- +++,++0. �� ���� ���� ��� ��� �������� ������� � ��������� �������� ��������! ����� ����� �� ����� ��� ��� ������� �� ������ �� � � '���������� ��� ������� �� ���������� M�! ���������� ������ �� � ���������� #���� �� ������ �� ��� � � �������� "�� ����������������� ����� #��� ����� �� ��������� �����!�

A������ �������� ��� ���!���� ���������� ��#� ��� ����� ���� �� ��� �������� *++B,+3-.�"�� ����#�� ����� �� �� ��� ������ �� ��� ���2����� ������ ����� �� ������ � � ������� �������� ��� �������� ��� ������ �� ������� ��� ���������

��� �� �������� ��� ������ ���� �������� �� ���� ����� *++-,++�.� )� ��� �����! ����� ���������� +-,+--- �A ��� ������ ���� ��#� � ����� �� � ��� �� ��� ���! ���� ����� �����! ����! �!������ �������� ���� ��� ������ ����� ������� ��� ����� "�� ������ �������� �� ���� �� ����� ����� ��� ����� �� ��� �����! ������� � ��2������� �� ����� ��� �������� ����� �� � ��N����� ��

4��� +0� @�����,?���� ���� ������� ��� �������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +0�

Page 16: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� ������ ��� ��������� "�� ������������� �� ��� �������� ��������� �� ��� �����! �� ������ ������ �� ��� �� ���#� ��� �� ��� ������������ �������� "��� �� ��� �� E��� �����! �������� �� �������� ���� �� �� �������� �� �� �������� � ������ (� � ������ ��� �����! ��� ������ ������������� �� ��� ����������� �� ������ (� ���� �����! ��� ��� ��� ��� ������� �� ���������� ��� �� �������� ��� ������� �!��� "��� ��� �����! �� ���� ��� ���������� �������� �'�

(������ �� ������ ��� �����! �� ��� ��� ������� �������� ��� "��� �� ��� ������� �����! ���� �������� ��� ������ �� ��� ��� �� ���� ���� � ������ ���� ��� ������ � �������� #�����!������������ ���� "�� ������� �� � ���� ���� �� �� ��������#� ������� ������� �� ������ �@ ��� �������������� �����!� "��� ������ ��� ������ �����! �� �� ��� �! �@ ���� �� ������ ��� �������� "��� ������ ���������� �������� ��� ���� ���� ��

�' � �� � �@ �++�

"�� ������� ������� �����! �N��� ��� ���������� �����! �� ������#� �����! �� ;�0 �A ��� � �� ��

�� 3B �A ��#�� �' � �3 �A�1�� �������� ������ ���� �������� �� �� ���� ���� ������ ������� *++3.� ( �� �����! ��� ��

��� ��#� ������ �����! �� �������� ��� ������� �� �� �� 6��� ���� �� ��� ������� ��� ������ �� �������� �����! ����� ����� �� � 3 )� ��� ��� �����! �� ������ ���� �' �� ��� � ��������! �� �������� ���������� ��� ����� � ���������� ����������� ����� "��� �� �������� ��� ��� ������!� "�� ��� ��������� ���� ������ ������ ���� ���� ��������� �� ���� ��� ������!� "�� ���� �� ���� ���� �� ����������� ���� ��� ��� ������ ����� ��� �N��#����� D� ������ ���� �� ��� ����! ��������� ���������� ����� ����������� �2������ ������ ��� ������ ������ �!������������ �� ��6��� ����! �� ������� ����� ��� ������! ��� ������ ���� � 3 �� ��� ������! �� �� ��� ���� � � �� ��� ������! �� �����

(� ��� ��� �����! ��������� ������� ��� ��� ����� ��������� ��� ��� ��� ��������� ��� �� ���� �������� ( ������ ��� �������� �� ���� �����! �� ���� �� �������� ��� ������� ��� ������� �������� ������� �-G �� ����� ���� �� ���� ��� �������� *+3+.� "�� ��� ���� ����� ��� ��� ���� �� ���� �����!�������! �� ������ ������� "��� ���� ������ �������� �� ����� ������7 ��� � �������� ����� ��+-�+� �& ��� � ������������� ����� �� +-�+3 �& ��� ��� � ���2����� ����� ����� +-�+- �� '������ ��� ���=�� ��� ��� ��� �2���� ������! �� ���2 �� E��� ��� ����� � ��� �� � � ������� �� ������ ��� ���������

�������� �� �������� ���� �� ��2 = ���� � �������� � �� ��������� ���� �� �����! �� �4��� +B����� � �������� < �� ��� ��������� ���� �������� ��� �������� "�� ������������� �������� �� ����� ������ �+ � <�� �� 6��� ���� �� ��� ����� �������� ?��� �� ��� ���������� ���� �� ���2 ��� �� ����������� "��� ��2 �� �� ������� �� � ���#��� ����� ��� �������� �� ������������ ���� ��� ������� ��

4��� +B� ?�������� ������� �� ������������� �! ��� ��������� ( �������� �� ��� �������� ���� �������� ��� ��� ��� ������!�� ��� ��������� ��� � �� ��� ������� �� ��#� �������� �������

+00 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 17: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"��� �� ��� �����! ����� �� ����� ���� ��� �������� �� ���� ��������� �� ����������� ����� �� ��#�������������� �� � � <�� �� ����� � �� � ��������� "��� ��#��

� � <�+ � �

�+3�

"��� � �������� � �� ��� ���� ������� ��� ����� ������ ��� ��� ��� � �������� + � � �� ��� �� ���������� �� � 3 ������ "�� ��� ����� �������� ������� � ������! ��������� ��

���

� �

+ � ��+��

����� ��#��

���

� <�+ � <�� �

�+0�

����� � �� ��� ������! �� � 3 ������ �� ��� ������! ���������4��� +/ ����� ���� ���������� ��� ����� �� ��� ��!� ������ ������! �� ��������! �! �������

M�! ������ ���������� ������ ��� ��� ���� �� ��� �������� �� �������� "�� ���������� ��������!��� �� ��������� �� � �������� �� ��� �����! �! "�)$ *+33. ��� ����� �����!

< � + � �2 �� � �'

��

� ��+B�

����� �' �� ��� ���������� �������� ��� �� �� � �������� �� ����� ���������"�� ����� �������� ����� ������ ���� ���2����� ������ �� ��� ������ � �� ����� �� �+-+3 �

*+++ ++3.� "��� ��#�� � ���2����� ���� �� � � -�-+/����-B=� ���� �- � ��������� ����#����� �����! ���

���

� <�

+ � <�� -�-+/����-B���+/�

4��� +/� ?�������� �� ��� ����� �������� �� ��� ��������& ������ ���������� ���������� �! ������ �� � ������� ���� ��� ���2����� �� � ��������� �������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +0B

Page 18: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ������ � �� ���� �� ���� ���� � ��� �2���� �����! �� ��� ��� �� ���#����� �� ������ �����!�� � ���� �� ���� � ��� ���� ���6�����!� ��� ���� ��� �����! �������� �������� �! ������ ��������� �� �� �� � �� ������� "��� ������� �� �2 ������ ����� �� ����� � ����� ������ ��� ����� ��#� ������� ������ �����! �! �N�� ��������� "�� ��� ������� ����� �� � � ������ � �� �� *+3�.

:�� � >

�0�����3�2 � �3

0�

� ��+;�

����� � �� ��� �������� ���� ��� �� ��� ��� ���� ���� ��� �� ��� � ��� ������ �������#��! ��� ��� ������ �� ����! �� ��� ������� > �� ��� ��� �����! �� ����� ���� ��� �� ��� �������� *+30.� D���� > � �� ��� ���� D� ������ ���� ��� ������ � �� ���� ����� �� ������� ��� �� ��� ������� �����2 ��� ������! �� ��� ���� ����� � 3 ������!� D� ������ ���� ���2����� ������ �! ������!����#���� ��������� �� � ���� ��

� � �- �2 � �-

8:

� ��+8�

���� �- ��� ����#����� �����! �� ������ ���������� "�� ���� ������ �� �� � �� � ��� ����� ��������� � �� �� ��� ������� �#�� ��� � �� #���� ��� ����

� ��

�+

0��-�3

+

� �2 � �-

8:�� � �

� �� �+9�

����� 8 �� @��E����5� �������� �- ��� ������ ������ ������! �- ��� ����� ���N����! �+ ���������� ������ �� ��� � �� ��� + ��� ������� ���� �� ��� � ��� )� �� ����� �� �� �#��!����� �������������� ������ ����� ���� �� ������ ������ �� �� D� ������ ������� ��������� �� � �� ������ � �- ��� � ������� ��� ������� � � 8:��-� "�� ���� �� ����! �� ���� �� �8 �� � 98�0�� � � �-

3 ��� �- � ��0��� )���������� �#�� � �� ������� ��� ��� ��� ������� �#�� �� �� ���#����� ����� �#�� � �� ��#�

� �� �3

�+

��8���2 � +

� ��� �3-�

)� ��� ����� �+ � - ��� �3 � ���� ��#��

� � -�-+/���

�-

� �B��

�3+�

����� � �� � ������������ �������� �� ����� +� ( ��� ����� N��������� ����� ���� "��� �� ����N������ ���� �� %N� �+/��

4��� +; ����� ���� %N� �+/� ��#�� � ���� �� ����������� �� ��� #�������� �� ������! �� � � ����������� ���� �� ������ �! 4�A( *+; ++3. ���� �- � ��+ �A� "��� #��� �� ���������� ���� ��� �������������! �� �� ������ ���� � �� +--- �� ���� %N� �/B�� )� 4��� +; ��� ���������� � � �������� �� ����� �����! �� �������� �! ��� ���������� ��������! < ��� ��� ������ �� � � �������� �� ���� ��������! �� �������� �! ��� ���2������ F���#�� %N� �+/� ���� ��N���� � ���� #��� �� �- �� �� ��������� ���� ������� ������ �� � � �������� �� ���� ��� �����! ����� �! $?)@ �! �������E *; 8.�

"�� ����������=� �� ���� ��� ��� ������� ��� ��� ������! �� ������� ����� �� ����7F�� ������ ���� ����!���� 4��� +8 ����� ��� �� �������� ������� ��� �� �������� ���� ��� �

+0/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 19: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� �� �� ��� ���� ��� ������� ������� ��� ������ �����! �N��! ������� ����� "�� �!���������� ���� �����! ������� �� ������#����� �� ��������� "�� ���������� ��� ������������� ������� ��� ���� � ���� �� �����! ��� ���� ������! ��������� �� %N� �+/�� ( ��� �����! ���� ������������ ���� �� �� ���� ��� ��� ���� �� ����!���� )� �������� ��� ���2����� ��� �� ����� �� ������ �#��� ��� ��� ������� ��� �� ��� � ��� �� ��� ��� � ����� �� �#��� � "��� �� ����������� �! ��� ���� �����! �� ��� ������� ���� "��� 4��� +9 ����� �� � ���� �� �����! �� ����� ����� � ���� ���� �� ������ �� ������������� �� ���� �������� �� �� ���� ����� ��� ����������� �� ����������

"�� �#������ ���� ����� �� � ������ ���2����� ����� �� ���� ��� � ���� �� � �� ���7F ��������� ������� ����!��� ��� ���E��� ��#� � ������ �� ������� �� ���� #����� ���� ��� ������!���� ��� �?������ /�B�� "�� � ���� �� �� ���� �� ��� ������������� �� � 3 ����� ��� ���� ������������ �! ��� ���2����� ������

4��� +;� ��� ������ �� �������� � � �������� �� ���� ��������� �� ��� �������� ���� �%N� �+/�� ���� �2 �������� ������ 4��� �� �� *+;.�

4��� +8� ?�� �������� �! � ������� ���� "�� ��� ��������� �� �� ��� ��� ��� �� ����� ���������� ��� �����������2����� �������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +0;

Page 20: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ��� ����� �� ������� ���������� ������� �����! ��� �2 ������� ���� ���� �� �� ������� ����� ���������� ( �����������! ���� �� ������ ���� ������� ���

+� "�� ��������� �� ������� �� � � �������� �� ��� �����! �� ��� �������� ��� ��� �� ��� ����������� ��� ���� ����� ��� ���� ���������� �� ��� ����� ������ ���� �� ���� ������� ��� �����

3� "�� ���������� ��� ������� �� � 3 ������� :+ ����� 0--,B-- I *; 8 //. ��� ��� ��� ��� ��������� � ������ � �� ����� +-/ I�

�� "�� #�������� �� ��� ���������� ��� ������� :+ ��� � � ��������� ���� ��� �����! *//.�0� "�� #�������� �� :+ ���� ������������� ������ ���� *+30 +3B.�

"���� ��� ���! ����� ���� ��� ������ � �� ����� � ���#� ���� � ��� �� ������ �� ��������( ������ � �� �� ��! ���! #��� ��� ���� ���#��� ���� ��� ������ ��� �������� ����� ��� �����!��� ���� �� �������� ���� ��� ����� �� ���� ������ �� ��� �����! ������! �� ������� *+3/,+38.� )������� �����! �N�� �������� ���� ��� ���! ��� �� ���� ��� � �� #���� �������� �� � ��� �2���������� ����� ���� ��� �2����� ������

F������ �� �� *+3+. ��� ��� ���! ���������� ��� ������ � �� ����� � �� �� �������� F� ������������� ��� ������ �� ��� ���#� ���!��� ���� �� �N������ > �� �� ����� ��� �������� $����� ������! �� �������� ���� ��� � � �������� #����� ��� ! ���� ��� ������ �� �� � �� ���� ��������� � ��� "�� ���� ���#� �� ���� ���� ����� �� � ���#��� ����� �� ���������� ������� ���������������� � � ������� ����� ������� ���������#� �� ������ ��� �������� ��� �� ���2������ '��������������� ��� �� ��6�� ��� �� ����������� � � ������� �� ��� F������ ����� "���� �� �� ���#��� ����� ����� ���� 6��� � K���2�����5 ���� ���� ��������� ����� ���� � � ������� ����� �! ��� � ��� "����� �� �!���� ��� ��������� ����� ��������

I� ���� �� �� *+39. ����� ���� ���� ���� ����� ���� �� ������ � ����� �� ����#����� ����������� ����� ��� ����� ��� ��#� ���� �� � ��������� �2 ������� ���2����� ����#���� ���� ���2������������ � �� ��

! � �2 � �

-

� ��� �

�33�

4��� +9� ��� ������ �� ��� � � �������� �� ����7F �� ���� �������� �! ��� ��� �������� ���� *33.�

+08 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 21: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

I������ ��� ��������� *+30. ����� ���� ��� �� ������� �� ��� ���������� ��� ������� :+ �� ��������� ���� �� ��� ���� ����� ���� �� �#��� ��� �������� �� � ���� (�! #��� ���� ���� ����������� "�� ��������� ��� ���� �� ���� ��� ������ �� ��2 ������! ���� ��� ���� ����� �2���� +

�7� � + �3��

��� �� �������� ���� ��N�������� �� ��� ������ � �� ����� "�� ��� ������ �� � � �� �2 ���� ������ ��� ��� ������� : ��� ������ � ���!�

: �� � � �30�

��� ��������� ��#��

�3 � 0� �3B�

D� ��� �������� #���� �- � +-+� ��+ � +-�+- � �- � � �A ��� �� � +-- �A� ( �! ��� ���������� �� + (P ��+ �� � � +-�+/ �� ����� ������� ������ ������� �#��� �� ����� �� �� � +-- ���� � +-0 �� � +-�9 �� "��� ��#�� � � � � +-�0 ������ ������ �� + I� "��� ������ ���� �� ����� ������2����� ������ "��� ����� ���� ���� ���� ������ �2 ��� ������� �#��� ���� ��� ������ ������ ����������

4��� 3- ����� ���� ��=� ��� ��������� �� �3-� �� � ������! ���� �������� ��� ���� ���� �� ������ ��� ������� ��� �������� ���� � � ��8 ���� �� �� + �A �++ --- I�� "��� �� ���! ���� ���� ����� ��� �����! �- �� �A� ��� ��� ��� �����! *++�.� "��� �� ��� � ����� ����#����� �����! �� � �A� )����� ��N���� � � ������ �� #��! �� ����#����� �������� �� ��� �� � �� ���� ���� ��� ����������� ����� ���� ������� �#��� �

)� ��� ��#����! �� ���� ���� ��� ��� ������� ������� ����� �! �2 ����� �! ����������������� ��������� ������� *; 8 +30.� "�� ���� �� ���� �������� ���� ���� ������ �����#�� #����������� ������������ ����� ������������� ���� ����� ��� ������� �#��� ������� "�� ����� ���� ���������� ���� �� ��� ���������� �� #�������� �� ������������ �� �� ���� ���� ������ ��� ����� �� ���������� �� �����#�� ������ � ������ ( ����� �� ����#����� �������� �� � ���� ������� ���� ������ ���� ���� ������

4��� 3-� F� ��� ���� �� � ������ � �� #�� ������� ��� ������� *++�.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +09

Page 22: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4���! $�I��E�� *+-9. $�I��E�� ��� @�� *+�-. ��� ��#�� *++-. ��#� �� ���� ��� ���������� ��� �� ��� �����#� ������ �� ��� ��������� �� � � �������� "��� �� ����� �� ��� ���� ���� ��� ������� N������������!����� �N�������� �� ��� �������! �� � 3 ��� � � ������� �� ��� ����� ��� ���� ������� �� ��!������ ������� ( ������� ������� �� ��� �����#� ������ ���#� ��� @�����,?���� ��� �� ������ �� �������� � � �������� �� ������� �� ����! � �����N�������� ������ ��� ������ �� ��� �� ��������� �! �������!������� F���#�� ���� �� ������ � ��� ������ ����! ���������� � � �� � 3 �� �� N�������� "���� �� � ���� �� ������� � � ������� �������� ��� ������ �� ���������� $������ �!������ ���������� �� ������� ���� ���� ���� � � ������� ���� �� �� �������� ������� *++8.� F���#�� ������ ���� ����� ���� ��� ���������� ������� ��� �����#� ������ ���� � �������� ��� ���� ���� �� ������ �� ���� ��� ������� *+�+.� ������! $�����! *+�3. ���������� ����������!����� ���!��� �� ��� ������ ��! ���� �������� �� �������� ��� ��������� ���� ��� ���������������� ��� ����� ���� ���������� ��� ������� ��������������� ���� ��� ���� ���������� I�����*+��. ������� ��� ������� �!������ ���������� ��� ����� ��� ������������ �� ��� ������ ��� �������� ����� F� ����� ���� � � ����� ���� �� �� ����� ��� ��� ������� ��� � 3 ����� ��������

".�. * �?

"���� ��� ���! �������� �� ��� �� ������� �� ���7F �� ����� �� 4��� 3+� "�� �������� ������� �� ��� �� ������ �� ���� �� ������ ���7F �� ��� ���� #����� ��� ����� �� ��� ��������! ��������� ���� ���� �! � ������� ��� �� ��� �� ������� �� ���7F� )� �������� �� ���� ��� �����2 �������� �� ���� ��� ���� +--G ��� ��! �� �! ���! +-G *0 80.� "�� ���7F ��� �� �� ���������� ��������� ������ ����� ���� �� �F0 �3F3 �3F0 ��� �/F/� "�� #�������� �� ��� ��� ������!���� ���� #����� ��� ���� ������ ��� ��� �� ������� �� � ���� �� ���� #����� �� � ���� �� ���������� D��� ���� �� ���� ��� ��2��� �� ������! �� �� � ������ �����! ���� 4��� 89�� "������������ ���� ��� ������ �� ���� �� ��� #�� ��� ��������� "��� ��� �� ���������� �� ������ (���������� ������� ��� �������� �� ��� ��� ������� �� ���� � ���� ������ ���� ��� ��� �����! ���� ����������� �#��!� "��� ���� ������ ��� �� ��� ��� ���� ������! ���� ���� �����!�

4��� 3+� ��� ����� �������� �� ��� ������ ��������� �� ���7F�

+B- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 23: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

( ��� ��� ���� �� ��� ������ �� ���7F ��N����� �� �� ��� �������� ��� ������� �������� �������� � ����� ��� �� ���!����������� *+�0,+0/. �� �� �� ��� �!���� ������ �� ��� ���������"���� ��� ����� ������ ������ �� ��� ���� �� �������& ��� ��������� �� ��� ���� ������������� ���������� ����� ��� ����,������� ����������� ��� ��� ���������� ��������� �� ��� ���� "�� ������������� ��� ���#�� �! ��� ��������� �������� �� ������� �! ��� ������� �����! ������������ �%%�� %N� �/�� "���� �� �� ����� � ����� ������ �� ��������! ��������� ���� �� �!����������� "�������� �� �� ��� �� ������ �� ��� ���� �������� ���� ��� ��� �� �������� %2�� � �� ��� ���� �� �����������! ����� ��� ���� � ���������� ���!��� �4��� +3� ���� ���� ������������� ������ ���������� ��� ��� ��� �������� � ����� �� ��� �����

"�� ���� � ����� �������� �� ��� ������� ��� �� ������� �� ���� ��� �������� "�� ��������� �� ����� ��� ������� ���� �� ������������� �������� ��� ������������ ���� �� �F� ���������� ��� ����� ����������� � ����� ���� �� �3F0 �� �3F3� "�� ���� ��� �������� ������������������ �� ������ �!������ F��

)� �� ���� ���� ������ � ����� ���������� �� ������ ������� ��� ���� �� ������� ���� �2�������� ���� ��� �� ���� ����� "�� ����� ������ �� ���� �� ���� ��� ������ ���� ��������� ���� ������������� �������� "��� ��� ����� ������� �� �� ������� ��� ������� ���� ���! �������� �� ��� ������� ��� ����� ���� ������ �� ������ ��� �������� *+�0 +�B.� )� �� ��� ���� ���� ���� ��� ��������� ������� �� ��� �� ��� ������� �� ��� ��� �! ������ �!������ *+�9,+0+.� C����� ����� ������ ������ �� ��� �������� "�� ������� ���� ��������� ���� ��� ������� �� ��� ��� ������ ������������� ���� ��� ������� �4��� 33��

"�� ������������ �� ���� ������ � ����� �� ��� ������ ���� �� ���� �� ����� ������� ������������"�� ���7F ������� �� ��������! ��! ��#���� ���� �,F ����� �� �� �� �������! ����#�� ���������� ��� ����� ����������� � ����� ��� ������ ������! ���� ������� �,� �� �,F ����� �� ������ ����� ����� ������! ���� ��� ��� ��� ����� ������� ������������ � ����� +� M� ��� ����� ���� ����� ��� ������� �� �F0 ��#� #��! �� ������� ������������ �� ����� +-�0 ��� ����� ������ ����������� "�� ����������� ��#� � �������� ������� "��! ������ ������ ������! ���� � ���� ���!��� ��! ����� ���� ��� ��� �� ����� �� �� �2������ ������� ���� �� ��� �������� "��! �� ��� �� �������� �� ���� � �,� ����� "�� ������� ���� ���� �� ������� �! ����#� �� �� F ���� � ������� �,F ����� "��� ��� ����� �! �� ��� ��� ����� �� F ���� ��� ���� �� �! �� F ���� ����������� F ������� ����

���� F� � ��� � F3 �3/�

4��� 33� ?�������� ��� ������� �� ������� �� ��� ������ ���� ����� ������ ���� ��� ������� �����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +B+

Page 24: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� �! ������� ������ �� �F� ����������� F ���� ��� �,F ����� $����������� ��#� ����� ���������� F� �� ��� ���� ��������� � ����� ��� ����������� ��- ����� ������ ���� �F�� *+00.� "�� �F� �������� �� ���� ������� ����

����F� � ����F� �3;�

"��� ��� �������#� ������� ����������� �� �F� �� ��� ��� �� �� ���� �� ��� ������� �� �������!������ *+0� +00.� "��� ���� �� � �!��������� ������ �� F� �� ��� ������� ��������! �� �F� *+00.�

1����� �!��������� � ����� ��� ��! ����� �� ��� ������� ���! ������ �������� ��� ����F!������ ���� ��� ���� ��� ���������� F ����� ����� �� ��� ���! ��� �������� ����� 3 �� ������� ��� *+0B.� "���� ���! ��� ����� �������� F ���� �,F ����� ��� ������ ���������� ������������ ��� F3 �������� ?��� �� ����� ������� ����� �� �� ������������ �! �������� ������ F�

)��� ��� ��� �������� ��� ���� ������ ��� �!��������� ���� ��� ����� ��� ��������� ( �����! ��� ��� �� ���� �� ���7F �� �� ��� ��� F ���� �,F ������ "��� F ��� ���� ��������� ���� �����F� �� ���� F3 ������� ��� ������ ���� ��� ���� "��� �� ��� ���� ������ ����� ������ ��� F������� �� '%�A� ���7F �� �������� ���� ���������� ���� #����� �� ����� ����� ?��� �� ��������� F� ���� ��� ��������� ��� ����� ������� ����� �� ������������

@������ �� ����� �� ���� �!������ ���� �������� ���! ���� � ������ "��� F� ���� ��#� ��������� ����� ��� �������� ��� ��� ���� ��� ��� �4��� +��� "��! ������� ��� ���� ��������� �������� F� ��� �� � ������� �� ��� "��� #�� I���� *+0B. ����� ���� ���7F ���� ��#� ������������������� �� ���& ��� ������� ����� �� �������� �! ��������� �� �!��������� ��� �!������� �����& ��� � �� 3 �� �� ����� ��������! �� �������� �! ��������� �� ������ F� ��� � ������� �� �� ������ �� ��� �����! �� ����� ��������� ��� �������� �! F� �����

� ������ ��������� �� ����������������

2.�. �������

������ ��� �2��� �� ����� �!������������ � � � 3 ��� � + �� ����� �� 4��� +� )� ��� � �

������������� � ������ ����� ���� � � ������� ����� ��� � ������ � ���� �� �� ��6����� ����� )���� � 3 ������������� � ������ ���� ���� ����� � 3 ������� �� ���� � ����� ��� ��� ������ ������� ����� � � ���� ���� � ������������ � ������� )� ��� � + ������������� ����� ��� ��� � ��������� ��� �+��2�� ��� ����� ��� � ����� �� ��� � ��� , �����

"�� � ����� �� � ������ ����� ��� �,F ����� ���� ���� ��� � ������ �� ��� #����� ���� ����� �! �� ������ �� ��� ���������� ���� �� ������ �! � ���� �,�� �� �4��� 3�� *�.� "�� � ����� ��� 3 ��� � + ����� ���� ���� � ������ ��� �� �! �� ������ ���� � ���� �������� �,�� �� *+0; +08.�

4��� 3�� ?�������� �M? �� � ������ ������� � ��� � ������ *+.�

+B3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 25: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

( #��! ��� � ���� �� ��� ������ ��������� ��� ��#�� �� ���� !���� ��� ����� �� ��� �� ������ �� � ��� � ����� *+0; +08.� )� ��� ������ ���� ��2������� ��� � ������� �����! ����� ������� � 3 ����� �� ���� � ������ ������� ������ � � � ������ �����2� "�� ������ ��E� ���������� ������� �� � )� ����� ��� ���� ��� ���� �#������������ ������ ��E� *+09,+B+. �� ��������� �� ?������ B�1�#�������� �� �� � ����� ���� ��� ������������� ��� ������� �� ���� ���� ��������

"�� ������! ���� ������� �� ��� �,F �!���� �4��� 3� �� ������� ���� ��� �! ������������������ ��� ��������� ��� �� ������ �� ����& ��� �������� �� � � ������ ������ ����� ��� ����!������ �������� ?�������� ���������������� �� ���� ������� ������! �� ����� ��� ���������� "���������� �� � 3 ����� �� � ����� ����������� ������ ��������! ��� ��� ��������� �� �������

A������ ���������������� ������� ��#� ���� ���� �� ��������� ����� ��������� ���������� M������� ����������� ������� ������� ��� ������� ������� ���� �� ����������� ��� ���� �������������� ��� �� ����� ��������� ���������� ����� ����������� �� ��� � � ������� ��� �!�������������� "��� 3 ��� ���� ��� �������#����� ��� �����#������� �� #������ ������� ������� ����������� ��� � � ������� ��� �!������ ��������

2.�. ��<<� ���

����������� �! �������� <���!� ��� �������� �� ���� �� ��������� ��� ������ ����� �� ��������#�� ����� ��������� *+/ +9 +B3,+/3.� "�� ��������� ������ ��8� �� ����#�� ���� ��� ������������������! 0�8� �!

08 � �8;< 38 �38�

����� ; �� ��� ������ �� ����� ��� <�8� �� ��� ������ ���� ��� �������� <���!� �� ��������� "�� �!N������! �� ��� ����� ������������ �������� ���4� ����� �� ��� ��������! �� ������� �� ���� �� � ��#���������� ���� � ��#�� ����� "�� ������� ��4 @��� �� ����#�� ���� ��8� �! � ������� ����������

@� ��

-

8��8 � +� ���8� �8 �39�

(� ���� 8 ��8� �������� ����! �� � ����� ���� ��#� ��� �� ��� ���� ����� ��������� ��� )� ������� � �� �������� �� � ������ ��#������� 8��2� )� ��� ��������� ��8� �� ���������� ���� �! ��8��2 ���� �� ��� �� K����������� �� ��5 �� ��� ��4 �� � ���� ������� ���� ��8� �� 4����������������� ��� ���� ��� ���� )� �� ������ �� ��������� ��8� �! � C������� �������� �� ��#��� ��������������� �� ��� ����������� �� �� *+B3.� %������ ����������� ��� ��! �� �������� �� � �� 8��2

�� �� ��� ��! � �� ��������� ��� �� �� ���� ��� �������� ��!� 1������ ����������� �� ��� �� ������

"��� 3

��� ������ �� ���������������� ������� ��� ������� �� ���� ���� ������� ��� ����� ��#������� ��� ����� �����#�������

$����� ��������

1$� ����� ��� � ������ �+� �� ����������������� "��� ���������%?�( ?�� �� ������ ��� �� ���� ��� ��������,F ����� )� M�! ����� ������ �� F�3=;��� MI �� ���� � ����� �����? �������� �� �� ������! L����� �� ���� ��� ��� � ����� �����%%�? '������ ������ �� ������ ��� ���������#� ��������������A����� ����� )������� � � ����� ��#�����LA ����� 4����� ������ �� ������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +B�

Page 26: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

#��! ���� ��������� ������� ��� �� 8��2 � B- (P �+ ���� ��� �#�������! �� ������ � ������ ��������������� "�� ��! �����#������ �� ������� ����������� �� ���� ��� �������� ���������� �! �!��������#�� �� ����Q� ��#�� ������ �� ������� ��� ������� �� ��� ��4�

"�� ��4 �������� �� � ������ �� ��� ���� ���� ��� �� ����������� )� ��?� ��� ����� �� ����� �� ��� ����� ������! ������ ����������� "�� ������� �� ���� �� ��#�� ��� ���� ����� �+ ������ ���� ����� ���� �� ��#�� ��� ������������ ������ ;+� "�� ������ �� �� ��� �� ��� ���������������� �� �������� �3 ��� ��� ���� �� ��� ������ �� ������ ���������� ;3� D��� ��� ����� ��������� ��� ��� ����! ����! �� ������ �! � ������ ���� @ � - ��� ������ ����� ��� ��� ��#���� �� ������ ���� ��� ������ ��� )� �� ��������! ������ �� ������ ��������! �� ������ ����� ��� �� �� ������ ��� ������ �� �! � �!������� C������� ������ �� ��� ������ ����� D��� ���������������� �� ���� ���� ��� ���� ���� �� ��#�� �!

�3 � 3�+ ���3

� ���-�

��� ���� *+BB.

;3 � ;+;+ � + ��+�

����� ����� ��� ����� ����� �� ����� ��#� ������"�� ��4 ��� ��������� ������ ��� ��! �������������� �� ������������ �� ��� ������ ���������

����� ���� ���! �� ��� ������ ����� ����������� *+B3.� "��! ��� ��������� ��! ������������������� �� ������ ����������� ����������� ��� � ��� ������ ��� ���! �������������� ����� ����� ������ �! ��� �� ������� ������� *30.� )� ��� ����� ������ ���� � ����������� �������� ���� ��� � ��� ������ �� ���� �2 ����� ��� �������� "��� ��� �� ��������� ��� ��� ����!������� "��� � ���� ��� ���� ��� �� ��� ����������� ������� �� ������� ��� ��� ����� )� �� ���� ��������� �� ��� �� ���� ����������& ����� ��� ������ ��� ������ ��- B�+ B�8 ��� ;�; (P �+� "�� ����� �� �� ��8� �� ��� ���� ����� �--3� �� +�9 (P �+ �� ��� �� �������!�� ����������� "��� �� ��! ���� ������� �� � ���� �!�� �������� �� � ��� ����� ���������� "�� �� �� � ��� ����������� �� ��� ���� ������� ����� ��� ��8� �� ���� *+BB. ��� � ������� �� 3� ��� *+9. �� 4��� 30� "�� ��� ���#�� ��#� ������� �� ��������� � �� +� (P �+ ���� ������ ��� �� ��- B�+ 8�; +-�� ��� +� (P �+� "���2 ����� ��� �� B�9 ��� ;�8 (P �+ ��� ������ ��� �� ���� ����� ���� ��� �3--� �� �� ������� ����B (P �+ ����� ���� ����������� ������� ���� �� ��� � ����� �� ����� $������ *+/3.������������� ��� ���� ���� �� ��� 8�; (P �+ �� �� ������ ���� ��� +-�� (P �+ �� �� ���� ��� �����#���� �� ����

"�� ��4 ��� �� ��� ���� �� � ������ ��������� ����� �� ���!��� �� � ���� ������ ������"�� ����� ���������� ������ ������ ����� �� ���� ���� ������� ���� ��� ��������� ����� ��@����� �� �� *+/�.� "���� ���� ��� I������ *+/0. #����� ����� ����� "��� �2 ������ ��� ����������

"��� �

��� ������ �� �� �������� �� ��� ��������� ������ ��8� �� #������ ���������� �������

'�� ������� �(P �+� ���������

C�� ���� �3 8 �� +�88 �--3� 3�9B �+--� B�++ �++-� B�9- �3--� ;�83 �3+-� 8�8/ ��--� +-�3 �33-�

������� �3 8 �� ��-/ �+--� ��B� �3--� B�-- �33-� B�8/ ��++� ;�;+ ���+�

C���! � +�8 3�98 B�++ B�9/ ;�8 8�8 +-�3

��� ��#� � +�- 3�9 B�+ 8�; +-��

��� �� ��� +�/ 3�9B B�B 8�; +-�B *+9.

���� , 3�9 B�0 8�; *+B/.

+B0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 27: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� �� �� ��� ������ �� ����� �� ��� ��� �� ������� ��������� ���� ���������� ��� ����������� ������

�� ���

8���3� �

���A

8�����A ��3�

"�� ���� ��������� ;+ �+ ��� ��� ������! �- ��� ���������� �� �������� ��� ������ �� ��!���� ���� ������� "���� ��� ��� ���� �� "��� 0 ��� ��� ���� �! ���

4��� 30� ?�������� ������� �� ����! ������ � ������� ��� ��� ���� ����� %���� *+B�. �� ��� ������ *+9. ��� C��� �� ��*+B/.�

"��� 0

��� ������ �� ��������� ��������� ����� ����� ��+� ����� ������������ ������ �;+� ������ ��������� �������� ��3�

������ �� ������ ���������� �;3� ��� ������! ��� #������ ����� �� �������

�+ ;+ �3 ;3 ������! �� ����� ���������

C�� ���� +�03 � 3�0B / 3�3/;������� +�B0 0 3�B+3 +3 ��B+BC���! � +�03B 3�99 3�0B /�+ +�09 *+B0.��� ��#� � +�0� ��� 3�B� 8�8 3�-��� �� ��� +�0/ ���0 3�09 /�; 3�00 *+9.���� +�B3 ��9 3�08 ;�// ��3 *+B/ +80.

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +BB

Page 28: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

C���! ������ �������� �� ��� �� ���� �� ��� ���� *� +B; +B8.� "�� �������� ������ ��� ������ ���� ���! ��������� ��� ���� ��2���� ������ "�� �������!�� � ����� �� ��� #�� ��� D����������� �� �������� �� ��� �--3� �� ������� �� ��� ��8�� F���#�� ��� �!�� ��� ��� ����� ���� ��������������� �������� ������� �!��� �� ��� ��#��� � ������������ ��������� ���� � �383� ��������� ����

"�� ��4 �� � ������� ��� ��������� ���� �� �� ��� ����! � 3 ������ *+9.� "�� ;+ �� ��� ��������� ���� � � ����� ������ �� �� ��������� �! ��� ������ �������� ��������� �1$�� � ����� *+/B.�F���#�� ��� ��������� ������� ���� ��� � ��� ����� �������� ������� �� �� ������ �������� ��������� � 3 �!��� "��� ���������� ������������ ����� ��� ����� ���� ��� ��� ���������� �� �� 3�80 (P

�� ��� ���� ��2���� ���� *+9.� "�� ����� ��������� �� �� ��� �����#�! ����� ��� �� ��� ���������"�� ��4 �� ���� ��� �������� �� 8 � 3B (P �+ �! ������� ����������� �4��� 3B�� )� �� ���!��� ��

����� ����� �! C��� �� �� *+B/.� "�� ����� ��������� �������� �� +�B3 (P �� ��� ��4 �� �������������� � ���� � � �������� �� �� ��� ;+ #��� �� ��9- ��� ���� ���� �� +-9�� "�� ����� �� �� ������� ��� ���� �� ��?� ���������� ��� ������� �� ���� �������� ��� ��� ������������� �� ���� � �

��� ���� � 3 ������ "�� ����� �� �� �� ���� ���� ��� ���������� �� ��8� ����! �� ��! ��� ���� ������� �� ��?� �� ���� ��8� ������������ ��� �� 3B (P �+ ��� ����������� F���#�� ����� ��� ���������� ��� ������ ��������� ��� C�����! ��� ���� �� ��� ����� �� ;+ �� ��� ���� �� �����������! ���� ��� ��� ��� �� ����� ������� ���� ��N����� � ���� ������������ �� ��� ������������� ��������!� "�� ������ �� ������ ���������� �� ;3 � ;+;+ � +� "�� ����� ;3�;+ �

4��� 3B� ����� ������������ ��������� �� ����! ������ � ������� � ��� ����� ���� ���� %���� *+B�. �� ��� ������ *+9. ��� C��� �� �� *+B/.�

+B/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 29: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

;+ � + �� � ���� �������� ��! �� �#����� ;+� F���#�� �� ��� ������ �� ���� �� ����#�� �� ���� �! �������� � C������� ���� ��� ������ ���� �� ������! ��� ;3 #��� �� ����� ��� ���� �� ����2 ����� +3� C��� �� �� *+B/. ������ ���� ���� ��� ������� ��� �� � ����� �� ������� �� 3�08 (P

����� �� ������� �� ����� ������ ���������� ������� ����� ����� ������ ��� �� �������������!����������� ������ � 3�+�

"��� ����� ��� ��� ���� ����#�� ��� �� ��� �� ��� ������� �� ��� ������ ��� ������������� �� � � ����� ����� ���� ����� ������� �� ��� ������� �!������ ���������� �� $��� �� ��*+/- +/+.� ��� ����� ����� ������ ��� ������ �� ������ ���������� ���� ;+�;+ � +�� ?��� �������� ��������� �� ��?� ������� ���! ������ ��� ���� ���� ���� ����������� F���#�� ��� ������� �������� �� ���������� )� ���� ��� ������� �� �������� ����� �� �� ��� ������� �!�� �� ��� ����!��������� "���� ��#� � ������ ���� ���� ���� �2 ����� ���� ��� ���� ���� ��������� ���� �� ����� I������ ������ *+/0.�

"�� ��������� ������ �� ���7F ��� ������! �������� �! D����� �� �� *+B;. � �� B- (P �+� "���������� ��4 �� ��� ����� �� ���� � � �� ����� ��������� �� ��� �� ����������� ������� ��� � 3 ���� � ���� ������� (� �� ������ ����� �� ���� ��� ���� ����� �� ����� �� ��� ������� +��0 (P �R������ �� ���!��� ������ ���� ��� ����� +�03 (P ����� �� ���E���� "��� �������� ���� ��� � 3 ����� ������ ���7F ��#��� �� ������� �#�� �������� ���������

)� � ������ �2 ������� �� ��������� ����������� ���7F �! @��� �� �� *+B9. ��� ����� �������������� ������� �,� �,F ��� F,F ���� �� ����#�� �� ������! ������� ��� ������� �� F �� ���7F� "�� �,F ���� ����� ��� ����� �� �� +�-/ (P ��� ��� F,F ����������� ������ � ����������������� ���� �� � ������ ��������� �� �!�������

2.". ;�!

"�� ���� ������ ����������� �� ��� � � �������� �� �! �+� 1$� *+/B,+;;.� "�� ��#������ ��1$� �� ���� ���� �!����������� ��#�� ���� �� � �� ����� �������!�������� �� ���� ��� ������������� ������ ��� ���� ��� "�� � 3 ��� � � ��� ��� ���������� ���� ������� ����������F���#�� ���� ��� � ��E�� ��� ������ ����� �+� �������� ��� �� ��� ����� $���� ���� � ��������� �� ���� �� ����#� ��� ���������� ������� �� ��� � ������

4��� 3/ ��� ���� ��� 1$� � ����� �� ��� ��� ����� '�� �� �� *+/B. ����� ���� � ������� ������������ �;G � � ������ C�E�� �� �� *+//. ����� ���� ����� ���� ��������� ;BG � � ������ "������������� �� ���� ��#� ������! ���� ��������� �! ���������� *+;;.� 4������� �� �� *+;-. ������ ������ � � ������� ��� ����� ���� �� ������ ���� ���� C�E�� �� �� *+//.� "��� �� �������!������� ��� ��� � �� C�E�� ���������� ���� ��������� ��� ���� ��������� ���� ��� 4�A( ����������� ������ ����� � 3 #����

1$� ��� ��� ���� ���� �� ��������� ��� � � � �������� �� ���7F ���� *+/;,+;/.� (��� ������ ������������ �� 1$� �� �� ��� ����� ����� ��� �� ������ ���������� ������� ������������� ������� ��� � ����� ���� ��������� ������� �� ������ �!������ ����������� "��� �������� ���� �! "���� ��� �������� *+;� +;0. �� ��������� ��� ��#�� ���� �� ������� �� ���7F �� ��������� �� ��� �� ������� ���� #������ )� ��� ������! �2������ �! ������ �� �� *+;/. �� ������������ ������ �� ���� �F ��������������

2.2. ������ �� B*�� ��<�� ����

"�� ���� ������! �� ������� �� B-G ����� ���� ��� ���� ������� ��� �������!�� ������� ����� ���� ���� ����������� � ���� "��� ���������� ������� �#�� ���� ��� ���� ���� ���� ��� ������ ������ ���������� �� ������! ��� � � �������� �� �2 ����� ��� � ��2�� � 3 � � ������� "��� ��� ������!

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +B;

Page 30: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� � ����� ��������� �� � � �������� ��������! �� �!����������� �������� "�� ������� �� �!��������� ������ ������� �� �F+ ���� � ��� ���� ! � �� �� � ��� �� �F+ ���� � ������ ��� ������!� "��������! ��� �� �������� �! ������ ���� ������ ��� �� ������� �! ��������� �� �! <���! �������#��!�

<���! �������#��! �� � ������N�� ����! ���� �� ���!�� ���� ���� ��� �����!��� �� ���� ������������ �������!� )� ��� �� ���� �� ��#� � ������������� ����������� �� ��� ������! �� ������� *+;8,+8/.� "�� ��������#� ����2 �� � ���� ��� <���!� �� �����! ��� ���� + �� ���� <���!� ��#�� ������� ���� ��� ���� �2����� ���������� "�� ������� ���� �� � ������� ���� �-�3-� ��� �� <���! ��#������ �� +��9 (P � "�� ��������#� ����2 �� ���� �� ��� ������! �� � �������� #����� �������� "��� ���� ��� ���� ������! �� � ������ ��� �� �� ����#�� ���� ��� ������� ����� )� ������� ��� � ��� �� �� � ��������� ���� �� ������� 4�� � ���� ������! ��� �� ���� ��� <���!� ��� ���������� ��� ����� ������� ��� ��! � ����� ������� ���� �� ���� *+80.� M� ��� ����� ���� �� ��� ��� ��� ������� �� ������! �� �#� ������ ��� �� ���7F ���� ��� ������� ����� �� ���� ��� ��� ?� ��������#�� ��� ��� �#��� ��������� ���� ���� �� �������� �� ����#� ��� ���5� ������! *+8; +88.�(��#� ��� ��� ������� ���� ��� �������� ��#�� ���� ��� �� ������� ��� ��� ���������������������� ������ ������������ ������� ����� ���������! ��#�� ��� ��� ���������

)� ����� ��� ������� ���� �� ��#�� �!

3� � �3;(�-

���B���

��

����

����� � �� ��� <���! ��#������ ;( (#������5� ������ �- � �3=0��-� 3 ��� ������� ������������� � ��� ���� ������! B� ��� ������ �������� �� � ����� � ����� � �� F� �� ��� ������ ������ ����� ��� ������ ���� �� ���� � ��� ���

4��� 3; ����� ���� <���! ��������� ���#�� ��� #������ ��� ���� �� ?� ������� ��� ������������ ���� ��� ���� ��� ����7F ��� ��� ����� ������� ���� ��� ��� ��� ����� ���7F ��� � ���������� ���� *+80.� "�� ������� �� �!����� ��� ��� �� �������� ���� � ����� ������ ���#� ��� ����������� �� � ���� ���� "���� ���� ����� �� �� ������ ��������� �� ��3/ � ���� ��� ���� ���� 88G � � 3��/ � ���� ��� ����7F ���� ;BG � � �� � ��������� ���� ������� �����! ��� � �������� ! �%%�?���"���� #���� ��#� ���� ���� �� ���� ��� �������� ������! #���� ��#����! ���������� �! %%�?���� ��� ����� �����! �4��� 3-�� 1����! ��� ������! �� ����7F �� ���� ���� ���� ��#����!

4��� 3/� 1$� � ����� �� � 3 ��� ��� ���� ����� '�� �� �� *+/B. ��� C�E�� �� �� *+//.�

+B8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 31: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����#�� *9B +80.� "�� ��2���� ������! ��� ��! ���� �� ���7F �� ����� 3�0 � ���� ���� �������� ���� �� ���� ����� � ������

%2�����! ���� ���� ��� �� �������� �! <�� *+8/.� 4��� 38 ����� �������� ��������! ��� �������� �� B,8 �� ��������� "�� <���!� ��� �������� ��� ��� ��� ��� �������� ���� ��� ?� ����������"�� �!���� ����� ��! ��� ������� ���� �� ��� ?�� "�� ��� �� ������ ��� �� �2������� �! � ������� ����� ��������! ����! ���#� ���� ������� �����

4��� 3;� <���! �������#��! ��������! #�� ���� �� ��������� ��� ���� ����7F ��� �� ���7F ��� �� � ?� ��������� ����� 4�������� �� *+80.�

4��� 38� <���! �������#��! ��������! #�� ���� �� ��������� ��� ��������� ���� �� ���� �� ��������� �������� �� � ?� ���������*+8/.� )�������! ����� ���� ������0 �� ���� ��� � ������ ���� "�� ��� �� ��� ����� �! ��� �� ������� �����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +B9

Page 32: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

2.4. ��� ��� ������ ���� ��� ��� ���

%%�? �� ������! ��� �������� ������ �� ����#� � � �������� �� ���� *+; 0; // +89,+9/.� "��%%�? ������N�� �� �2 ����� �� ����� �! %������ *+89.� (� ������� ���� ������ ������� � ������ ��� �� ���������! ���������� "���� ��� ��� �����! ��� ������� �� �������� ��� �� ��� ���������� - �� 0- �A ��� ��� ���� ��� ������ �� ��� � +� �I ����� �� 38B �A ��� ��!���� "�� ���� ��������� �� ��� �����#�� �! <���! ����� ���� ����� �!�������� ��������� ����� �� �� ���� <���! �������� ����� ���� � �������� ! �<(1%?�� "�� ��#������ �� %%�? �� ���� �� ���� �� ���� ���� �+-,3- ��� ��� �����#������ �� ���� ��� ��� ���� �� ����#�� ���� ��� ��������� �� ��� ������ �����������#��

4��� 39 ��� ���� ��� � +� %%�? � ����� �� #������ ������ ������ "�� � ������ �� ���! ����2�������� � ������ �� ��� � �� ������ ���� ��� �� �! ���������� ���� ������� )� �� �����! ��� ����� ���������� ���� ������! �� ������ ��M?� ��� �� ��� � � �������� ���� "�� ���� ���� �������� ����� �������� � �� �� 38B �A ��� �� �2�������� �� �� ������ �� � 3 ���� � +� ������ ��� � ��� ��39- �A ��� �� �2�������� �� �� ������ �� � � ��� � 3 ����� *+9- +93.� ������� ��� �� �� �� 38B �A�� ���� �� 4��� +8� "�� � 3 �������� �� �� ��������! ��� ��� �� ����� �! ����� ��� ����� �� ��� ���� ����� 38B �A �� �� ��� ���� �� ��� 39- �A ��� ������ ���� �����! ������ ��� ��� ����� �� �� �������� ��� � ��������� +--G � 3 ��� � �� ���������� ��� ����� @����� �� �� *+93. ����� � ������ ���-B �A� ?��� ������ ��� ��� �� ���� �! ������� ��� ������ ���� �� ��� 39- �A ��� ���� � C��������������� ( �����#������ �� ���� I ���� %%�? ��! ���� ������! ��� � 3 ������

( ������ �� ������� ����� �� ������ 4���� ��� ���� ����� �� +-,3- �� ���� �� ���� ����� ����� ���� ��� ���������� ��� ���� � ����������� ?����� ��� �� �� �� ��� ���� �� �2��������!�������� ��� ���� �� ��� ��� � �� ���������� ���� �M?� "��� ��� ��� ������ �� �������� ���������������� ���� ���� ������ �������� ����� �� ���� ������� ��� ���� ��������� �� ��� ���� ����� ������� �� ���� �2����� �� ��!��� ��� ����� �� ��� �� ����� M� ��� ����� ���� ���� �� ��� � �������������� �� ����� ��! �� ��� �2������� ����������� �� ����

4��� 39� ������ I ���� ������� �����! ��� � ����� �� #������ ������ ����� ����� D������� �� �� *+9/.�

+/- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 33: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

( ����� ���� �� ���� ���������� ���� ��� �� �� �� ������! ������� *+9;. ���� � �������� ����� %�� ��� ��� ����� "��� ��� ��������� ��� � ����� �� ������! �������� ��������!��������� ����� (�������#�! �� � ������ �������� ���� �� ���� ���� ����� �� � ����������� �� ���#���������� �������� ����� ��� ����� ��� ��=�� ����� ��� �� �� ������� �� ��� ��� ����������� �� ������ ���� ���� "��� �� �� �� ������ ��������� ���� ��� ����� ���� *+80 +98.� "��� �� �������������� ����� ��� �������� %%�? ����� 1�� ����� ���� ��������� ��� ��� �� �#����������� ����� � 3 �������� *+99.�

4���! ������������ ���� ���� �� �������� ��� �!���������� ��� ������ ��� �������38B ��� 39- �A� �/- ��� � ���� ��� �2 ���������� ���� ��������� ���� ��� ���� ����� �� ������� ��� ��� �� ����� ���� � ���������#� ��� �� �� *3--.� )�� �� ������ ����� �� 39+ �A� "�� <(1%? ���!��������� ������� ���� ��������� ��� �� 38;,388 �A *3-+,3-0.� "���� ��� ���������� ���������� ���������� *3-+.� )� �� ��� ���� �� ����� �������� �������� �� ��� ���� ������ )� ������� ��� ������ ����� �� � 3 ��� ��� ���� ������ � �� ����#�� �� ������ 38B �A �� ������� �����7F ��� 38B �A �� �� ��� �� �� ������ ��� � ����� ��!��������! �� ��� ���� �����! ���� � �� ��� 39- �A ��� � "��� ��N����� ���� ������ ������� �� ������ � � #���� ��� ���7F *3-B.�

"�� �� �����! %%�? ��� � ����� �� ������ ������ �� ��� ����� ��������� �� ��� #������������� �� ���� �� 4��� �-� "��� ��! �� ���� �� ����#� ��� ���� ������! *+; +80 3-/.� "��� #���������! ���� ��� �������� ��� ����� "�� ����� �����! �� � ���� ������� ��� ������ � - �� ��#�� �! *3-/.

� - � �3;�3

�-�

� �+�3

��0�

����� ; �� ��� #����� ������� ������! � ��� ��������� ������ �- ��� �������#��! �� ���� � ��� ���� �� ��� ���� ������� ����� )� �� ������ ���� #����� �������� �� � ���� ���������� �� ��� ����� ���� ���� ��#�� �� ��� ���� ������! ���� ;� )� ������� ��� �����#�� ����� �����! ��

4��� �-� ��� ��� ������� �����! ��� � ����� �� #������ ������ ����� ������� ��� #����� ����� �������� �����D������� �� �� *+9/.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +/+

Page 34: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������� �� �0 �A �� ������ ���� ��#�� �! ��0� �� � �� ����� �� ���� �! �� �������#� ���� ��� 4��������#�� �� � -�8; � ��� ���� #��� �� ���� �� � ������ ������ ��� � ���� *+;.� ( ������ �� ���������� �� �������� ���� ����� ���� ������ *+80.�

4����! ��� ����� ��� �� �� �����! N���� ����� ��� ����� ��� ����� ������ *3-;.

)� � +

��� �

� �3 �

�3 � �3 3 � �3

��B�

����� �� ��� �� ������ )� � ������� ��� ���� ����� �����! ���� ��� ��2���� �� ��� �������! ��� ���� ��� ���� � �! ���2 � �3

� �33+�3�

( ������ ���� ������� ���������� �� ���� ��� ����� �����! �� � ������������� �� ��� �����,������E ���� �� ��#�� ���� ��� ���� ������� �����! � - �� � ������ �����! � �! ��� ������� ����� �������,����������� �� �� *3-;.

�3 � �3

- � �3� ��/�

�� �� ��� �#����� �� '��� �� �+-,+� �A� ��� ��� ������� � ���� �� *3-8 3-9.� "��� ���������� ��� +-,+BG ������� 1�� �� �� ��� ��#�� �� ����� �� ��� E��� ���N����! ��������� �������� �+�-� �����������#� ����2 � �! *3-8 3-9.

�+- � �3- � + � �3 -

�3�

��;�

L���� � �� - � ����+=3 ���� %N�� ��/� ��� ��;� �� ���� ����

��

�� + � +

�-3��8�

"��� �� �� ���! �� ���������� �������#� ���� ����� �������� ��� ��� ������� �� � ���� �� ��� ������� ��������� �������� �� � -� "�� �����#�� � ����� �� ���� ��� �! ��=���+=3 �� ��� ��� ������������ #��� � - ���� ����� ; ��� ��� ���� ������! ��� �� ����#�� *+80.�

"�� #��� �� �� ��� ��! ��� �� ���7F ��� �� ����#�� ���� ��� ��������#� ����2 �� ( ��������#��� �� �� � -�8; ��� ���� ����� �� �� #��� ��� � �!����������� ���� �! ��� ����� ��� ������!���� %%�? ��� ���� <���! �������#��! *+8/. �4��� �+�� )� �������� �� ���7F ��� ��������#� ����2 ������ ���� �!������ ������� �� �!����� ���7F� "�� �� �� �� ����� �������� ��� �� ����� ����������� ����� %N� ��;�� "��� ����� ���� ��� �����#�� ����� �����! �� ���7F ����� ��� ����� 33 �A� "��� ���� ��� ���� ���� ��� ������! �� ��� ���� �� ����� ���� ��� ���������� ������ ��

��� ������ ����4��� �3 ����� � ���������� �� ��� � � ���� ������! ��� ��� �������� ��� � ������ �� ����

����#�� ���� %%�? �� ���� ��! *+80.� 1��� ��� ������! ����� ����������! ���� � � �������� ��� ��� ��� �� ����� ������� � ��2���� ��� ���7F� "�� ��2���� �� ������� ��� �!������ ������� �� ��������� ��� ���� �!������ �������� ������! ������ ��� ������!�

2.5. ��� ��� ��� ��� ��� <�� 3��� � ������ $�� 7&

%?�( �������� �� ��������� ��� ������ �� ���� �#�� �! <���! ������������ � �������� !�<'?�� %?�( �� �������! � ������ �� ���� ������ ��� ��� ��� ���� �#�� "�� ������ ������ ���������� ������� �� ���� ����� "�� ������ ������ ��� ������ �! ��� �������� ������� ���� �����

+/3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 35: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������� �� ��6����� ������ 4�� �2�� � �� ?�M3 ��� ?�,M ���� �� ��� ��� ?� 3 �#� �� ������� �!0 �A ���� ��� ������� �� ?� ��� ?� ����� ���� + 3 � �� 0 �2!��� ���������� ��� �� ����#��� �������� ���� ��� �� ��� ������ ��� ���� "���� �� � ��� ����� �� ��� � �� ���� �#� ����� �� ����� -�9 �A������� ������� ��� ��� ����� "��� �� ��� �� ��� �����! ������� ���� ����� �� � 3 ����� ���� � �

����� *3+-. �� ���� � 3 ����� �2 ������� � �����! ��� �� ������� ���� � � ������ "��� ���������� ����� ���� �� ��������� ��� �������� �� � 3 ��� � � ����� �� ���� ��� 1$� �� ��#������ �� %?�( ��

4��� �+� ���������� �� ��� ������� ������� ���� ���� #����� ����� ��� ���� <���! �������#��! ������ ������� � -�8; ��� #������ ������ ����� ����� 4������ �� �� *+80.�

4��� �3� A�������� �� � � �������� ���� ������! ��� ��� ��� ���7F ����� *+80.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +/�

Page 36: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� ���� � 3 ��� � � ����� ��� ���� ��� ���� ����� ��������� �� ��� ����� F���#�� �������� ����������� ���� �#�� �! ���� ���� ��� � 3 �� � � ����� �� ��� �#��� ���� � ������ ���� �� �����#�#�� ���� ����� ��� ��� �#�� ��� �� ����#� �� � � ��������� F���� �� �� *3+-. ������ ���� ��� ���� � ������� ������� �� 6��� ��� ���� ��� ���� ��� � 3 �� � � ���� ����� �� �������� ������ ��� ��� �� ���� ������ ��� ���� ��� �� ��� �� ��� ���� � � �������� "��! ��� ������ ���� ������� <'? �� ��������������#� ��� � ����� ��� ��� ����! �������� �! ��� � 3 ������� �!�� ���� �! ��#�� *+9B.�

2.#. C�� � ��� � �� �����������

)� �� ����� ����� ��� �� ����#� ��� � � �������� ���� ��� � ���� � ����� �� ��� �����! ����� +,/ �A *0+ 03 3++.� "��� �� ����� �� ��� ���� ���� ��� �2��������� �� � ��� � �������� ��� �� ����� ������� ��� � �2��������� ����� �� � ���� �����! ���� ��� � �2���������� "���� ����� ��� ��������� ������ ����� �� ?������ B�; �� � ���� � ������ )� ����� � ��� ������ ��� ��� ���� ���� �����!����� �-,0- �A� � ����� ��� �#����� �! �����! ��� �� #������LA ������������ *+9+ +9/ 3+3.�F���#�� ���� �� ����! ����� "�� ���� ���� ���� �� ���� ��� � ���� ���� �� �#����� ��! �#�� � ���������� ����� �� ��! +,/ �A �� ����� ���� ����� �� ����� �� �#������������� �� ��� � � �������� �� ����� ���� �� ?�##���� *0+ 03.�

( #������ �� ���� ������ �� ��� � �������� �� �� ������! ������ ����� ���� �#�� ��#� � �������� �� ������� ����������� �� ��� � � �������� ��� �������� �� ��� ������� ���� )� �� ������ �������� ��������� ��������� �� ��� � � �������� ���� ��� ���� �� %%�? #���� *3+� 3+0.�

2.). !��

����� � �������� ! �� ��� ���� ��! �� ������ ��� ������� ������� ��������� �� ����� ����� ������! ���� ����� � ������� �������������#� ��! �� ������������ ��� ��������� N����! �� �������*3+B,3+;. ��� ����� ���� ��� ������ ��������� *+0.� "�� ����� � ����� �� ������� ��� ������� ���� ���������� ������� ��� ��� ���� �� 4��� ��� ������� ��� � ����� ����� ����#� ���� ��+��3 ���+ ����� �� � E��� ������ ���� �� :3� �!�����!� ?���� ��!��� ��� ���� ��� � ���������� ����#� ���� ����� �� ��� E���,������ ���� �� +B8- ���+ �� �3� �!�����! ����� KC5 ���K��� ����5� �"���� �� � ������ ����� ����#� �3� ���� �� 03 ���+ ��� �� ����� ��� #��������������������� ��� ���� ��� � ������ ���� �� ������ +�B- ���+ �� 7+� �!�����! ����� K�5 ���K��������5� )� ������ ���� �� ��������� #��������� �� ����� �� ��� I E��� �������! *3+8.� (� ��������� ����������� ���� �� ���� ��� ����� � ����� �� ���� ���������� ������� ������ ��������� �! �������� C ��� � ����� �� ��� ���� �#�� ���� ��� ������� �� ��� ��#� �������� ��� ����� ��������*3+9.� )� �� ��������� �� �������� �� �2 ��� ���� ���� ��� ���� �� ������ �� ���� ��� ����� ��� ������ �� ����#� ��� ��������� ����������� �� ���� ��� �� ������ ����� � � ���������

����� �� ���� ���������� �! ��� ������ �� ����������! � ��� �� � ������ #�������� *33-.

�8 � �- ����D

>8� D ��9�

����� � �� ��� ����������! �� ��#�#����� 8 ��� > ��� �� ����� �� � ����� �� ��#�#����� D� "��������� �� ����������! ������ �� �������� ���������� �� �� �������� ����� �� 8� ���� ��� ��������� ����� ��� 8��� �� �� ��� ����� ���N����!� "�� ����� ������������� ��� �� �2 ������ ��

� 8����

� �3

�0-�

+/0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 37: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ���������� ��� ����� �! �2�������� �� ��� ��������� ������ ����� ���� #����� ������ �� �����! ��� ���� ��� ������ �� �� "�� ����� ���� �� ���� �������� ����� *33-.�

)� �� ���� ���� ������� ����� �� � ��� ��� ��� �� ���������! ��� � �������� �� ��� 8�������� ��� �� � ���� ��� ����� ������������ )� ���� ���� ��� )� � ����� ��� ����� � ����� �� ������ ���� ������ ������ ��� �� ��� #��������� ������! �� ������ �A�M?� @��� �������� �! ���� �� ����� �����2 ������ ���� "��� �� ��� ?����,C����� ������ ��� ��� ����� � ������ *33+.

0� � �� � +

� �@� �0+�

"�� ����� ��� )� � ����� ����� �� �����#�! ������ ��� �� ������� ���� ������ "��� ������ ����?� *33+,33�. ��� �� �� ��� ���� ��� ��� ����� � ������ �� ����M�� ������ ��� ��� ��������� �� ���C ��� � ����� �� ���� ��� ����� � ����� �� ���� ��� ��������� �! ���������� �! ��� � 3 ������ "�� ������� ��� ���� �����! ���� ��� � ������ ��� �� ���! ��� ���� ���� �������� *+0;.� "��� ��#�� ���� 3 ����� � B-,3�- ����� ����� ����� ������������� ���� � � ����� *330,33/. �� ���! �������� �������� � ����� �� �#�� ���� ����� ��! ��� � ������� +-,+BG � 3 �������� 1�#�������� ��� ��������� ��� ��� ! ���� ��� A�M? �� ��� � 3 ������ "�� ��� �� ������ �� ���� ��� �����2 ������ ��� ����� �������� ������ ���� �� � ������ �������� "�� ����� � ������ ������� �������� �! �������� �� ��� � 3 ����� ��� �! ��� � 3 �������� *3+9.�

D� ���� ���� ��� C ���� �� �����! ��� ���������� #�������� �� ��! ��� �� � 3 ����� ������� ���R� ������ �� �� �������� ����� *3+9. �� ����� �� 4��� �0� "��� ������ �� ���!��� �� �� ����� ���� ���� �� � ������ ��#��������� "��� C ���� ��� ��! ���� K��� ����5Q "�� � ���� �� ������������ ���� �� ����� � 3 ����� ��! �� ����� ��� �� �������

4��� ��� ��� ������ �� �! ��� ����� � ����� �� ��������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +/B

Page 38: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"���� ��� ����� ����� ������ �� ��� ������ ����� ����#���� �� ��� *3+9.�

+� ���6������ � ����� ������ ��� ����� ����������! ���� ?������ B�� D��� ��� ����� � �������� ?� ��� �� ������ �! � ������� ��������� ����� ���� �� %N� ��3� ��� ���� ��N����� ������ � ��+3�� ���������� �� ���#������� ���� *33;.� ������! $� �� �� �� *338. ���� � ����� ���� ������� ��� � ���� ����� ��� ����������!� "��� ������� ��� ����� ������ ��� ���! ��� ���� ������!����#�� ���� ����������������� F��� ������������� "��� � ����������� ���� ��#�� ���� �� ��������� ������� "�� ����������! �� � ������ �� ��� ���������� ��� ���� ��#�� ��� ����� N�������� �������#� ��������

3� @��� ��� C ��� � ����� ��� ���� ���������� ����� ����� ��#� ��� ������ �����2 ������ ��� �������� ���������� ����������! ������� �������� ����� ��������!� "�� � ���� �� ��������!������� ������� �� �� � ��������� ���� �� ��2���� ������ )� � ��� ���� �!�� ����� �� ����������#������������� �� ��� �����#������ �� ���� ���� ��� ���������#� ������������ ��� ����� �� ����� �������

�� "�� � ���� �� � ����� ��������� *339. �� ��������� �� ����� �����!�

"���� ������� ��������! ��� C ��� � ��������� ����� ��� ���� �� �� ���� ����� �� ������!���������"�� #�������� �� ��� ��������! �� ��� � ���� ���� ������ ����� �� ������������ ?��� !������� "������� ��� I����� *3+8. ����� ���� ��� ��������! ����� �� ��� � ��� C ����� 0���=0�C� #�������#����! ���� ��� ��� ��� ���������� ����� E� �� ����� ��E� �� ��� ��� ���� �4��� �B�

0�0C �

E�

�03�

"��� ����� ���� 0���=0�C� �� �� ������� �� ��� ������ �� ����� �� ��� ���� �� ��� ������ )� �� �������� ���� ���������� ������ �2���� ���� �� E��� E�� ������ ���� �� ��� ���� ��� ������� �� ��������� ���� �������� ���� ��� E� ���� 3 �� ��� ����� ��������� ��������� �� �4��� �B� *3+9 3�-.&

0�0C � E3

� �0��

"�� C �� �� ��� �� � � 3 ����� ��� ��� � �� �� ��! ��� �� ��2���� ����� �� 0���=0�C� ��� �� ��������� �� ����� �� ������ ��� ��� ��� �������� �� ����� ���� � ����� *3+9.� "�� �� ������ ������ ������� �� ���� E� �� ���!� ��� ���� + �� �� ���� ��� "�������,I����� ���������� �� ��#�� #��� ������� ��� %N� �0�� ����� �� ���� ��������

D� ��� �������� ��� �#��� ����� � ����� �� ���������� �������� "�� ��������! �� ���� ��� ������������ �� 4��� �/ ����� ����� ��� #������ ������� ����� ��� ����� ��� C ��� � ��� �� ������

4��� �0� %����#������ �� ��� ����� C ��� � ����� �� ��� ���� ��� ���� ���� ��������

+// -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 39: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��������� ��� ���� ����� �����#� ��������!� M�� ���� ������� �� ����� ��� #����� ������ �� ���� ������ ��� ��� ��� �,F ������

@����� ��������� ���� � ������������� �� ��� ����� � ����� �� �� �� ������ �� ���� ��� ���� ����� ���� ������ �� ���� ������� ��� �������� #����� D� ��� ��� � ����� ���� � ��� ������E���

4��� �B� A�������� �� ����� 0���=0�C� �� ��������! ����� ���� ��� ��� ���������� ����� E�� "�� "�������,I��������������� ��! � ��� ��� E� �#�� 3 ���

4��� �/� ?�������� �� ��� ������� ��������� ��� ������� ��� ������� �� ��� ����� C ��� � ��� �� ������!��������������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +/;

Page 40: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���������� ���� �� � @����,D�����,4��� @D4� ��� ��� � ��� ��� C �� ��� � ������E��� ��� ���� �� *3+9.� "�� @D4 �� ��#�� �!

0� � 0-�+ � 3�� �-�>�3+ � �3�� �-��3

�00�

����� 0- �� ��� �� ��������! �� ��� �� ������� �� ��� �� ����� ��� ��2���� �4DF$� ���>�+ �� ��� ��� ��� �� ������� ������������ ( �!������� ������E��� ������ ���� �� > � � 1������� ������� �� ������� ��� ��2���� �� ��� @D4 ������ ��

���2 � �- � 3>

�0B�

����� �� ���� �� ��� �� ��� ������� ���!��� �� ��� ������ ������� �- ��� �� ����������������� �� ������

4������ *3+9. ����� ���� �� �� ������ �� ������! ��� ����� � ����� �� � ���������� ������������� � ����������� ���� �� ���������� ��������� "�� ����� ������ ��� �� ����� �4��� �;�7

+� ������ ��� ���� �� �������!������ ��� ����&3� �������!������ ��� ���� �� � 3 ���&�� � 3 ��� �� � � ����

?���� + ������ ���� �� ��� ��������#� ��������� �� ����� ��E� �� ������� ��� ���� �!��� ������ ��� �������� ������ "�� A�M? �� �� ���� ��� ����� (� ��� ����� ��E� ��������� ���������������� ������ ������ ���! ���� �� ������ ��� ���� �D � +�E�� "�� ����� ����� ����� ���� �4��� �8� ��� ���� � ����� ���� +B8- ���+ �� *33; 3�+. �� ���� ������ �� � ������ �� ���C �� �� +/-- ���+� "�� � ���� �� ��������� �� �� ���� ��� ���� �!�� ��� ��� �������� ������ ��

4��� �;� ?�������� #�������� �� ��� ����� C �� ��#������� ��� 0���=0�C� ����� ���� ������ �� �������� ������� ������� ������� ����� ������ �� ���� �������� �� ������ ����� 4������ �� �� *+80.�

+/8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 41: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� � ��� ��� ��� ��������! ����� ���� ���������� E� ��������� �� ��� "�������,I����� ������� �03��"�� ������#�� ���� ����� + �� 3 �� ���� �� �������������� ��� ���� *3�3. �� ���� �� 4��� �9�

?���� 3 ������ ���� �� ��� �� ������ ����������� �� � ��� ���� �!�� ���� �������� ������ ������ �� �������� ������� ��� ���� � ���! � 3 ������� "�� �������� ��� ��� �� ����������!������ ��� ����� ��� ����� ��� A�M? ��� ���� �� ���� �� ������ ��� ���� *3��.� "��� ������ ���C �� �� ����� ��������� �4��� �;�� "�� E� �� ���� 3 �� �� ��� 0���=0�C� ����� ��� ����������!�� E���� "�� A�M? �� ��� ��� �� ����� 3 ������ ���� �� � ������� ��� *3�0.�

)� ����� � ��� � � ������� ��������� ���� - �� +--G� "��� ������� ��� � 3 ������������� ��������! ����� �� ����� ������ *3+9 3��.� "�� ���� ����� �� ������ �������� �� ������� ���� ���� ������� �� ����� #��������� ���N����! �� ������ +/0- ���+ ��� ���� �� +B8-,+/-- ���+� "����������� ��� ���� �� ��� A�M? *3�B.� "��� �� ����� � ��� C ���� ����� ���� ��� � �� ������� ��E��� ��������! *3+9. �4��� 0-�� "�� ������� � �� ��� C �� ������� ���� �!������� �� ��� � �

������� ���� #���� *3�/.� 1��� ���� ��� ��2���� �� ��� C �� ������ � ���� ���������� � �

������� ��� �� ���� � �����! ����� ��������� �� � �!������� ��� �� ��� ����������� �- �� �00� ������� "�� ��2���� � � ������� ������ ���� �� ��� ���� �!������� C �� *3�/.�

"��� ���!��� ���� �� �� ��! ���� �� 0���=0�C� �� ���� E��� �� ��� �� ����� �� "�� C ����������� #����� ���� � � �������� ��������� �� 4��� 0-� "��� �� � ���N�� ���������� ����� ��� �� ���� ������#� ��� � � �������� ���� ��� ����� � �������

"�� ����� �� ��� C ��� � ��� ����� ���� ��������� M�� ��! �� ��� ��� ������� ������ �� ������ ��� 4DF$ �� ��� C �� �2����� B- ���+ ���� E� �� ���� + ��� 4��� 0+ ����� ���� ��� C �����#����� �� � ���� �� ������� ���� E� ����� ���� ��� ��������!������ ��� ���� ���������� � ��� ��� ����� ���� ���� I����� *3+B. ��� ��� *3�;. ��� ?����� *3�8.�

����� �� ����! ���� �� ������������ ��� ������� �� ���7F *0 3�9,300.� "! ��� � ����� �������� �� 4��� 03 ��� ���7F �� ������ �� ���������� ���� #������ "�� ������� �� ���7F �� ��������� ��

4��� �8� '����� ��� ������� ���� ��������� �� ���� ��� �������� ����� ������ �� ��� ����� ��������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +/9

Page 42: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� �� ?������ B� )� ���#������� '%�A� ���7F �� ���������� � � ������� ��������� ���� ������������ F �������� F ��������� ��� �R� ����� ����! ���#������ � 3 � ����� ���� � � R�F3 �����F ����� ������ ���� ���������� ��� ������ �� �,� ����� �� ������ ���� � 3 ��� ������� �����"��� ��� ������ �� ��� � 3 ������������� �� ��� ��� ���� ��� �� �� ��� � 3 ������������� ����� ������� ����� � ������ *3+9.� "�� ���7F ���� � ������ ���� �� ��� � ���� � 3 ������� *+ 0.� "�� � 3

����� �� ���� ������� ��� ��� ����������! ��������� �� �������� ����� �� �� �#������� �! �����E���� � �� �� ����� � ������ "�� ���7F ���� ��2���� F ������� ��� � ���� � � ������� ��� ����� �� �� �� �A� "�� � �� �� ��� ������ �� ��� � 3 ����� ��� ��������� �� #��! ��� ��������"��� ���7F � ����� ���� ����� 3 �� � ��� ��� ����� � ������ ��� �� ���������� ���� ����� 4����! �� ���7F ������� ���� �������� �������� �� � � ����� ��� �������� �� � � �������� ��� �� ��!��������� ����� ������ ��� C ��#������� �� ��#� ����� ?�����! ����� �� ��� � ���������� �� ��� C �� �� ������� ����� ������� F ������ �� ������ ������ �� ������� �!����!���� "��� ����� ���C ���N����!� "��� ��� C �� ��#�� ���� ���� ���������� � � ������� �� ���7F �4��� 0�� ���� ����� ��������� �� ���� �� �����

"���� ��� A���� *30-. ��#� �����#�� ��� ��������� �� �� ��� C �� ���� ���������� � ������ � "��� �� ����� �� 4��� 00� "�� � ���� �� �� ����� ������ ���7F #����� �� � ������� ��! ���� ���

4��� �9� A�������� �� ��� ����� C �� ��� 0���=0�C� ����� ���� ��� ���� �� ���������� ��� ���� ������� ��� ������ + ��� 3 ����� 4������ �� �� *+80.� ���� ���� $������ ��� '����� *3�3.�

+;- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 43: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� 0-� A�������� �� ��� ����� C ������� ��� 0���=0�C� ����� ��� ���� �� � �������� �� �������� ����� ��� �������� ���� ��'����� �� �� *3�/. ��� 4������ �� �� *+80.�

4��� 0+� A�������� �� ��� ����� C �� ����� ���� ��� ��� ���������� ����� E� ����� ���� ���� ��� ��� �� �� *3�;. ���?����� �� �� *3�8.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +;+

Page 44: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

� � ������� *+B+.� )� �� ��������� ������ �� ������� ����� #��������� �� ��#� � #�������� �� C ���������� 0���=0�C� ����� ���� � � �������� �� ����� �� 4��� 0�� "�� ���� ������� �� ������ ��������� ���7F���� ����� � � �������� ��� ���� �������� ���� ������! �! %%�?� )� �� ���� ���� ����� ��� ��#���� � ���� �������� �� ��� � � �������� �� ����� ���� *3+9.�

"�� � ����� �� ����7F ������ ���� ���7F� "�� C �� �� ����7F ��� ���#� ���� �� ���7F �� ������� � � ������� �� � ���� �� � "��� �� ������� ��� � 3 ����� �� ����7F ��� �������� ���� �� ������������ �������������� ���� �� ���7F� "��� ������ ��� C �� ������� �� ���� �� 4��� 0B� "�� � ���� ��� #��! ��� �� ����7F ������� ��� ������� �� ���! �������� ���� �� "��� ��� ���� ������ ������������ �� ��� �� ������� ������ �� ����7F ��� ��� ��! ������� � ����! � � ������ �������� ���� ��� ��� � ������ ���� � ������ � 3 ������������� �� ����� (������ �� ��� ��� ���� ��#��������! �! 1$� �� �� ��! ���� ���!���������� � � � ����� �2��� �� ����7F ������� ��!�!���������� � � ����� �2��� �� ���7F�

2.'. �6 !��

����� �2����� �! #����� ������ �� B+0 �� 088 �� �� ��! �������#� �� ��� � 3 ����� ������� ������� ���� ������� ������������� ���� � � ����� *330.� "��� �� ������� #����� ���� ���� ��� �2���� ���

4��� 03� ����� � ����� �� ���7F �� ������ �� ��������� ���� #������ ����� "���� ��� A���� *30-.�

+;3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 45: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ !��� � ������� "��� ����� � ������ �����!� LA ����� �� 300 �� �B�+ �A� ��#���� ���2�������� �� � ������ ���� � 3 ��� � � ����� *30B 30/.� )� �� ��� ���� ��� � � ����� �� �� ������!�����#�� *300,3B-.�

4��� 0B ��� ���� ��� LA ����� � ����� �� ���� �� ��� #����� ����� � ������� ( ��� ������� " ��� � ����� �� +-B-,++-- ���+� "��� ��#������� �� ���� �� ��� �2 ����� ��2���� ����� A�M? �� � ��! � � ������ ������ ������� )� �� ��� ���� �� ��� A�M? ��2���� ����� �!�������� ������� ���������� �� � '�� ��� � �� ���� *3�B.� "��� �������� ���� ��� " �� ������ ������ ��� �#����� #��������� �M? �� ��� ������ �� ��� � ����� *30B.� "�� ���������� �� '������ ���$���� *3B-. �� ���� ������� ���� ��� " �� ����� ���� � � ����� ��� ���� ��� ������ �� �2������������ � 3 �� � � ����� �� ��� ����� �����! �2����� B �A�

"�� C �� �� ��� ������ ��� ������� "��� ��������! ����� ���� ��� � ������ �� � 3 ����� ��� ��#�� ����� ������������� ���� � ������ �#�� ��� LA �2��������� "��� �� ���������� ���� ����� ���� ����������!� "�� C �� �� ��� ������ ��� �� ��� ��#�� �� ������ ��#�������� "�� ������ ����������! ����� ��� ��! ���� ���� � ��� � ������ ��� �� �2����� ��� ��� ���� � �! �� �� � ������ ����� �2����� ����� �������� �� ���� ����� �� ������� ��� �������� �� �������� "�� C �� ��+/3- ���+ ��� ���#� ��� ���� ��2���� �� ��� ��� ���� A�M? ��� �� �� ������ �� ��� �� ������������ �� )� ���� ��������� ���� ������� ���� � ���� ����� ������ #��������� ���N�������� "��� �� ���

4��� 0�� A�������� �� ����� C ����� ��� 0���=0�C� ����� �� ���7F ���� � ���� �� � ���� ���� "���� ��� A���� *30-.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +;�

Page 46: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� ���N��#��� �#������ �� ��� ������� �� ������� ���� � �� ���� ����� �������� ���� !���������� �! ���������� *3��.�

)� �� ����� �� �������� ��� LA ����� � ������ ���� ��� � � ��������� "���� ��������� ��#����� �������& ��� ������� �� ��� " �� ��� ������� �� ��� C �� ��� ��� ��������! ����� �� " ��� C ��� *30;.� "�� " ������� ���� ���� ��� ���� A�M? ���� ���������� � 3 �������� ��� ��#� � �� �����!� "�� C �� ���� ��#� ���� �� ��#������� �� ���������� � 3 �������� ������� ����������� � 3 ������������� ���� ������ �� ������ @��� ����� ����� ��� ����� ��� �� �������� "����� ��� #�������� �� ���� ��� 0�"�=0�C� ����� ��������� �� �!�������� ������� ���� ���������� � � ������"��� �� �2 ����� �� ��� C �� �� ��� �� � � 3 ����� ����� �� ������ ���� ��� " �� ����� ���� �������� "�� #�������� �� ����� �� 4��� 0/ ��� �� �� ��������� *300 30;.� "�� " �� � �����! ��#��� ���� � 3 �������� )� ���� �� �� ���� �������� �� ��! ���� ��� " �� ���!� ��2�� ��� ��������� ����������! ���� � ��� �� �� �+�8- ���+ � ���� ��� ��������� �� ��� � 3 �������� ����� *300.� )������ ��� ���� ��� ��� �� �� �������#�! � � �� ��� ��� �� � � 3 ����� ���� ?������ B�;��

"�� ���!��� ��� ���� �2������ �� ����7F ��� ���7F �4��� 0B�� "�� LA ����� � ����� �� ����� ����� ���� � ������� " �� ���� ��� ������� ���� �� 98- ���+� "�� ������� �� � � �� �� ���� ����� �� +0B- ���+� "�� 0�"�=0�C� ����� �� ���� ��� ��������! �� �� ��� �2������ ����� *300.�F���#�� ���� ��� �� ������ �� ���� �� ����

4��� 00� A�������� �� ����� C ����� ��� 0���=0�C� ����� �� ���7F ���� � � �������� ����� 4������ �� �� *+80.�

+;0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 47: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� 0B� "! ��� ����� � ����� �� ���� ����7F ��� �� ���7F ��� ���� �� B+0 ��� 300 �� �2���������

4��� 0/� A�������� �� ��� ����� �� ����� 0�"�=0�C� ���� � � �������� ��� ���� ����� C��� �� �� *30;.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +;B

Page 48: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

2.�%. !����� !�� �� ���� ����������

)� ���� �������������� ��� ����� �2�������� �� ���#� ��� ������� �� �� ���� ��������������� ��� �2������ ������ �� ���! � ������� �������& #����� ������ �� ��� �2���� ��� � ������ ������! ��! �2���� ��� � ������ �#�� � ������ ��� �� ��� @����� E��� ���� ?������ B��

(� ����������� �� ���! �� ����� ����� �� � 3 ������� �� ���� ���! ��� ��� ����#� ���� �� �������#�������� #��! ���� ��� ����� �2�������� �����!� "��� �� �#������ ���� � ���� �� ��� ��� ! �������!���������� ������� ��� ���� ��� �����2 ������ ������� ���� �2�������� �����! ������� ����2�������� �����! ��������� ���� � ��� ��������� ����������� "�� ����� �����2 ������ �03� �������! *33-.

� � -�?���� �� �?������ �� �?��� �

�� � �3���� � �3������

����3

�0/�

����� ?�� �� ��� ����������� �� �������, ����� ����������� ��� ?�,��� �� ��� �������, ����������������� "�� ����� ������� �� �������,��� ��� �� ����� ST �� �����! �� ���#� ��� ������ ������"���� �� � ����� ��������� �� �0/� ���� �� ��������� ���� ������ ��� �������� �� �������� ����������! �3�� �� �3�� M���� �� �� � #����� ����� �� ��� �� �� �� � ����� ��������� �� ������ �� ������������� ����� )� ��� ���� ��� ���� ������������! ����� ���� ��� ��������� ��������� ������� � ������ �������

)� ��� ���� ������� ���� ��������� ������ ��� ��� ������ �� ��� � �� *3+9 3B+,3B�.� )� �� ���������� ���� ��� � ���� �� ��� ���� �� � ����� ��������� ��������� *339.� ( �!�� �� ��� ���� �� ���������� ���� ��� #����� ��� ���������� � ����� �������� �� ��� I E��� �������!� "�� � �������� ���� �����! ���! ���� I �� ����� ����������! �� 4��� 0;� ( ����� �� �����! � �������� ����� ���� �� ������ �� �������,��� ��� �� � ��#�#����� 8 ����� ��� � �� �N��� ��� "�� ���������� ���� ���� � ����� �� ��#�#����� D ���������� ��� ������� ���� 8 �� 8 � D� )� 8 � D � �8 ������� ������� ��� �� ��������� ��� �� 8 �! ��� ������ ����� ��E� �� �������� ��� ����! �! �������� ����������� ������ "�� �������� ��������� �� ��������� 38 � D� @��� ��� �������� ��� �������� ����������� ��� �� ��� � �� � ������� ��� ����� �����! ������ 8 #������ ������� ���! ���� I� (� �� � - ��� � ���� �� ��� ����! ���������� (+� ����� (� ��� ����� �2�������� �����! ��������� ���� - ���� ���� ��#�� ���! ���� I ��� ��� ��#�#����� ����� �� ����� �� 4��� 03�

��������� ������� �#�� ���� � ������ �������� )� ������ ����� �������� ������ �� �2��������� ������� ����� �� �N��� ��� ����� �����!� )� ���� ��� � ���� �� ��� ����� ������� ����#���2���! �� �� ��� ����� ( ��� ����� ������ �� � ������ ���� �� ��� ����� )�� ������� ������ ��� ����� ��

4��� 0;� '�������� �� ��� ������������ �������� ����� ������ �������� ��� � �� �� ��� ����& ��� ����� ������� ������������� �� ��� ���� ������ I ���� �������,��� �2��������� ��� ��� ����� ���������� ���� "������ ��� ����� *339.�

+;/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 49: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ���� ����� ����� ��� I ���� *+0;.� "�� ����� ����� ��� ����� ������!� ( ������ �� �������E� E� �� � ���� � ��#�#����� 8 ���� ��� I$ ��������� �� �� ���� ��� ���� �!�� �!

+ � 3 ���8 � �

E�

�0;�

����� �� �N��#���� �� ����8 � �����

�E� ����� �8 �� ��� �������� ���! ���� I� "��� ����� ����

��� ��� ������ ����#���� �� �� ������� �� ��� ����� ������� �� �2���! �� ���� �� � ��� ���� �!��*3+9.�

D� ��� ���� �� �2�� ��� 4��� 08 ����� ��� �2�� � �� ��� ��� ������ �� ��� ����� � ����� ������ ���� ����� �����!� ?����� � ����� ��� ����� ��� ����� ����7F� ������ ( ������ ��� ������ ����� C ��� � ����� �� ���7F ��� ��#����! ����� �! D����� *30+. ��� U������� *30�.�

4��� 09 ���������� ��� ��� ������ �� ��� C ��� � ����� �� #������ ������� *30+,300. �������� ���� ��� ��� ����� ������� ���� '���� *3B3. ��� A����� *3B0.� "�� C ���� �� ��� ���� ���#�� ����! ������ ���� ��� ��� ����� "�� C ���� ��! ��� ����� �� ������ 3 ��� � �������� )����� ��� ��� ������ ��������� ���� �������� ��� �� ������� �� ����� 4�� � 3 ������ ��� ��� C ���� ��������� ���������� ����� �����! ��� ��������� �� +/-- ���+ ��� ���� ���� �� ��� ��� ���� A�M?� "����� ������ �� ��� C ���� �� ���� �� ���� ���� �2����� *300.� )� ������ �� �� ��#�������+B-- ���+ ��� ��������� �)�� �2�������� ��� ����� � ��� ��! �� +/9- ���+ ��� ��� LA �2�������� ��3+B ��� "��� ����� ���� /�� �� ������ ������#�! �2���� ������� ���� ��� � ������� ��������#�! �� #��������� ������ "���� ��! �� �������� �� ��������� �#�� �� ����� ������� ���

4��� 08� ��� ������ �� ��� ����� � ����� ���� �2�������� ��#������ ��� �����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +;;

Page 50: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� �����! ������ ������� �� ���������� ������� ���������� ���� � ���� ������ �,� �������������� ������ "���� �� �� �R� ���� �� ��� ������� �2�������� �����!� "�� C ��� ������ �������! ����� ���� �2�������� ��#�������

A������ ����� �� ���7F �� ������� ����� ��� ����� *300.� ( �!����� ���7F ��� ���� � ������ ����� ���� ���� ��� C �� ��#��� � �� +/�- ���+ ��� 3+B �� �2��������� "��� ����� ���� ���� 3 ����� �� �!����� ���7F ��� ����! ������� ����������� M� ��� ����� ���� �� ���������� ���7F ���� � +�B �A �� ��� C �� ����� ��! 6��� ���#� +/-- ���+ ������� �� ��� ���� ��������������� )� ���� ��� ����� ���7F ��� C �� �� �������� �� +/-- ���+ ������� �� ��� ��!�������� � 3 ������

"�� � ���� �� #��! ��������� �� ��� C ����� "�� ���� �� ���������� �� 4��� 09� "�� ������������ ������ �� �� ��� ���� ���������� ��� ����� �������� "�� ��� ������ �� ��� � ���� ������������� ����� ��� � ����� �� ��� C ����� M� ������ ��� � �� �� ��� ����� �� ��� ���� ������ ���� )����������� ���7F ��� � ���� ��� ������ �� N���� ���� "�� � �� ��� � ������ �������� ��3;-- ���+ ����� �2���� �#�� �� ����� ��!������ ��� ���� ��� ���� ��� ��� ������

"�� ��� ������ �� ��� 0���=0�C� ��������! ����� �� ��� ��#����� *300.� "�� 0���=0�C� �������������� ������� ��� ������� �������� "��� ��� � �� �� ������ ��� LA �2��������� F���#�� ���

4��� 09� ��� ������ �� ��� C ��� � �� �������� ���� �2�������� ��#������ ��� ��� ���� ����! � � ������� ��� ������� �� ���7F�

+;8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 51: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� ����! ��� ����� ��� #��! ���������� ���� D��� �� �� ����� �� ���� �� ���� ����� �������� ���� �� ��� ������ ���� � � 3 ����� �� ����� ��� 6��� �������� �������� "��� ��� LA �2�������� ����� ��! ���� ��� " �� ������ � �� ��� ������� ������� ���� � � �� � 3& ��� � ������ ������ ���� ������ ��� " �� ����!� ��� � K����5 �� � ���� �� ������ ��#������� �� ��������� �� ?������0�9�

)� ������! ��� ������ �� ����� �������� ������ ������� ��� �2�������� ��������� ���� ��� ������ �� � �������� ������ ��� ���� ������ ��� ������ ������ #��������� ����� ( ������� ��#������������ � ����� ������ ���� � ����� ���� �� � ?���� ������� ��#� � ������ � ��� C ���� ������� ������ ��� ����� �� ��� ����� ?������ ��#������ ��� ������� ��� ��������! �� ��� � �� ������� ��� ������ �� ��� 0���=0�C� ������

2.��. 0! ��� �

)� � �������� ! �� ������� ����! ���� ������N�� �� ������������ ��� ������� �� ���7F� "�� )������ ���� �������� �� �,F ���������� ����� �� 38--,��-- ���+ ��� �,� ����� ��� �,F ������������ ���� 3--- ���+ �� ����� �� 4��� B-� "�� ������ ����#���#� �� ��� � ������ ��� �� ���� ���� ����� ��� ���� "�� �,F ���� ������� ��� ������� ����� �#���! ��� �,� ������ ��������������������� ��� �� ���� �� ������� �� ����� ��� ��� �� �,F #���������J���! ����� ����� �! � �������� �N���� ���� �� ��� ���� ����� �� +�0� "��� �� ����� ��� ����� �� ��� +B-- ���+ ������

"�� �������� �� ��� �,F )� ����� ���� ����! ����� �� �!��������� �������� "�� ����� ��������! ���#� +�0- ���+ ��� N���� ������� �� ���� ����� ��#�������� ��� �� �������� �����!�! ��� ������ �� ����� #���� �� �������� "�� �������� ���������� �� ���� �� ������� *3BB 3B/.�

4��� B-� )� � ������ �� �� ���7F ��� ����� ������� �� �� *3BB.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +;9

Page 52: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

)������� ������� ���������� ��� �� ���� �� ����� ��� ������#� ����� ��� ���� ��� �����������*+ 3B;.� )� �� ������! �� � �������#� ��! �� �� ����� ��� ��� ������ �� ��� #������ ����� *3B8.�������� *3B9. ��� ������ ��� #�������� �� ���� ��#�������� ���� F ������� ��� ����� ����#��������� F���#�� � ��� ����������� �� ��� ������� ����������� ���� ������ "��� B ��#�� ������� ��� ����������� �� ����� �� ���7F �������� ����� ������������

D� ��� ���� ��� �,F ���������� ����� ���� ���� ���� ����� ������� ��� � + ��,F ����������� �� ��-- ���+ ��� � 3 R�F� ����� �� ���� 39;B �� �-8B ���+ ��� � � ,�,F� ����� ������ 38B- �� 39BB ���+� )� ��� ���� � ��� �� ��� ��� �,F ����� ���� C�������� �� ����#� � �

���������� "�� ����� ��� �� ����� ��� ��� ������� ��� ����� �� ��� ����� ������� �� ��� �,F���������� ����� ���� ��� ����#���� ����� �� ��� ���N�� *3B9.�

1��� ���� ��� �������� �������� �� ��� #������ �,F ���������� ����� �� ��� ��������� "��� ����,F ����� ��� ��� � ������ ��! �� ������ � � ������� *3+ 3/B. ��� ��� ����� � ��� *3BB.�

��������� ������������ �� ���� �� ��#� ��� �,F ����� ��� �� ��� +B-- ���+ ����� �� ��#�� ��������!��� �,� ���������� ����� *3++.� "���� ��� #������ "�� )� � ����� ������ ���� �#������ ������ �R� ������� ����� �� ���� �!����� ���7F ��� ���� �������� ����� �� ���7F �� ������ �������� ���� #�������

2.��. ?������� ����

"�� �!������ ������� �� ���7F ��� �� ���������� �! ������ �������� ���!��� �1�(� ����������� ��������� �%��� 1$� ���������� �!������ �#������ �� )� � �������� !� 1����� �������

"��� B

(���������� �� )� #��������� ���N������ �� ���7F ���� *339 3B/ 3B8.

D�#������� ����+� ������������� M������ ����������

?!������� �������!�������

��-- � +

�-8B � 3 �F3 M������ (�-�B � 3 �F (�������399-,�--- � 3 �F M������ ?39;B� � 3 �F3 M������ ?39BB� � � �F� (393- � � �F3 (393- � � �F388B � � �F� ?38BB � � �F3 ?

+08- � � �F� (+0B- � � �F3 (+0�- � 3 �F (�������+0+B � 3 �F3 M������+�98 � � ��F��� ?+�;B� � � �F� ?

�,�3+8- � +

+/0- � 3 M������+B8- � 3 (�������+B+B � 3=� �

+�--,+3;- � 3=� �

+30B � 3=� �

� ������ ���� ����� �� *3B/.�

+8- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 53: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��N���� � ���� ��������� ��� ��� ����! ����� "��! ��#� ��� ��#������ ���� �� ���� �� ��������� ������� ������! �� ���� F ��� � ���� ��� ������� F7� ����� ��� �� ����#�� ������� � ����������� ����� ��� ��������� "�� ������������� �� F ������� �! 1$� ��N����� ��� ��� �� ����� ����� ��� ���� ����� ��� ������� ������ �� � ��� F *+;� +;/.� "��� ������ �� ����! ���� ������� �� ��� ��������#�#�� ��� �� ��� ��� ���N�� �����! �� ��������� ��� �������� �� ���� �! � �� � ������ �������������� F ���� ��� �!����������� ��� ������ �� ������ �!��������

"�� ��� ������� ����! ������! ���� �� ��������� �!������ ������� �� ��?�7F �������#������ *3/- 3/+. ��� )� ���� ��#� ��������! �� ���7F� )� ������ �#������ � ���� ������ �� ���7F �� ������ ��� ��� ������ �� F3 �#�#�� �� ��������� "��� �� ��� ������ �! ��� ���� ���� F�#�#�� ���� ���7F ��� 6��� �� F3 ��� ��� �� �!���������� ��������! �F0 ��� ��F8 �� ���� ���� ��� ���� � ���������� ���!��� �� ��N����� *3B9 3/3.� "��� �� ���� �� �������� �������

)� )� ��� )� � ������ �� ��� �,F ���� ���������� ����� ������ 39-- ���+ �� �������� ������������ ���������� ��� ���������� ������ ����� ��� ���#� �� ����#�� ��� ��� ������ �� F ����� �� ���� ���� ; �� ���������� �! ���� !��� �! �� ����� ���� �������� 7�

; � 7

� ��

�� �08�

"��� �� ��� ������ ������� ��� ����� ���� �������� �� ��� #������ �! �� �� �,F ����� ��� #��!�"���� ���� ��� �� � ��� ���� ����������� ��� ����� �� #���� �� �� ��?�7F� "�� ����� ����������������� ����� ���� ��� ���� ������� ��� ��� �� ������ �� ���7F� )� ��?�7F 7 ��� ���������� �!���������� ��� ����� ���� ������� � �!������ ������� ���� �! 1�( �� %��(� )� ���7F ����� ���L���� *3/�. ��������� ( ������� �!������ �������� ����#�� ���� %��( ��� ����� ( �� ��������������! ���� 3 � +-3- ���3 ��� �!����� ���7F �� 8�B � +-3- ���3 ��� ���������� ���7F� "������� �� ����������� ��� ��� � ���� F���#�� ������! ( #����� ������� ��������� �,F ��������������� ��#� ��������� ����� ���� ��������� ��� ��� �������� �� ���� #����� ���� ���� F �������� "������� ���� ��������� �� �!��������� ������� ��� ���� �� #��! �! �� ����� �� ��������� *3B9.���� �,F ����� �� �������� ����� ��#��� ���� ����� ��� ����� ���� �� � � �,F ������ "��� ��� �,F���� ���������� ���� ����� �� ����� ���� ���� ��� ��� ����� ����� ���� ����� ��� ����� �������� ��� �! ��� � �� ����� ����� ���� �������� 7�� ������� �� �� *3B9. ��� ���� ����� ��������� ���� ��������� ����� ���� �������� "��! ����� ���� F �������� ���� )� ��� ���� �� ��������� ����� ���� F �#�������

"���� �� ����! ��� N������� �� ������� � �!������ �� ����� �� �,F ������ ?��� �����������F3 ������� ��#� ������ ���� �����#�� �! �������� ������� ���������� *3B;.� C�� ��� '��� *3/B.������ ���� �� �2����� ����� B-G �� ��� �!������ ���� �� �������� F���#�� ���� ������ 1$����� �! ������ �� �� *+;/. ����� � ���� ���� ������� F ������� ��� ������� ���������� ��!����� � ��� ������� �!������ ��� ������ "��� �� ������ ���� �� � ��� ������� ������

"�� ���� � �������� ��� �� ��� )� � ����� �� �� ��� ��� �,F ���� ���������� ����� �� ����#� ����������� �� � � �� � 3 � ������� *3BB 3//.� "��� �� ��� ����������� *3/�,3/B. �� �� �� ��� ����������� ��� ������ �� F� )� �� ��� ���� ���� ��������! � � � ����� �� ��� ��� �!���������� ��� ���!� 3 ����� ��� ��� *+;� +;/.� "�� ������� ���� ����������� ��! ��#� ��� ������ �� �#���������� ��� � ������� ������� ��� ����� �� 39;- ��� 390B ���+ ��#� ��#����� �� ���������� *3B9.� 1�� ������ ���� 39/- ���+ ��� � ��

2.�". �1����

"�� ��#������� ��� �����#������� �� ��� #������ ������� �� ��������� ���������������� �����? ��� ���������� �� "��� �� %%�? �� ��� �������� ������ ��� � � �������� ����� ��� �� ����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +8+

Page 54: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� ���� ��� LA ����� �� �� ��� �������� �������������#� ������ �� ��� ������� "�� �!������������� ����� �� �������� �! ������ ������� ���� �� %��( �� �! ��� �#������ ��� ��! �� � ����#�#��� � ����� ��� �� ��! ��������� ����

� ���������� ���������

4.�. ������ �� ���3��

������� �������� �� � �������� ����������� ������ �� � � ������ )�� ���� ��������� �� ����� ��4��� B+�� )� ��� � ���� ���� �� �� B�B �A ����� �� ��������� "�� ������ �� �� �� / �A�

C�� ���� �������� �� ��������� ����������� ���� �!��� �� � 3 ����� �� �� (@ ���������N������ "�� ���� ��������� �� � ����� �!�� �� ��� ���� �� ����� �� 4��� B+�� "�� � ��� � �������� ����� �! �!�����! �� � ����� �!��� "�� � ������ ���� #����� ��� ���������� ����� ����� ����� ������ �! � / �A ���� �� �� � "�� � ������ ���� � E��� �� ������������� �� ����� ��� #�������� ���������� ����� ����� �� ��� E��� �������! I� "���� �� ��� � �� !��� ���������� ����� ��0 �A �� ����� �� ��� �� ����� ������ !��� �������!�� ������ *3/;.�

M�! ������ ����� � ����� ��� ���� ���������� )� �� ����� ������� ���� ���� ������ ������� ��������! ������ �! �������� ������� ���������� ��� �, �������� �����! ���� �� ������� ��� � �

������ )� ���� � 3 ��� � � ������ ���� ��#�#� ��� �������� �� ��� � ������� �� � ����� ���� ����3 3 ������ ����� �� �+ 3 �+ �� � 3 ��� �� �+ � �� � �� "��� ��� �, �����! ���������� �� ��� ��������� "�� ����� �� ��� ������� �� � + ���� ����� �� ��� ����� ��� ������� �� ��� 3 ������ �������� �� ��� ������ ����� ���� 3 � ����� �� ���������! ��������� "�� ���������� �� ������� �� ��� ��� � �� ��� ���� ������J�� ��� � ����� �� �� ?� ��� �� ������ ���� �� �������*3/8.�

4.�. :3� � �� � ���

@����� ���������� ��� ��������� ��������� �� ����� �� �� �� ������ �� ������ � ���������������� �� ����#���� �� � ��� � ������ �� ������� "�� � ������ ���� � ������ �� ���������������� )� �� ���!� ������ �� �2 ���� ��� ���� ��� ��#���������� �� ���� � ��� �� ��� ��� ��

4��� B+� "������������ ���� ���������� �� ��� ���� ��� ������� *+.�

+83 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 55: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� �������� ( ���� ������ �� ��� �!������� ����������� �� ��� ��� �!����� ����� ��� � ���� ���� *3/9.

� � 3�+�3�+ � �3 �09�

"�� ���� �����! ��� ����� �� ������ �� ��� ���� ��� ������ �� � ����� ���� �� ��� ������ ������! ��� ����������! ��� ���� �� ������� �� ��� ��� �� ���� ������ ����������� ����� ��� ���� ���� *3/9.�

"�� � ������ ���� � ������ "�� ����� ��� �� ���������� ����� �� �� ���!���� F���#�� ������ � ������ �� ���� � ����� ���� ���� ���� ��� ��������� �� �� ���E��� �� �� ��� ���� ����������� ����� �� � ����� �� �� �!����!��� �� ��� ����� "���� ����� ��� ���� ���6������������ )� �� �� ����� ������ �� �� ����� ���6������ ����� ���� ���������� ����� *3;-.� "������ ��� ������ �A ��� ��! �� ������� �� ��� ������ ����

� ���

��� �B-�

"��� ��������� ��#�� ���� �� ����� ����� ������ ��� ����� ����� �������������� "�� ��� ����� ����������! ������ ��� ������ ����������� �� ��� )� ��� ����� �����2 ������� ��� � �������

4.". �1��� �����

"���� ��#� ���� �������� ��������� ��������� ���������� �� ����� �� ���� ���� �������������� 1�#�������� �� �� ����� ����� �� ��#� � #��! ��� � ������ ���� �� ��� ��������� ������������ �������� "��� �� ���� �! ����� ��� F��� � ��2������� �� �������� � ��� � ������ �� �����!*�.� "��� �� ����� �� ��� �����#����� ���� ��� � ��� � ������ �� �� ��������� �������� ��� ���� ��� ������� �� �� �� ��������� ��� �� ��� � ����� �� � 3 ����� �� ���� ����� ����������� �� ���*+0; +08.�

"�� ���� ������ �� ���� � ������� ��#���� � ��������� �� � 3 ����� ������� �� ��� �����! ������� ���� �� � ������ ������������ �� � 3 ��� � � ������ (� ��������! ������ �� � ������ ����� � �������� ����� ����! ��� ������� �����! �� ��� ���� ��� ������ �� ������ �� ��� ������� � �� �� �������� �� ��� 4���� �#� �4� 4������ ������� ��� �� ������� �! �����! �� ��� ����#���� �� �������������� *� +0;.�

� (�! ������ �� ���� �� ��#� �� �#�� ������ �� � ������� �� ��������� ����� �� � �������� ������� �4 ����� ����� ��� ������� �����!� "�� �� ����� ����� �� �4 �� � ������������ �������

� ( ��� �� � 3 ����� ���� �� ���� ����� � ������ ���� �� ��2����� ��� � ����������� �� �� ���!����� "�� � 3 ����� ���� �� ���� ���� ������� �� ��2����� ��� � ������������� "���� ���� �� ���!������ �R� ����� ���� �� ���� ���� � ��2���� ���� �� �� ���E���� "��� �����

�� �������� ������������ �����! �� ��� � �������� ��� ��� ��������� �#�� ��� ������ ( ������� ��� �����! ���� ������ �� ��� ��2���� ���E��� ����� �������� ���� ��� ����� �������� M��������� �� ��������� ����� �� ��� ����� ���� ��� ��� ��#����� �� ����� ����! ��#� ���� ��

������ ���� �4 ����� ������ ��� ������� �����!�

"���� ���� �� �� ��� ������ ���� *�.� "�� ������ ���� ��#�� � #��! ��� � #��� �� ������������ ���������� "�� ���� �� ���� ���� ��� � 3 ����� ���� �� �� �������� �� ���� � ������������� �� ������� ��E� �������� �� � � � ������ �����2� "�� ����������� �� ��� � 3 ����� ���������� ��������� �� ������ ��� ��� � ���� �� ������� ����� � ������ �� ������ �� ��� 4���� �#� ���� ��� � � �����2 ������� ��� ��������� �� ������� "�� ������ ���� ������ ���� ��� ��� ��������� ���������� �� � �������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +8�

Page 56: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ���� �� �� ��� �������� ������� ��� � #��! ��� � ����� "�� ���� ����� ���� ��� ���������� ��#� � ���� �� ��#�� �! *� +0;.

�� � 3��+�3

�B+�

����� � �� ��� ������� ��������� A� �� ����������� ��� � ��� ������ �� ��2���� ����� �� ���������� � ��� �� ������ �� ��� ������ �������� �� ��� ��� ���������� ����� E� �� � � E3

� �� ����

�� � 3�E�

�B3�

%N� �B+� ��!� ���� ��� ���� �� �� ���� ��! �� ��� � ������ �� � 3 ������ ��� �� #����� ��#����! ������� ������ ��������� "��� � ��� ��! �� ����������� �������� "��� ��� �� �� ���� ��! �� ��� � 3

������������� ��� �� ���� �� ����� ����� ���� �� �!������ *+0;.�"�� ������ #���� ���� �� ��� ������ ���� �� ����� ���� F���#�� ��� ����� ���� ��� ��� �

������ ���� �� ���� ��� ������� ���� �� N���� ���� �� ��#� ���� �� � �� ��� ��E� ����� �!�2 �������� ?��� ������� ��� ��� ����� �2 ��������! �� ����� ������ ��� ��� ���7F� )� �� ��������� ��� � 3 ����� ���� �������� ����! �� ��� ������� ���������� ������ ���� ��� ����� �������*3;+.� ( ���� �������� ��������� �� � ������ �� 4��� B3� )� ����� ��� ���� ��� ������ ���� ��#����� ��������� ������ ���� �� ��������!������ ��� ���� ��� ������! ������� ����� F���#�� �������! �#������������ ��� ������ �� ����� �� ����� ������ ���� *+B-.� "��� �� ������� ��� ������������� �� ������� �������� ������ �� �������� � � ������� ��� ��������� � ���� �������������!� "��� �������� �����! �� ��� ����� �� ��� ������������ �����! �� ������� ����� �������� "������������ �� ��� ��� �������� �� ������ ������� ���� �� ��?� �� ��?��

4.2. ;����8 � 1�����

������ ���������� �� ������� ��#� ������� #����� ����� �� ��� ��������� ��� ��������������� �� ���� ���� �������� "�� ���������� ��� �� ��#���� ���� ����� �! ���

� "���� ����� ��! ������������ �������� ���� �� ��� �2 ����! ������� ��� ���������� "���� ����� �� ����� ��������� ���������� "���� ���� ����� ����� �� ��������� ���������

"�� ������� �!������ ���������� �! ���! N����� � ������� �� ����� �� ����� �� ��#����E� ���� ��� �N��� ������ "�� �� ��E� ��� ���� ������! �� ��2��� "�� ����� #��! ������������������J��� ���� ������ ������ �� ���������� ����J�� ��������� ��� ������ ����������

4��� B3� ?�������� �� � 3 ������� �� ���7F�

+80 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 57: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4�� ������ ���������� ��� ������� ��� �� � �������� �� ������! �� ��������� ��� ��� � � ��������#����� ���� ������!�

"�� ����� ���������� ������ ������ ����� �� ���� ���� ������� ���� ����� �� @����� �� ��*+/�. ����� ��� I������ *+/0. #����� ����� ���� �� ������� ��������� ���� ���������� ��� ����������� ������

�� ���

8���3� �

���A

8�����A �B��

"��� ���������� ��������� �� �������� ������ ������� ���� �� ��?� �� ����� ��� ������ ������� �������� ��� ���� ����� ��� ���� ���� ������������ )����� ������� �� ��?� ��� ��� ������!���� �� ��� ������� �����! �������������� 4�� ��� @����� �� �� *+/�. ����������� ����� ��������� ��������� � � ��� � 3 ��������� �� ����� �� ��� ��� ��� ������ �� ��� ��4 ��� ��������� ���������������� ��� M5���! *+0;. �����N����! �������� ��� ��������� �M? ��� ����� ������� �������� ���� ��� ������� ���� � 3 ����� ���� ������ �� ������������� �� �2 �������� "��� �� ���������� I������ ������� ���� ��� �� ������ ��� � ������������ ������� � 3 ����� �������!�

4������ ?������� ��� D���� *3;3. � ������ �� ������ �������� ���� ���������� ��� ?� ���� ����� �2 ����! ��� ��� ������������ �� #��! ��� ������� ��#���������!��� ������ ��������� "�� ����� ��� ������ ��� ��� �� "������ *3;� 3;0. ��� �� ���� ���� �� ������ ��� �������������� ���� �� �� ��� � 3 ���������� "��� ���� ������ ���� ��������� ���� ��� �2 ����������4� "�� "������ ������� �� ����! ���� �� ���������� �� ��� ���� ������� F���#�� �� ����� ������������ ���� �� ��� ���� ��� �������� �,� ������������ �������!� ���� ���� ����������� �� ��� �������� �� ������ �� ��� � ���� �� � @������ *3;B 3;/. ��� ��� ����� �� �������! ������ ��� �,������� ����� ���� �� ���� ��� � �������� F���#�� �� ������� ��#� ���� ���� ���� ���� ������� ����� ������5� �������� "�� "������ ������� ��� ���� ��� ������ � �� ���#� ���� ���������������� � 3 �!��� ������ �� ��#� � ��� ����� �������!�� � ������ "��� ��� ��������� �! F�����*3;;.� "�� "������ ������� ��� ����! ���� �! I����� *3;8 3;9. �� ������ � ������ �� ��������� ��������� � � ��������� ��� �� ������� #������ ������ �� ������ �� ��� �������� "�� ��������� I����� *3;8 3;9. ��#� ������� #����� ����������� �� ��� ������ �� ������ ��� ������ �� ��� ��� ������� �� ���� ����� ���! ��� �� ��� ��#� ������� ��������� � ������

"���� ��#� ���� �������� ���������� �� ��� ������ ��������� ����� �� ����� ��������� ��������� "�� ��� ��� �! � �� ����� �� D��� ��� �������� *38- 38+. ����� �� ��������������"���� ��� � ��� � ���� ������ ��������� ����� ��� ��� ��� #����� �������� ��� ��������� ��! ���������� ������������ ������� ����� ��������� ������ "�� ������ ������� �� ���� ��� #���� �� ��� ���������� ������������ #��! ���� ��� ������������ ������ ��� �������� ������� ��� ���� � �� '�������*383.� "��! ��������� ����� �������� �� ��!������ ������ ����� �������� ����� ��������! �!������ ����� �� ����� ��������� D��� �� �� *38-. ������� ��� ����� ���������� �� �� � 3 ��������� �� � ������ ������! ���� � � ������ ������ *38+.� "���� � � ������ �� ������! �������� ����#� ��� ���! � 3 ����� ��� ��� ������! ��� ��#� ��� ���� � 3 ������

"�� ��2� ������ �� �� ����������� ����� �� ��� �2�����#� ���������� �� 4��������� ����������� *3;+ 38�,38B.� "���� ��� �� ����� �������� ���� � ����� �� ���� ������ ������� ������ ��� ��� #����� �������� ��� ���! ������ � ���������� ������������ ����� ��� �������� ��������� ��� ������! � ��2������� ���(�� "�� ��( �� � ��! �� ���#������ ��� ���� ���!���������2����������������� ������� ������ �� ��� �������� ���� �� �������#� ����������� ��������4��������� �� �� ���� �� �� ����� ��������� �� ���#� ���� �� ��#� ��� ������� ���� ������ "��������� �� � ���� �#� �� � ��2������� �� ������ ���������� �������! ���� ����� ��� �� ����� ���������� �������� "���� ���������� ���� ��� ����� �� ���� ���� ��� � 3 ����� �� ���� ��� ���7F ����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +8B

Page 58: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����! ��������� �� ������ ��������� ��� ��� �� ����� ���������� �� �������� �� ��� ������ ����*3;+.� "��! ��#�������� ����� ���� �� � ��� ����� ���� �2 �������� "���� ������ �� ����������� �� ��� ������ �� ��#� ��� �� � �#�� ��� ��� �������� "�� ����� �� � ����� ������� ���!��� �������� �! ��� ����������� �� ��� � ������� ���� ��� ������ �������������� ?��������� ����������� ��� ��� ������� ���� � ���� ����� �� ��������� ��� �!������ ��������� ( ������ ������������ ��� ����� �������� ����� �� �� ������! ���7F�

���� ��� ��������� *38/. ��� ��������� *38;. ������� ��� � ������ ��!� �� ���������� "������� � ���� ������ �������� ����� ��� �� ���������� ������ ������� ��� ��� #����� �������� ��� ����� ���� ��� �2����������������� ����� ����� ��� F����� ��������� �� ��� 4����?�������� ����� )���#���� � ����� �� ���������� "�� � � #���� ����� ��� ������ �� ����� ����� �� ��� 4��������� ����!�

������ �� �� *388 389. ������� ��� ��� ������ ��( ���������� ���� � ���� ������ ����� ����"��! ������� �� ������� ���� ���� � � ��������� "��! ��� ���� ��� ����#���� �� ��� ����,�������������� ����� �� ��� �� ����� �� ��?� ��� ���! ������ ��� ��� ������ �� � 3 ����� ��� ��� �������� ������ ������ �� �� ������ ���� ��� �� � )� �������� ��������� ����� �� ��?� ���� �� ������������� ��� �� ���!� ��#� ���� �� ������ �� ��� 4���� �#��

"�� ������� �#� �� ��������� ���� � ���� ����� ��� �� ������ ��� ��#�� �� ������� ��������"�� ����� ������#� ����� ������� ��( ���������� ���� ������� ��� �! C�� �� �� *39- 39+. ����� �� �����#�! �� ������!� "��! ���� ��� ��� ��� '������� *393. ������� �!������ ������ ������� �������� ��� ����� ��� ������� �� �� �N�� ������� �� �������� ��� ��������� � ���� "��!����� ���� � ��2���� �� ���� � + ��� � � ����� �� �������� �� ��� � 3 ����� ��� ���� ��� � 3 ������������� ���� ��������� �������� ����#����� "��! ��� ������� �N��� � *39- 39+. ��� ���� ���7F*39�.�

$��� �� �� *+/- +/+. ��� ��� ����� �� ����! ��� ���� N����! ��� ��#� ���,'����������������� �� ����� (������ ����� ���������� ���� ���������� �� � ��� �� ��E� ���! ����� ������2 ����� ����� ���� � ��� � � ����� ������ �� ����� ������� ��������� ������ ?��� ����� ���������! ������� �� �� ��������� �� ������ ������� �� ��?� �� ����� ��� ���������� "��� �� ����!���� ��� ��� I������ �������� F���#�� ��� ���������� ����! ���� ���! �2��� �� ����� ?�� ���������� �� �2��� �� ��� ������� �!�� �� ��� ��� �!�������� �� ����! ���� � ������ ��� ��������� ��� ����� �� � �!������ "�� ���� ������ �� �� ����� ����� �� �� �������� ��� ������! ��� ���#�� � � �������� "�� ��� ����� ��#� ���� �� �� ������ �� ��� ��������� ��������� �� ���! ��� ��#����� �� ������ �� ���! ���� %4� "���� ���������� ���� �2������ �� ����� ������� ��������������! ��� ����� ��������� �! $������ *+/3.� "���� ������� ����� �� ���������� �� �� ������� ������� ������! F���� �� �� *3+-. ��������� ������� �! ������������� ��� ���� � ����������� �! ��� ��#� �������� "��! ����� ������ �������

)� � ������� �!������ ��������� � ������ ���� �� ��� �� ��� � ���! ����������������������� �� ����� ��� ������������� �� ����� �����! ������� ����� ��� �� �� � ���������������������� �! ���� �����! ��������� "��� �� #��! �������� ��� ������ �� ��� ������ ��� �#�������������� ���������� ������ ������� ��������� ������ ��#� #��! ���� �������� �������� �� ������ �������� ��� ��� �� �� � �������� )� �����! �� �2 ������� ��������� �� �������� �� ������� ?����E��� ?����� *390. ��� ?����E �� �� *39B. ������� ��� ��( ���������� �� ���� �������! �� ���� �!����� � ���� ������� ����� ���� "��! ������ ���� � ���� ����� ��� ��� ����� ��� ��� ��������! ������ ��� �����! �� ���������� ������ ��� � ������ �� ��� ������� ��������� ��������������� "�� �������� ��� � ������ ������ �� ������� �������� � � ����� ������ �� ���� �� ���� � 3 ����� ��� �� ����!�� ������� �� ����� � � ����� ���� �� ���� �� ���� � 3 ������ "��� ��� ����� ��� N����! ��� ������������ ������ �� ��� �! N������! ����#�� ���� ��� ����������J��� � � ��������� "��! ����� ������� ������� �� ������ �� �� *388. ���� �� ���2�� ������� ���� ��� ���#������ �� ���� � � ����� ��� 3 ������ )� �� ��! ���� ���� ����� ������� ���� ������ ���� ����� �������

+8/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 59: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

D��� ���� �� ���� 4��� B� ��� ���� ��� �������� � � �������� #����� ������! ��� ��� #����������������� "��� �� �� �� �� ��� ���� ���� ��� �2 �������� ����� ����� �� 4��� �3� "����������� �� ��� ��� ���� "�� ����� �� $������ *+/3. ����� �� ��� ���� ��������� 4������������ �������� *3;+ 38�. ����� ��� ���������� ���� ��� ��������� *38/. ��� ��������� *38;.#���� ��#� � �����! ������ � 3 ��������� "�� ������� �� D��� �� �� *38-. ��#� ��� �� � � �

������� ��� ���� �� ����� ����������� "���� �� ������ *388. ��#� � ���� ��� ���� � � ������� ����2 ����� ���� ������ ���������� $�I��E�� */. ��� ��#����! ��������� ���� %%�? ��� �#������������� � � ��������� ��� ���� �� ��� 1$� #����� "��� ��! �� �� ��� ��� ��� <�� ���� ��� ����� ���������� ���� ��� � � #����� ������! �� �� 4��� �3 �� ��� �������

"���� ��#� ���� ��� ���������� �� ��� ��������� �� ���7F *39�.� ������! @�� �� �� *39/.����� � ������ ���� ��� ������! ��� ����� �������� �� � 3 ������

4.4. �3����������

"�� ��������� �M? ��� ����� ������ ������� ���� ��������� ������! ��� � � ������� ��� ������� 4��� B0 �� �������� �! ���� ��� ��������� *38/. ��� ��������� *38;. ����� ��� ��� ������������� )� �� ���� ���� ��� � ��� �� ������ ��� �� ������ �! � ���� ���� �� ���� ��� � ��� �� �������� ������ ��� 4���� �#� �� ��N����� �� ��� ��� � ������ ���� �� ��� �M? �� 4��� 3�� "������������� �� ������ � ����� ��� �� ��� ���� �� �2 �������� "�� #����� ���� �M? ��� �������� �! ������������� '������������ � �������� ! ��#�� ��� #����� �M? �������� �! ��� � �� ����������� ������������� ��� � �� ������� )� ���7F ��� � ����� ��� ��������� �! � ������ ������� ���������������� �� F ������ �� ���� A��!��� ��� ����� �����! �� ������������ #����� ��� �����#�������������� �� ������ 3� ��� 3 ������� L����#���� ������������ �L'?� ���� 3- �� 0- �A �������� ��������� �! ��� � 3 ������� <���! ������������ ���� +08/ �A ������ �� ��������� �! ��� �3� ������� ?!�������� ������������ �� +-- �A ��#�� �N�� ������ �� 3� ��� 3 �������

4��� BB ����� ��� � ����� ���� 3- �A ������ ��� ������� ��� ���� ��� ��� ���7F ����D����� �� �� *39;.� "�� ���7F ��� � ��� ���� �� ������� "�� ��� ��� � �� �� ������� ���7F��� �� "�� � ����� ���� � ���� � �� �� ������� �� �; �A ��� � ���� ��������� � �� �� �� �

4��� B�� �������� � � �������� #�� ������! ��� ��������� ���������� �� ��� �������� ���� ���� I����� *3;8 3;9. D����� �� *38-. �������� �� �� *38�. ������ �� �� *389. C�� �� �� *39- 39+. $��� �� �� *+/- +/+. ��� $������ �� ��*+/3.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +8;

Page 60: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ �� �++ �� �3- �A� "�� � ����� ���� ��� � ������ �� ��� � ���� �� ��� ���� ��� ������� �� �+B�� �3- �A ��� ����� �� ��� �������� �M?� "��� � ������ �� �������� �� ��� ����� ����� ���� ������� ������ �������� ����! ��2���� ������ M�� �������� ����� ��� ���� �� ���� ��� ��� � �� ������ � ����� ��� � ��������

"�� � �� ��� �� ������� ���; �A �� ���� ������� )� ����! �������� ��� ���� �� ���� ������� )� ��� �������� ��� � ������ �� � 3 ������ ����� ��� �� ���� �� � ��� �� ��� ������ ���� ����� � ����� �� ��� ���� ��� ���� "�� ������ ��� ��� ��#���� �� ��� ���7F � �������

L����� �� �� *398 399. ����� ��� L'? � ����� �� ���7F �� ������ �! ��� ���� ���� #������������ ����� �� � �������� �� ��� �����! �4��� B/�� '���� + ��� 3 ���� ��� � ����� ������� ��� �����!��� ���� �� ������ ���� ������ ��� ���E���� "��! ���� ��� ���������� ��E� �� ��� ��� ������� ���3 �A ����� �� ��� �� � ������� "�� � ����� �� ���� �� ������ ���� ���E��� ��� ��!���� ���������� ��� ���� ��� �������� �������� "��� �� � ������ ���������� ���� ��� ������� �� ��� �������������� �� ��� ��� ������� �� �� ��� �����!�

?������ �� �� *�--. �������� ��� <'? � ����� �� ���� ����7F ��� ���7F ��� ��� ���� ����� ���������� � ������ "�� ���� ��� ����7F ������ ���� � ������ �� ����� � ���� �� �� �+/ �A�?������ �� �� *�-+. �� L����� �� �� *398 399. ��� ������� ��� ��#�� ���� �� ��� L'? � ����� �����7F �� � �������� �� ��� ���� #����� ������ �� �������� "��! ���� ��� �� �2����� ��� � ����� �M?���� ��� 3 �� ��� ���! ���� �������� ���� ���� ��� ���� #������ "��� ������ ��� �2 ������������� �� � ������ ��� � 3 �������� ���� ���� #������

4��� B0� �������� �M? � ����� ��� ������� �� 3- /9 ��� 93G � � �������� ���� ���� ���� ��� ��������� *38/.�

+88 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 61: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ���������� ���� �M? �� ���� �! %%�? �� ���� ���� <���! ����� ���� � �������� !�1%<(4?�� "���� � ����� ��#� �����! ���� ��������� �� ?������ 0�B�

4.5. C�� � ��

"�� ���� �� �� ���������� �! ��� ������������� �� � ������ �� ��� � 3 ������ )� ��� ������ �������� ���� ������� ��� ���� �� �� � ��#�� ������ �� ��#�� �! *+0;.

�� � 3��+�3

�B0�

����� � �� ��� A� �� ����������� ��� � ��� ������ �� ����� �� ��� �������)� �� ��� ���� ���� ��� ������ ���� �����! �#������������ ��� ��E� �� ��� �������� "�� ����

�� �� ��� �������� �! ��� ����������� �� ��� ������� )� �� �� ����� ������ �� ��#� � ��� ������� ��� ��� �� ������ ������ �� �B0�� )� ���������� �� ������� 4��������� ��� ��������*38�. ���� ��� ��������� *38/. ��� $������ �� �� *+/3. � ����� ���� ��� ���� �� ������������� ���������� � 3 ������� �� ����� �� 4��� B;� "�� ������� �� �!������ ��� ���� ������ ������ ����� �,F ������ �� �� ���! ���� ��� ���� �� �������

"�� ���� �� �� � ��!��� �� ������� �� ��� ������� �����! �� ������� ��� ���� ��� ����� �! ������ ����� ��� �� ������ � ������ �� �������� �� � )� �� ���� ���� ������������� ���������� �� �� ���� �� �� ��������! ���������� ���� �� ���� ��� ��� � ���� �� � %2 ��������! ��� ������� ������ ��� ��� �-0 �� ������� �� ��� �����! �� ����� ��� � ���� ����� ���� ����������� ��+-�0 ���+ ��� ��� "��� �� ������� �� ��� ������� � �� ����� ���� ������

� � �� � ��3�BB�

4��� BB� ��� ������ �� ������������ � ����� �� ������� ��� ���� ��� ��� ���7F ����� D����� �� �� *39;.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +89

Page 62: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� B/� '������������ � ����� �� ���7F ���� �� ������ �� ��������� ��� �������� ����� L����� �� �� *398 399.�

4��� B;� �������� #�������� �� ���� �� ���� � 3 �������� ����� ���� ��� ��������� *38/.�

+9- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 63: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� B8 ��� ��� #�������� �� �2 �������� #���� �� "��� �� ������� � 3 �������� ��� ���7F ����7F��� ���� ���� *+B+.� "��� �� ���� �� ��#� � ������ �� ������� �� ��� �����! �� 4��� B;� 1��� ���� ���� ����7F ��� ���7F ���� � ������ �� �������� "�� �� ����� �� ���� #���� �� �� � 3 ��������

"��������� ��� �������� *�-3,�-B. ��#�� �� � ��� � ���� �� ��� � ���� ������������ "��!���������� ��� �������� �� �� ���� ���������� � 3 ������� �� 4��� B8 �� � �������� �� ��� ����� �� ���� ��� �� ����� ���� � �������� �,�� �� �������� )� ����� �� ������ ��� �� ���� �� ��� �� ���������������� �� � 3 ����� ����� ���� ��� #��! 6��� ���� ��� � � �������� "��� ��� �� ���� ��� #��!���� � 3 ������� �� �#��! ��������� ���� �� �� �������� �� ��� ���� ��� ������� �� �������� ��������� �������� ��� � 3 ������������� ��� ���� ���� ���� �� ������� �� �� ���������� �� ������

(������ ���! �� ��� ������ �� ��� ������ ���� ��� ����� �� �� ��� ������� �� #������ ��������� �� �� ���� ���� ������ �� ���������� �� �� ������������� ��2���� �� � 3 ��� � � �������������� ��� ��� ���� �� �� ���� ������ �� � �������� �� �������� *�-/. �� ����� �� 4��� B9� "��� � ����� ��#� � ���� �� ������� ��� � ��� �� ������� "�� � 3 ����� ��#� � #������ �� ������� ���� �� ��� ������������� �� ���� � 3 ������� "�� � � �����2 ���� �� � ����� ������� ������� ����� 3 ������� "�� ������������ �� � 3 �� � ������� ������������� ��������� "�� ���� �� �� � ��� � ����#�� �! ��� �#����� ���� �� �� ��� ������� �� ��� "�� ����� �� ������ ��E�� �� ��#� ���� �� � ���������� ���� ��� ��� � ���� ���� �� � "��� �� ������ ���� �2 ��������!�

4��� B8� %2 �������� #�������� �� � ���� �� #�� � 3 �������� ��� ���7F *98 +/8 +;� 30-. ����7F *9B. ��� ���� *//.�

4��� B9� ?�������� #�������� �� ��� ��� ���� �� ���� �������� �� ������ �����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +9+

Page 64: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� � ���� ����� ���� � ������ �� � ����� �� ���� ���� ������ ����� � ��� ��� �� ���� ��4��� /-� "�� ���� ��� �� ���!��� �� ��������� ��!�� )� ��� ������! ���� ����� ���� �� ���� � C����������� *3++ �-3,�-B �++.� )� ���� ��� #����� ��� ���������� � ���� �M? ��� �� �������� �!C�������� ��� � ���� ����� ���� �� �������� ��� ������ �� ��� �2 �������� ���#��� "�� �� ��������� ��� ����� �� ������� �! 3��� A���� �� ���� �#����� � �� ��� �-0 �� ��� ��� "��� �� ������ ���� �� 4��� /+ ��� ���� ���7F ���� *3++.� )� �� ���� ���� 3�� �����! �N��� ����� ��� "����� � "��� ����� �� ������� ��� ��� ��� �������� ������� ��� ����� ���� ����� )� ��� ��� �� �� ��� ���������� ���� � ���� �������� #��� �� 3�� �� ����� *�-3,�-0.� ( �������� �� �� ���� ���������� ������� �������� �M? �� � ������ *38� 38;. �� �� 4��� B0�

(� ��������#� ��! �� ���!�� ��� ����� ���� ���� �� �� ��� �� ���� �� �2 ������� �� � �� �2�������� ������� L����� �����! �-� "�� L����� �����! �� ��� �� ��� �������� �������� �� ����������������� �� ���� ���� ��������������� (������ ��� � ���� ���� ���� ��� ���!� ��� �� �2 ��������� � ��������! �- �� � ����� #��� ��� ��� �������� 4��� /3 ����� #���� �� �- ����� ������� ���"��� �� ��� ���7F ���� �� ������ �! #������ ���� � *�-;,�+3.� )� �� ���� ���� ���7F ��� � ����

4��� /-� M ���� ����� ���� ����� �� � � ������� ��� ���� ��� �� ���7F ��� *3++. ��� ���� �� ��� ���� �� ���� �� ��?�7F�

4��� /+� ��� ������ �� � ���� �� � �� ���7F ��� �-0 �� "��� �� ��� � �� � ���� "��!� �� � *3++.�

+93 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 65: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� �� ��� L����� �����! �� ���� ��?�7F �� ����� BB ��A ������� ���� �� ���7F ��#�� ������� +B- ��A�

(������ ������� �� �������� �� ���� ���� �������������� �� ��� ���� ���� ����������� )� ��?� ��� ����� �� ��� ���� ����� "M ���� ��� ����� �� �� �� ������� �� ��� ���� ���� ����������*�+�.� "�� �N��#���� �� ��� �� ��� ����� C ����� "�� ����� C ����� ��� ���� ����� �� #��!�����! ���� ��� ��� �����#� ������ �� ����� ������ ���� *30-. ��� �� �� �� �� ������� �� ��� �������� ����������� 4��� /� ��� ���� ��� #�������� �� L����� �����! ��� ��� ����� �� ��� ����� C ��*30-. ���� ��� � ���� �� � )� �� ���� ���� ���� ������� �������� �������� ��� ��� � ���� �� �

"�� L����� �����! ���� ��������� �� �������� ���� ��� ����� C ����� ��������� ������������� ��� ������� �� ��� ���� �� �!����� ���7F �����

)� �� ���� ���� 4��� /� ���� ��� L����� �����! ��� ��� ����� C ����� ��� ��������� �������� ����������� "�� C ����� �� � ������� �� ��� ����������� �������� ��� ���� ���� ����������� ������

4��� /3� A�������� �� L����� �����! �- ���� �-0 � ���� �� ��� ���7F ��� ����7 ���7F ���� ���� ������� �� �� *�-;. ?������ �� �� *�-8. <� �� �� *�-9. ���� �� �� *�+-. ��� '���� �� �� *�++.& ���� ���� ���� I�������� ��#�����������������

4��� /�� A�������� �� L����� �����! �- ���� ����� C �������� ��� ���7F ������� � ���� �"���� �� � ����� ���� ����'�� �� �� *+/B.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +9�

Page 66: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ������� "�� L����� �����! �� � ������� �� ��� ������������� �������� �� ��� ���� ���������� �� �� �������� ��� ����� �� � 3 ������ ��E�� ������� "��� ��� ����������� �������� �� ���7F ������� � ��2���� �� ��� ���� K����������5 ���7)) �� � ���� �� �� ����� +�0 �A ����� ���������! �,� ������� ��������� �������� ��� ������ � ��#� � ��2����� "�� ������������������� ���� ��������� �� N���� ��� #���� �� �!����� ���7F� )� �������� ��� �������������������� �� ���7F ��������� ����������! ���� ���������� � ���� �� � "��� ����� ���� ��� ������ ��E����� ��� �� ��� �� ���� ����� ��� ��� ����� �� ������ ��E�� ������� ���� �� ��� ���� �� ���7F�

4.#. C�� � �� ������ ���� ��� �

"�� � ���� � ����� �� ���� ���� ������� ��#��� #����� ����������� �� ����� ��� ������������������� "�� ��� �2 ��������� �������� �� ������� �� ����� �� ��� ��� ��� ��������! ���� �������7

� � �+ � ��3 �B/�

�+ ��� �3 ��� ���� ��#�� �!

�+ � �3 � 83 �B;�

���

�3 � 3�8 �B8�

����� � �� ��� ��������#� ����2 8 ��� �2�������� ����������� 8 � �0�� ����� �� ��� � ��������� ���� ����������� ��� � ��� ��#������� "�� #������� �+ ��� �3 ��� ������ �! ��� I������,I����� ����������

�+� � + � +

-

�3�� ���

� � �� �B9�

��� �3 �� ��#�� �!

�3� � 3��33

;

-

!3�;#��;�� � �� ��� �/-�

����� ; �� ��� ������ ������! !��� �� ��� �������� �� �� �����2 ������ ��� ;# ��� ;� ��� ���#����� ��� ���������� ���� �M? ��� ����#�!� !��� �� ������! ��������! ���� ������ �� �����!��

"�� � ���� � ����� ��� ���� �������� ��� ��N����� �! ������ ������������,�������#��!�2 ��������� )� ?� ��� ���� �������,����������� ����������� ��#� ���� �� ��� �3 �� �� ������0�3 �A� "�� �� ��� �� ��� �A �� ��?� ��� �� ��� ��� �� ��� ��������� ���� "�� � ����� ���������� �� ��� ��������� +,B �A �����! ����� �� ������������,�������#��! ������������� F���#�� ������ �� ������ �� ���� ��� ������ ����� ����� ��� � ����� �� � �� � ���� ������ �����! ����� �������� 3,3B �A ��� ��� �� ������ �������� �� ���#� B �A� "��� ����� ���� ��� � ����� ���� ���������� �� #����� LA *3++ �+0. �� �����! ��� �!����� *+9/ 3-/.� %����! ��� ��������

)� � +

� �� �3

�3+ � �3

3

�/+�

+90 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 67: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� �� � ��� ��� ��� ��������! ���� �� ��+ ��� ������ �! I������,I����� ����������������"��� ���� ��� ��������� �� !����+� ��� ���� ����� �+ ��� �3 ��� �� ����� ������� �������*3-;.� "��� ��N����� ���� ��� ����������� ����� ��� ���� �� ��� ��������#� ����2 �� ��� �������

4��� �- ��� ���� ��� �����! ��� � ����� �� ������� ��� ���� ���� ��� � ���� � 3 ����� ������ �� +- �A *+9/.� "�� � ������ �� ������� ����� ��� ����� �� � ��� #����� �������� ���0 �A� "�� � ������ �� ��� ���� ����� ��� ����� �� � ��� #����� �������� �� 3; �A �� � ����� �� ��� � �������� �� ; �A� "�� ����� �� � ��� #����� �������� ��� ���� ��������� ��#����!� )� ��� �� ���� �� ������ ��� #����� ������� ������! ��� ������! ��� ���� ������! *+80.�"�� � ����� �� �; �A ��! � ���� �� ��� � 3 ����� ��� �� ������� �� ��� �2�� � �!��� ��������� �� �� ������ ���� "�� �����! �� ��� � ����� �� ��� � ���� ��! �� ������ ��� ������! �� ��������� *3-/ �+0. ��� ���� ��� � 3 �������� ������� �� �� ��� ���� � ����� �! � E������������ ���+�

4���� /0 ��� /B ��� ��� ��� �+ ��� �3 � ����� �� ������� ��� ���� ���� ��� �� ���7F ���*+9+ +9/.� "�� �3 � ����� �� ��� ���� ��� ���7F ���� ��� ��� ��� ������ 0 �A ��� �� ��2��������� ��� ��� ����� +� �A ��� �� �2���������� ������� ����� ��! � ����� �� �� +� �A ����� � �2���������� "�� ���� ����� �#������ �� ��� ���� � � �������� �� �� ��� ��! ��� ���� �� ��9 �A ��� �� � �2��������� *;; +9/. ������� ����� �� ��� � ��� ������� �� / �A ��� �� �

4��� /0� M ���� �������� �+ �� ���� �� ������ �� ��������� ���� #������ *+9/.�

4��� /B� ��� ������ �� � ���� �������� �3 �� ��� ���� ���7F ���� ��� ������� ����� D������� �� �� *+9/.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +9B

Page 68: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�2���������� "�� �����! �� ��� ���� �3 �� ������ ���� �� ��� K�#�����5 �� '��� �� *3-8 3-9.� "�� �� �� 9 �A �� ���� ���� �� ������� ���/ �A� ������� �� ��� ��� �� ��� ��������� ��� �������� ����������� �� ����� �� ���� �����!� "��� ��� ������ �� ��?� ����� ��� ���� �� ��� ������� �3 �� �� ��?�� "�� ������� �� ��� � �� ��� ���� �� ���� �������#�! �� ��� #��� �� �����������#� ����2 ���� �� ��� I������,I����� ���!��� �� ��� � ������ �� ����#�� ���� �����! ����

"�� �3 � ������ �� ��� ���� ����� ��� �2 ����� ��#������� �� E��� �����! �� � ����� "�� �3

� ����� �� ��� ����� ������� ������� ���� ��� ���7F �� E��� ���� ����� ���� �� �"�� �2��������� �� ��� � ��� � ������ ���� � �� ��� �����#�! �� ����� ������������� �� ��� �3

� ����� �� ������� ���� � 3 ����� *+9+ 3++.� "��� �� ������� � � �� ��� � � �� ����������� ��� ������ ���� � 3 ����� �� ��� � ��� � �2��������� ��� �������#�! ����� �� �� ��� � ���� � ������ "����� ������� �� ��������! ����� ��� ��� ���� *�+0.� "�� �� ������� �� ������� ����� �! ������������ �������#� ������ �� �������� ������ ����� �� ��� � ������ � �� � ��#�� �����! �

;���� � �

3�3;�3�33

� �

-

���3�� ��� �/3�

"�� ;��� � ����� �� ��� ���� ������� ���� ��� �� ���7F ��� ��� ��� ���� *+9+ +9/. �� 4��� //�"�� ;��� �� ��� ���� ����� � ����� �� ������ 8 �A ����� ���� ��� �� ������� �� � ��� ��2����������

"�� ���� �� �� ���� ��� ����� �� � 3 �� � � ����� �! ������� ��� ����� �� � �� �� � �2����������#������� ;��� �� 8 ��� �� ��! 0- �A �� ��!��� ��� ��� ����� �� � �2��������� *+9+.� "�� ����� �� ���� ��� ;��� ����� �� 8 �A �� ��� ���� ������ ���� �� ��! -�/ �������� �� ���� ������ ������� �� ���� �� �� ����� *�+B �+/.� 1�#�������� ��� ���� �� ����#��� �� � 3 �������� ������� ���� ���� � ���� � ����� �� � ������ )������ �� ����� ��� ������� #��� �� ;��� �/ �A� 4��� /;����� ��� ����� �� ;��� �/ �A� ��� � ���� ��� ���� ��� ����� �� ��� ���� ��� ��� ���� �� ���� ��� � 3

�������� ���������� ������! ���� ��� I ���� %%�? *+9/.� )� �� ���� ���� ���� ���������� ��#���� ���������� �������� �� ��� � 3 ���������

"��� ������ � ���� �� ��� ������������! ���� ��� ���� ���� � ����� ��� �#������ "�� ����� �� ���� ��� ���� ���� ��������� �� ���� ��! ��� ������ ���� � ���� � ����� � �� ��! B�B �A��� �#����� ��� ���� � ����� � �� ����#� �� � 3 �������� ���� ����� *0+ 03 3+3.� ?��� � ����� ��!��#�� ��� � �2���������� "�� ��E� �� � �2��������� �� ��� �����

4��� //� ��� ������ �� �������#� ������ �� �������� ;��� � ����� ��� ��� ���� ���7F ���� ��� ������� ����� D��������� �� *+9/.�

+9/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 69: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

� ���� ���������� �� �� �

5.�. :3� *

"�� �� ������ �� ���� ��#� ���� ������� �������#�! �� ��� ��������� */ +; +8 B+ B3 /�,83 �+;,�0+.� "�� ���� �� ����! �� ������ �� ���� ��� �������� "�� �� ������ ��� ���� ������! � ���������� ��� �����!� 4��� /8 ����� ��� ��� � � �������� ������! ����#�� ���� ��� #����� ����� ��������������� ��� � ���� ���� �� ��� ����� �� #��! ���� ��� �����! ��� ���� �� ������ �! 4��� �� �� *+;.�� � 9-� ����� 4�A(� )� �� ���� ���� ��� � � �������� �� ��� �! �������� ���� ���� ��� ����� �� ������� "�� ��2���� �� � � �������� ������ �� �� ��� �����! �� ����� +-- �A� "�� ���� ���������� � 3��� �� �� ��� ���� ��� ��������� "�� ������! �� ����� �� #��! �����! ���� ��� � � �������� �� ��� ���� ������ �� 4��� �+�

"�� � ���� �� �� ���� �� ��� ��� �����! *// /; 3+� 3+0 �33. �� ����� �� 4��� /8� )� ���������! ����� ���� � ���� ����� ���� ������������ ���� �������� �! ������� ���������� �� �������� *�38.� "�� ���� �� �� ����� ���� ���� ���������� �� ����#��� "�� ���� ���� �� ������ �� ?����� ���� ���� #��! �� ��������� ������� ��#� ���� �� � �� ������ ��B �A *�39 ��-.�

)� �� ���� ���� ��� � ���� �� ����� ��� "��� �� �-0 ����������� #����� �� �� ������ �� ��� � �

��������� "��� �� �2 ����� ���� ��� �� ������� �� ��� � � �������� ��� � ����� �� ���7F ����7F ������� ����� �� 4��� B8� "�� ���� �� �� �������� �! ��� �������� ��� ����������� �� � ������ �� � 3

����� *+B+. ��� ���� ����� �������� ��� �������� �� ����� ���� ��� � 3 �������� �� ���� �� ����������� ��! �� ��� � � �������� *3+9.�

"�� ������� �� ���� �� ��������� �� ������ )�� ������ �� ������� �! ��� ��������#��! �� ��� � �

������ "��! ���� � ������ ������ �� ���� �� ��?� �2�� � ���� �� �������� � ��� �������� �� ������� ������ ��� ���� ��������� ����� *+/- +/+. ����� ���� �� ������� �� ��?�� "�� � 3 ����� ����� ������� ������ ���� ������� "��! ���� ��� ������� ���� �� �#�� ������ �� ������ "�� � 3

������� ���� �� �� ������ ��������� ������ ���� �������� �� ���� ���! �� ��� ��#� ���� �� � � �� ������� ��� ��� � �� �� ���#� ��� A�M? ���� ���� �� ��� ���� �� LA ����� *3+9 300.� "�� � �

������ ������� ��� �������� ��� � 3 �������� "�� ���� �� �� ���������� �! ��� ��E� �� ��� ���������� ��� ������ �� ����� ���������� *+B+ 38�.� "�� ����� ��� LA ����� � ����� �� ���� �� � ���������� � � ������� ���� ��������� ������ �� ?������ 0�

4��� /;� ��� ������ �� � 3 ��������� ����#�� ���� ;��� ��� I ���� %%�? ������� ����� D������� �� �� *+9/.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +9;

Page 70: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

(� �� ������ �� ���! ��� � �������� �� ���� �� �������� �� ��� ������� ���������� "�� ���#��� �� ��� ��������� ��� ���� ��#����� N����! �� ���� ��� ����� ��� ���� �� � ������� N����! �������� � ��������� "���� ��� #������ ����������� �� ���������& ��� ������ ��

! ���

�,� ,��

�/��

����� , �� ��� ������ �� � ������� ������� ��� , �� ��� ���� ������� "���� �$? ��������� �� �������� ���� ��� ���� ��������� ������� �� ��� ��! N����! �� ���������� '������ ������ ������������� ! �(4$� ������������ ��#� ����� ���� ��� ��������� #����� �� � ���������� ��! ���� ������ �����! �4��� /9� �� ���� �� ������� � ������� ��������� �� ��� ��� �����! �� ��2���� � �

������� */; �33 �3�.�"�� ��� ����! �� �� ������� ��! ���� ���� ��� ��� �����! �� ��� �� ��������?������ �� ��������� ���� ��� �����! �� ��� ����� �� ������ �������� ����� ���������� ��� �� ������ �� ����� F���#�� �� ��� � ���� ���� ���� �� ���� �! 4�A( �� ���� �� ����� ������� ����� "�� ���� �� ������ �� �����! ������ ����� 4��� ;- ��� ���� ��� #�������� �� � � �������� ��

4��� /8� A�������� �� ��� � � �������� ������! ��������� ��� �����#� ������ ��� � ���� �"���� �� ���� ��� �����! ��� ���� ����� 4��� �� �� *+;.�

+98 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 71: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� �� ���� �! ��������� 4�A( �!����� ���� �� ��� ������� ���� �� $�I��E�� �� �� *B+. ���4��� �� �� *+;. ��� ?����� 4�A( �� ��������� *;3. ��� ��� ?����� 4�A( �� ?���� ��� */;.� "��������� �� ��! �� �������� ��� ����� �� �� ��������� ������ "�� ����� 4�A( �!����� ��#� ���� ���������� � � �������� ���� �2����� �#�� � ����� ����� �� �� ������� ��� ��������� )����� � ���� � �

�������� �� ������ �#�� �� E��� ���� #����� ����� ��! ��� ���� ���������! �� ��#� ��� ��������!� ( ���� � � �������� ������� ������� �� ����� ��� ��������� � ��������� <� �� �� *�-9. �������� ���� ��� ���� �� ��������� ���� ����� ������ ����� M#��� �� �� ���� ���� ��� � � �������� ����� � ����� #���� �������� �� ��� ��� �����!� C�����! ��� ��2���� � � �������� ������ �� �� ��������! �� ����� +-- �A �2�� � ��� ��� ���� �� $�I��E�� �� �� *B+.�

4��� /9� A�������� �� ��������� ���� ��� �����! ��� ���� ����� ?�� �� �� */;.�

4��� ;-� ��� ������ �� ��� #�������� �� ��� � � �������� ���� ��� �����! ��� ����� ���� ���� 4��� �� �� *+;. $�I��E���� �� *B+. '�� �� �� *;3. ��� ?�� �� �� */;. ������� ��� ����� �� #��������� ������ ���� ��� ��������� 4�A( ������!����� ��� ���� ���� ��E���

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� +99

Page 72: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� ;+ ����� ��� #�������� �� � � �������� ���� ���� ��� �����! �� ���� ���� �� ������ ��������� �! $����# �� �� *83.� )� �� ���� ���� ��� #�������� �� ������ �� ���� ����� ��� 4�A( ���� ���2���� ��������� �� ����� +-- �A� "��� �� ���� ��� ���� ���� ��� ���� ������ �! ���� �������� ���������

4��� ;3 ����� ��� #�������� �� � � �������� ������! ���� ���������� ������������� ��@?� ���������� ��������� ��� ���� �� ���� �! $?)@ �! �������E ��� �������� *; 8 �3+.� "�� � � ���� �������� �!����� �� ��� �#����� *�3B.� "�� �#��� ����#���� �� ���� ��� �������� �� ������ �� ��������� ��� 4�A(� F���#�� ����� �� � ������ ���������� �� ���� ��� � � �������� ������� �� � ���� #������� ��� ��� �����! ������� �#�� +--- A �� $?)@ ������� �� ������ �� ������ �� 3-- A �� ��� ������ 4�A( �!������ )� �� ������� ���� ��� ���� �� ���� �! ���� �� ������� �!����� �� ��������!��� ����� "�� ��������� �� ������� �� ��� �����! �� �������#�! ���������� �� ��� ����� ������ ������ ��� $?)@ *; 8.�

4��� ;3 ����� ���� ��� ��������� �� ���� ���� ����� �! $?)@ *; 8. ��� ����� � �������������� ������� ��� �����! ���� ���� ����� �! 4�A( */;.�

4��� ;� �� ������� ���� ����������� )� ��� ���� ��� �� ������ �� ���� �� ���� �! 4�A( �!4��� �� �� *+;. ��� ���� ���� $?)@� )� �� ���� ���� ���� �� ���� �! $?)@ ������� � ���� � �

�������� �� � ���� ������ ��� �����!� �������E *; 8. ��� ��������� ���� $?)@ ��#�� ��� ����� � �

������ ������� �� ��� ����� ������ �����"�� ���� ���� ������ �� ��������� ��� �����#� ������ ����� ������ ���� ��� ��� �����������

������ �� ������� ���� �� ���� ��� ��������� � � �������� "�� ������ ������� ���� #���� �� �������� �� +- C'�� %#�� ������ #���� ��#� ���� �� ����� �� ��� � ������� ���� ���� ��������� (������������ ������� �! ?����� �� �� *0/.� "�� ��� �����#� ������ ����� ��� ��2���� ���������� ������#� ���� ��� ���� �� � ����������� ����� ���� ��!��� �� ��� ��� ��� ������ ��! ��� ������ � �������#� ������� �������� )� �� ��������� ����������� �� ��� �� ������ ���! �� � ��������! �! ������ �� � � ������� �� ���� "�� ������� ���� �� $�I��E�� �� �� *B+. ��� 4��� �� �� *+;. ������� ����������� ���������� ������� ��� ������ ��� ��� � � ��������� F���#�� � ��� ������ �� ���������� *+�+. ����� �� 4��� ;0 �������� ���� ���� '�� �� �� *;3. �������� ���� #��! ���� � � ������������ �� �����#�� ���� �������� ���� B C'�� "�������� ����� �� �� � ���� ������ #���� ��� ��������� "�� ��� �� ������ �� ��� �� ��������� ����� �� ������� ����������

4��� ;+� A�������� �� � � �������� ���� ���� ��� �����! ��� ���� ���� �! ���� ���� �� ������� ����� $����# �� �� *83.�

3-- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 73: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� ;3� A�������� �� � � �������� ����� �����! ������! ���� ���������� ������������� ��� ������� ��������� ���� ��������! ��� ���� �� ������ �� ���� ��� ������� �! ���� ������� ��� ���� ������ ����� �������E *; 8.�

4��� ;�� ��� ������ �� ��� #�������� �� � � �������� ���� ��� �����! ��� ���� �� ������ �! 4�A( *+;. ��� ���� ���������� ���� *; 8.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3-+

Page 74: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� ;B ����� ��� #�������� �� ��������#� ����2 � �� ���� ���� ��� �����! ����� ��� $?)@ *�33.�"���� �� ��! � ��� ������ �� �� "��� �� ����� �! ������� � �� ��#�� �! %N� �/0�

�3 � + � �3

�3�

�/0�

����� � �� ��� ����� �����! ��� �� ��� '��� �� �� �#����� ������������������� � ������� "�� ����� �����! � ��������� �� ��� � 3 �������� ��������� ��� ��� '��� �� ��� ��������� ��� ������ ������� ���! ������ "��� ��� ��������#� ����2 ���� ��� ������ ��� ���� ���� ��� �����!�

)� �� ��������� �� ��� ���� ��� ��� � ���� ������ ��������#��! �� �������� "��� �� ��� ����&���� ���� �������� ������! �� ��� ��#� � #��! ���� ������ ��������#��! ������� �� ��������������� �! ��������� 4�� �2�� � ����� ���� �� ��� � ��������! ���� ������ ����������

4��� ;0� ���������� �� ��� �����#� ������ ��� � � �������� ��� ����� ���� ���� 4��� �� �� *+;. $�I��E�� �� �� *B+. ���'�� �� �� *;3.�

4��� ;B� A�������� �� ��������#� ����2 ��� ���� ���� ��� �����! ���� ��� ���� �� �������E �� �� *�3�.�

3-3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 75: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

F���#�� �� ��� ���� ���� ����� ���� ��� ��� �� ��� ������� ������ ��������#����� �� +- D=� I ���� ���7F �� �+ D=� I *�3/ �3;. �� ���������� �� "��� /�

5.�. :3� * �� ����1 1��

$��I��E�� ��� �������� */ B+. ����� ����� ���� ���� � ���� �� ������ � ������� ����� ������ �����! ���� ��� �� ����� ���������� ���� ���� �������� � ���� ������� �!�� �� ����������! ���� ��� ��� ?����N����! ��#�� �� �� *+9B. ���� �������������� %%�? �� � �������������������� ������� �������� � �?"%$� �� ���� ���� � �� ������! � 3 ���� ������� �!�� �2������4��� ;/�� )�� �������� �� ����� +,3 �� ��� +-- �A �� ������� ��� ���� �����! ������ ���� �� ������ ����� �� ���� ��� �����!� "��� �� �� �� ������ �2 ������� ������� �� �������� ��� �� ����������������& ��� � 3 ���� ������� �!�� ����� ���� ������! ��� � � ������� ��������� �� ���� ��� �� ������ �� ����� ���������� �� �������J��� ��������J��� ���������

������! ?���� �� �� *8- ��+. ��� <� �� �� *��-. �����#�� � ���� ��� �2 �!���� ��������� ��'�� ���� ���� �! �������������� "%$� "��! ���� ��� �� ������! �!�� �� ��� ������� ��� � ������� � ���� ������! �!�� ��2� �� ��� ���,��������� ��������� �4��� ;;�� "��� �!����� ��� ����� �� ���� ����� �! '��� ?���� �� �� *8-. ��������� ���� ��� �!����� �� �� ��������� �� ���! �� ����� ������� ���������� F� �������� ���� ��� �2��� ������! �� ���� ��2� �� ��� ��������� ������ ���� ����� �������� ��� ���� ��� ��������� ������ "�� �!����� ��� ��� ���� ����� �! "%$ �� ���� ����

"��� /

��� ������ �� ������ ��������#��! �� 3B �� �� ���� ��� ���7F ���� ������� ��� ����� ���������

"����� ��������#��! �D ��+ I�+� �� 3B ��

������� *+3. /--,+---�A� ������� 0--���� *�3/. /,+-���7F *�3/. +V����E /�B,+-?���� +�/

4��� ;/� �������������� ����� �� ������ ������� ��� � � �������� ������ � ���� ��� ������� ��� � 3 ���� ������� �!�� ����� ��#�� �� �� *+9B.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3-�

Page 76: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� ����� �� ��� ����� ���� 4�A(� <�� ��� ��� ������ ������! �!������ )� ��� ��������� ���������! �!����� �� ���� ���������� 4�A( ����� F���#�� �� ��� ���� ������ �� ���� ���� ������ ��� �2�� � ��� ?����� 4�A( ������� ��! ��������� �!����� *+80.� "��� �� �� ��� ���� ���� ��������� �� ��������� �� �����

5.". �<<� �< ��������� �����1�� �� *

"�� ���� �� ��! ������ �� ��� �� ������� �� ������� ��� � ���� ��� �������� ���� � ���������� ������� �� ������ +B-,3-- �� ����� �� � :+ *�B /3 //.� 4��� ;8 ����� ��� #�������� �� � �

4��� ;;� �������������� ������������ ������� �������� �� �� ���� �� ������ �! 4�A( �� ���� ��� ������� ������������ ������! #��������� *��3. ����� ����� �� $�'� ?������

3-0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 77: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� ������! ���� ��� #����� ����� ������ ��� ��������� ���� ��� �� ������� ��� ������� ������� �� ������ �! 4�A( �� �� ��� �����! �� 8- ��� +�- �A �� ����� �! ������� �� �� *//.� 4��� ;9����� � ������ #�������� �� ������! ��� ��������� ���� �� ������� ��� ������� ��� ���� �� �������! $?)@ ����� �������E *; 8.� "���� �� � ���� ��� �� ��� � � �������� ��� ������! �� :+� "�� ��������� ��� � ���� !� "�� #��� :+ �� ���� �� �������� ���� ���������� ��� �����!� "�� #��� �� :+ ����� ���� �����! �� ��� �� ������� ���� �� ��� ��������

I������ �� �� *+3B. ����� � �������� �������� �� :+ �� ��� ���� �� �� ������ �! ������������ ���� :+ ��������� ���� ������������� �� ������� ���� ��� :+ #���� � �� 0B- �� ���������#�� �4��� 8-��

4��� ;9 ����� ��� ������ ������ #��������� �� ������! ��� ��������� ��� ���� �� ������ �!$?)@ *; 8 �B.� "�� ���� ����� ����#���� �� ����� ���� � ���� ��� �� ��� ������! ��� � ���� �������� �� ��� ������� ��������� �� :+� )� �� ������ ���� ��� #��� �� :+ �� ���� ���� ����� ���4�A(� )� ��! �� ���� ���� �� ��� �� ��� ���� ������ ���� �� $?)@ ���� �� 4�A(�

4��� 8+ ����� ��� #�������� �� ��� ��������� ��������� � ���� �� ��������#� ����2 �������#��!����#����� �����! ��� �������#��! ���� ��� �� ������� ��� ������� ��� ���� �� ������ �! 4�A( �� ����� �����! �� +-- �A *//.� )� �� ������ ���� ��� � ���� �� ��� �������#��! ���� �������� ������!���� �� ������� ��� ������� ��� ���� �� ��� ���� �� �� � � �������� ��� ������! �� :+ �4��� B-��"�� �� �� � ���� �� �����! ������ ���� :+ ��� ��������� ���#� ���

4��� ;8� A�������� �� � � �������� ������! ����� #����� ����� �����!� ��������� ��� �����#� ������ ��� ���������������� �� ���� #�� �� ������� ��� ������� ��� ��� �������� �� 9- ��� +�- �A ����� ������� �� �� *//.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3-B

Page 78: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ���� �� ������ �� ���� ��� ������� ��� �� � �� �� ��� ����� � ������� (� ��� �� ���������� ������� �� ������ ��� � �� � ���� *3�-.� "��� ��������� ���� �������� ������� ��� ��������� ��� ��� �� ����� 4��� 83 ��� ��� #�������� �� ��� 0���=0�C� ����� ���� �� ������� ��� �������� "�� � �� �� ���� �� � ��� ���� :+ 6��� �� ��� �� �� ��� � ���� �� � "��� ��� �������� ������� ������������ �� � ��� ���� :+ ���� ��� ���� � 3 ������� ��� ��� �������� "��� ��������� ���� ��� � 3

4��� ;9� A�������� �� ������! ��� ������� ��������� ���� �� ������� ��� ������� �� ���� ��� �� ������� �! $?)@ ��������E �� �� *�3.�

4��� 8-� A�������� �� ���������� ��� ������� :+ �� ���� ���� ������������� ������ ���� ��� �� ������� �! ���� 4�A(�!���� ����� I������ �� �� *+3B.�

3-/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 79: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� ��� ����� ������ �� ������� ���� :+ ������ � 3 ����� ����� �� ���#��� �� � �� "�� ������ ��� 3 ����� �� ���� ������� �#�� ���� :+ ��������� ���� ��� � 3 ����� ��� �� �������� �� ������� �� ���� � �������)� �� ��� ��������� �� ��� � 3 ����� ����� ������ ��� � ���� �� ��� ��� �������#��! �� ���"�� � ���� �� ���! ���� �� ��� ��! �� ��� ������������� �� � 3 ������ (� �� ����� ������� �������� ������� � ���� �� ��� ���� � 3 ������� ��� ���� ��� ������� �� ������ ���� *+B+. �4��� B8� ��� 4��� 83 ����� ���� �� ������ ���������� �2���� ��� ���� �� ������ �� ��! ��� ��������

( �� �� 0���=0�C� ������� �� ���� �� ��3 ����� � ����� �� ������� *3�-. �� ���� �� 4��� 8��D� ������ ���� ��� � 3 ������� ������� �! �������� ��� �������� ������� ����� � ���� �� #�����

4��� 8+� A�������� �� � ���� �� ��������#� ����2 ��������#��! ����#����� �����! ��� ���� ��� ������� �������#��! ������ ������� ��� ������� ��� �� ������� �! 4�A( ����� ������� �� �� *//.�

4��� 83� A�������� �� ��� ����� � ����� ����� 0���=0�C� �� ���� ���� �� ������� ��� ������� ��� �� ������� �! 4�A( ������������ �� �� *3�-.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3-;

Page 80: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� � � 3��E� �� �� %N� �B3�� 4��� 8� ���� ��������� ���� 0���=0�C� #����� �� E3� �� ����� ������

%N� �0���I�� ��� �������� *�3�. ��� ������! �����#�� �! ������������ ������� �������� ! �"%$�

��� %%�? ���� ��� ��� ����� ������� �� ���� �� ������ ���#� :+ ��� �������� ���� ����� ���� �� �������� �� ��� ��� ���� �� ���� ��� ��� ���� ��2�� ���� �� ��� ��� ��� 4��� 80�� "��� ������������ ���� � ���� ����� �� �����#������ �� ���� �� �������� �� ��� ��� �� ��@1 *�03. ������������� ����! ������ *�0�. ������������� ��������� ���� �� ������� *�00. ��� �� ����7F*�0B.�

5.2. :3���� ������� �< *

"���� ��#� ���� �������� ������� �� ��� ������ �������! �� ���� *��0,�0+.� (������ ���� ����! ��������� ��� �� �� ��������! �� �� ��� �� ������� ��� ������� ���� 3-- �� �� ���� ���� ���� ����� ����� �� ������� � �� +---,++-- �� �� ������� �� � #������ )� ������ �� ��� �� �� �2������� 0B-,B-- ��� %%�? ��� ��� ��E� �� ��� " �� �� LA ����� ����� ���� ����� �� ��! � ���

4��� 8�� '�� �� ����� 0���=0�C� ����� ������� � ���� �� �3 ��� ���� �� ������ �� ��#���� ��� ������� ����� ��������� �� *3�-.�

4��� 80� ?�������� ������� �� ���������� � ������ ����������� �� ��� ����� ������ ��� ��� ������� ��� �����

3-8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 81: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� �� ��� ���� � � ������� ����� �������� �� ++-- �� *�0-. �4��� 8B�� "�� ���� ���� ���� ����� � � ������� �� ���� ����� �������� ����#�� ��� ��� ����� *��0 �0+.�

(������� ���� � �� B--,/-- �� ���� � ���2����� �� ��� ��� �����#� ������ �� ��������!E��� *��B,�0-. �4��� 8/�� "��� �� �� �� ������ �����#����� �� ������ ����� ��� ��������� �� ���� �������� ����� �!��� �� ������� ��� �������� �� /-- �� ���� ��� ��������� �� ���� ���� + ������ *��;.� "�� ������� ���� ������ ����� ���� �������� ��� ������ ������ �� ��� � � ������� ����������� 4��� ������� �� ���� ��! �� �� #����� ��� ��������� � �������� �� ��������� ��?������ 9� )� ���� ��� ������ ��� �#�� �� �����! ������ ���� �������� ������� �� �� ��� ������������!�

?��#�� ��� �������� *��B ��/. �� ���� ���� ��� ��������� �� ��� �����#� ������ ������������� � ��� �������� �� � � ����� ���#��� �� � 3 ����� ��� ���! ��#� ����� � ������� �������� �� �������� �� ��� ���� ������� 4��� 80�� (� ��� � 3 ���� �� ������� ���� ��� � � ���� ���� ���������� ������ ��� ������ �� ��� ��� ���� )� �� ��������� ���� ��! ����� 3G �� � � ����� ���� �����#��� �� � 3 ��� ���� �� ������ ������� ������! ������������ �! <�� ������� ���� ���� ������*+8/,+88.�

(������� ��� ������ ��� � ���� �� �� �� �� E��� ��� ��� �������#��! �� �������� ������!*�0-.� "�� #����� ����� � ������ ������� ���� ��� � ������� �� � � ��� (� ��� ���� ������ ��

4��� 8B� A�������� �� LA ����� 0�"�=0�C� ����� ��� #����� ����� 0���0�C� ����� ��� C �� ����� ���� ����������� ������� ��� ���� �� ������ �� ���� ��� ������� �! 4�A( *�0-.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3-9

Page 82: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

� � ����� ��� ��� ������� ���� ��������� �� %%�? �� LA ����� ��� � ������� �� ��� � ���������� ���� ��� �2������ � 3 ����� ��#� ������ ����� ������ ��� � � �����2 ��� ���� ���! �������������� ���� ����� �������� ������� *�0-.� "��� ������ ��� � ���� �� �� ��������� "��� �� ���� ������� �� ������ ��� �������� �2������ � 3 ����� ��� ����� �� ���� ��� �������� ���� ������ ���� � �� � 3 ���#������� "�� ����#����� �����! �� � � �� � 3 ���#������ ��� �� ��������� ����

� � 8: �� �/B�

�� ���B �A ����� : � +�-- I ��� ����� � ���N����! �� +-+0 ��+ ��� � + �� "�� � �� � ������ /B- �� ����� ��#�� �� ����#����� �����! ��� ��� ��������� �� � 3 ����� �� 3�B �A�

?���� �� �� *��+. ��#� ������! ����� ���� ��� �������� �� ���� �� /-- �� ������� ����� ������������� ����� ��� #����� �! �������������� "%$� "���� ������� ����� �� �������� �� �������� ������� +BG �� �������� �! � �������������� )� � ���� ���� ����� ��������� ���� �� �2������ ����� �����! ������ �� ��� ����� ������ ���� *���.� "���� ��! ����� ������� �� � ������������������������� �� ��� ����� ������ ����

5.4. :3� * �?

"�� �� ������ �� ���7F ��#� ���� ������� �! ���! ������ *0 89 9- +/;,+;/ +80 3+9 3�9,300 3BB,3// �-3,�++ �0/,�B�.� 4��� 8; ����� ��� #�������� �� ��� ���� �� ������ ��� � � �������� �!������ ������� ���� ������! ��� � ���� �� ���� ��� ���� #����� 6� ��� ���7F ���� �� ���������� ��������� ������ �����7 ������� ����!��� ��� ���E��� *0 89 +;� 3B9.� ��� ���� ���� �� ������ �� ���7F �� ��� �� ��� �������� ��� �����! �� � ���� *++3.� 4�� ���#������� '%�A� ��� �������� ��� �����! �� ����� -�0 ����� ��� ���� #����� 6� *0 8; 88.�

"�� ������� �������������� �� ���7F �� ������ ���� ������� ��#� ���� ������� �� ����� �!"���� �� �� *+;�. ����� 1$� �� ����#� ��� ��������� �� ��� #������ �7F �������������� �� � ���������� 6�� "���� ������ ��� ���������� �� 4��� 88� "��� ����� ��� ��� ���� � � �������� ��� �!������������� ���� �������� ����������! ���� ���������� 6� ��� ��� ��� ��� �!������ �� ����������!������ �� ��� � � ������

4��� 8/� A�������� �� ��� �����#� ������ ���� �������� ��� ������� ��� ���� �� ������ �� ���� ��� ������� ����� 4�������� �� *�0-.�

3+- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 83: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ������� ��� �� ������ �� ���7F ���� �� ���� ����� ������� ������� �! ��� ��� �����! ������ #����� 6� ���� �� �� ������� *+ 0.� "�� ����� #��� �� 6� ��� ����� ������� �� ���� �� ��� �������� ��� ��� ��� �� ������� �������� (� �� ���� #������ ��� ���� ��#� � ���� �!������������� � ���� � � ������� ��� � �� ������!� "�� ���� ��� ���� �!����� ���7F �� ���� ���7F�"�� � ���� �� �� �#�� +�8 �A ��� �� ��� �#�� �2���� � �� ��B �� 0 �A *�+-.� "��� �� � #��! ���� �� �(� ������������ ���� #������ ��� F ������� ��� ���� ��� � � ������� �� ��� ��� ��� ���� ��#� ���2���� �� ������!� )� ���� ������ ��� ������ �� �,� � � ������� ������� ��� ��2���� ��� ������� ��#� ����� ������� ���������� ���������� "�� � ���� �� ��� �� ��� ����� +�3,+�; �A� (� �������� #������ ��� F ������� ��� ���� ������� ��� ��� ������� ��� ������ ���������� � 3 ��� "������� � ����� ����� ������ ��� ������ � � �� ��� ���� ����� ���� ���� � 3 ����� ��� ��������*30-.� "�� ���� ��� �� ���� ��� ������

"�� ������� �� ���7F ��� �� ��������� �� ������ "�� � � � ����� ���� � ���������� ������ ���,� ������ $��� � � ����� ��� ������ �� ��� �� ���� �!�������� ( ���� ��� �� ��� � � ������� ��

4��� 8;� A�������� �� � � �������� �!������ ������� ������! ��� � ���� �� �"���� ���� �� ������� ���� #����� ���'%�A� ���7F �� ������ �� ���� ��� �������� ���� ���� "���� �� �� *+;�. I���� �� �� *0. ��� O�� �� �� *9-.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3++

Page 84: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���7F �� ��� �� ��� ���������� �� ������� �! �!�������� "�� � 3 ����� �� ���7F ���� ��� ������� ������ �����2� "�� ������ ��E�� �� � 3 ���� ����������� �������� ���� ���������� 6� ����� ������ ������� �� �� ��������� )� ���� ���7F ��� ������� ���� �� �� ������� ��� �� ��� ��#� � ����� � ��*3+9.� )� ���7F �� ������ �� ���� ���� ��� � 3 ������� ������ ����� ��� ����������! �������� ����� ��#� ���� �� ��� �����#�� � ��� "�� ��� ����#� ����� � ����� ������� ����� "�� C �� ���������������� �� +/-- ���+ �� ���� ����� �������� ��� ���� ���� ��� �� ���� �� ��������� ���#�+/-- ���+ ��� �!����� ���7F�

"�� �� ������ �� ���7F �� ��� �� ��� ��� �����! �� � ���� � *++3.� M���� ��� �� �������� ����� �� � ������� ��� ��F�

�� D��� ��� ������� ��� ���� ��� ��� ������� �� ����� � ��������� ����� ������ �����! ������� ��� ����#���� �������� ������ ������ "�� �������#� �����! �� ����� �� ���� *33.

� � ��

��//�

"��� ����� ���� ��� �� ������ �� ���7F �� �� ��� �� ��� �������� ������ ���� �������������� �� ���� ������� ��� �����! �� � ���� �� �� 4��� 89� "��� ��� ��2���� �� ������! ��� ���7F �� ���� ���� ����!��� �� ����� �� ����� ����� ��� ���� #����� �� ���� ���� ������� ������� ���� ���E��� �� ����� ��2 ����� ��� "��� �������� ��� ��� ��������� #��������� �� � � �������� ���������! ���� �������� ��� ���� �� 4��� 89� "�� �!������ ������� �� ��� ���7F ��� �� ���!� �����!���� ���� ���� �� ��� �������� �������� F!������ �� ��� ������ ������ �! ������� � ��������J��� ��� ������� �� F ���� �,F ����� �! �������� ����� "��� ������ �� �����! �� ������� �� ���������� ��� �����!� "�� F ������� �� ���7F �� ���� ���� ������� �� ����� ���� ���� �� �������� ����� ��������� ����! ������� ��� F=� ����� �� ������� �� �� �����

4��� 88� A�������� �� ������ 1$� ���� ��������� ���� �� ������� ���� #����� ��� '%�A� ���7F ����� "���� �� �� *+;�.�

3+3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 85: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

M� ��� ����� ���� ��� � ���� �� �� ���� �� #��! �� ��� ���� ������ ������� ���� #����� ��� ���� �������� ����� *++3. �4��� 8;�J���� �� ��� �� �� %N� �//�� "��� �������� ���� ��� �� �� ���� 6����� ��� ������� ��� �����! �� ��� �� ��� ������ �� ������� �� ��� ���� )� �� �� ���� ���� ���� ��������� ��� ������������� �� ��� � 3 ����� �� ��� �� ��� ������ � �� ���� �� ��� ��� �� ������� *++3.���� ?������ ���

4��� 9- ����� ��� #�������� �� ��������#� ����2 ������� ���� #������ "��� ����� �� ����� ���2���� �� ��� ���� #����� ����� ��� ������! ������� � ��2����� "�� ��2���� ��� ���#�+--- A ��� ���E��� ����#�� ���7F�

)� ��� ����� �! #�� I���� ��� �������� *3/0. ���� ��� ��������#� ����2 #����� �� � �������������� ������� ������! ���� #�������� �� ������ ��� �� ���� #����� �� ����� �� 4��� 9+� "��� ��������� ������! ��� ��������#� ����2 �� �������� �� ���� ���� ������

4��� 89� ������! �� ���7F ����� ���� �F0 �3F3 ��� �/F/ #�� ���� #����� ������� �� �����! �� � ��� �� ���� ���� �����2���� ������ �� � ������ �����! *++3.�

4��� 9-� A�������� �� ��������#� ����2 ���� �� ������� ���� #����� ��� ���7F� ���� ���� I���� �� �� *0. ��� ������� �� ��*3B9.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3+�

Page 86: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

5.5. :3� * �?

"�� ����7F �� �� ������ ���� ���� ���� ������! �������� ���� �� ��� '@? *9B. �� ��� %�D�������� *9/.� "�� ������ ��� ����� �� ����!���� �� ������� ���� ������� ��#�� ���� �� ������������� ��������� ����� ��� ��� ���! K����7F5 *98.�

4��� /3 ����� ��� #�������� �� � � �������� ��� ����� �����! ��� �����#� ������ ����!������ ������� �� ����7F �� � �������� �� ��� ��� �����! �� � ���� �� ����7F �� ������ �! ���'@? *9B.� "�� � � �������� �� ���� �� ����� � ��2���� �� �� ��� �����! �� �+-- �A �� � �����"��� �����! �� �������! ���� �� ��� � ����� ��� �����! ����� ��� ���� ���� ��� 4�A( ������������� ���� � ������ �� ������� ��������� �� ��� ������� "�� ����� �����! ��� ���� ���������! ��� ���� �� ���� ��� � � ��������� "�� �!������ ������� �� ���� �� �� ���� �-G ��� � ����������� ��� �� �� ���! ���� ���������� ��� �����!� "�� F ������� �� ���� ��� ���� �� ���7F� "������������� �� � ��2���� � � �������� �� �;BG ��� � ���� �!������ ������� ���� �� ���#����������7F ����� ���� ����� �� � ���� ������� �������� �� �,� � � ����� �� ����7F ���� ���� �� ���7F�

4���� 93 ��� 9� ����� ��� #�������� �� ��� � ���� �� ���� ��� ��� �����! �� � ���� *9B.� "�������� �� ���� �� ���� ��� #�������� �� ��� � � ��������� "��� �� �� �� �2 ����� �� ��� ������ �������������� ���� ��� ��������� "�� ��2���� � ���� �� �� �����! ������ ���� �� ����� "�� � ���� �� ��� #����� �� ��� ���� ��! ���� ��� � � �������� �� ����� ����� �� ��� �� 4��� B8� "��� #������������ ��� �����! �� ������ �� ���� ��� � ���� �� �� ���7F ��������� ����������! ���� ������������� �����! ����� #������ ������� � ��2���� ������ �� ����7F� "��� �� ������� ��� �������������� ������� ����7F ��� ���7FJ����� �� �� �!����� ������ �� ����7F �� �� ���7F ���������� F ������� �� ��� ��� (� �� ��� �����! ��� ����7F ������ �� ���� � 3��� ���� �!������� (�+-- �A ��� ������ �� ����! ���������� ���� ����������� �,� �������� (� ���� ��� �����! ��������� ����� ������� ���� � 3��� ����� �� �� ���#������� ���7F� "�� L����� �����! �� ����7F �� N���� ���� �-�3B �A ��� ����� �� ��! � ��� #�������� ���� ��� �����! *9B.�

"�� �� ������ �� ����7F ��#� ��� ���� ������� �� � �������� �� ��� �� ������� ��� �������*�08.� 4��� 90 ����� ��� #�������� �� ��� ����� �����! ��� �����#� ������ �!������ ������� ������ ������� ��������� �� � �������� �� ��� �� ������� ��� ������� ��� ����� ��� ��������� "�� � �

�������� ��� ��� �������� �� ���� ���� ��� �� �� ������� �� ���� ��� #�������� �� ��� ����������!� )� �� ���� ���� ��� ����� �����! ��� ��� ������ �� ���� ! ���#� � ������� �� ���������� ������� �� ����� 3B- �� ����� �� ��� :+ �! �����! �� ���� �� ����� "�� ����� �����! ���

4��� 9+� ���������� �� �������#� ����2 ��� ������! *3/0.�

3+0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 87: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� 93� A�������� �� � � �������� ����� �����! ��� �����#� ������ ��� �!������ ������� #�� ��� �����! �� � ���� �������7F ����� D���� �� �� *9B.�

4��� 9�� M ���� �� #�� ��� �����! �� � ���� ��� ����7F ����� D���� �� �� *9B.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3+B

Page 88: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� #���� �������������� �� � 3 �������� "�� ������� ��������� ����� ���� ! �� :+� "��� �� ������ ����� ����#���� ����� �! �������E *; 8. ��� ����� 1��� ���� :+ �� �����! ������ �� ����7F ���� �� ���� ��� ���� �� ��� ���� ���������� ��� �����! �� ��� ��� ����� �� �����

D� ��� ��� � ������ ���������� �� ������ 0B- �� ����� ��� ������� ��������� ��� ��� �� ��#���� ��� ��� F ������� ��� �� �� #���� *�08.� "��� ���������� �� ����� :3� )� ���� ��� �� ����� ��� �����!� D� ��������� ��� ����������� �� :+ �� ����� ��� � � ������� �� ����7F �� ��� ��� :3 ������� ��� F ������� ��� �� ���� -�

4��� 9B ����� ��� ������ ������ ������� �� ��� � ���� �� ��� ��������#� ����2 *�08.� )� �� �������� ��� � ���� �� ��� �������#��! �������� ������! ���� ���������� �� ������� ��� �������� "���������� ������ �� ��� �������� ���� ��� ���������� :+ ��� ��������� ���#� ��� "��� �� ��� ��������#���� �� ��� �����#�� �� ���� *//.� )� �� ���������� �� �� ���� �� ��� ������ �� �2������ � 3 ������� ���� ����� �������� ������� *3�-.� "��� ���� � 3 ����� ��� ������ ���#� :+ ������� ���������������� "�� ��������#� ����2 �� ��� ����� ���� ����� � ���� ���� ���������� �� :+ ������� �� ����� ������ ��� ������! ������ ���� ��� ������� �� �

5.#. :3���� ������� �< * �? �� * �?

"�� �� ������ �� ����7F ��� ���7F ��#� ���� ������� �� � �������� �� ������ ��������*98 3BB 3B9 3/3 �09,�B�.� "����� �������� ������ ��� �#������ �� �!������� L��� �� ��?�7F

4��� 90� A�������� �� ������! ��� �����#� ������ ������� ��������� ��� �!������ ������� �� ����7F ���� �� ���������� ������� ����� ?���� �� �� *�08.�

3+/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 89: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�!������ ��� �#�#� �� �!��������� ������ �� ��� �� ������� F3� 4��� 9/ ����� ��� �!�������#������ � ����� �� ���7F �� ������ �� ��������� ���� #������ ����� D�� ��� I��� *�B3. ��� ���7F�� ������ ���� ������� ��� ���E��� �� #������ ���� #������� "�� ���� �#������ ��� ������� ��� ���7F �� N���� �� �� �B- � ��� ���� �!����� ���7F ��� �� ��������� �� � ��������� BB- �� ��� �������7F �� ������ �� � ���� #����� �� B-- A� (� ��� �#������ ��� ������� ��������� ��� �������� ���!������ �#�#�� �� �!���������� ���� ���� *3B9.� "��� ����� ���� ��� ������ ������� �������

4��� 9; ����� ��� �!������ �#������ � ����� ��� ����7F �� ������ ���� ������� ��� ����!���*98.� "�� ����7F �� ������ ���� ������� �� ��� �� ��������� �� ���7F� "���� �� ��� ���� �#������ ���!��������� ������� ����� ��� �� ������ "�� ���� �#������ �� F3 �� ������� �� BB- ��� "�� ����7F ���� ����!��� �� ���� ������ "���� �� ���� �#������ �� �!����������� "�� ���� �#������ ��F3 �� ��� ������� �� ;-- �� *98 3B9. �4��� 9;�� "��� ������� �� ���� ���� ����� ���� ��� � ���7F� "�� �������� �� ?� �� ���7F �� ��� ��� �� �� ��#� ��� ������ �������! �� ���7F ������� ��� F�#������ ��� ������� �� �;-- �� *�B�.�

"�� ��#�� ���� �� ��� ������ ������ ������ ������ �������� �� ����7F ��� ���� �� ������� �!����� *98. �� )� *3BB.� "�� ����� � ����� ��� ���!��� ���� � ��� C ���� "�� C ������� ��� ���0���=0�C� ����� ��� ����� �� � �������� �� �������� ��� ������� �� 4��� 98� )� �� ���� ���� ����� �� ����� �� �� ��� ����� ������ ���� �� ��#����! ���������� "�� 0���=0�C� ����� ������ �� �������� �����!������ ��� ���� ��� �� ��� F �#������� "��� ���� ��� �!������ �� ����� ��� ��� ������ ��� ��� ���

4��� 9B� A�������� �� � ���� �� �"���� �2�������� ����������� 8 ��� ��������#� ����2 �� ����7F ���� �� ���������� ������� ����� ?���� �� �� *�08.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3+;

Page 90: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�,� ������ ��� ������� �� ���������� "��� ������������� ������ ��� � ���� �� �� ����� �� ���� � �"�� �!������ ������ ��� ���� ��� ������! �� ������� �� �� ������� �� ���� �! �����! �� �� *�09.�

"�� ��#�� ���� �� ������� ���� �������� �� ���7F ��� ��� ���� ������� ����� ��� )� � �������� ��� � ���� � ������ (������ �������� ������� ���� ��F ���������� ����� �� ��� ����������� ������� �� �� *3BB. ��� ����� ��� ��� F �#�#�� ��� ��� ������ ���������� ���� ���� � � �� � 3

������� "�� ���� ������ �� ������� ������ �� B-- �� ��� ���7F �� ������ ���� ���E���� "��� ���� �� ������ ���� �� �������� �� ������ �� � ������ ��� � ������ �� �� ��� � ���� �� *+9+ 3BB �B-.�

"����� �������� �� ���7F ��� ������� ��� ������ *98. �� �� ���� *��0.� F���#�� �� ���������� �� ���7F �� ��� ����� ������ �������� �������� �� ��� ����� �� ���� �����

"�� ������� �� �� ������ �� ����7F ���� �� ������� ��� ������� ��� ������ �������� ��������! ���� ���� ��� ���� ����� �� ���7F� "�� ������� �� ���7F ��� ������! ������ ��� ���!����� �#�� � ���� ��� ������� ��� ������� ����� ������ ���� ��� �2�� � ������� ��� ������ ���� ����������� :+ ��� :3� "��� �� �������! ������� ���7F ��� � ����� ����� �� ������� ���������������

5.). �1�< � ��� ��1 1��

"�� ������� ����� �� � ��#���� ���� �� ��#� ����� �� ������� ������ "���� ���� �����!� )���!������ ������ ��� ������� ������������ �� ����#� ���� �� ����� ������� ������ M� ��� ����?��+++� ������� ��� ������� ����� ��� �� ������ ��������� ������ "�� ������� ������������ �� ������� ������� ����� ��#� �� ������� ��������� ����� ����� ���� ���� ����� �� ���� ������ "��� ����� ��� �� ��� ������� �+++� �������� M� ��� ?��+--� ������� ���� ���� ��� ��� ������� ������"��� ������� ������������ �� ������ ���� �� ������� ������

"�� �������� �� ���� ��� ������ ��� ������ �� ����� ������ ?��������� ���� ���� ���!����! �� ���� �! ������� ��2���� ����� �� ��������� ����������� ����� *38/ �B0,�B;.� "��� �������

4��� 9/� F!������ �#������ � ����� ��� ���7F �� ������ �� ��������� ���� #������ ���� ������� ����� O�� �� �� *9-. ������� ���E��� ����� D�� ��� I��� *�B3.�

3+8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 91: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ����� ������� ������� ��� ������� �����! �! ������� � �������� "��� �������������� ������� ����� ���� �!��� )� ����� ��� �� �������� ���� ��� � 3����� ������� �!�� �� ����� "��� �� � ������ ����� �� ������� ��������� ��� ��� �� ����� �� ���� �! %%�? *+9B.�

! �������� ������

#.�. E� ����� �� �+����� ���

4��� 99� ����� � ��������� �� ��� �M? �� ��� �� ������ �� � �! ��� ���� ���� ��������������� ��?�� "�� ������� ������ ���� ��� �� �� � ���������� �!���� ��� ������ �2������ �� �������

4��� 9;� F!������ �#������ � ����� ��� ����7F �� ������ ���� ��� ������� ��� ��� ����!��� ����� �����! �� �� *98.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3+9

Page 92: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*�B8 �B9.� F��� ������ �� ��� ����� �� ����� ��� ������� ���� ������ ��2� �� ��� ���� ���� ����K��� ������5 ��� �������� "�� ������� ��� �2������ ������ ��� �� ������ �! �� �����! ���� ���������! ����� "�� ���� �� �� �� ����� � ������! ��������� �� ��� �������� ���� �������������� "�� �� ������ �� �� ��� ���� � K ������� 5 �� ������! �� ������� ��� ������� ��������#� E��� ������! �� - I�

D� ��� �������� ��� ������ �� ���������� �� ���� 4��� +-- ����� ��� �������� ����������M? ���� ��� ����� �,�� �� ��� ������ �,�� �� � ( ����������� ����� �� ���� �� ��� ��� � ������������ ��� � ���� �� ��� ����! �������� ����������� �� N��������� �! �2 ������ ��� ����������� ������� �� ��� � ����� ������� �� � � ��� ��� ���� ������ ��� ��#���� ������ ����� ����� > ����� �� ������� �� �����7

> �

� 0�

� 3�

�/;�

> �� ���� �� �� ���#� -�+ ��� � ������ ������!��� ���� ���! ��� ������� ��� � ������� +=; ��� ������� ����� ; �� ��� ���� ������ �� ������ ������!��� ���� ���! ��� �2������ �������

"�� ������ ���������� �� ��� � ������ �� ���� ������ ���� ��� ������� ���� ��������� )� ����������� �!���� ���������� �� � ���� �� � ������ ���� ������������ �� ��� ����� 6 � �6 $��� �����#�� *�B8. ��� %��� *�B9. ������ ���� ��� ��������� ��� ��� ���������� �� ��� ������ ���� �� ����

4��� 98� A�������� �� ����� C �� ��� 0���=0�C� ����� �� ����7F #�� �������� ��� ������� ����� �����! �� �� *98.�

33- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 93: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ����� �� ��� �������� ������� �6 �� ��� ���� ����� � �� ��� ��� ���� �������� �� ����� +

�6�

� + �/8�

� �� ��#�� �! ��� ������������ ������ � ����� ��� ����������� � � 3�6 ��� � ������ �� ����

�66

� 0

��/9�

)� � �! ��� � ������ ������ �� ��?� � ������ �� �������� ���� ��� ������� #��� ������� ��!������ �� ��� ����� �� ���� ���� �� �� 4��� +-+�

"�� ����� �� ��� �2�����! �������#� ���������� �� ��� *38/ 38;. ����� ����������! ��4��� +-+ �� ��� ����������� �� ������� �� ��� � ������������ "�� $��� ��������� � ��� �� ��������� �� ������������ �� � �� � ������� )� �������� � ������������ �� ��� �� ����� ��6����� ����������� � ��� �� ���� ����� ��� � ������� �� �� ����! ��������� ���� �� ����� �� 4��� +-+� "���������� ��� ����������� 6 �� ���� �� - �� ��� �������� ������� �6 � 6- � 6 �� ��� � ������������������� �� 6- ��� ����������� �� ������ � ������� ����� ���������� �� �6=� ���� ������� ���� ��� ���� ������ ��� ���������� �� ��� ������ � ����� ������ ��� �,�� �� � "��� ������ �#�� �� ��� � 3

���� ������� �� ���� �� 4��� +-- �� �� �� ��� 6��� � �M? �������"�� ������! �� �� ������� �� ��� �����! ���������� ������� ��� #����� ��� ���������� ����

������! ������ "�� � ���� �� �� �� �����! ���������� ������� �M?�� )� ��?�7F ��� ����������� ���-0 �� "��� �� ��� ������! �� � ��� �� ����! ��� ���� #��� 4��� 99�� "��� �� #��!

4��� 99� ?�������� �� �2������ ��� ������� ����� ������������ �� � �! ��� ���� ���� ������������� �� ��� ��?���� ��� ����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 33+

Page 94: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� +--� )�#���� ������ ����� ����� � ����� ��� ����� ��� ������� ������� ������ ���������� �� ������ *38/.�

33

3-.

!������

�/�

���

��� ���

�������������

�!

"#$�%%�&��'(�)�

Page 95: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���#������� "��� �� ��� �� �� ���7F �� ����� 4����! ��� �-0 �� �� ���!� 3-,3BG ����� ���� ���"��� �� � $��� �� ������! ��� ������! �� �� ���� ����� ���� ��� � ���� �� � (� � �����������#� ��� � ���� �� � ��� �������� ��! �! ��� �M?� "�� � ���� �����2 ������ ���� ��� �� ����� ���������� �� ��� � ���� ����� ���� ������� +-0 ���+ ���� ��� �M? ����� ���� �������� ������� ��2���� ���� ������� #���� F���#�� �� ��� ��� ������ �� ���� �����! ��� ��� �������� "��� �� ��� ��� ������! �� �� ���� ����� ���� ��� � ���� �� �� �� 4��� 99��

"�� ������ ���������� �� ������ �� ��� ��� � ����������� ������ �� ��� ��������� �� ������ �����#���� �� �� ����� ��� ������� ������!� "��� �� ���� �� ��� ���� ������ ������! �������� �! ���������� ����������� �4%"�� *�/-. �� �� ��� ��������������� ����#���� ��������� �����!�

"�� ������ ���� ��#�� ���� �� � #��! ��� � ���� ������� �� ��������� ��#����! �� 4��� B9�"��� ������� ����� ���� ��� �������� ����������� ��� �����!������� *�-/.� )� ������ �������������� �� �!������� �� �����!������� ����� ��� ������ �� ��� �� � �������� �������� ���� ��������� ������� ����� ���� ����� �� �� � ��� ���� �� ����J �� �!��������!� ����������� �������� �������� ����� �����!������� ������������ "�� ������ ��E� #�������� �� � #�����! ������������� ��������

M ���� ����������� ��� #������ �� ��� � ��� ������� ����� ���� �� ���� � ���� �#��� ������� ��� ������ ��� ���� ����� *�-/.� )� ��!���� ��� @��� ���� �� ���� ������ ��� ���������� ���#��� ���� ���� � ���������� #������ �� 8�� ��� ��� �� ���������� ���� � #������ ��� � �������������� )� ���#������� ���� ���� �������������� �� ��?�7F ��� ���� ��� �#��� ������������� ��� ���� ������ ����� ���� ��� ��! ����� � ���� ����������� ��� �2������ � �2������ ������� � �2������ ��� �2������ � �������� �������� � ������� ����������� ��� ��������� �� ��� ������ ��� ���� ������ ��� ����! ������� �� ��������� ���� �� � ���� M� ��� ����� ���� ��������� ��� ������ �����!������� ����������� �� �� ��� ���� ������� � ������� ����������� ��� �������� ������� ��� ������ ��� ���� ������ ��� �� ������� �� ��� ���� � �������

)� �� �� ������ �� ���������� ��� ������ �!��� �� �� ������ �� ���� ����7F ��� ���7F� 4��� +-3����� �� �2 ������� ������������ �� ��� ������ ��� ���� ������ ������ ������ ��� ������ �� ��� �� � )����7F ��������#��! ���� ������� ���� �4 ��� ���� ����� � )� ���� ��� ����7F ���� ������ ������������������ ���� ��� ����� ��� ��������� ��� �4 ��� ������ ��� #����� ���� *�/-.� "��� �� ��������� �! ������������ *�/+.� ?������� �������� � �������� ! ������������ ���� ���� ��� �� � �� ���#����� ���� ��� �� ���� �� ���� ��� ���������� ���� ��� *�/3.� D� ��#� ��� ���!��� ��� �� � ��

4��� +-+� ?�������� �� ������� ������ �� ���� ����� �� ��?�7F ��� ��� ��� ��� ������������ �������� �� � ������ ���������� ������� �������� �� ����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 33�

Page 96: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� #����� ���� ��� �� ���� �� ����!��� ��� ��� ���� �� �� L����� �����! �- �� ��� ���� ��� ��*�/�.� "���� ������ ��� ����� �� 4��� +-�� "�� L����� �����! �����! �N��� ��� ����� �� ��� ���������� "�� #����� ���� �� � �����! �#-

�� ��� ���� ��� L����� �����! �-� "��� ����� ���� ������������� ���� ��� �� ��� ����� ���� "��� �� ��� � ����� �� ��� ��������� �� ��?�7F *�/0. ��� �������� ���� �� ���! ������� ����������� "��� ���� ��� ����7F ��� ����������! ��� �����������

#.�. ��<� �

4��� 99� ����� � ��������� �� ��� �M? ��� ��� �� ������ �� ���� )� � ��� ���� ����������������� ��� ������� ������ ��� �� ��� �! �� ��� ������ ��� ������ ������� "�� ��� ������ ������ �� ��� ���� ����� ��� ��������! ������� ��� ��� ������� �! ��� ����� �� �������� ���� ������ ���� ������������ ������ ������ ��� ������� �! ������� �������������� ��������� �� ��� �� ������! ��� K��� 5 ������ ������! ������� �� � ��� ������ "�� ������ ����� ��� ��� ���!� �� ���� ���

4��� +-3� ?�������� �M? �� ��� ������� ��� �2 ������� ��� ������ � ���� �� ������ ������ ��� ����������� �#���

4��� +-�� ��� ������ �� L����� �����! ���� � ���� ���� ��� ��� #����� ��� �����! ���� ������������ ������� ������� #����� ��� �� �������� ���� ��� � ���� ���� ��� ���� ��� ���������� ���� �� ���7F�

330 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 97: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ �� ��� �� � ( �! ��� ������ �� � ����� ��������� ����� )� ��?�7F ���� ������ �� ������ ��������� ��� ������ !��� �� ��������� �������� �� ��� �� ����� �� � ���#������ ��� ���������� )� ���7F ��� #����� ��� ���������� ���� ���� ��� ���� ������� ��� ���! �#��� �� ��� ������ �� ��� �� ��� ��� �#��� ��� ������ ������� "��� ����� �� �� ���� �� ������� �� ��� ����� �� �����!� )� �������� ����� �� ��� �� ����������� �� ��������� �� �� ���� �� 4��� +-3�

( ������ �� � ������ ������ �� ������� �� ��! ������������� ���� ��#�� ���� �� �� �������������� ���� ��� 4���� �#� *+ �.� )� �� � ��� �#� �� ��� ������� �� ��!������ ��������������� )� ���! � � ������ ������ ��� ������� ��� ������� � � ����� �� K������� �����5� )� � ��2�� � �,� 3

������ ����� ��� ��� ���� �! �� �� ������� 4��� +-0� 4���� ����� ��� ������� � � ������� ������?�����! ��! ������ ���� �� ��� ������ �� � 3 ����� �� ��#� � ����� �� �4� "��� ������� � ������ 3 ����� )� ������� ���� �� ��?� � � � ������� ���� �� ������ �� ���� �� ���2 �� ��� ���� � 3

������������� �� �� ��� ����! ������ �F� �� ��� ������� � � ��� ������� � 3 ���� ��� �� ���� ����� 3� 4���! ��� � ����� �� ��� � 3 ������� ��� �� �� ��������� ���� ���! ��#� ������ ���� �4 *380.�

A����� ���� ��� ������ ����! �� ���� �4 ��� ��� ����! ���� ��� ��� ���������������������� ���� ��� ������ ����! �� ���#� �4 ��� ��� �� �! ��� ������������ ������ ������ ������ �4 ��� �� �� �! ���� ���� ��� ������� �� ���� ���� "��! ��� ������ ��� ����������� �������� ���� ��� ��������

C�����! ������� � �� ��������� �%?�� �� ��� �� ����� ������� �� � ������ ���� �� ���������! ��� ������ ������������� �������! ��� ����������!� )� ��� ������� ��#� ���� �� ���������� �� � � 3�--38� F���#�� %?� �� �����#�! �����������#� �� ����� 4����! ��� �� ������������ ����� ��� � �� ����� ��� ��� �� ��� �� ��� �������� ! �� ��� � ������ �� ���� ?�����! +3� �� �� �#��=�#�� ������ �� ����� �� ���� �! ������ ����������� ������� ��� �������� ����� ����� ������ � ���� "����! ��� ���� � �� ������������� �� ��� ����� ���� � ���� �2����������������� ������� ��� ������� � ��� ��������� ��� ��� ��� � ��� ������� � ����� ������E��� ����%#�� +�� ���������� ��� �� ��� ���� ����� �� ��#��� ��������� ����������� *�/B.�

"�� ��� ��� � ��� ��#���� ���� ����������� �� ��� ������� F����� �� �� *�//. ���� ��������N����! %?� �� �,�- CFE �� ���� ���� ��� %?� ��� ��������� �� � ����� ���� (������ ����������� �� ��� �� ���� �������� ���� ��� ������ ��� ��� ��� � ������� �� �� ������E��� ���C�������� ?��� �� �� *�/;. �� ���� ���� ��� ��� ��� � ��� ��� �� �2������ ������ ���� �� ������������ ��� �� �!������ ����� ���� ��#� � ������E��� ��� �� "��� ��� ��������� �! ��������� �� *//. ��� ����� � ������E��� ��� ��� � �� ���� ����� ��� �� �!������� A������ ����������������� ��� ��� ����� �� � �������� �� �� ������� ���������� *+;B �-- �-8,�+- �/8 �/9.� "��#������ ���� �� ����� ������� � ���� �� �� 4��� +-B� @����� ��� �������� *�/8 �/9. ������!����� ���� �2������ �������� ��� ��� ��� � �� ���� ����� �2�� � �� ��� #��! �!����� ������!������ �������� ���7F ���� ����� ��� �� ��� ���������� ���������� "���� ������� ��� ��� ������ ��� � ��������� ���2����� ������

"�� ������ �� ��� ������ �� ���7F ��� ��! ������! ���� ����#��� %?� ��� ������� ��� �! #��@�������� �� �� *�;-. �� 9- CFE ����� ��� �������� ! �� ��� �������� �2����� ��� �2������ ���

4��� +-0� ?�������� �� ����� ������ ������ �������������� �� ���7F �� �����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 33B

Page 98: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ "�� ��� ������ �� ��� ��� ���� ������ $��� �� ������! ���! ����� ���� ��� �������� ������ �� #���� ��� ��� ����� #��� �4��� +-/�� "��� � ������ �� � ��� ������ ������ ���� � ���������� ���� �� �2�� ������� "��� %?� �������� ���� ��� ������ �� ������ �� � 3 ������ ������ 4��� +-� ��� � ������� � � ���� �� � ��������� � ����� "��� �� �� �� ������ ����� ���� �� ������ ���������������� �� � ���� ���� �������� )� �� �2 ����� ���� ���� ���N����! %?� �� ��� ���������������� �� ������� �� ����� �! �� �� ����

"�� � �� ������! �� ���� �� #��! ����� 4��� +-; ����� ��� %?� ������ ������! �� #������ ���7F��� ����7F ���� ����� ������� ����� �-0 � ���� �� � *9B +;B 3-B �-- �-8,�+-.� "�� � �� ������! ���� ����� +-3- ���� �� ���� *//. ��� ����7F *9B. ��� ������� +-+; ��� +-3- ���� �� ���7F*+;B �-8,�+-.� "�� �� �� ������� ��� ���� ��� ������ ������! �� �� ���7F ��� ���� �� ���� ��?�7F *�/0. ����� �� �� ������! ���� +-+/ ���� �� ���� �������� )� �� ���� ���� ��� ������ ������!�� ���� ����� �� �������� �� ��� ���� �� ���������� 1�#�������� ��� ������ ������! �� ��� ���� ������� ��������� ��#��� � ���������

)� ��� ����� ���� ��� ������ �#� ���� �� ���� ��� �! - + �� 3 ��������� "�� ���������� �� �������� ����� ���� ��� ����� ������� �� ���� �� �� � ��� ������ �������� "��� �� ����� �� N��������� �!��� ���������� �����! �� "�� ���� ������� ��� ����� ��� ����� ��� �� ������� ����� �� ��?�7F ��#�

4��� +-B� A�������� �� %?� �������� �� ������� �� ���7F #�� ��� � ���� �� ���� ���� @���� *�/9. ��� ?���� �� �� *�08.�

4��� +-/� F! ������ � ����� �� ������� �� ���7F *�;-.�

33/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 99: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

� ���������� �����! �� �-�� �A� )� ���� � ���� ����� ��� �������,������ ����������� ��� ��������� �������#� ���� ���� ��� ���������� �����! *�;+ �;3.� )� ��� �#�� ��� ��� K�������#� ���������� �����!5������#� �� �� ������� �� ��?�� )� ���� ���� ��� �������� ����� �� ��� � �� �������� "��� �������������! ������ �! ��������� � ������� ����� "�� ������ ������ �� ��� ���� �� �� #��! ������� ��� ���!��#� � N���� ���� �����#� � �� �� ���� -�B �A� ������� �� �� *�;�. ��#� �#������ � �2 ��������! ������7F �� � �������� �� ���� �� �! ��� ����� %?� ��������� ���� ����� ��������� ����#�� ���� ����!���� ����� 4������ �� �� *�;0. ��� ���� %?� ��������� ���� ����� ��������� ����#�� ���� � ���������������� ��� ����� � ���� �2 ����� ��������� �� � ���� �� �� �� 4��� +-8�

"�� ���� ������ ������! �� ��� �� ��� ���� ���� ���� ��� ��� ���� L����� ��������� "�� �M? ���� �2 ������� ��� ��

;� � ;- �2 � �

�-

� ��;-�

4��� +-;� %?� ������ ������! #�� � ���� �� ��� ���7F ��� ����7F *98 �-8 �-9 �;0.�

4��� +-8� A�������� �� �������#� ���������� �����! �� ������� #�� � ���� �� � ���� ���� "��������� ��#��� ��������������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 33;

Page 100: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� �- �� ��� L����� �����! ��� � ��� �����! �� ��� ����� ���� ��� �� �� ��� ���� "�� ������ ���� ����� � ��� ;� �� ��#�� �! ��� ������ �� ������ ����� �� ������ �� �����! ����� �� � �� ������ �"��� �� ��� ������ �� � ��� ��� �M? ������ ������

;� � �;- �2 � ��

3�-

� ��;+�

4��� +-8 ����� ���� ���� �2 ������� �� � ���� � ��2�������� )� �� ��! ���� ��� ���� ���� ��� ��������!��� ����� �� ��� ���� ������ ������! �� ��! ����� � �� �������� ������ ������! ���� �������� � �� ������ �-�

#.". �3���1����� �� �

D��� � ������� �� �2����� � ����! �� ������ �������,��� ���� ����� ��� ������ ����������������#�! ���� ��� �������� �� ���� �� ��������������� �'�� �� �����������#�! �� ��#� ��������� ����� )� ��� ������� ��� ��� ��� �� ������ �! �� � ��� ������� ���� ��� ��� ������������������! ���! ��� ��#� ���� �� ������������#��!�

"�� ����� ���� �� ����� �� ���7F �2����� � ������ ��������������� ����� ���#�#�� �� ������� �������� "�� '� ����� � ������ ���� C����������� �� ���� ���� �� 6��� ���� ��� � ���� �� �����! ��� �� �2����� �! ����� �������� �� �� ���#� ��� �� � 4��� +-9 ����� ����������! ���� ���� ����� ���� � ������ ��� '� � ������ ��� ��� '� �2�������� � ������ ���� '� ���������! �� ��������� �� ��� �2�������� �����!� ��� � �! ��� ���� *�;B.�

4��� ++- ����� ��� ��� �#����� '� �����! �� ��������� ���7F ���� #����� ���� ����� � ���� �� *�-8,�+- �;B,�;;.� "�� �#����� '� �����! ��������� �� ��� �� ������ ��� ���� � �� � �� �����B-G� )� �� ����������� ���� ��� '� �����! �� �����! ���#� ��� �� ��� �� � ���� +�; �A *�;;.� )� ������� �� ���7F �� ��� �2�������� �����! �� ��� �� ���� ���� ��� ��� � �� ��� �� ��� '� � �������

"�� '� �� ��� �������� �! ������� ����� *�;B. �� ����� ���������� �����! *�;8 �;9. ��� �� ������ ���� � ������� �� +-�8 � *�;B �8- �8+.� "���� �������� �������� ���� ��� '� ������ �� N������������ "�� '� �� ���7F ���2���� ���� � ��� ������ ���� ������ ������! ��� ���� �� ��?�7F� )����� ����� ��� '� ���������! ���� ��� �������� ���� ��� ����������� ������ ������! ��� ������!����� �� � ����������� "�� '� ���������! � ���� �� #��! �2 �������! ���� � ���� �� �

4��� +-9� ?�������� ������� �� ��� � ���� ����� ���� '� �������� � ����� ��� '� �2�������� �'�%� � ����� �� ���7F�

338 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 101: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� '� ��������� �� ����� ������! ��� ���� ���� �! ��� )� ������ �� �������������� �������,��� ���� �� ���� ���� ������ �� ���� � ����� �������,��� ��� �� �D������� �2������"��� ���������� �� ��#� ���� '� ���� ���� �� �����! 6��� ���� ��� ���� �� � "��� '� �� �����

)� ������� ����� ����! ���� �� ��������� ��������� ��� ������ ���� �������#� ������ ����������,��� ���� ���� 4���� �2������� "�� �2����� ��� �� ��� �#�� ��� �� ��� ����� ���� ��������� �� ������� �! �� ��� ��� ��� ���� �� ��� 4������ ���������� "�� �2����� ������������ �� ��#� ���� '��

)� ��� ������� �� �������������� ��������� �� �� ���� ���� ���� ����� �� ��?� '� �������� ������� ���� � ������ �������,������ ��� ���� "��� �� ���������� �! ��� ���� ?���� ������������ ��� �2�������� ���� ��� ��� '� ����� "�� ?���� ����� ������ ������� ��� �N�������� ������� ��� ��� ������ ��� �2����� ������ ��� ��������� �� ���� '� ������ ���� � ���� �������� �� ������ ��� 4��� +++��

4���! �� � ������������� ���������� ���� ������ ��� ���� ���� '� ��� ����� �! �������#���������� "�� ������2����� �������� ������ ��� �� �� ����� �#�� ��� ��� ���� ��� �������� ��� �#��� "���� �������� ��� �� N���� ����! �� ������ ��� �� �� ��� �������� ���!��������� �! �������#� ��������� "��� '� �� ��� ������� �� ��� �� ��������!� ( ������������� ������ ��������� ������ �� ��?�7F �4��� +++���

"���� �� ������ ����� ��� �2��� '� ��������� �� ���7F� )� ��� ���� ��� '� ��������� ����� ��������� �! � #������ �� ���� ���� ��� ��?�7F *+B+.� "�� �����������#� ������� ��� ������ �������������� ��� �������� "�� ��������#� ���� �� ���� '� ������ �! � #������ �� ���� �� �������������� *�8+,�8�.�

D� ����� �������� ��� '� ��������� �� ��?�7F *�/0 �80. 4��� +++�� )� ���� ���� ��� ������ ���������� ��������� ��� �2����� �������� '������2�������� ������� �������� ��� ���� �� ��� �2������������� "�� �������� ���� �����! ����������� ��� �� ���� ��� ������� ��� ������� "�� ������� �������� �����! ���� ���! �! �� ��� ������ ��� ��� ������� (����� ���� ��� ������� ��! ��� ��� ��� � ���� ������! ��� �� �������#�! ���������! �� ! � -� (� �� ��� �������� ����� ����� ��� �� ������ ��� ������� ��� ��! �� �� � ����� ���� �� �����!� "��� �� ���� �����! ��� �� ���*�8B �8/.� "�� �� ��� ���� � �� ���� ��#�� �!

� � �- �2 � 3�

� ��;3�

4��� ++-� A�������� �� '� �������� �����! ���� � ���� �� *�+- �;B �;/.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 339

Page 102: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� �- �� ��� ����� � ���N����! � ����� ���N����! +-+� FE� ��� @��� ������ �� ��� ��� �������� � ��� �� ��� ��������� (� ��� ������������ �� ������ ��������� �2 �������! ���� ��� �� �%N� �;-�� ��� ������! �� �#����� ������ ��������� �� ��! ��� ��� �#����� �������� �����������������

� � ;- �2 � �

�-

� �� �+��

�;��

"��� ��� �������� ��������! ���������� "�� ������� ��� ��������� �������#�! �! ����������� �� ��� ��� �� ���� "�� ���� ��

�� � ��+- �2 � 3!

� ��;0�

"��� �� ��� ���� �N������ �� �;3� �2�� � ��� �������� �� ��� �� �������� ���� �- � +-�9 �F� ��� ������� � ������������ �� �������,��� ��������� !� "��� �� � ���� � ������������ �� '��������� ���� �;0�� "���� �� � ����� ������������ �� '� �������� �� ��?�7F ���� +-�9 �� �#�� + � ���� �� �#����� ������� �� *�8/.

��# � �-�3- �;B�

4��� +++� ?�������� �� #������ '� ����������7 ��� '� ���� ������� �� ���& ��� '� ���� �2����� ���������& ��� '� �� ������� ���� ������ �� ������������� ����������& ��� �����������#� ������������� �� � ������ ���� ���� ������ ���������������� "�� ��������� ��� ���� �� ���� ���� % ��� ���� �� �����! ���� ���� @�

3�- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 103: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� +-�� �� $��� ������� �������� ��������� ���� ���!� %������� ���� ��#� ���������� ��� ������ ���� ��#� ���� ��� �� ���� ��� ��� ��� ��� ���� ����! �� ������� "��� ��� '� �����!������! ��� ���� ���� *�/0.� "��� ������ �� ���� �2 ��������! ��� �������� ��� ����������

1�� �������� ���7F *+B+.� '� �� ���7F ������ ���� � ������ ������� ������ ������� �� ������������ �! ������ ������� ����� �� ����� ���������� �����! ��� �� ��� � ����� ������� �� �����+-�8 �� C�����! ��� �����#� ��E� �� �������� ��� �2����� ������� �� ����� ���� ��� �2����� �����!

��2 � �!��

�3

� ��;/�

����� ! �� ��� �!����� +��/ �A� L���� ��! �� � -�B � � ��B ��� �!����� ���7F ��#����2 � -�B �A� "��� �� ����� ���� ��� �������� �L������ �����! �� �-�� �A� F���#�� ��� �2�����������

� � -��� �

� 0 (�

�;;�

����� - � -�B� (P ���� ���� ��� ���������� ������ �� +�9 (P ��� ����7F ���� "��� ;� ������������� ���� ���������� �! �������� �� �� ���� �� �� �������

"��� �� ������ ���� ������������� ������ �! � ��������� ������ �� ��?� F� "�� �������,��� ��� �� �2����� ������ � ����� � ������ ������ �� �� 4��� +++�� (����� ��� ��� ����! ��� �� ����������� ���� ���� ������� ��� �� �� ��� ������� "�� ����� ���� �������� ���������� �! �����! ����� ����

"�� �� ��� ������ ��� ������� �� �� ��������#�! ��� �� ���� ��� ���� (� � ��������� ������� ��� ������� ��� �� ��� �� ��� ��� ������ �! ������ �2��������� D� ������ ����������� �����! �� ���� ��� �� �� ��� ��� �� �� 4��� ++3�� %������� ���� �� ��� ��� ��� ���� ��� ��� ���� �#�����! ��������� �������#�! �� ��#� '�� %������� ���#� �� �� �#�����!�� ���! ��� ��������� ��������� �����������#�!� �� �� ��#�� �!

�� � 8: ��- �;8�

?� �� ��������� ���� ����� "�� ���� �� ��� �N�� �� ��� �������#� ������� ��� )� ��� ���� ��� ���2 ������� ��� '� ���������! �N��� ��� �������� �� �������� ����� ���� ��

� � �2 ���

�-

� �� �2 � 8: ��-��

�-

� ��;9�

"�� '� ���������! �2 ��������! ����� ��� ����������

� � �- �2 � :

:�

� ��8-�

"��� ;

���������� ��� �� � ���������� ������ ��� ������� ��� ������� ���� ��� �� ��� ������� ������������#��!

�-� ��A� ���� : �I�

���� -�38 -�9 ;-����7F -�3B -�-+9 +/-����7F71 -�3B -�-�0 3--��?�7F -�-3B +�3 �-

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3�+

Page 104: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"��� �N��� �;9� ��

8:� � �-

��-�� �8+�

4��� ++3 ��� ��� '� ������ N�������� ��� ������� :� ��� ��� ��?�+�+�+7F ��!� *�8;,�9-.�:� �� ���� �� �������� ���� ! ���� ����� B- I ��� ��?�7F �� ;-- I ��� ���7F� 4��� ++3 ��� ��������� �- ��������� ���� -�-B �� -�0 �A� 4��� +++� ����� ��� �������� #��� �� :� ���� �8+� �������� �2 �������� #�������� ��� "��� ��� ������ N�������� ��� ������� �� ���7F ���� �� ��?�7F������ ������� �� ��� ������� ���� ��� ��� ������ ������������

"�� '� �� ��� N������� �� ��� �������,��� ��� �� ������� ������ � �� ��� �������� �� � �����������#� ������� D� ������ � �� ���� ������ !� ������ ��� ������ *�80.� %������� ������� ������ !�

�� ��� ������ �� �� �� ����� �! �� ��� ��������� �����������#�!� "���� ������� ������� !� ��� ������ ��������� �������#�! ��� ��#� '�� !� �� ������� �� ����� ��� ���� �� �������#� '� ���������N��� ��� ���� �� �����������#� �������� �� ��� ������� 4��� �;3 ;0� ���� ��#��

!� �

3��-�� �83�

"�� '� ���������! �� ���� ��#�� �! ��� ��������! ���� �2�������� ������ ������� �� � ����� �������� !� ��� ������� �� ������! ; ���� ��

� � �2 � 0

��!�

�;

� ��8��

)� ��?�7F ��� ���� �����������#� ������������� ������� ��� ��� ������� ����� ����� ��� �������� ��� ���� ������������ 4��� ++�� ��� ��� '� ���������! �� ���7F ������� ��� ������! �� ����������� ������� ��� #������ ���� �� ���� *3-B �-8,�+-. ��� ��� ���� ���� �� �2 ������� �8���

4��� ++3� A�������� �� L����� �����! �- ��� '� N�������� ��� ������� :� ��� ��?�+�+�+7F ��!� �� � �������� ����� ������� + *+B+.�

3�3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 105: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

%N� �8�� �� �� ������ ��� ����� �� ��� ������ �� ��� @��� ������ ���� � #���

� 3�B ( �80�

"�� '� �� ���7F ����2���� ���� � ���� ������ ������! ������� �� ��� ��� @��� ������� "��� ������������ ���� ��� ������ ���������

F���#�� ����� ��� ������� �! �2�� ����� �� ��� ��������� ����� �� 4��� ++��� '����� �! ������� �� ?������ �� �� *�-8. ���� ���� ��� '� ���������! ������� ���� ��� � ���� ������ �� ����������� ������ ������!� "��� �� �� ��� ���������� ���� ��� ���� ������������� ������� ���� ���������� *�88 �89.�

"�� ������ �� ���� ����� �� ���� �� ��?�7F ��� ��� ��� ������ ������ ��� �� �� ������ �������! �� ��� �� *�80.� "��� ��! ������� ��� �� ������������� �������� )� �������� �� ���7F ������� �� ���� ������������ "���� �� � ���������� ������������ �� ������� ������ ������ ��� �� �� ���7F�4��� +-3�� ?���! ���� ��� ������ ���� ��� �� ������ ��� ������������ F���#�� � ��������� ��� �������� ���� �� ��� ������������� ������� *�9+ �93.� "���� ��� ������� �� ��� ������������#��!����! ��������� ����� ?����� ���� �� ��� � �� �� ��� �� ������� ��� � �� �� ������������� ��������� ������ �� ������� ��� �2�������� ��������! �� ��� ���������� ���� ���� �2����� ��� ��������!

4��� ++�� A�������� �� '� ���������! �� ���7F ���� ��� � �� ������! *+B+. ��� ��� ���� � ���� �� �

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3��

Page 106: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� ������������� ���� � ���� "��� ���� �� �� ���� ��� ���������� �������� �� �� 4��� +-3� ?������������ ��� ��� �������� ��� �� ������������� �������� "���� ������� ��� ��� ���������! ��� ����������� ������ ���� �� ��?�7F� "��� �� ��� ����� ����� �� ��� �����#����� �� C������ �� ��*�9�. ��� ����� ������ N����� '�� "�� ������! �� ������������� ������� �� #��! �� � �����������! ���� � ���� �� ������� ��� L����� �����! ���� �4��� /3��

( ������ �� ��� �� ���� ��� ���������� ������ �� ������� ������ �� ��� �������� �� �� �� ����?�7F� )� ���� #��! ���� ��� ���� �� ��� ��� ���� �!������ �������� )� ��� ������ ���� ����� ���������� ������ �� ��� � ������ ���� ��� � � ������ �����2� "�� '� ������������ ���� ����� �2 ������� �� ������� ���� ����� ������� ��� � ���� �� �� �� 4��� ++��� "�� ������������������� ��� ��� ���� �� ��� #������ ���� ���� ��� ������ #������! �� �� ������ ��� �������� �������� D� �2 ��� ���� ��� @��� ������ ��! #��! ���� ��� � ���� �� �� � �� � �� "��� ��� '� ���������! #����� ����������! ���� � ���� �� ������� ��� ��� ������! �� �������������������� #����� �� ���� ��!�

"�� ��6�� ���������� ������� '� �� ���7F ��� ��?�7F �� ��� ����� ������� �� ���7F ����� ������� +-�9 � *�;B.� "��� �� �� ��� ���������� ���� ��� '� ������ �� ���7F �� �� �2����� ��� ���� ����2����� �� � �� � ���� �! 4������ �������� *�83.� )� ���� ���� ��� �������,��� ��� ����� � ���������� �2����� ����� �� ��� ����� �! ��� ��������� "�� �2����� ��� ������� �! �� ��� �4���������� ��� ���� ������ �� ������� %#�����! �� �� ����! �! '� �� �� ��� ��� � ������������� ��������� ����! �����������#�!�

"�� ���� ��������� �� ��#��� �� ��� �2����� ���� ��� ��� ����� ������� ��� ���� ��� ����������� ��� #��! ������ ��� '� �������� ���� *�8-.� "��� ����� �� � �! ��������� �� ��������������������� F���#�� �� ���� ��� ������� �� ����! �� #��! ������ ��� '� ���� �� ��� ������� �� �����!�� ��� ������� ��� �� ��� ��� ��� +-�9 �� ( ��������� ��! �� ����! ������������� ������� �� ������! ��� ���������� �����! �� K'� �������� !5 ������ ��� '� ����� "�� '� ������� ���������!����� �2�������� �� ���� � ������� ������ ������#�� ��� ���������� �� ��� �2��������� F���#�� ����� ������� �� ��� ��������� ���� ��� ���� �! �������� ������ ���! �� ���� ���� �������������� ���� ��������� (� ��#������ �� ����� '� �����! �� ���� �� ��#��� �� �2 ������� ����� ���������� ������ ��� '� ���� ���� �;8� �� ������������� �� ����������

'���������� �����! �� ������� �� ����� �� ��� ������ �� ���������� ��'�

�' � 0� � 0

0� � 0

�8B�

����� 0� ��� 0 ��� ��� '� ��������! ���� ��� �� �������� �� ���� �� ��� �2���������"�� �' �� ����� �� 4��� ++0� ��� ���7F ���� �� ��������� � ���� �� � �� � �������� �� ���

���������� ������� ��� '� �����! �'� ��� ��� �2�������� �����! ��2 *�;9.� D� ��� ���� ��� ������ �� ���������� ��������� ����������! �� �'� ��#�� ���� ��2� @��������?����� �� �� *�8+. �������� ���������� �����! �� �� � �������� �� ���! ���� ������� �4��� ++0�� ��� ����� ���� �' ��� � ����� �� ���#� -�+� "��� ��� ��#�� �� �#������ �� �� �2����� *�8+ �83.� "���� ��� ��������� ������ �� ��� ���� �� 4��� ++0� F���#�� �� ������ ��� ��������! ��� ��� ���� ���� ����� �� � ����� �� � ���������� �������� )' �� -� D� ��� ���� �� �#������ �� ������������� �� ��� ������ �����)� �� ��! ���� ��� �2����� ���� ��������� ��� ���� �!����� ���7F ��������! ��� ���7F�� ������ ���� ������� ��������� ��� ��� ���� �2�������� ��������� )� �� ����� ���� '� �� ���� �!����� ���7F ����� ����� '� ��� �� ����! ���� �2����� �� ������ �������� *�8� �90.� "��� ���#������ �� ������� ������������

D� ����#� ��� ���� ��� ���� �� ��� ������! ������� ������� �� �2����� ���� �� ��� �����#���� ��� � ���� ����� ���� � ����� �� ���7F ���� �� ������� ����� ��� ������� ��� �������� ���

3�0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 107: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��������� �������,��� ����������� M� ��� ����� ���� ��� �������,��� ���������� �� ���� �� ���������� �� ��?�7F ��� �� ���7F ���� ���� ��� ��2���� �� ������� �� �������� �������,��� ���� ����� ��� ��������� �������#�!� D� ��� ��� �������� ������� �- �� ������ � ��2���� �� ��������� ��� �������� ������� ������� � �! � �� M������ ���� *�/0.

!� � -

!

��-

� ��8/�

4��� ++0� '��������������� �����! �� ���7F7 ��� ������ �� ���������� #�� '� �����!,�2�������� �����! *�;9. ������ ������ �� ���������� #�� ���! ���� *�8+.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3�B

Page 108: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"��� ���� ��� �� ��� ������� #�� %N� �;3� �� �� � � +-�9 � ����� �� ��� �2 ��������!�����#�� #���� "��� ��� �������,��� ������� �������� ��� ������� �� ���7F ���� �� ��?�7F�"������������ ������� �� ����� ��� ���� +-�9 � ������ �� ���� �� ��� � ������ ������� ���� ��������� ���� ��� ���������� ���� �-� "��� ����� ���� ��� ���� ��� ���� ���� ���� �2������� ������� ��� �2 ��� '� �� ���7F�

F���E �� �� *�8�. ��� ��������� ���� ������ �� ��� ���� ����� �� �����������#� ������� ���������� ��� ����� � �� �� ���� ������ �83�� "��� �� ��� �������� ( �����������#� ������ ����� ���� ��������! �� ������ �! � ������ �� ������������� ���������� �� �� 4��� +++�� "�� ��������� ��� �����������#� ���������� �� ���� ���� % ��� ���� ���� @ �� ��� ������� ��#�� ���� ��� �2����� ����� ����� ������ ����� ������� ������ �#�� � ������� *�B8 �B9.� "��� �� ��! ��� � ������ ����� �� �� �����! ������ ��� ��� �� ��� �� � )� �� ��� ��! ��� � ���� ������ 1�#�������� ���� �� � ���������!�������� �� ��� �2����� �����

#.2. �3�� ���1 ����

(��� ���� ������� ��#� � �� ������������#��! *�9+ �93.� "�� ������ �� ����! �� �� �������������� �� ��#�� �� ����� ��� ��� ������������� ��������� "�� ������������#��! �� ���� ��� ����7F ����� ��� ������� �4��� ++B�� (��#� �3-- I ��� ������������#��! �� ������! ����#���� ������ ����#����� �����! �� ����� -�3 �A ���� ���� 3-- I �� ������� ���! �� ������ ������ ������ �� ��� ��������

��������#��! �� ��#�� �! ��� ������ �� ��� ������� ������������� � ������� ������ � ���������! � ��� � �� ��#�� �! ���������� ���� @ ����� ��� ������� ������� � �� ��� ������������#��! ��

� � @��� �8;�

(� ������ ��� �������� ��� ������������#��! �� ������ �! ������������� �� ������������� ������� �� ��� �� ������ ����� #��! ��#����! ���� ����� ������! ;� *�/0.

��;� � �

0�8:+�3�

�88�

4��� ++B� '���� ��� ��� ��������#��! �� ���� ��� ����7F �� ������ ���� ����!��� ��� ������� ����� )�� �� �� *�9+.�

3�/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 109: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� +�� � 0���;� ��� �������#� ����� ��� � � ������� ��������� ����������� � � ���8: � ��� ���� ������ ��� ��� �� ���� ������������� � � �3� "��� ���� �� ��?�7F ����� ��� ����������������� ������ �� ��� ������� ���� *�/0.� F���#�� ��� ������������#��! �� ���� ��� ����7F���� ��� #��! ��#����! ���� ������ ������! �� ��N����� �! %N� �88�� "��� ����� ���� ����� ������� ������ ��#�#��� )� �� ������� ��� ���� ���� ��� �� ���� ���� ����� �� �� ����������� ������� ������ ������ ������ �� ��� �� �

)������ �� ���� ������ ����������� �#�� �� �� ����� ��� ��� ������ ���� ��� �������������������� *�93.� "�� ������� ���������� �#� �� ��� ����� ��� ��������! �� �� ������� �� ��� � �� ���������� ������ �� �� �N��� ��� ��������! �� ����������� ���� � ���

�- �2 ��� � ��

8:

� � �� �-���� �89�

����� � ��� �- ��� ��� �������� ��� ��� ��� ������������� ��� ����#�! ��� �� ��� �������5������� #�����! ��� � �� �� ���� �������������� ( ������ �N������ ������� ��� ��� �#� � � (������ ������� �� ��� � ��� ������������� ������� ����� ���#� �� �� ���� � ��� ��� �� 4��� ++/��� ���� ��� �������� �������� �� ����������� �#�� �� ��������� �! �� �� ���� ��� ����7F *�93.�"�� ������� ��� ��� ���������� �#�� �� �������� ���� ��� ���� ���� �� ����7F �� ���� ���� ��������� �� �� �� ������ ������� �� ��� �� ������������� �������� "��� �2 ���� ��! ��� ������������#��! ��� ������ ��� '� ���������! �� ��� ���� ���� ��� ����������� ������ ������! ���2 ����� �� ��� ��� � ���!���� )� �� ��� ��� ����� �2 ������� �� ��! C������ �� �� *�9�. ��������� ������ ������ ���� �����! ����� ��� �� ������������� ������� ��� '�� )� �������� �� ���� ��������������� �������� ��� ���#� ����� � "��� �� ������� ���� �� ���� ��� � ���� �� ����� ������!��� �� ������! ��! ��

"�� ������������#��! #����� ���� ���������� ���� �� � � 8@�� (� ���� ��� �������� ��� ����� � -�B� )� ��� �� ��� ������� ������ � � ������� +� ( ����������� �� � ��� ������������ ������ ������������#��! �4��� ++B� ��� � ���� + �� ��� ��������� �� �����! ��� �� ��� *�80.�)� ���� ������ �������� ��� ��! ����� �� ���� ������ �� ��� ��� �� ��������� �������#�! �!�������� �� � ���� 1� �������� ��� ��� �� ��������

'������2�������� ������� � ������� ������� ������! � � +��� ��� �� ��� ������ ����������������� ��� �������������� �������� � ��������� ������������� �� ������� �� E � �� �� �� ��������� E ���!� *�8B.

E � ���@�-�E3 ��-�- �9-�

4��� ++/� �������� ����������� �������� �� ��� �� �� ��� ����& ��� ����7F ���������& ��� ��� ����7F�1��

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3�;

Page 110: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ���

� � + � E�+ �9+�

"�� ������������#��! �� ��� �����! ��� �� ��� ������ �� *�8B �8/.

��@

� 3�E

+3�-

� ���-�- �93�

����� �- �� ��� �����! ����� �� ��� ��6����! ������� �2 ������� ���� ���� "��� ������ ���� �� ��������� ��� ���������� ������ ������! ���� ��� ��������� ������������#��! ��� L����������! �- ��� ������� �- ��� ����� ���N����! �- ��� E �� �� A���� ���������� �� "��� ;��� ��� �� ���� ����� ���� �� ���!���� � ��� '�� ���������� #���� �� E ��� ��� ����� ����%N�� �9-� ��� �93� ������� ���� �����! ��� �� ��� ��#�� � ���������� ������ ���� �� ����� ������� ������������#��! �� ����7F�

4��� ++; ��� ���� ��� ��������� ������������#��! �=�@ �� ���� ��� ����7F������ ���� ���� ������� ���� ���� �������������� �� ��?�7F *�9B.� )� ����� ���� ����7F������ ��� ��� ����� ������������#��! �� ����� ��������� "�� ��� ��E� �� �� ��� ���� ������ ��� ���� �� ������������#��! ��� ��� �����#�! ���� L����� �����!� ( �����N����� �� ���� �� �������������#��! �� ���� ��� ���������� ��� ������� �� ��� ������������� ������ �� ��� ������� �� ������������������� �� ��� �� ���� �� 4��� ++;� "��� ���������� �� ���� ��� (���,$����� ��� ���������� �� ��#�� �! *�9/.

8:� � ��-

E�9��

"��� ��� ���� �������� �� ����7F ������ �����! ��� �� ��� ��� ����������� �� �������#��� �� �����#�! ���� ��� �������� ��� ���� �� ��?�7F *�93.�

4��� ++;� ��� ������ �� ��������� ������������#��! �� ����7F ��� ��?�7F ����� )�� �� �� *�93.�

3�8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 111: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

#.4. ������

(�! ������������� �� ��! ���! ����� ���� �� ��� �� �� �� ���� �� ��� ��! �� "��� �� � �������� ����� �� � ������� ��������������� )� �� ����� ����� ���� ���! ��� ��! �� �� �� ����� �����! ������ ������� ��� �� ��� �#�� ��� ��� ��� �� ��� �� �� ��� �������! �� ������� ���������� ��������� ������� ��� �2�� � �� ����! �� �� ��! � �! ������ @�� ����� ��� ���� � ��������� ��� ����� ���! � �� ����� �� ���� ���� ������! ��� ���������� �� ������� ���������������! ��� ��#��� � ����� �#�� 1������� ��� � ������ ��E� �� ������ �� �������� �� ������F���#�� ������������� �������� ���� ��������� � ���������� ����� ����� ��� �#� ��� �� +�; �A���� ��� ���������� ���� ����� ?������������ ��� ����� �� �������� �� ����� ����� ��� ���������! ���� ����� *�9;. �� ��#� � �����! ��� �#� �� ����� -�BB �A ���� ���

"�� �����! �� �������������! �� � ��?�7F ���� ' ��� @ ��� ���� �� ��� ���� �� ������ ��������� ������������� �� ��� ����! *�/0 �98.� ?������! �� ��� �� ����� �� ��� ��2�����! �� � ������������ ���� ����� �� ��! ��E� �� �� ����� ������� "�� ���� ����� �� ���� ������������������ �� ���� ������ ��2�����! ���� ����� �� ��� �2��� ����� �������! ��������#����� *�99. ��� ��� ���� � ���#���� ������ ��� ���� ����� ��� ��� ���� �����! *� 0--.� "��� ��� ���� �� �������� ��������� )� ����� ��� ���� ����� �� �� �N�������� ����� ���� ���� �������� ���� ��� ����� �� �� �� �� ��� ����� *� 0--.�

( ������ N������� �� ���� ���� �������������� �� �� ��� ������! �� �� ������ �� �� ������*�/0.� �� ��� ���� ��#� �4 ������� ��� �� ������ �! ����� ���� � � %#� ������ �� � ������� ��?��������� � ���� ������! �� �� ������ ���� ������� ������ F!���������� ��?� �� ��������! �� ����#��� ��� ������� ����� ��� ����#� ��� �� ������ �� ��� � #���� �� ��� �������"�� ����N������� �� �� ��� �� ��� ����� �� ������ 1������� �� �� ��#���� ��������� �� � ����� �� ����� )� �������� ���� ���� ��� � �������� �� ���� ������� �� ���� �#�� �� 1 ����� � ��� �� ������� ����� ����� �� ���� *0-+. �4��� ++8��

4���� �������� �������� �� ���� �2 ��������!� "�� ���� �� ���� �! 4�A(� "�� �������� ��� ������������ �� � ��� ���� ��� ������� �� ���� ������ ����� �� ������� ������� �! ��� ������ ����*�+3 0-3 0-�. �� �� ��� �� ���������� �! � �� ����� ��� ��� *0-0.� L��� �� ���� �� �����! ��! ����� �4 !��� 6��� ���� ��� �� *�+3 �/3 0-0.� "��� �� ���������� ���� ��� #����� ���� ��� �������� ���� �� ��� *�/3.� "���� ��� ����� ������� �� 1 ����#���� *+9/ �+3. �� ���� �� 4��� ++9� (� ��

4��� ++8� ?�������� �� ��� �#�� �� ������������� �������� �� ������� ��� �����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3�9

Page 112: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

1 ������� � �� -�+G ��� ������� ��� ��� � ���� �� ������� � � ��������� "�� ��������#��! ����� ���� � ���� � ����� ������ ������� �� �4 ����� ������� ��� �� � (� ������������ 1 �������� � ������� +-G ��� � � ������� ��� ������� ���� ��� ��� � ���� �� ���� "�� ��������#��! ��������� ������ ��� �����! ����! ��� �� ��� �� �� ���� �� ��� ��� �� � 4���� �#� ������ (��#� +-G 1 ��� � � ������� ��� �� �� #���� ��� ��� ������ ������� � 3 ������� ��������#��! ��������� ������� "��� ��� �� ��� ������ �� 1 �� ��� ��� ����� "���� ��� ��� ���� �������� (� ������������ 1�������� 1 ���������� ��� �2������ � 3 ����� �� ������ ��� �� �� ������� ��� ���� �� � (� ���� 1�������� �#�� +-G 1 ������� ��� ��������� �� ��� � 3 ������ "��� �� � ������ �� ���! �� 1 �������� �!������ ( ����� ������ �� ���� �������� ����� ����! ������ ��� ���� �������� ������

"�� ��� �� ��� ���������! �� �������� �� ���! ������� 1 ��� ��� � �� ���! ��������������������� �� � ������ ������ *0-+ 0-B. �4��� +3-�� ( ��� ���� ��� � � ������������� ����������� �� �� ���� ����� ��� ��� � 3 ������������� ���� ��� ���� ��� ���! ������ ��� ����� ���� �� !������ !���� ��� ������� )� �� ������� �� ���������� ������ �� ���� � 3 ������� *0-/.� 1��� ������� �2��� ������� �� 1 ���� �� � ����������� ��� ��� �� ��� !������ ���� ���� �� ���� ��� ��2 ��������� ������ ��� �������� �������! �� ��� !���� ���� �

( ������� ������ ��� ��� ��� �� ��� �� ���� �� ��� ���� ������! �� �� ������� "�� �� �����������! �� ���� �� ����� +-3- ���� ���� ���� �� ��! +-+/ ���� �� ��?�7F�� "��� ��N����� � +-G�� ��� ���������! ��� +G 1 �������� �� ��#� �����#��� �� ���� "��� �����! ���� ��� ������ "�����������! �� �� ��� �� ���������� ���� ��� ��������! �� �������� �4 �� �� 4%" *�/-.�

1������� ��� �!� � ������ �� ����� ����#���� �� ����� ������ "���� ��#� ���� ��������������� �� �������� �������� �� ���7F �� ���� �! '%�A� *0-;,0++.� "���� ����� ���� �� �������� ����������#��!� L���! ���� �� ������� �������� ��� ��������� ��� ���� �� *0-9. ������ ���� ��������� � ����� �� 4���� �#�� M�! � ��� ����� ���� � ������� �� ��������#��! �� �� � �������� ���� ��� ������� ���� � ���� ����� �� �4 ������ ��� �� *�93 0+-.�

)� �� ����������� ���� ��� �������� �� �������� �� ���7F ������� ��� � �� ������! ��� ��� ������*0+-.� "�� ������ ��� ��� ������� ������ ������! �� ��� ����! ���� �� ���� �� ��� �� � 4���� �#�

4��� ++9� A�������� �� � � �������� � ���� �� ��� ��������#��! �� ����71 ���� �������� ������� ����� I�������� �� ��*�+3.�

30- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 113: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������ @���� �� ����� �� �� � ��� ��! � �� ��� �� ���� ����� �� ���� *0+3. ��� ����� ��� �������� ��� ������� ���� ���������

"���� ��#� ���� �2�����#� ������� �� �������� ����� ������� �� � ����� �� ���� "��� ��������� ��� ��! �� �� ��� ��� ��� �� � ����� �������� �� ��� �!������� �� ������ ������� �#�� ����� ����� �� ���� ���� ��10 ���� ��#� � �� ������ ��� ����� �� ������� *0+� 0+0.� ��10 ��� ������� �������#�! �����#�� ������� ���1+ �� ����! ���� *0+B 0+/.� "��� ���� ���! �� ��� �����! �� �����! ���������� ���� *0+B,0�3.� )� ��10 ������ �� � � ������ ��� 1 �� � 3 ������*0+�.� "���� ��� ��� ��N��������� �� ��� ��10 �� ����� ����� ������ �������� �� ����� ��� 0=�������������! ��� �� �� ��� ������ � � ������� (�������� � 0=� ������������! � ���� �� ���� ������� ��10 �� ��� ����� ���� ��� ���� �� 13 ������� �� ��� �������! �� ��� 1�1 �����(����� 1 ����� �� ��������� �� 13 �#�� ������ ��� ����� (����� �������� ��� �������� ���� ��� ���� ���� ������� �� ������ *03/.� "��� ������ ��� ������ �� ������ �� �1 ���� ��

M� ��� ������ ������� ��� ������ �� �������� �� �� ��������� � � 3 ������� *0-/.� "����������! ���� �� �#������ �� ���� ��10� "�� �!������� ������ ��� �� ��#���� ���� �A� '%�A� ��� ���� ��� '�� �������� �A� ������� ���� ��� ���� �� �� ������� ������ ����� �������!������ �� ������ � � ������� "��� ���� ��� ���� �� �� ���������� '%�A� ���� � ����� ����#���� ���������� �� �� ������ 1����� ���� ��10 �� � ����� ���� ��� ���� �� ��� ���� �� 13 ������������ �� ��#����� �! ��� ��� ��������� )� �� �������� �� ��#� �� ����� ��� ����� ��� ��� � ���1 ���� �� ��#� ���� ������ ������� ���� ��� �������� *+�+. ����� ���� ����� ��� ���� ��� ���������� � � ������ �� ������ 1 �������� ���� �� ��#���� �����

1�� �! �� �� ��� ������� ��� ����� �� � ������� ���1+� (� ������ ��� �������� ���� ��#������ �� � ���! ������� ��������� ���� ���������� ��������� *03B.� ( ���� ������� ��� ���� ���1+ ��� ���� ���������� *03/.� 1������� ��� ��� ���� ������� ���� ������ �� ���� �������� �� ���#����� !���� ���� ��� ��#�� ��� ��2 � �������� ������ ��� �������� �������!� "���� �������� ��������� ��� ��� �� � ��� ����� �!�� �4��� +3+�� (������ ������ �� �������� �� �� ��#��� �������!�� �������� ?����������� � �������� ��� � ����� � � ���� ��� ��#�� �� �� ����� ��������� ��� ��������� � ����� �� �#����� �� ��� � � ���� �� � ������ ���� �� �� ��6������!�� �4��� +3+�� "�� ���� ������� ������ �� ��� ������������ �� �B91 ����� �� ��� �� ��#��*0��.�

4��� +3-� A������ �������� �������������� �� ���� ������� ��� �� ��� ��������������� M�� ��� ����� �� �� ����� ��������"�� ���� ����� � ��� ��� ��������������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 30+

Page 114: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ����! �� ����� #������ ����� ��� ���� ���! ������ �! ��� �� �������! ��� #������ ������ �������� ���! *039,0�3.� "�� ������ ���� �� ����! ������������� �� �� ��#�� ���� �� #��������� ������� 3+-- ���+� F���#�� ���� �� ��� ���� �� ���5� ���! ����Q "�� ���� �#� ������ ��� �� ��������! <'? *0+8 039. ��� ���� �� ��� ��#����� �! ��� �� �������! �� ��� �,1 ����� "�� ����������� ������ �#�� �� <'? ��#� ���� ������� *039.� %%�? ��� �N��#����! <(1%?� ��#�� ���� ����������������� �� �!����������� �� ��� � ��� 1 ����� *+9/ 0�-.� ( ����������� �� %%�? ��� <���!�������� � �������� ! �� ��� � ��� 1 �� ����� � ���� �� �� � ������ ����� �� ����������� ������������ ����� *0�-.�

" ���������� ������������

).�. =���� �<<� ��������

"�� ���� �� ������ �������� � ������� �� ��?�7F �� �� ���� ��� ����������� �"4"�� �� ����#������2 �N��� ��!��� ��� �!� ��� �� ���� ���� ������� �!����� *�/0.� "�� "4"� ��� ��� �����#���� �� ����� ��� ������������ ������� �� �������� �! � ���� ��������� "�� ���� ���� ������ �4 ����� ������������� �!�� ���������! ����� ��� ����� )� ��?�7F "44� ��� ��?�7F �� ���� �� ��� ���"4" �� � ������ �� ����������� ����� D��� �� ���� ���� ����! ����� �� � ��� ���� ��������� �����4 ���� ��� �� ��� � #��! �� ������������ ( !��� � ���� ���� ��#�� �4 ������� ��� �������������� �������� �������� �� ��� ������ ����� ��������� ��� ��������#��! ������� ������ ��� ������A������ ��#��� ���������� ��� �� ���� �4��� +33�� "�� ��#����� ��������� ������������� �� ���� � ���� )� ���� ��� ���� �� �� ������ ����� ���� ��� ���� �������� ��?��107F ���� ��?�7F ��� ���� ��������� ��� ����� ���������� ( ���� �!�� �� �� �� ��?�7F �� ���� ���� ��� ������ ��� ����� ���������� ��� ���� M���� ������ ���� ?�����! ���������

)� ��� ������� �� ��� ������ "4)5� ���� ���� "�� ���� ��� ������ ������� �� ��� �������������!� ( ��6�� ����� �� ���� �� ��� � 3 ���� ������� �!�� ������ �� ��� ����� ������� ��� �� ������ �������� ��������� *+9B.� "��� �!�� ���� �� ��� ��������#� �� � ����� �� ���������������� "���� ��� ��� ��!� ������ ����7 ��� � �� ���� ��������� ��� ���� ��� ��� � 3 �!�� �������� ������� ��� ���� �������� �� ��� � ������ ���� �������� ��� �� � ���� ��� �� ������� �� ��� �������� ��� ����� ��� ������ �� ��� ���� ��������� @��� ��#� ���� �����

4��� +3+� ������� ������� ��� �������� �������� ������� �� ��� ����� �!��� �! ����������� ��#���������� ����� ������ ��� �� �������!�� ��������

303 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 115: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

( �� ���� �� ���� ��������� ��� ���� �! ����� �� �� *0�0. �4��� +33��� "�� ������� �!�� ������ ��� ������ ��� �! �� �2!��� ���� ������ 13M�� ?"? �����N����! ������ ���� ��� ���������� �� ����� ��� ���� ��� ���#��� ��� �� � 3 *�/3.� ?����� ������� ���� �������� �� ������ ������ ���������! ���������� �� ��� ���� �������� 4���! � ���� �������� ��� �#� ������ ���� � "�� ������ ����� �� +- �� ��� ������ ����� �� -�B ��� "�� ���� �������� �������������� ������� �� 4��� +3��� )� ����� ���� ��� ��#��� �� ��! �� "��� �� ���������� ���� �4 !��� ���� ��� �� �� ���� �� ����� "�� ���� ������ ������! �� �������� �� �� +-�/ ��3 A�+ ��+� 4�� ��������� ���������! �� ��?�7F �� -�B,+ �� ����� ������ "��� �� ��� ���� ������������ ���� �� �� ������ �� ��� �"4" ����� ���� ��� ��� ������! �� #��! ��� )� �������� ��� ������������ ��������������� �� 4��� +3������ K����������������5 ��� �� ��� ����� ��� ��������� ������ ����� ��� ����� ������� ����������� ������ �� ����� #������

"�� ������ ���� ��#����� ��������� "4" ��� ���� �! $���� �� �� �4��� +33�� *�/-.� ( �� ��?� ����� ��� ���� �� � ���� ���!� "����� ������ ���2��� ��� ����� �� ��� "�� ���� ��� �� ���������� ���� ����� ��� ?����� 4�A( �� ������� �������� "�� ������� �� �2��� ���� #����� �����������! ��� ������ ��� ������� �������� �� ��� �2���� $���������� ��� ������ ��� ����� �� ����������� ���� � ���� ( ���� �������� �������������� �� 4��� +30� ����� ����� ��! � ������������ �������� "�� ����� ��������������� �� 4��� +30� ���� ��� ��� ������� �������� ���� ��� �� ������#���� $���� ����� ���� ��� ������! ��� �� ��������� �! ����� ���� �� �������� ���� �� �������! ���� �� �� ��� �2 ���� �� � ������ ������������

)� ������! ��� "4"� ��#� ��� ���� ���������� ������� ���� �������� � ���� ������! �� �� ������ �� �� �� �������� �� ��#� �4 ������� ��� �� � ?�����! ��� ������! �� #��! �� ������� �� ����������� ���������� �� ������ �� ���� ���� �������� )� ��?�7F �4 �� ��#�� ���� �� �� �� ����

4��� +33� ������� �� ��� ��� �� ���� �� ���� ��� ��� ��#����� ��������� ������ ���� "44 �����������

4��� +3�� C��� ��� ����� �������� ��������������� ��� �� ���� �� ���� "4" *0�0.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 30�

Page 116: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���������� ������ �! ��� �������� �� �������� �� �2������ ������� "��� ����� �� ��#�� �������� �� ���� ��� ���� �� �� �� ���7F�

).�. 7��<1���

4���� ��� ������ ��� ���� �� � �� ������� ���� ���! ��� � ���� �������� )� �������� ���������� ������ ���� � ���� �� �� ���������� ���� ���! ��� � ���� �������� ( ������ �� �2��� ��������� �!����� ��� �� ���� �� ���������� (��� ���� ������� ��� ����� ��������� *0�B 0�/.�C�����! ��������� ��� �! � ������ ������! ��������� �� ��� ��������#��! �� ����������������������� �� ��� ������� ������ "�� ������� �� ������������ �� � ������ ������ �� ��2����� ������ ������� �������� *0�; 0�8.� "�� ������ �� ������ ��! ��#�#�� � ������ �� ���� � 3 �������*0�/.� $�I��E�� �� �� *0�/. ����� ���� �������� �� ��� �� ���� ���� ��� �������� ���������� �������

).". E�� ����� �� ���� <���� <�� �E�0

)� ������ ��� �������! ������2����������������� ��$M?� ��#��� ��������! ��� ��#������������� ��� ��������! �������� �� � ������ ���� �� $����5� ���� (� ������ ��� ������������ ������� ���� ���� �� ������ ���2���� F���#�� �� ���������� ���� ��� �� �������� �� ��������� �� �������� ��� ������������ )� �� ��������! �� �� ��� ?�M3 ���� �� �������� ���� � ������������� �������� ��� �� ������ ���� �� ��������� "�� ��� ���N����!� � �� ?�M3 �� ��9� A������������������ ���� ��� ��������� ���������� *0�9,000.� "���� �������� ���� ������! ����� �������� ���� �� �� �� "��! ���� �� ������! ����� �� 0-- �� ��#� ���N���� �������! �� ��������������� �� ����� ����� �� ����� ���� �������� ��� �� ��������� ����� ���� ���� ������ "���������! ����� ���� ���������� ?�M3 ��� ����� �� � ���� ���� �� ��� �� A������ ������������ ����������#� ���� ����� ���� �� ���7F ���������� ���� ���� ������ ����74� ������ �������� ��� ����!������������ ���2���� �� �������� �� � ���� ����� �� ����������� ����#���#��� "�� ��� �� �� ������������ �� ����� � #���� �� +�B,3�+�

4��� +30� C��� ��� ����� �������� ��������������� ��� ��#����� ��������� ������ ���� "4" *�/-.�

300 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 117: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"���� ��� ��� ��� ������ �� � ��� ��������� ��� ��� ������ ���� "�� ������ ��� �� ����������! �#������ ����� ������ "�� ��������� ��� �� ��������� �! ����� �� ���� ��������� ��� ������ ��� �������� ������ 4��� 9+ ���� ���� ���7F ��� ����� � #���� ���� �� 3�/ �! �� ������� �� ������ #������ ��� ������ ��������� "�� ���� ����� ���� ����� �!����� ���7F �� ���� ���! ��#��� ������ �������! ��� �#�#� �!������ ��� �!���������� �� ���� 0-- ��� "�� � �� ���7F����� ��� ���� ����� �� ��� ��� �� ������ �������! ��� ��! ���� ���� � ���#� ��� �������������! ����� *00+.�

'%�A� ���74 ��� ���� ������ �� � ������ ��! *00-,00�.� (��74 ��� � ���� � ���� ���7F������� �� ��� �������� �,4 ������ F���#�� ���74 �� ��� ������ �! ��� ������ �������!� )� ��� �������� �����#������ ���� ��! �#�#��� = �� #��! ��������#� �� ����� ���� �� ��� ��#���� )� �� ���������� ���� �� ��#�� ���� ��������� ������� �!��� ��� ��� ����� �����

'%�A� ������ �������� ��#� � #���� ���� ��9� )� ���� ���� ��� ��� �� ��� �� ��2����� ���������! �� �� ��� ���� �� ��!��� �� �!�������� ��10 *000.�

(� ������ ��� ���� ��! ���������� ��� ��������������� �� ���� �! ������������ ���!������ ����N���2�� �F?V�� (���� ������ ����� ��� ����� �� 0-- �� *0�9.�

).2. =���� ��������

4��� �������� �� ��� �������� �� �������� ���� � ���� ����� �� ������� ������� ���� ����! ��������� ��� �������J� K��� �������5� %������� ������ �! �������� �� �������� ������� ���������� ������� �������� "�� �! ��� ��� ���� ��N����� ��� �������� ���� ����� �� +--- A ���+�"�� ��� ��� ��! �� �����#� ���� ����� �� �� ��� ���� ��� �� ���� �� ? ���� �� � *00B.� A�������! �� �� ������ ���� �� ������ ��������� ������� ��� ��� ���� ���� �������� �� ���� ����� ��� ����� �� ����� +- A ���+� "��� ���� � �� � � ���������� ��� ��������� ��#�����

"�� ���� ����! ���������� ��#��� �� ��� ���� �������� ��� �! �4%��� "��� �� � ��� ������ �! �� ����� ��� ����� �� ������ ���� � ���� ����! �� �2�� ���� ��������� �! � ���������������� *00/. �4��� +3B�� "�� ��� �� ���� ��� �������� ������ ���� ? ���� �� � ��� ����� ���������������� ������� 4%�� ��N���� �������� ������� ��������� �� + �( ���3 ��� �������� ������������� �� ��� ����� �� +-/ ���3� M���� ������ � �������� ��� �� #����� $%$� ���� ���������#� �� ������ �� �� �������� ��� ���� ������ ������� �!�

"�� ��#������� �� � ������ ������� ��� ��� ������� ��� �!���� �������! ��� ���� �� ��� ?���� $� ���� �� ? ���� �� � *00/.� "�� ������ �� ���� ��������� �� �������� �! ������� ���� ���� ��� ����� ��� �� ������� �! ��� ��� ����� ������ ��� � �� � ����� !��� ���� ��������� �!������� ���� �� ��� ��#���� )� �������� ��� ��#���� ���� �� #��! �� ���� �� ��� ��� �� �� �������� ���� ��� ��������

4��� +3B� 4��� �������� ��� �! ���� ��� ? ���� �� � ��� ��� ������ ��� ���������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 30B

Page 118: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ���� �� ��� ��! �� ���� �������� ������� �� �� ���� ��� ���! ������ �� �� �� ������� ����� ������ ���������� ( ����� ���� �� ��� ����� "�� ��#������ �� ��� �#�� ������� �� �1"� ����� �� ��� ������� �� �������� "��� �� �� ��� �������#� ����! �� ���� �������� �� ���� )� �� ���������� ���� ���� �������� ���� ��� ��� ������� ������� 1�������� ��� ��� #����� �� ��� ���������� �!���� ��� ���� �������� *00;.� )� �� ����������� �� ��� ��� ���� �� �����

"�� ���� �������� ������� ������! - ������� � ������� ������� ���!� ��� 4����,1��������N������ *00B.

- � �=3

��2 � ����3

�=

� ��90�

����� � ��A� �� ��� ������� ������ = ��� � ��� ���� � � ������������ ��������� ��������������� ������ �= ��� ��� ���� �� ��� �������� ���� ��� ��� � ��� ���������� %��! ����������N����� � ���� ��� ���� �� � �� ��������

4��� �������� �� ����! ������ �� � ���� ��� �!���� ����� ���� � ����� ����� ��� �������� �� ������,��� �2��� �� ��� �! �������� � ��� �� ����� �#�� ��� ���� )� �� ����� ���� ����������� ������ �� � ��� �� �������� ����� ��� ��� ���� ������! �� � ������� �������� ��� � ���������� � ��� �!�

%������� �� � ��� �� ��� ���� �� � ���� ��� ����� F���#�� �� ��� ����� ���� ����� ��� ������� ������� ��������� �#�� ���� ��� �#����� ������� ������! �� ���� %������� ���� ������� ����� �� ����� �� ��#�� �! � ������������ ������ �� ����� ��� � ��� ���� �� �!��� � ��� ������"��� ������������ ��� ������ K�����5 �������� ������� ��� � ������������ �� ������� �� ����"��� �� ������� ������� ��� ��� ��#� �� ��������#��! ��� ��� � ���! �������� ��N����� � ������� ������� ������! ��� ���� �� ��������� �! ��������� "�� ������ ��� �� �������� �� ��������������� �! � #����� ��������� ��� ����! #����� �! �������� ������� �������� � *008 009.� M� ����� �� �������� ��� K����5 ��� ������� �� ��������� ��E�� ��������#� ���� ������ ��� ��� *0B-.�?"$ �2 �������� ���� ������������ ������ � ��� ���#������ �� � � �� � 3 ������� *0B-.� D����#����� ��E� ������ �� ����! ���!� ����� �#�� �� �� �� �������� �� ���� �! �������� ! ������� ����������� ���� �� �� ��� ��� ����� ������ �� ��� "��� �2������� ������ �� �������� �� � ������������#������ �� ����� �!������ )� �������� ������ ��������� ��� ������ ��� ����! #��! ����������� ��������� ��� ���! ��� ��� ��� ��#����� �!���� ��� ���� ���������

"�� ������� ����#����� ��� ����!��� ���� �������� �� ������� �� ��� ������#� ������� �������!�1%(� *0B+.� (� 1%( �� ���� ��� ���������� ���� ���� ��� ���#� ��� #����� �#� �� ���� ��!�������� �� ��� ���������� ���� ��� ��� ���� ��� #����� ���� �� �����! ������� *0B3. �4��� +3/�� (������� ������� ���� �� ���������� �! �!������ �� ��#� �� 1%( *0B�.� "�� ������� �,F ����������� � �� �� �!�� ����� ������ ��� �����! �� ��� ���������� ���� ��� ���� �� ��� #����� �#�*0B0.�

F���#�� ���� �������� ��N����� �������� �� ���#� ����� � ��� ��� �������� ������� ��� ����� ���� �� �B�B �A� �� ��� �������#��! �� #��! ����� "�������� ��� �������� ��#� �� �� ��6������#�� � ���� ������� �� ��� ��� ������� �� ����� 0 �A *0BB 0B/.� "� ���� ��� ���� ������� ����������� �� �������!������ ������� *0B;,0/-.� )� ���� ���� ��� �������� #����� ��#����! ���� �������� ��E� *0B; 0B9.� "��� �� ������� ����� ���������� ��#��� � ���������� ��� �� ��� ����� ��������"�� ������ �� ���� �������� �� ��� ����� �! ��������� ��� ������� �����! ������������ �%%�� �� ���������� �������� �4��� +3;�� C������ �� �� *0/-. ����� ���� ��� �������� ��������� ���� ��� 4�����#� ����� ��� ����� + �A ���#� ��� #����� ���� ����� "�� ����� ���������� ��� � 3 ������ �������������� ��� ��#� ������ ����� +�0 �A ���#� �#� "�� %%� ����� �� ��� N���� ���� ������� ���� ����� ��� ���� �� �������

30/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 119: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

%������� ���� ����� ���������� ��� ��! �� �2 ����� �! � ���� ����������� �� ��� ��� ������ ��� �������� ���� �4��� +38�� "�� ����� �������! �� � 3 ������ ��� ��� � ������ ������ �4� "���������� ��� �� ������� ������ �� ��� ������� ���� �� � "�� ������ ��� ������ ���� ��� ����� D������� ���! ��� ������#�! ������� ��� ���� �� �! ���! ��� �����#�! ��������

)� �� �2����� ���� �� � ��� �� ��� ������� ������� ��� ��� ������� ��� � ������������������� �� ������ ������ ��� ���� �� ������ ��� ������� ��� ���� � ������� ������#�! ��������� ����� �!�� �#�� ��� �������� F���#�� ���� ���� ���������� ��! ����� ��� ������� ������� �!� ������ -�+ A ��� ���� �� ��� ���� ������� �� 0,B A� )� ������� ��� ������� ��� ������������ �� ��������������� ��� ���� ���� ����� ���� ����� �������� "��� ������� ������ ��� ����� ����� �2�������� ��� ����� �������!� "�� ����� �������! ���� �� �� ������ ��� "��� ��������� ��� ��#����� ���N���� ��������� ��� ������� �� ��� B A ������� ��� ���� ���� ��� �����#�� ���! ���������

4��� +3/� @��� �������� ��� ��� �����#� ������� �������!& ��� �������#� ������#� ������� �������! ��� �� �� �!�� ��� ����� �� �!��& ��� ��� ���� ������#� ������� �������! �!������

4��� +3;� ?�������� �� ��� ��� �����! ������������ �� ������� �������� ����� ��� �������� ���������7 ��� �������� ������� 4���� �#� ��� ��� ��� ������� ��������

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 30;

Page 120: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ��� ��� ���!��� �� �� �������� ���� ���� �� ������ ��� � ������� - �� �90�� "��� ���N��#���� ��

���3

�=� �������� �9B�

=�� � �= � �������� �9/�

�� ��� ������� � � B �A �� �� ����! ��� "�� ��� ���� �� � �������� �� ����� +--- A ��+� "��� �������� ��� ���� �����#�� ���� ��� ����� �� ��� %%� *0/-. ���� ����� ��� ��� ���� ��� �� ����#���

)� ������! #������ ����� ������������� ��#���� ��#� ���� ����� ��� �� ���� �� ������� ������������ ��� ���! ������� ��� ������#� ������� �������! �� ��������

��� ��� ���� �2�����#�! ������� ��� ���� ��������� F���#�� ��� �� �������� ���� ������!�%?�� �����#�! �� ��2���� ������� ������! ��� �2������� ������ �� �������� �� ��� ����� ������ �� ���� �������� � �������� *0/+,0;0.� ?��� �! �� ���� �� ���� �� ���7F ��#� ��� ��������������� ����� �������#��! �� ��� ���� �+-+0 � ���� "��� �� �� ��#�� �! ������ �������� *0/+.� "���!������ ��� ��� ��� �� ������ ������� �������� �� ���! ���� � ��#� ������� �� �!�������������� *0/3.� %������� ���� ���� ��� ����� �� �� ��� ������! �� ��� �� ������� ���������� �������� ������� �� �������� ��� �� ���� ������� ��������� *0/B,0/;.� F���#�� �� �� �������� �������� ���� �� ��� �������� �� �2������� ���� �� ������ ��������� ��������� �� �� ��� ������������ �������

"�� ���! ���� �������� ������ ������ �� ������������ �������� �� ����� �� � �������� ���� ����� �������� ������� ������! �� ��! +-�/ ( ���3� A������ ������� ���� �� ������� �� ��� � � ���������� �������� ������� � ����� �� ��#��� N���� �� �������� ������ ( �! ��� �� �� �������� �������������! ��� ��������� �������� �������� *0/0. �� ����� �� 4��� +39� 4��� +�- ����� ��� #�������� ���������� ���� �� ���� ���� �� ������ �� � ���������� 4�A( ���� ��� ��� �� ������� �����! �� �

��������� ��� ���� ��� �������� �������� )� ���� ������ ���� ���� ��� %?� ��� � ���� �� ������ �������� ��� ���! � ��������� ?�������� ���� ���� ?����� 4�A( ��#�� #��! ��� ��������*0;�.� "�� %?� �� ���� �� ��� ��� "������� ��� ���� ������� ���� �� (� �!������ �� �2!���

4��� +38� ?�������� �� ��� ������#� ������� �� ����� �������! ������ ����� ���� ����������� ��� ������ ��������������� ���� ����� ���������� �� �������!������ ��������

308 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 121: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

���� ����� ��� �������� ���� �� ����� �� 4��� +�-� ������� �� ��������� ��� %?� *0/;.�F���#�� ��� %?� �� ��� ��� ��� "��� ���� �� �� �� �������� �� ���� �������� ���� ������������������� �� ������ ����� ��� ����! � 3 ������ *0;B,0;;.� "���� �2 ����! ��#� �� ��� ��������������� ��� ��� �� ������� �� ���� ��� ������� �� ��� ���� ��� �� ������� �!������ )� ��� ������ �� �������� ��� %?� ��� �������� ���������! �! ����� � �������#� ����� �!�� �� ����� ���������� ������� �������� ����� *0;8.� 4��� +�+ ����� ��� �������� ���� ������������ ��� � ��� ���� ������ �������� �� � �������� �� ���������� � ��� ���� *0;9.� "�� %?� ��� � �����! �2 ��������� ������� �� � ��� ���� *0;9.�

"�� �������� ��������� �� ���� ��� ���� �������� �� ����������� "�� �� � �� ��� 4����,1������� �� �� -�-+ �� -�0 �A ����#�� *0/0. ���� ��� 4����,1������� ��� �! ����� � � + ������! ��� ��� ��� ������� �� ���� ��� �������� ���� ��� ��� ���������� ������ ������������������ �� ?�����! �������� ����� �� ��� �����#���

4��� +39� %������� ������� ������! �� ����71 �� � �������� �� ��� 1 ������� #�� ������� ���� ��� ��� �� 4���� 1������� �� *0/0.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 309

Page 122: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

D� ��#� ����������� � ���� ������� ��� ���� �� ���������� ��� �������� ��������� *08-.�"�� ���7F ���� ��#� � ���� �� ����� #����� ���� ����� � � �������� "�� �����! �� ����� #��������� ���� ��� #����� �#� �� ���� ���� ����!��� �2 �������� *�;�.� "�� �������� ����������� �4��� +�3� ����� ���� ���7F ���!� ��� �����#� ������� �������!�

"��� �� ���� �������� ���� � ���� ������� ��� ��� ��������� ��� #����� �!���� 4��� +���"��� ��N����� ������� �� ��� ���� ������ ������� ��� ��� ��� ��������� ����� �� ����! �� ��?�� ?������ �� �� *08+. ����� ���� ����� ��� � ���� #����� ���� ������ ��� ���7F �� ?� ��������� �������� �� �� *083. ����� � ��E���� ���������� ���� ������ ��� ���� �� ?��

'������������ *083. ��� I�#�� ���� *0/;. ��#� ������! ���� ���� �� ���� ��� #����� ���������! ��� ��� �������� �� ����� "�� ��� �������� �� �������� �� �� 0�9 �A ��� �� ��� ��������������! �� ��0,��/ �A *0/; 083.� "�� ���� �������� ��� 4���� �#� �� � �������� �� �������� ���������� ����� �� 4��� +�0� "���� ������ �� ������ ���� ���� ���!� ��� � ��E���� �����#� ��������������! ������ �� ��� ���� �� 0�9 �A� )�� ��� �������� �� �����#�! ���� ������ �� � � ������� ����������� �������� ��� �� ������ �� ���� �� ��� ���� ����� �� 0�; �A�

"�� %%� �� ��� ���� � ���� �������� ����� ������� ��� ���� �������� ��� �������� �� �������� �� ����� ���� �B �A ���� ��� #����� �#� *0;0.� "�� %%� ����� �� ���������� ���� ��� ������� �� � ���� ��� ����� "��� ��������� ���� ��� �������� ��������� ����� ��#�#�� � ���������� ������������

"��� �2 �������� �#������ �������� ���� ����� �� � ���� 0,B �A �������� ������� �� ��� ������������ ��� ���� ���� ��� ������ "�� ���� ����� �� ��! �������� ���� �� ���� ��� ���� ���#��! ������ �� ��� ������ �� ���� ��� ����� �� ������� "���� ���� �� ���� ����� �� ������������!�

4��� +�-� ��� "������� �������� ���� #�� �� ������� ��� �����! ��� ���� ������ ����� ������ ���� ��� ���� ����� (� F3

�� M3 ���� ���������� *0/;.� ��� "������� �������� ���� �� ����71 #�� �������� ������� *0/0.�

3B- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 123: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� +�+� %������� ����� �� � �������������� ������ ��� ���� ���������� � ��� ����� *0;9.�

4��� +�3� A�������� �� ���� �������� ���������� �� ��� #����� �#� ��� ���7F #�� ���� �� *08-.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3B+

Page 124: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

D� ������ ���� ��� ������������ ������ ������� � 3����� ������� �2������� ���� ��� ��� ��������"���� ��� �������#�! ��������� �������� "��� ���� �� �� �������� ���� �� �� 4��� +�B ����� �����������! ������ �� ��� ������� �� ���� �� ����� ���������� �� �������!������ �������� "������ ������! �� ������� �� N���� ���� "�� ���� ���� ����� ���� ����� �� ������� "��� ������� �������#� �� ����� ������ � ���� ��� ���� ��� ��� ��������! ������� ��������

)� ��� ���� ��������� ���� �������� ���� ��� �� ��� �� ��� �������� ������� �! ������ ����������� �� ��� ��� ������� *0;-.� F���#�� ������������ ������������ �� ��� #����� ���������! �� ���� ���� �� ���������� �������� ���� ���� �#������ �� ���� ������� �� ��� ��� �������*083.� "�� %%� ��� ����� �� �#������ �� ��� �������� �� � ���� �����! ��� *0/�.� )� ��� ��������� ���� ���� ������� ���� ��� ��� �������� ���� ������ �������� ��� ������� ��� � ���������� ������� �� �������� *0;-.� F���#�� ��� ������ �� ����� �#������ ��#���� �������� �������� �!� ���� ������� �� ��� ��������

4��� +��� @��� �����! ������� �� � ���� �!�� �� ?� *08-.�

4��� +�0� @��� �������� ��� 4���� �#� �����! ���������� �� #����� �#� ��� ����71 ���� �� � �������� �� ��������������� *0/;.�

3B3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 125: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

D�! �� ��� ������� ��������� �� �������� ����� �� ��� *0;3.W "�� ���� ����������� ������ � ����#�� �! ��� ����� �� ������ �� ������ �� ��� ��

� � 3

��9;�

"���� �� � ��������� ������� ��� ���� ��� ��� � #���� �� ��#� ���� ����������� ������� ��3--,0-- ��� ����� � #���� �� ������� ��� �������� �������� "�� #������ 3 �� ��� ��� ���������"�� �������� �� �������� ������� ������! - �� ��#�� �� ����� �� ��� ������� �������� � �����������#��! � ��� %?� ; ��� ��� ��� ���� = ��

- � ;��3

0

� ��= �98�

"���� ��� ��������#��! �� ��� �������� � �� �� �� ���� �� �������� � 3 ������ ��! + ��+ ��+ ; � +-/ ����� ��3 ��� - � +-�3 ( ��3 �� ���� � � -�; �� ��� = � B � +-8 A ��+ �� ����� ����� %%��

"��� ��� ���������� ��������� �������� ��� #������ ������� �� ���� �������� �� �����%������� ������ ���� � ��� ������ ���� ������� ����� ������� �� ��� ���� ��� ���� ������������"��� ��N����� ��� #���� �� �� F���#�� ��� � #���� ���� ��� �������� �������� "��� �����������#��! ����� ��� �������� �� ������ �� ���� @����� �������� �� ������ �� ��� �� ����� ���������� ������ ��������� ��� �� ������ �� ���� ���������� � 3 �������� "���� �� �#������ ���� �������� ��� ���� ��������������� �� ���� ������#� ��� *0;+ 0;3.�

( ���� � � �������� ��� �������� �������� ���� ����� �� ���� ��� �������� �������� ���� �� ����� "���� ������ ��� ��� ������� ������� �� ��� ��������� ������� �� ���� ���� �� ������ ���� ������ ���� 4�A(� F���#�� ����� �� �� *0//. ����� ��������! ������ ������ ��� ���� �� ���������� �� ?����� 4�A( ����� ��� #��! �� ��������� � � �������� "��! ��� ����� ���� ����������� ��������� ��������� �������� ���� ���������� "�� ������ �� ������� ��� 1 �������� ����������! ����� ����� �� ����� �� � ��������� �� ������� �������! *0/0.� "��� �� ��� ���������� ������� ���������� )� �� ��� ���� ���� �������� ������ ���� ��� 4���� �#� ��� ���� �4 ���� ��� #��!���� ���� 1 ������� �� � � �������� ���� ��� I�#�� ���� ����� "�� ������ �� 1 ��! �� �� ��� �������� ��������� �� � 3 ������� �� $�I��E�� �� �� *0�/. �����! ����� ���� 1 �� ��#�� ��� ��������

4��� +�B� $��� �� ���� �������� ��������� ���� ���� �� ���7F ��� �� ������� � 3 ���������� ������ �� ��� ����

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3B�

Page 126: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����#����� (� ���� 1 ������� ��� �� ��������#��! �� ��� ���� ��� �������� ������� ������ ����� ��������#��! �� ��� �� ����� �� ���� ��� ���� ��������� ?�����! ��� �������� �� �������#��!������� ������ ��� �� �� ������ �� ��� ���� � � ���� ��� ���� ��! ������� ��� ��� �� ��������� �� � � ��������

������ ��������� ��#� ��� �������� ������� ��� ���� �������� � �������� *08�,089.� "��!��� �� ����� �! �� �� �� '%�A� �� ������ �A� ����� � ����!�� ���� �!��������� ������ ����� ��/--,8-- �� *09-.� "�� ����!�� �� � ���������� ���� �� �� 1� �� 4�� "�� ������ ������� ���������� �! ��� ������� �� ��� ����!�� �� � �������� (� ������� ���� �� ��� '%�A� ������ ������������ �� �� ������ �� �������� �� ��� ������� *09+.� 1�������� ��� ���� ���� ��������������� �� ����� �2����� ��� �� "��! ��� ��������#� ��� ���! ��� ����! #��! ���� ������� ����������� ������ *080.� ?���� ��������� �� ���� �� ��������� ��� �� ����� "�� �������� ������ ���� ����������� �� ��� ���� ��� 4���� �#�� "���� ��� �������� �� ������ �� ���� �� ��� ���� 0�; A*093.� "�� �������� �� ����� ��� �� ���� �� ��� ������� �� ������� �� ������� ����� ��������� �� ��� �������� �� *08B 08/.� "�� �������� ������������ ���� ���� �� ��������� ����� ������� %?� �� ��� ������! ���� ����� ���� ��� ���� ������! �� ��������� *089.� $��� ��������� ����� ������ ��� �� ��������� "��� �� ������� ��6����� ����� ������ ��� ���� ����������� �� � �� *089.� "�� �������� ������! ���� �� ������ �� ���� ��� ���� �� ������� ������� ����� �� �������� ����� ��� ���� ������ "��� �� ����� �� 4��� +�/�

"�� �������� ���� ������! ; ���� �������� ���� �� ��� ����� �� #��! �2 �������! ���� � ���������� ���� = �� �� ���� �� �������������� ������ *0;/ 0;; 089.

;= � ;- �2 � �

=

� ��99�

"��� ������ ������� � ������� �������� ������� ������! ������ ���� #�� %N� �90� �� ������������ ��� ���� �� ��� �������� ���� %N� �9B�� "��� ����� ��� ������������ �� %N� �99� �� �N��#������ �� �2 ������� ������������ �� ��� ���� ����������� ������� �

;� � ;- �2 � ��-

� ��+--�

4��� +�/� "� � ����� ��� ��� ���� ������ ��� ���� ����������� �� ���� ������

3B0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 127: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"��� ������������ ����� �� �������� ��� %?� �� � ����� �� ������ ���� "�� ����� �� ��������������� �� � ������� �� ���� �������� ���� ����������� � ��������� "�� ����� � �������������� ��������� ��� �������������� ������ ���� ��� ���� ��������� �! ��6����� �� �� "��� ����� �������� ��������� �� ���� �������� �� �������������� ������ �� ��� ����� "��� ��� �� �� ��#�� ��!�! ��������� ��� �� � ������ "��� ��� �� �����#�� ���� ������ ��� ������ �������� ���� ��� �� �������� ��� �������������� ������ ����� ��� ����� �� ������ ��� #������ ��������� �������� �� ����� � ������ @���� ��������� ��� �� ���� �� ���������� ������� ������� �������� ����� ��� �� ����2 ���� �� ��2���� ��������

M#��� ��� #������ ����� �� ��� ��� ��� N���� ���� ������ ��� ���� �������� � �������� ������� ����� %?� �� ��� �� ��� ����� �������� �� ������� �2������� ��� ��� ��! ���������� %#���������������� � 3 ����� ������� ��� ��� ���� ������� ������ ��������� ��� ��� �������� ���� �������� ��� ���� ��������� "��! ��� ��������#� ��� ��� ����! #��! ���� ������� ��������� �� �������

# $��������� �� ����� ����������

"�� ��������� �� ������ �� ���� ��� �� ����� �� ������� ������� �� ��� ��� �� ��� �� � �������#� ������� *09�,B-�.� "�� ���� ���� ��� ����� ������� ��� ������ ��� �� $%$� ������� �� �!������ *09;.� "��� �� ������� ���� �� ��� ������� ������� ���� ����� ������� ������ ( �������#������ �� ��� ��� ���� �� �A� �!��!������ ������� �� ���� �� �� ���� ���� ���� �� ���������������� "��� ����� ��� ���� ��� �2�����! ������� ��� �� ��� �� ������ �� ���� ��� ������� ����� �� �� ��#������ ��� ��� ������� �������#� ���������� ���� �� ������ ��� ���� ��� ��#��2�����! ���� ��#����� �� ���! ��� �� ���� ��������� ��������� "��� �� ��������! ����� �� � ��6��� ������� ����� �� �� ���� ���� ��� ��������� ����� �� ��� �������� ������� ��������! *B-+,B-�.� "�� �����#������� �� ��� ���� ��� ����� ��������� ������ ��� ������ �������!� �"�� ����� �� ���� ����� ��� ������ "���� ������ ��� ��� ����� ������#������

'.�. ���� ���������

$��! �� ��� ��������� �� ������ �� ��� ���� ���� ��� �������� �! � ������������� *B-0,B-;.� )� ���� �2 ������� � ��� ������� �� �� ��������#�! ������ ���� ��� ��� ��� ��� ��������� ������� ���#� �� ��������� 4��� +�; ����� � �! ��� ���#� ��� � ����7F *9B.� "�� ���#� �� ����������� ��� ��� �������� �!��� "�� �������� �� ������� �� ��� ������� ����� ��� �� ��#�� �! �������� �� ����� �� ��� ��6����� ���� �� ����� ������������ "�� �������� �� ���� ���� ���� ��� ������ ������ ����#��! �� ��� ���� ( ������� �� ����� �� ��� �������� ���#� �� ��2���� ��� ����2��� ����� �� E��� ���� "�� U����5� ������ �� �� ������� �� ��� �� � �� ���� ���� "�� ���������������� �� 3 ��� ��� ������ ����������� �� ��� ����� ���� ��� ������� � 3 �� ��� ��2���������� 3��2 3��2 � 3 � "�� �������� �� ����

? � -�-�;8E��2

33

�+-+�

��� ��� U����5� ������ ��

� � -�+;9+ � �3E��2

3��2 � 3 3

�+-3�

( #��� ��� ��� '������� ����� � ���� �� ������� ��� �� �� ��� �� ������� �� � � +�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3BB

Page 128: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

)� �� �� ���� ���� ��� �������! ��� ����������� �� �� ���� �� ������ �� � �������� �� �����+-G �� ��� ���� ��� �������� *B-B.� "��� �� ��������! �� ������ ��� ��� ���� �� ���� �� ���� ���� ���� �� ���� "�� �������� �� ����� ���� ��������� �������! �! ���� ��������� "�� ����������! ����� U����5� ������ �� ���� ������� *+8 B-/,B-8. ��� �� ��� ��#�#� ������ ������ �������*B-9.�

( ���� ������ ����� �� ������� ��� ������ ����� �� ����� ������� �������� ��#��� ?����������� �������� *B+- B++. ��#� ���� ���� ������� ������� �������� ��#�� ��)?(D�� �� ��������� �������� �� ��� ���� ���� ���� �� ���� � 3 ������� �)?(D �� � �����#�! ���� �������������#�������� ?������ �������� ��#�� �����! ��#� ��� ����� ������ �� "�� U����5� ������ � ��� ��!�� ����#�� �� � #��� ��� ��� '������� ����� � �� �������� ?������ ��� �������� *B+-. ������� �#��� �� -�+�

( ������ ������ �� ������� ����� �� ������� @����� ���������� �?@?� *B+3.� )� ���� ���� ������ ���� � ���� ��� ���������! ��������� ��� ������ ������ �� ��� ��� ��� ��������� (��� ������ ������� �� ���N����! #����� ��#������� �� ��� ������ �� ����� �! #��!��� ������������ ��� �������� ����� "�� ��#�� �2����� ��� ���� �����������!���� ��#�� ��� ����������� ������ ��� ��� ����� ������� ����������� "���� ��� � ������ �� ��#������� �� ��� ?@?������� )� �� �������������#� ��� ��� �� �����! ���� ��� ���� �� ���� ���� *B+�,B+B.� )� ��� �� ������ ���� �� ���� �� +- �� �� ���� )� ��� ��������� ��� ��� ���� ������ ������ ��������� �� �������� �� ���� ���� ����� )� ����� � #��� �� ��� ��� ������! �� �� ��#��� (�! ������� �!����� ����� ��� ��� ������ ��� ���!���� ?@? ����� ��� U����5� ��� ����� ������ ���� ������ �������! ��� ��� �� ������ ��� '������� ����� ���� ���� �������! *B+�.�

"��� 8 ��� ���� ��� ������ ��������� �� ���� �! �� �� ��� *B+� B+0. ���� ����� �� �������*+3.� "�� U����5� ������ �� ���� ���� 88G � � ������� �� ����� �� �� ;B; C'� *B+�. ��� ���� ��++00 C'� ��� ������� ������ "�� �� ������ �� ���� �� ����� �� �� �00 C'� ��� ���� �� ���������� #��� �� 000 C'�� 1��� ���� ��� '������� ����� �� ����� �� �� �-�+3 ����! �� �� �� ����������! �� #��� �� -�-; �� ������� ������ M� ��� ����� ���� ����7F �� ����� �� ��#� � U����5������� �� �-- C'� ���� ��� ���� ���� �� ������� *B+�.� "��� ����� ��� ������ ������ �� ����!������ ��� ������ ��� ������ ������������ �� ����7F� )�� '������� ����� �� ����� -�� ��������� ���� �������5� ��� ����� �� ��� ����� #���� ����� �! @����� ���������� ��� '%�A� ���7F�! ����� *B+B.�

4��� +�;� ������������� ���#� ��� � ���������������� ����������� �� ����7F�

3B/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 129: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� +�8 ����� ��� �����#����� �� ������� �� ��� U����5� ������ �� ���7F �� ������ ����������� *B-;.� "�� ������ �� ���� �� �������� #��! N���! �� �� #����� �� ����� � ��2���� ����� ���������� ������� ������ ������ +-- A ��� ���� �� ������� ������!� "��� �� ������ �� �������#���� �� ��� ������!�

4��� +�9 ����� ��� ������ ������ #�������� �� U����5� ������ �� ���� �� ������ �! ���� ���*B++. �� � �������� �� ��� ���� ������!� ( �����! �������� �� ������ ������ ��� �� ��� ������ ����� 3 �� � � ������� ���� ���������� ������!�

'.�. ������ �1���� �����

"�� ������ ����� �� ���� ���� ������� �� ��� �� ��� �������! �� ��� ����#���� ����� ��� ����#����� ������������ �� ��� ������� "��� ��� �� N��������� �! ��� ������������������� ����*B+/ B+;.� "�� ���� ������� ��� ������ �����! �� ��� ������ ��� �� �� �������� �! � #���������� ���� �� ������� ��������� ���� ���������� ��� ���� ������� ������ �� �� %N� ��3�� 4�� ������� ���� �� ������������ ����� ��� ���! ��!� �� ������ ��� ������ ����� ���� �� �����!�"�� ������ �� ���� ���� ������ ������������ �� E�������N����! ����� �� � ������ �� ; ����� ����#�� �! ��� ������ �� ������� �� ������� ��;� ����� ��� ������ �� ����������� ��� �� ��� #�����

"��� 8

%����� �� ������ �� #������ ������� �������� �! @����� ���������� ��� ���� �� ����� �� ������� ��� ����� ��������

��� � +--G ������

���� *B+�. ����7F *B+�. +--G � � ������������� *3;8 3;9.�

�������

������! �� ����� ��3/ 3��B ��B ��B+BF ����G� - �- -� � �G� 88 ;- +-- +--U����5� ������ ��& C'�� ;B; �-- 833�9 ++00�/?���� ������ �@& C'�� ��; ++B �// B�0��@� ������ ��& C'�� ��0 308 ��+9; �-� �/B 000�8� -�+3 -�� ��-�-9 �-� -�+30 -�-;

4��� +�8� A�������� �� U����5� ������ ��������� �! ����������������� ���� ���� #����� ��� ���7F �� ������ ����������� ����� ����� �� �� *B-/.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3B;

Page 130: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� ����� "�� ������ �� ����������� #����� ���� ������������ �� "���� �� ��� ���������� �� �������������� ������� ������� ��� ��� ������ ��� 3� � � ��� ��� ���� ����������� ��� �� ������������������ "��� ��#�� � ���� ��

;���� � B�

3� � �+-��

�� ����� $���#���� ����� �� �!������ ��#� ��� !

;���+ � +3

�+-0�

"�� �������� �� E�������N����! ����� �� ���� ��#�� �! < � + � ;�����;� D������ < � <�+� ��������

< ����+

+�3 � B�

/

� �� 3 � B���

/�+-B�

����� +� �� ��� ������������� �� ����� ����� ��� ��� � +�� �� ��� ���� ������������� %N� �+-B������ ���� ����� �� � ������� ������������ �� *B+;.

�� � 3�0 �+-/�

@��� ���� ��� ������ �� ������������� ��� ��� - ���N����! ����� ��� �� K�� !5� (��#� 3�0 ��� ������ �� ����������� ��� ������

F� ��� "��� � *B+;. ��#� ����� ���� ��� U����5� ������ � �� � ������ ����� ���� ����2���� ������������ �� ��� ���� +�B

� � 8�� � 3�0+�B�+-;�

?��� ������� *B+8. ������� ���� ��� ������������ �� ���7F � ���� �� �� ���� ��� ��� ��� � 3�0 ����� ������! ���� ������� 4��� +� "��� �� �������� ��� �� ������ ������� �� �� ���������! ����

4��� +�9� A�������� �� U����5� ������ ���� ������! ��� ���� ����� ?�������� �� �� *B++.�

3B8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 131: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ��� � ������ ������ ������ �� �������! *B+9.� %N� �+-;� �� ������� ���� � ������ ���� ������������� �� ����� �� �� ����� ��� ����� )� 4��� + ��� �������! ������� �!���� ��� ���7F �� ������ �� E��� ����������� )� �� ���� ���� ��� ���7F ��� ���#� ���� ����

������ ��� (���� *B+8. ����� ���� %N�� �+-0� ��� �+-B� ��� �� ���� ��� ������� �������� F �� � ��� �� ������� ��� ������������ �� ��� �,� ������� ��� ��� ������� "��� �� �N��#���� ���������� ���� �,F ���� �� � ������� ����� "��� ��N����� ��� ������������ �� %N� �+-B� �� � �!� � ++���+� ��� +� �! +��+ � ++� F��� ++ �� ��� F ������������� ��� ++ � �� ��� ������������� ���!������ ������ �� ����� ������ "��� ��#��

< ����+

3 � B�/�+� � B�/++��

+ � ++

�+-8�

"�� ���������� ���� ���� ��� �� �������� �����! �� ������ ��� ������� �� ��� ����� ������� ����������� �� ��������� *B+9.� "��� ���� ��� ��� ���� ���� ������� � ��� ���� �!�� �� �������������������� �� ���� ��� ���#�! �������! �� ���������������� ������� �� ���� � ��� ����������� �� ������ ���������� �� ��� �!��� ( ��� � � ��2������� �� �� �������� � ��� ����� ������ ������ �� ��

����� ���� ��� ���� �� ��� ������ �� �� ������ ����������� K�� �������5 ��� ��� ��� ���#� ��������"�� ������ �� ��������� �� �� ��� ��� ��� ������� ������������ �� �� ����� #�����

"�� ���������� �������� ���� ��#�� � ���� ������ ���� �� ��� ������ ����� �� ��� �����4��� +0- ����� ���� ��� U����5� ������ ����#�� ���� �)?(D ��� ?@? ������������ *B++ B+�.#����� ���� �������� �� ��N����� �! %N� �+-;�� "�� ��� �2��� ����� �� �� � � ������� �� �-�0 ����� ��� ������������ �� 3�/� "��� �� ���� �� ��� ���������� #��� �� 3�0 �� %N� �+-/� ��� ���� ��������� ��������� �� ���� ��������� �� ����� "�� ��� ��� �2��� ����� �� � U����5� ������ �� 8-- C'� �� +--G� �� "��� #��� �� ���� ���� ��� ������ ���! �#����� U����5� ������ �� ������� ��� ���� �� ��������� �������� ��� ��� D�����,D����,D����� �DDD� +--G � � ������ ������ *3;B 3;/.� )�

4��� +0-� '�� �� �U����5� �������3=� #�� ������ ������������ ��� ���� ������� ��� ������� � �� 3�/� ���� ����#�� ����?�������� �� �� *B++.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3B9

Page 132: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� ���� ������ ������� ��� �����! ������ ���� ��� �N��#���� ��!��� ��� ��� ���������� ������� ������ "�� ����� �� ���� �� �������

4��� +0+ ��� ���� ��� �������� U����5� ������ ���� ��� ������������������� ���� *B+9. �������� �������� ��� ���7F �� ������ ���� ������� *B+/.� "�� ������������� ������ ��� ��� ������������ ���� ���� ��� 1$� ���� �� "���� �� �� *+;�.� "�� ���� �� ���� �� �� ������ ��� ���� �������� ����� #�������� �������� ��� ��2���� �� ���� #������ �� ������ +-- A� )� ����� �������� ��� � 3 ��������������� ���� �������! �� ��� ������� "��� ��������� �� ���� ��� ������ ���� �� ���& ��� ����� � �

��������� ��� ��������� �� ������ ���� ��� � 3 ����� ������ ��� ��������� �� ������ *� B+9.�

'.". ?������

"�� �������� �� � ������� �� ��� !��� ������ �� � ������� *B3-.� "�� ����������� �� ���������! ������������� ��� ��������� ������� F������� �� ������ �� �����! �� ��� !��� ������ F ���U����5� ������ � �! *B3-.

?

F� -�-; � -�-/ �

F

� ��+-9�

"��� ��#�� ?�F � +�8 ��� �������� ���� � �� F=� ����� �� ������� ��� ����� ��������� )� �������������� �� ��� !��� ������ �! ���� ���#���� )� ���� ���� ��� !��� ������ ��� �� �������� �!��� M����� � ��2������� *B3+.� "��� ��!� ���� ��� !��� ������ �� ��#�� �! ��� ��� ���� �� ������� ����� � ��2������� ��� ����� ���#� �� � ���� �! � ���� ���#�� "��� ��#��

F� � �++-�

��������� ����� �N������� ��#��

?

�� -�+/ �+++�

4��� +0+� ��� ������ �� ��������� U����5� ������ �� ���7F ���� �2 ������� � ������ ���� ���� �������� �! ������������� ���� ����� *B-3.� ���� ���� 4��� +�/�

3/- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 133: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ����� ��� ���! �������� �� -�+ ����� �� ��� ����� ��� �������� 4�� ����� ���� �� ��� � �����-�+/� 4��� +03 ����� ��� �������� �� ���7F �� ������ �! '%�A� ���� ������� ��� ���E��� ��������� *0 B-B.� "�� �������� �� �� �� �� ���� #������ ��� ��� �!����� ���7F ����� "���������� ���� ����� �� � ��2���� ������ ������ �� ��� ��2���� ���������� ��������� ��� ������ ��������� �� ��� ���� ��N���� � ���� ��� ����� �������� "�� �������� ������� � ��2���� �� ������ #������ ��� ������� ���7F 6��� �� ��� �� ������� �� ������! ��� U����5� ������� "���������� ��� ��� ���E��������#�� ��� ������� � ��2���� ������ +--- A ����� �� ��� �������������� ��� ����#���� �� ��� ������!�

1��� ���� ��� ��2���� ������������� �� ��� ���7F �� 4��� +03 �� +; C'�� "�� �� ������� ������� � ������������� ��� ��� ������ �� ��� �� �� ����� )� ���#������� ��������������� ������� �� ��� ����� ��#� �������� #���� �� �! ���! ����� ����� ������ ���� ������������� *08/.�"��� �������� #���� ��� ��� ���� �#�� 3- C'� ����� �� #����� �� �2���������� ����� ����� ������ ������ �� ����� �� �� ��#�� ������� �� �� �!������ ������� �� ������� ��� �����

"�� ������������� �� ���� ���� 8B,9-G � � ������� ��� ���� �������� �� �� �� ���� /- C'��! '���� �� �� *+8. B0 C'� �! ?�� �� �� */;. 0B,B- C'� �! $������E �� �� *B33. ��� 8-,88 C'� �!4�������� �� �� *��0.� "��� �� � �������� ����������� ������� �� ��� �������� �� ��� ���� ���� )� ����! ���� ��� 4�������� #��� �� �������� �� ���! ���� ��� ������� ���� ��� ����� ����� ���������� ����#� ��� ������� 4��� +0� ����� ��� �������� �� ���� #����� � � �������� ���� ?�� �� �� */;.� "���� �� �������� ���� ���������� � � ������� ��! �� ��� ���� ��� ���� �� ��� �N��#���� �� ��U����5� ������ ����� �! ?�������� �� �� *B++. �������� �! �)?(D �� ����� �� � ����! ��������#��� �� ?=� �� �2 ������

4��� +00 ��� ���� ��� U����5� ������ ��� �������� �� ����7F ����#�� ���� ���������������������������� �� � �������� �� ��� �����! �� � ���� *9B.� "�� #���� ��� ��� ���� ����� ���� ������7F� "�� ������ ��� �������� ��� ������� � ��2���� �� � �������� �� ��� �����!� "��� ���!���� ��� #�������� ���� � � �������� N���� ����!� "�� ����� �� �������� �� U����5� ������ ������� -�+,-�+/ �� �2 ����� �! �����!�4��� +0B ����� ��� #�������� �� F3=� ���� � � �������� ��� ����7F �� ���� ��� ���������� �������� �! ������� %N� �+-;�� )� ����� ��������� ���������� "��������� � �� �-�B ����� ����� �� N���� ���� �� ��� ���������� #��� �� 3�0 ��� ������������ �������"��� ����� ���� ����� �� ��� �� ���� �������� ��������� �� ����7F�

4��� +03� A�������� �� ������������� �� ���7F ���� �� ������� ���� #����� ��� ���7F �� ������ ���� ������� *B-/. ������E��� *0.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3/+

Page 134: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

4��� +0/ ����� ��� #�������� �� U����5� ������ ��� �������� �� ����7F �� � �������� ���� ������� ��� ������� *�08.� "��� �� ����� ���� � ��� ? �� ���� ! �� ��� ��� ������� :+ �� �������! �������� ����! ���� ��� �� �� � � ��������

'.2. 7�3�����

"�� ��6�� ��� �� ��� �� ��� �������#� ��������� "��� ���� ��� �������� ��� ���� �� ��2�������� ���� ���� "�� ��� �����#� ������ ����� ��� ��2���� �������� �� ������#� ����� ( ��� ��

4��� +0�� A�������� �� ������������� �� ���� ���� � � �������� ����� ?�� �� �� */;.�

4��� +00� A�������� �� U����5� ������ ��� ������������� �� ����7F ���� �� ������� ��� �����! �� � ���� ����� D������ �� *9B.�

3/3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 135: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�������� 3 �� ��������� ���� ��� ������ �����! �� ���� #���� ��� �� ��� ������ � �2����� ���������� �������� �����! � �� ������� �� ��� ��������

3� ��33

3��++3�

��

3 �0���3

�++��

4��� +0B� '�� �� ����������3=� #�� �������� ��� ����7F *9B. �� ���� ��� ������������������� �! ������� ��� �������� ?=� �����������

4��� +0/� A�������� �� U����5� ������ ��� ������������� �� ����7F ���� �� ������� ��� ������� ����� ?���� �� �� *�08.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3/�

Page 136: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"��� ���� �� � �� ���� �� ��� ��������� "�� ����� ����� �� ��� �������� ��� ����� �!"���� *B3�.� "�� ������ U����5� ������ ��� �������� � ���� �� �� �� ������� �� ���� ������$�2������� ��� �������� ����� ���� ��� ������ �� � ��2����� "��� ��2������� ��� �������� ���������� ��� �������� �� �� �������� �!�� �� ���� ���� �� �������

A������ ���������� ��� ���� �� ��2����� ��� ��� ��������� 4���� �� �� �������� �� ������ ����� ������ �������� ������� ��� ��� ��� ��� ���������� "�� ��� ����� ��� �! �������� ������ ������������� "��� ��� �� �����#�� �! ������� ��� ������� �! (� ��� ����������� ������ �� ��������(������ ������ �� �� ��� � ���� ��� �����! ��� ��� ����� ����� �� �� ������� �� ����� ��� ���� ��2���������� ��� ��� ��������� �� ����� �� ������ � ��2�� ��������� *B30.�

?����� �� ��� ������! ���� ����� ���� ����� �� ��� ���������! � ������ ���������� ������� ��������� ������ �4��� 00� *+�+. �� ���� �� ��! �� ������ �� ��� ���� ������ ���� ���� ���� �������

"���� � ��������������� �������� �!�� ���� �� ?� �� �� D ��� �� �� ������ ����� ������ ��������� *398 399 09� B30.� ?� ���� �� ��� ���� ���������� ���� �� ��������� ��� ���������������� �� ����� ����� �� ���7F ��! ��� ������� 4��� ��� �� ���� ����� ��� ��������������� ������ �� ���� ���! ��#� ������� ������ ����� �����������

4����� �� �� ������ �� ��� ������!��� �� ��#��� ������� ������ ������ "��� ��� ���� ���� �!$���#� �� �� *B3B. ��� ���?�+7F ���� ��� �! (����� �� �� *B3/. ��� ���� �����

4���! ������ ���� ���� ���� ��#� ���� ������ �! �� ������� �� � ������ ������������ �!�� ��( �� "� �� ()?)�+/ ���� �� ������ ���� � A����� �������� �� ����� � C'� *B30 B3; B38.� "�������������� �!�� �� �� �� �� ��� ����� ��������� ����� ���� �� ?�� "�� ���� �� ���� ��� �������������!�� ����� !��� ���! ���� ��� ��� ��� ������! ������ ��� ������ �� ��� ��� �����#� ������� )������ ��2��� �� ���� ��� ���� �������� �� ��� ���� ���������� "�� ������������ �!�� ����� �� � ������������� �"� 4� ����� ��� �� ��� � ���� ������� ������� �!�� ���� �� $� �� ����� )� �� ��� ����� ���� ���� �������� ���� ��#� ������ ���� ���� ����������! � ������� 4�A(� �� ���� ����� (���� �� ��*B30. ���� ��� �� �� ���� ���� ���� �� �#�� +- �� �! ���� �������

( ��6�� ������ ��� ���� ���� �� ������ ������ �! ��!��� ���� ��� �2�� � ?� *B39,B�+. ������� *B�3 B��.� ?� ��� ����� ��������� �������� )� ��� ������ � � ������� �! ������� ����� �� ������ ��� �2��� � 3 �!����������� �� �� �� ��� ��������! �� ��� �� ���� ��� ����������� �� ��� � �

�������� )� ��������� ��� ������ �������! �� ��� �!������ �� ����� ������� )� ��� �� ��#�� ����������� ���������� �� ��������� �����! �! ����������� � �� �������� �� ������ �������!� ?���!��� �� ����! ���� �� �� ��#� ����������� $���� ������ ������ ��� ��� �������� �������� ������������ ���� �� ����� �������� ��� ��2���� 3� $���� ����#�� ��� ��� ��� � �N���

'.4. =�� ���

4������� �� ��� ����� ����� �� �����! �� ��� ��� �������� ��#� �#�� ���� ����� *B�0 B�B.�4������� ������ �! ������� ������� ��� ��� �������� �� � ��� ���� ����� �� �� �������� "�� ��� ������ ������� �� ���� ��� ���� ��� � ����� ���� �� ������� �� ���� ��� ��� ������� ������� �� ����������� ���� ��� �#����� ��� �������� "�� �������� ����� ������ ������ ���� �������� ����������� ���������� �� ��� �������� )� ��� ���� ���� �� ������� �� 7 ��� ��� ����� �������� �� ��� ������� �� F ������� ����� �������� ����� �� *B�0.

= � 7F �++0�

"�� ���� ���� �� ������� �� ��#�� ���� ��� ��� 9 ��� ��� ������� ������� ����� �N��� ����������� �� ��� ������ ������� ?

9 � 7? �++B�

3/0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 137: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

����� ? �� ������ �� ��� ����� �������� �! ? � F ����� � �,B �� ��� ����������� �� �������� � ����#�� �!

� � =

9� F

?� -�3 �++/�

( ���� ������� ���!��� ����� ���� ����� �� ���� �������� ��� ����������� �� � ��� F���E����������� (�����#� ������� ��������� ��� ������ �������� ���� ���� ?=� ������ �������� ��������������� �� �����

���� ��� ������ ��� ����� �� �������� ������������ *09� 090 B�/,BB/.� "�� �������� �� �������� ��� ��#� ���� ��#����� ������! �! C�� *098 B�;. ������ *B0B. ��� C���� ���!�! *099.� "������������� �������� ����������� �� ��� �� ���� �� ������ �� ��� ��������� �������� ����������� ������ �� ���� *B�8.� %������ �� �� *B09 BB-. ����� ���� ���7F �� � #����� ��� ��#� � ������������������� �� �� �� -�-+�

4�� ���7F � �� ���� ������! �� ��� �����#� �������!� A���� �� � ���� -�-B ��� ����� �� �#����� ��� �� �� �������! ��� � ��������� ������! �� ���� �������! *B03 B00.� ( �! ����� ������� �� ����� �� 4��� +0;� %������ �� �� *B09 BB-. ����� ���� ��� �������� ����������� �� ������ �������! ������ �� ���� �� ��� �������� ���� �� ��� ��� ���7F� )� #����� ���� ��� ����� �� F=� �� ��� �������� ���� ���7F ���� �F0 ��#��� ��� ����� � ��� ���7F ���� �3F3 ��#��� ��������� �� "�� ���7F �� ���� ���� �!������������� ������� ��� ��� ����� �������� �����������*BB-.� "�� � ��������� �� -�+,-�+B ���� ��� �������! ����� �� ����� ����� ����� #���� �� �-G ������#�� )� ���� ������� ��#� ����� ���� ��� ������ � ������ ���� ��� ����� ��� �2!��� �� �������� ���� *B00.�

"�� ���� ��� ����7F ����#� ���������!� A��#���� �� �� *B0�. ����� ���� ���� ��� � ����� � �������7F �� ��� #����� �� ����� -�+ �� -�+B� "�� � ���� ��������� ���! �� ��� �����#� �������!��������� �4��� +0;�� "�� ����7F �� ������ ���� ����!��� � ���� �� ����#� �� ��� ���� ��! *BB/.�

"�� �������� ����#���� �� ���� �� �2 ����� �� ����� *B0� BB3.� "�� ������� ������� �������! ����� ������� ��� ����� ����� ��� ������! ����#���� �! �,F ����� *+3 BB3.� "��� ��������� ������� �������� ��� �!��� ����� ��������� ������ �!����� ��� ���! �� ��! �������

4��� +0;� A�������� �� �������� ����������� ���� �����#� �������! ��� ���7F ��� ���� ����� %�� *B03. ��� A��#���� �� ��*B0�.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3/B

Page 138: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

������� #�� ��� D��� ������� L���� ������� ��� ������� �� �� ������� (� ��� ������� ������ ���� ���� �� ��� ����� #�� ��� D��� ����� ��� ��� �� �,� ����� �� ��� �������� ����� ��� ��������#�=����������� ������ ������ ���� ������#�� "�� �!��� ����� ������ �� ��� �� �� ������ �� ��������!�� �� ����� �� ��� ��#��� ������#� ��������

"�� ���7F ����#�� �� ���� ������ ����� #����� �� �� �������!� ������� ���� � ���������������� ������ � �������� �!�� �� ���7F �� �� ������ �� ��� ����� ������� *B0�.� "��� ��� ������� ��������� ��� ������! ������ �!��� ����� ���7F �������� ��� ��� �������� ����������� �� #��! ���F��� ���������� ��� ����#�� �� ��������� ���� ��� ��������� �� ��� ������� �!�� ��� ����� �� �������� �2������=�!������ �� ���� �� �� ����� ����� ��� #�� ��� D��� ������ )� ��� �������� �!������ ��� ���� ��� ������� ������� �� �� ����� �!��� ����� ��� ��� �������� ����������� �� ����������� A��#���� �� �� *B0�. �����#�� ��� ������ �� ��� ������� �!�� ��� ��� ���� ���� �! ������������ %������ �� �� *B09. �������� ���� ��� �2�����! �� �������� �� ���7F ���� ���� ���������� ���� �� ����!��� �� ������� ����� ��� ����� ������� � ����� �� ���� ������� ������#����������

"�� ���� ����#�� ���������!� ������� ��� ���� ��� ���������� ��� ���� �� ��� ������� ���� ������� ����� �!��� *B0�. ����� ��� ��������� "��! ����#� �� � ���� ��������� )����������� �� ������������ ��� ��� ���� �!��� ����� ��� �������� ������������ "��� � ��� ���� ��������� ���� �����������������!� "�� ��������� ������� ��� ���� ��������� ��� ���� �! ����������� �! A��#���� �� ��*B0�.� "�� ������ �� ���� ���� �� ��� ���� �! ��������� %%�? �! �� *BB/.�

"�� �������� �� ������ �� ���7F �� ��#�� ��� �������� �� ������ �! ������ �� �� �������� ����� �������� ����������� ���� �� � �� ���� ����������� )� �� ����#�� ���� ���� ������ ������� ��� ?�������� ��� ������ �� ��� �������� �!�� ������� � ����������� ���������� �!�� *B�- B�+.�

'.5. 9��

D��� �� ��� ����#� �� ������� ������ ��� ������� ������ *B�0.� D��� ������ �! �������� �������� �� �! �������#�=�2�����#� ����� 4�� �� � ��� ���� ��� ��� ���� �� ������ ����������� ��� ������� ��� �� �������� ����#� �� ���� "���� �� �� ����� (� �������� ���� � ������������#� �� ���� ���� �� ��� �! ����� ����������� �� ��������� (� ���� ���� � ���� ���� ��������� ��� ����������� �������� "�� ���� �� ��� #���� �� � ������� ����#�� ���� � ������� �!�������� "�� #���� �� ���� �� ���� ���� ����� > �� ��#�� �!

> � �7 �++;�

����� 7 �� ��� ��� ������� ���� ��� �� ��#�� �� ������ �! ��� ����� �� ��� 9 �� ��� ������� ���������� ? �� ��� ������ ������� 7 � 9�?� "��� ��#�� ��� (������ �N������ *B�0.

> � �9

?�++8�

����� � �� ��� ���� ����������� � ������������ ������� )� �� ���� ��� ���� +� ( ���������� ��������������� 8 �� ����� ���� ������� �!

> � �

?9 � 89 �++9�

����� 8 �� ����! ��#�� �� ����� �� ��� 1�+ ��+�"�� (������ �N������ ��!� ���� ��� ���� ����������� �� ��#����! �� ������� �� ��� �������� ��

��� �������� F���� ������ �������� ���� ��� ��� ��� ��� ��� �������#� �������� �� �� ��2����� �����

3// -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 139: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��������� A��#���� �� �� *B0�. ��� C���� ���!�! *099. ��#� ��� ���� ���� ����� ��� ��� #�������! �� �� ��� ���� ����� ������� ��������� "���� ��� ���������� �� "��� 9� )� �� ����� ���� ���� ����� �2�����! �� ���� ���� �� ����� +-�9 ��� 1�+ ��+ ���� �� ����� � +-- ����� ���� ���� ���� �����7F �� +-�; ��� 1�+ ��+� M���� ���� ���� ������������ ��� ���7F ��� ��� �! C�� *B�;. ����� ������ ��E�� "�� #��� ��� ���� �� �� �����#�! ��� )� �� ��� �� ���� ���� �� ���� ���������������! ���� ���� �� ������� ��� $%$� ��#����� $������E �� �� *B33. ����� ���� ��� �������� �� ���� ��� � ������� �� ��� ��2���� �� �������� �� �2 ����� ���� �++;��

"�� ���� ��������� �� ���� ��� ���7F ��� ��� �������� ���������� ������#� ���� #�� ���������!���� "�� ���� ���������� �! �������������� �������������� �� � ��� ����� �#����!�� ����� �������� �� � �������� ������� ���7F ����� � �7F �������� ���� �� ��� ������� ������� *B0�.� "�� ����� 3 ������ ��� ��� ����� �� ���� �! �2������� �� �M3 �� �� ��� ������� *BB3.�

( ��#� ���� �� ������ �� ���� ������ ���� ���������� ���������� "��� �� �� ���� �!�� ������� �� � �������� ��� �� ��� ������� �� �������� ��� *BB/. �� �! � �������� ������ �� ��������� ����� ���� *03B. ���� �� ��#���� ��� ������� ��3-- ��� "�� ��� ������ ��������� ������� #����� �! ���� ��������� ������������ ������� �������� ! ��� %%�?� "�� ���� ���������� ��������� �� ������ �� ���� �������� ��� #��! ���� ������ ����#��!� "��� ���� ������� #����� ��� ���������

1������!������ ������� �� ��� ���� �������� ���� �!��!������ ������� *BB;. ��� �� �����! ��� �� ����� �������� ��� ���� �� ������ ��� ���� �� ���� F���#�� �� ���� ��N���������� �� ������� ��� ���������

'.#. �1�< � ���������

��� �� ��� ������ ��� ��� ��� ������� �����! *B�3.� "�� ������� �����! �� ����! ������������� ��� ������� ����� "�� ������� ���� �� � �N��� �� � ��� ������� �� ���� �� ��� ������������� ��� ������� �����! �� ��� ��� �� ��� ������� �� �����! �� ��� �N��� � ��� ��� ���������������! �� ��� �N��� ��� ��� ��� �� #�� ��� U����5� �N������

�� � �� � � ��� �+3-�

"�� ������� �����! �� �2������� �! ��������� ��� ���� ���� ��� �N��� ��� � ��������� ���������� ������� ��� ����#� ��� �� �� ��� ������� ��� ������� �������� ��#� ���� ������� ������?������ �������� ��� �! ���! 0-,00 �1 ��+ *BB8 BB9.� "�� ���7F ������! ��� � ������� �������� ����� �� BB,;-� *BB8,B/+.� L�����! ���� �� ����� �� �� ���� ������ �� �� ������� ����#����� *BB8.�

���E������ �� �� *B/+. ����� ��� ������� ���� ���� ������ ������� ��� �� ���� �� #����� �!�2 ����� ��� ���7F �� � ������#� ��� ����� ��� �� ��� #����� �� ������� �������� "��! �������������� �� � ����#����� �� ������� ������� ������

������� ��� �������� *BB9. ������ ��� ������� �� ��!��� ������� �� ��� ������� �����! �� ���7F� "��! ����� ��� ������� �����! �� ���7F ��������� ���� 0+ �1 ��+ ��� ��� ���7F ��

"��� 9

��� ������ �� ���� ����� ��� ���� ��� ���7F ����� A��#���� *B0�.

D��� ���� ���� 1�+ ��+�

���� +-�9

���7F +-�/ �� +-�;

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3/;

Page 140: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

B3 �1 ��+ ���� �2!��� �������� ��� ��������� �� +9,30 �1=� ���� ��� �������� �� ?� �� 4� 4����������� �!�������������!��� �� +8�B �1 ��+� ���E������ �� �� *B/+. ��� ����� ���� 4��������� ��� ������� �����! �������! �� #���� ���� �� ���� �� �!�������������!����

"�� ���� �� ��� �!��� ������ )�� ������� ���� �� ����� ��� �� ��� ����� ;B,8-� *B/3.�F���#�� ���� �� ��� ���� ���74� "�� �������� �� ����� ���� �� ( ��� 4� ������� ��� ������� �����!�� 3B �1 ��+ ��� ���� ��� ���� �!��� ����� *B/� B/0.�

'.). ��� �� 3������

������� �� �������! #��! ������ @���� �� �� ������� �� � �������� ��� ����� �� ��������� ��������� ��� �� ����� �������� ������� �� ����� ������! �������! ������ "��! ��� ���#�������������� ��������� �#�� ��� ����� �+ �� 3�B A ?F% *B/B.� "�� ������� ���� ��� �2����� ������ �����#� �������� ���� ��� ���� ����� ���� �� #��! ����� ��� �2�����#� ��������� "�� ������������� ��#� ���� ����� �������! ��������

"�� ���� ��! ��� �� �� ���� 1������� �� �� ���� ��� �� ���� ���� �������� ��������#��! ���!�� ��������� ��� � � �������� "��� � � ������� ���� ����71 �� ������ ��� ������������� �������!�?�� �� �� */8. ��� $��� �������� *B//. ��#� ������ ���� ����71 ����������

'.'. ��� ������� �����

"���� �� ����������� �������� �� ����� #������ ����� �� ��� �� ������ ����� �������� �� �������� �� �� ������� �� 6����� ����� #�#�� ��� ������ *B/;,B;0.� "��� ������ ���� ��� �� ������������������� �� ��� ��� ��� ����� ���� � ������ ������� ���� �� ��������! ��� ������ )� ���!�������� ��� ���� ��N�������� �� ���� ��� ��� ��� ���� �������� �� ��� �����!��� ���� ��� ������� ������ ������ ���� ������� ��� �� ��#����������� ��#� ������� ��� ���������� �� ���� ��� ������� ���� "��� ��� �� ��#����� �� ����� �! (�� �� �� *B;0.�

'.�%. ����� �< ����� 3�� ���8�

M�� �� ��� ���� �� ������ ���� �� ��� ���� �� �� �������#� �������� �� �������� ������� ����*B--,B-�.� $������� ������� �� �� ��� ���� ���� ���#�� �� ������! ��� ���� �������� ���� ������ ����#����� �������� )�� ����� ��#������ �� ���� ��� ������� ������! �� ���������� �� � #��! �� ������ *B-�. �4��� +08�� ?������ ��������� ��� ���������� �� +--G �� !��� ����� ��� ������������ ������� ���������������#� �C$�� ������ ������! ?������ ��� 4�6���� ��#� ������������ � �������������! �� +-- C���� ����3�

"�� ��� �������� �� � �������� �!�� �� ��,��,'� ��! ���� ��� ����� ������ ��� ���� 4��� +09�( �������#� �!�� �� ��� ������� �� � ��� �#�� ��� �� �!�� ��� ���,��� �����!��� �� � ������� �!����� ���� �� O�M� �� 4����� �� ���� �� � ������� ��������� ( ����=����� �������� ���#� ��� �������� ��� �� �� �����!����� �������� "�� ����=����� ���� �������� �� ���! �!����� ���� ���� ��� �� ��� �������� �! � ��� ���� ��� �� ���� ������� �� ���� �2�����! ������ ���������� ��� �������! ����� ���� ���� � ������� ��������� ���� + ��� ��� ��� ����� ������� �� � ������� ������� ��� ���� � ��������

"�� ���� ��� �#�� ������ ������� ��������� ����� ���� ��� ���� �!��� ������ ���� �� ������� ����� ���� ��� ���� ��� ��� ������ �!���� "��! ��� ������! ����� 0 �� ���� ��� ���� �� �����3 �� ���� *0;0. �� ����� �� 4��� +B-� "��� �� � �������� �� ��! ����� +3 ������ �!���� "�������� ��� ����������! ���� �� ������ �! � ��������� "�� ������ �� ��� ����� ��� ������ �� �������� �� ������ �! ��� ��� ���� ������� F���#�� � �������� �� ����� �� ��#��� ���������� ����

3/8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 141: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

�� 3 ��� "���� �� ��� � ���������� �� ��� �������� ���� �� �������� ��� �� �����������! ������ ������� ��� ������ �� ��� ��� ������� �����

"�� ����� ��� �� ��� ���� ��� �� ��#��� ��������� ������� ���������� ?�� � ��� ��� ���� �� ������ �! ��������� � �������� *BB3.� ����� ���7F ��� ���� ������� �! ��� ������#� � ���������� �� (�=�!������ ����� ���� *00.� )�� ��� ��� �� ��#��� ��� ��������� ������� ��������� ������� ������ ������ ���� �������� "�� ���� ��������� ���7F ��������� ���� �!������ ���� �������� ��2����� ��� �������� *B--.� "��� ��������� ���� ��� ��� �� ��� ��� � ��������� ������� ��! ���� ��� ���� ��� ����������� ���� ��� �������� �� �������� "�� ������� ����������� �� ���7F ���������!����� �� ������� �� �� ������ ��� ��� ������� �� ������ ��� ��� ����������� ���� ��� �������� *B/+.�$��� ������! ���71 �� ����� ���� ������� �� ���7F *B;B.� "�� �����! ��� �� ��� �� ���� ����������� ��� �� ��#� ��������� ������� ��������� ��� �� �� ����� ��� �� �!�� ��� ����=����� �������� ��� �������� M� ��� ��� ��� ������ ����� ��� ��#��� � ������� ��� ��� ������� �!������������� �� ������ ��� ��#� ���

4��� +08� )������� �� ������� ������! �� ���� ��� ���#�� ���� �����

4��� +09� ?�������� ������� �� � �������� ��� ��� ����=����� ���� ���� C���� �� �� *B-�.�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3/9

Page 142: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

"�� ��� �� ��� �� ����� ���� �� �� �� ��#��� ��������� ���������� )� �� ����! ���� � B ������ ������ ��� ��� ���! ��#��� ���� ��������� ���������� "��� ��� �����! ��N�������� ����� ������ ��� �� �� �� ���������� �� ���� �� ��� ��� �� � ��������� ������� ��� � ��������� ��������

(������� �� �������� �� ��#�� ��� ���������� �� ������ ��� ��������� �� ��� *B;B B;/.�(������ ��#������ �� ���1+ ������ �� ��� ��������� L���� ��� ��� ������� �!����� ��������������� ��� ������� ���� ��� �������� �� 4� 4 ��� �������� F ���� ���7F ����� ��� ��� ������� ����#� F4� "��� ���� ������ ��������#�! ���� ��� (3M� �� ��� ���� �� ���� (4� ����� ����!��� �������� ������� �� ��� ���� )� �������� ������� �� ���1+ ������� ��! �������� ����� �� ��� ��#����� �� F4 *B;;.� 1������� �� ��� ����� �� ����7F �� ���� �� ��� �������� ������� �� �� ��#�� ����������� �� ��� �������� �! ��#����� � ���� ��� �� ��� ��������

"�� ���� ��� ����7F ��� ����� ���������� ������� �� ����� �� ����� ���������� *B;8 B;9.�4��� +B+ ��� ���� ��� ��������� �� ���7F ��� ���71 ���� �������� �! D������ �� �� *B8-. �������� ���� �������� �! )�� ��� ��������� *B8+. �� � �������� �� ��� ��� ��������� "�� ���� ����

4��� +B-� A�������� �� �!��� ������ �������� � ����� ��� ������ ��� �������� ���� ������� ������! ����� C���� �� ��*B-�.�

4��� +B+� A�������� �� ���� ���� �N���� ��������� #�� ��� �������� ��� ���� ��� ���7F ���� ���� )�� ��� ���������*B8+. ��� D������ �� �� *B8-.�

3;- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 143: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

��� ����! ���� ��������� "�� ���7F ���� ���� � ��2���� �� ��������� �� 3 �� �������� �������! ������ ��� �� �������� ��� �������� "��� �� ��� ���� �� ��� ���� ����� %�������������!#��������! ������� �� ����� ���� �� ������ ������� � ��� �� ��! �����������

D�! ��� ���� ��� ����7F ��������W "� ���������� ���� �������� ��� ��������� �� � ������������� *B-3 B83.� ��� �� ���� ���� ��� ��� �� ����� ���������� ����� �� ��� ����� �� ��������N��������� "�� ��� ���� ��� ���� �� � �������!�� ���#� ���� ����� ����J���� �� � ��� ���� ���� ������� ��� ����� "�� ���� ���� ��#� ��� ������� ���������� �������� �� ���� �� ���� ������� ������� "��� ��� ������ �!�� ���� ������! ��� ��N���������� 4����! ��� ������ ���� ����������� �#��!����� �� ��� ������� �� ����� ���� �� �� �������� �� ���������� ?�����! ��� ������� ����� ����� ��#� �� ������� ������! ������ �� ������� �� ���� ���! �� ��� ��#� ������ ���������� �� ���� ������ �� �� ����� � �� ������ ��� ������� �����! ��� ��#� ���� ���� �� ���������� ����#����� @��� �� ����� ��N���� � �� ������� ��2 ���� � ���� �������� �� ��������� � ������T+- �A�� %�������� �������� � ����� �� �#������ ��! ��������� ��������� (�� �� ���! ������ ����� ���! ������ ������� �#�� ��� ������� ��� �� ������ �� �����

( � �������� ��2 �������� � ���� �������� �� ������ ����� ���� ������ ������ �����!� "��������� ����� ��� ���������� "�� ������� �� 4�A( �� %�D� ���� ����! ������� ����������� ������� ��2�� ������ �������� ���� ������� ���! ��#� ��� �������� "�� ���� ��� ��� ����� ��� �� ��� �� ���� ��������� ��������� )� ���� ��! ��� ��� �������� �� ��� ���������! ��� ������ ������ ���������

%���������

*+. �� ��������� '���� ?��� ?���� ����� 3+ �+99+� +99�*3. �� ��������� ?���� �������� "������ B- �+993� +8B�*�. �� ��������� (�#� '�!�� �B �+98/� �+;�*0. '� I��� �� D����� @� ������� �� D����� $� ���������� $����� ?��� 4���� B3 �+99-� 0+�*B. F� "��� ��@� @��! �� A��� ?��� "������ ( B �+98;� �38;�*/. ���� $�I��E�� �� � '���� '�!�� B9 �+99/� +/++�*;. U� �������E ������� ��� $����� B �+99/� �88�*8. U� �������E ������� ��� $����� 8 �+999� +/B9�*9. (�(� A��#���� $�?� ����! ?���� �������� "������ 83 �+99/� +99�

*+-. ?���'� ?�#� ���� ����! ��L�(� I��� %�C� C������� ��A� (������ ��7 F�?� 1��� �%��� F������ �� "��� 4��$������� (������� '���� 1�� U�� 3--3�

*++. ���� (���� ���� F�!��� ?������ 30+ �+988� 9+��*+3. ��%� 4��� '�� ������ �� ������� (������� '���� ������ +99��*+�. 4�C� ��� ��%� @���� (��� ��#� '�!�� ����� 03 �+99+� /0��*+0. $�?� ���������� C� ���������� '��� %��� ?������ �� 4������� ��� ������ 1�������� (������� '����

������ +99/�*+B. @�"� I�! '�!���� �� C�� ���� ( ��� ?������ '�������� ������ +98+�*+/. ���� C���� ���� $�I��E�� '�@� ����� $����� ?��� 4���� B3 �+99-� +-��*+;. '��� 4��� A�?� A�������! ��(� ��#�� �� ��������� C�(��� (��������� D�)� $��� �� I������ '�!�� ��#� @ 08

�+99�� 0;;;�*+8. C�$� '���� ���� ������ ?��� $�(���� "�U� "��� ?� (����� (� (����� ��D� (��� )�C� @���� ��?� @�����

?���'� ?�#� �� ��������� ( � '�!�� ����� /8 �+99/� ;;9�*+9. 4� �� ��?� ������ '�!�� ��#� ����� /B �+99-� +9-B�*3-. $�4� (���! ����F� ����� %���������� $������� '������� '���� M2���� +98- � B8 ;8�*3+. D� ����� D� $��� ( � '�!�� ����� /� �+99�� +;;+�*33. $� D���� ?� ?���� I� ���� F� %������� A�?� A�������! �� ��������� ( � '�!�� ����� /0 �+990� 3;9;�*3�. ?� (�������� �� ������ �� ( � '�!�� 03 �+9;+� 39B��*30. ���� (���� '� I��� ?� �����E ��7 �� $���� �%��� '���� �� ������ "��� 4��� ��� '���� @��� ����� +98/�*3B. %�C� ? ����� '�F� ?������ ���� ��! 4��� ?������� ( � '�!�� ����� 39 �+9;/� ++8�*3/. �� D��������� I� @������� �� �������� F��� %��� F� F��������� ?� I��� D� 1���� C� ������ "��� ?���

4��� ;3 �+98-� +9�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3;+

Page 144: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*3;. "� $��� U� 1���� �� A��� ?��� "������ ( + �+98�� 3��*38. D�$� ��� )� @�� <� 4��� ���� F���� V� 4����� U� O���!� �� O��E���� ?�"� ��� �� ( � '�!�� ;- �+99+�

B/3��*39. 4� ����� @� (���� (� #��A��� '�%� $�6�������� F� ?���� $�'� �� ���� D� C����� �� F�� � C� ����E��� ��

(��� �� ( � '�!�� ;B �+990� �+3+�*�-. F��� I������� �� A��� ?��� "������ +B �+9;8� 3;3�*�+. �� ������ �� D�� '� I��� ?���� �������� "������ 0; �+99+� 03/�*�3. @� ���E �� M���� ?� ��������� (� F�!�� A� I�����# A� '�!��# ������� ��� $����� ; �+998� 9/B�*��. ��D�(�$� C���� $���$� #�� �� ?����� $��� ?����� ( � '�!�� ����� /9 �+99/� +B3�*�0. U� �������E ?��� I��� ��D� ������� D� %������ '�!�� ��#� @ 0+ �+99-� +-0/8�*�B. U� �������E C��� ��� ��� %� C������� '�!�� ��#� ����� ;3 �+990� 3;B��*�/. F� F������ F� @����� "� I�� %� ������� ������� ��� $����� � �+990� +�;�*�;. F� F������ �� ������� @��� '��������� �� (�#����� $������� (?$% ��#���� +99B�*�8. �� )������ U� "����� I� M���� "� "���� �� ( � '�!�� BB �+98;� +88�*�9. ��'� F��#���� �� �� ������ �� I������ (� (���� $����� ?��� 4���� B3 �+99-� +9;�*0-. 4� ������ $� $������ ?� I� �� ?� F�� �� A��� ?��� "������ ( � �+98B� /-B�*0+. 1� ?�##���� �� ( � '�!�� BB �+980� 03�3�*03. 1� ?�##���� �� ( � '�!�� B9 �+989� 0+���*0�. ?�$� �������� $�(� ����� ���� ����� �� A��� ?��� "������ ( B �+98;� 3+B-�*00. 1�F� ��� I�$� I������� ��I� A���� $��� ����� ��@� F� �� @� @������ ��@� @��! �� $����� ���� B �+99-�

3B0��*0B. $� ����� ��@� F� �� 1�F� ��� @� @������ �� $����� ���� B �+99-� 3B�8�*0/. �� ?����� ?� L���� F� ���� F� %������� ?���'� ?�#� �� ��������� �� ?������ �� ( � '�!�� ;9 �+99/� +0+/�*0;. ���� ����� ��'� ��!� �� @���! ���� ��� ( � '�!�� ����� B8 �+99+� 0//�*08. D� C����� '� F����� �� F�� � ������� ��� $����� � �+990� ;;-�*09. ?� ������������ ( � '�!�� ����� /9 �+99/� +B8�*B-. )�)� (����# ?�)� A��� A�C� '���� A�%� ?��������� ?�#� '�!�� "���� '�!�� 3B �+98-� ++/0�*B+. ���� $�I��E�� �� $��� @�(� '������ � '�!�� ��#� ����� /; �+99+� ;;��*B3. �� ����! ���� '� �� '�(� ��! ���� ����� A�$� ?��� ( � '�!�� ����� /+ �+993� +;+�*B�. ?� 4����� ��@� @������ ��$� ?������� "��� ?��� 4��� 3�/ �+99�� 83�*B0. @�4� �� $� ������� ?���� �������� "������ /8 �+990� +�+�*BB. )�C� @���� (��� ��#� $����� ?��� 38 �+998� 30��*B/. ?� (����� (� (����� )�C� @���� �� ( � '�!�� ;0 �+99�� 03�9�*B;. (� (����� ?� (����� )�C� @���� �� ( � '�!�� ;B �+990� 089B�*B8. (� (����� ?� (����� )�C� @���� �� ( � '�!�� ;B �+990� 09--�*B9. $�$�$� @�� �� ( � '�!�� 8B �+999� /�8B�*/-. @� ?�������� '� ?������� F��� ?������ ?���� �������� "������ 9� �+998� /0�*/+. F��� ?������ '� ?������� )%%% "����� '���� ?��� +8 �+99-� ++;�*/3. F��� ?������ @� ?�������� "��� ?��� 4��� 30/ �+990� 93�*/�. <� ?�� @�I� "�! F�?� "�� O� �� U�V� "� ?� ?�#� D�)� $��� �� ( � '�!�� ;9 �+99/� ;3�9�*/0. <� ?�� U�V� "� F�?� "�� )%%% "����� '���� ?��� 30 �+99/� +�-9�*/B. @�I� "�! C�4� U�� ?�'� ��� <� ?�� ?���� �������� "������ +�� �3---� B9��*//. $� ������� �� ��������� ��D� ���� ?���'� ?�#� C�(��� (��������� �� ( � '�!�� 8+ �+99;� +�9�*/;. <� ?�� �� 4!�� @�I� "�! ?� '����� I�D� 1����� ?���'� ?�#� U� �������E D�)� $��� '����� $��� @ ;/ �+99;�

�B+�*/8. <� ?�� @�I� "�! ?�'� ��� )��� �� $��� '�!�� +0 �3---� +B0�*/9. ?� (����� (� (����� $��� �������� ��(� $��C� )�C� @���� )%%% "����� '���� ?��� 3B �+99;� /;-�*;-. (� (����� ?���� �������� "������ +3+ �+999� �+9�*;+. (� (����� (�A� I����� $����� ���� ?��� ?!� � '���� /;B �3--+� D++�+�*;3. $��� '�� ���� (���6�� �� ��������� D�)� $��� ������� ��� $����� 9 �3---� //��*;�. @�4� �� ��7 ?���'� ?�#� �� �� �%���� (��� ���� ������ D���� ?��������� ?���� ��� +998�*;0. ���� @�2��� A� O��������! @� (���� %� C����#��� M� @��� $� I����� ?� C������� ?���� ��������

"������ 8;=88 �+993� 3/��*;B. 4� ��#���� %�$� ���������� ���� ������ "��� ��� ��@� ����� �� ( � '�!�� /; �+99-� 3-8+�*;/. ���� '� �� I��� ?������ �� @���! D� I���� ���� ����� "� C� ��D� ����� �� ( � '�!�� ;+ �+993� B/;B�*;;. 4� <���� U�U� ����� ��'�F� ����� '�!�� ��#� @ 08 �+99�� 8-+/�*;8. '� I�#��� 4�@��� @������ ��F� '����� '�!�� ��#� @ 08 �+99�� +3+3��*;9. U� F��� $� ����� ��1� @�������� %� C�� F� '� �� "� C� <� @��� $� ?����� ( � '�!�� ����� /B �+990� 8�-�*8-. $�'� ?���� ���� @������ '�1� '��#����� ���� "���� "�(� 4�������� ( � '�!�� ����� ;� �+998� ;B9�*8+. $�'� ?���� ���� $������E�$������ ��1� ��1���� ���� "���� ���� @������ '�1� '��#����� �� F��� '������

����� (������ ?')% +998�

3;3 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 145: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*83. A�)� $����# ��F� ������� C�%� ������ (�(� '����E! ��@� C������� ( � '�!�� ����� ;� �+998� 3B9+�*8�. �� F���� ?�$� M�6� "��� ?��� 4��� �8 �+9;/� �+;�*80. U� ��������� ������� ��� ���������� ������ ���� ���� 1("M (?) 3// �+99+� +9��*8B. U� ��������� �� ������� "��� ?��� 4��� +00 �+98/� 3/B�*8/. (� @����E�� @� ������� C� @����� '� I��� �� ( � '�!�� B0 �+98�� 0B9-�*8;. �� D�� '� I��� ( � '�!�� ����� B0 �+989� B-B�*88. �� D�� '� I��� �� ( � '�!�� /9 �+99+� 39-9�*89. ��D� O�� I� ������� I� ?������ @� ������� �� ( � '�!�� /B �+989� �9+0�*9-. ��D� O�� I� ?������ I� ������� �� ������� �� ( � '�!�� /; �+989� 08;�*9+. $�(� ��������� (��� ����������� '����� �� �� '���� ���������� ��� $������� '��������� D��! 1��U��

+990�*93. �� $������ (� ��#�� �� @������ ?� F��� $� D��������� ������� ��� $����� 3 �+99�� /;��*9�. $� O�������� 1� 4������������� C� "����� ( � '�!�� ����� ;- �+99;� 3B�B�*90. <�$� F� ?�"� ��� �� @�� (� ������ ��?� ��� �� $����� ���� +0 �+999� +-BB�*9B. $� D���� ?� ?���� "� C������ I� ���� F� %������� A�?� A�������! �� ��������� '�!�� ��#� @ B� �+99/� +B90�*9/. $� D���� I� ���� %� �� �� ��������� ( � '�!�� ����� ;3 �+998� +�+0�*9;. �� I���� $� D���� (� I����� ?� ?���� C� I��E I� ���� F� %������� ������� ��� $����� 3 �+99�� 30/�*98. 1�$��� �����! (��� 4������ (��� 4����� �� ��������� D�)� $��� (� "��������� D� @�!�� ������� ��� $�����

9 �3---� ;/B�*99. �� ��������� '��� ( � ����� // �+990� +;89�

*+--. �� ��������� '����� "����� �� ?��� ( �03 �+99�� 3;;�*+-+. �� D��������� "��� ?��� 4��� 93 �+983� BB�*+-3. D� $��� ( � '�!�� ����� B9 �+99+� 3�9+�*+-�. ���� ��� '� I����! %�D��� $����� �������� 4����� ?��� �+ �+9/+� 9/�*+-0. %�(� @������������ ��(��� (������� C� ��#��� �� '�!�� � +� �+98-� �/9+�*+-B. F��� ?������ ?� $����� ��D� ������� '�!�� ��#� ����� /8 �+993� +;3/�*+-/. ���� @������� @� $�������� '�!�� ��#� @ +0 �+9;/� 3/9-�*+-;. �� I��� ��$� '���� "�%� $����� ( � '�!�� ����� /- �+993� +0B-�*+-8. 4� @������ �� � '���� '�!�� /3 �+999� ++8+�*+-9. ���� $�I��E�� �� A��� ?��� "������ @ ++ �+99�� +938�*++-. ��(� ��#�� "��� ?��� 4��� 33/ �+99�� �-�*+++. �� ��������� ������� ��� $����� 3 �+99�� 980�*++3. �� ��������� ������� ��� $����� � �+990� �/+�*++�. �� ��������� ������� %����� +03 �+99;� /��*++0. �� ��������� ��7 ?���'� ?�#� �� �� �%���� (��� ���� ������7 ?���� �� ��� (�� D��� ?��������� ?���� ��� +998

� �3�*++B. F�'� I������ ��$� 1������� '�!�� ��#� ����� /8 �+993� /3-�*++/. F�'� I������ ��$� 1������� '�!�� ��#� @ /+ �3---� 38-/�*++;. ?� L����� "� 4��������� U� �������E '�!�� ��#� ����� 8+ �+998� /0+�*++8. 1�(� $��� '�!�� ��#� @ B/ �+99;� 300+�*++9. I��� @�!� �� $����� )�D� ������� U� �������E �� A��� ?��� "������ ( +/ �+998� 0BB�*+3-. I� I����! ?� I���� '�!�� ��#� @ /� �3--+� +9�0-0�*+3+. F� F������ F� 4�������� �� $�� $� ?�������� �� ������� ( � '�!�� ( +B� �+998��*+33. ��4� O����� ��'� @������ L� ������� "�� ?�� ��� ��� ����� �� )��� �� ?���� '������� '���� M2���� +98B�*+3�. 4� ?���E ��?� I����� ��7 4� ?���E �� "����� �%���� ?��� ?���� '�!���� A�� 3 (������� '���� 1�� U�� +9B/

� �-B�*+30. ��'� F��#���� �� I������ $� I������ �� 1������� �� ( � '�!�� 8+ �+99;� ;308�*+3B. �� I������ ��'� F��#���� �� I������ �� ( � '�!�� 80 �+998� /08�*+3/. "� ���E �� � ����� ��?� (#����� �� @����� D�%� I��� '�!�� ��#� ����� B9 �+98;� +9�-�*+3;. F� F���� "� ���E �� � ����� ��?� (#����� �� @����� '�!�� ��#� @ 0- �+989� 998/�*+38. "� ���E �� � ����� $����� ���� ?��� ?!� � �;� �+99B� BBB�*+39. �� I� ����� $� F��#���� �� �� ������ �� ( � '�!�� ;8 �+99B� B8�;�*+�-. ���� $�I��E�� $�$�$� @�� �� A��� ?��� "������ ( +/ �+998� 3;���*+�+. (��� 4������ ?�%� ���� �� ��������� D�)� $��� ������� ��� $����� ++ � 3--+��*+�3. I�4� $�����! �� A��� ?��� "������ ( +; �+999� 3;09�*+��. '� I����� ������� ��� $����� +- �3--+� +�9�*+�0. D� $��� ( � '�!�� ( B/ �+99�� B3;�*+�B. D� $��� � �� �� ( � '�!�� �0 �+99B� 3+/��*+�/. 1�A� $���E���� %� C������ (�C� @�����#�� C� "����� �� ( � '�!�� ;9 �+99/� �;+8�*+�;. �� '����� $� ?�������� '� I���1��� F� A����� �� ��! �� C���� �� A��� ?��� "������ ( +/ �+998� 3;8�*+�8. D� ����� "��� ?��� 4��� �3/ �+998� +�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3;�

Page 146: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*+�9. (� #�� I���� D� ����� �� ( � '�!�� ;9 �+99/� +-93�*+0-. (� #�� I���� D� ����� �� ( � '�!�� 8+ �+99;� +B�+�*+0+. D�$�$� I����� ��D�(�$� C���� $���$� #�� �� ?����� ���� #�� )6E������ ���� ?����� ?���� ��������

"������ 98 �+998� +B80�*+03. �� @������ D� $��� ��@�$�L� ?����E�� '�!�� ��#� @ �8 �+988� 3988�*+0�. �� F� � "� ?�����E�?������ D� ����� (� #�� I���� �� ( � '�!�� 8; �3---� 3;+9�*+00. (� #�� I���� "� ?�����E�?������ D� ����� �� ( � '�!�� 89 �3--+� 39;9�*+0B. (� #�� I���� "� ?�����E�?������ D� ����� �� A��� ?��� "������ ( +9 �3--+� +-+�*+0/. �� I� ��� ?���� ?��� �� � 33 �+99B� 309�*+0;. �� ��������� %�'� M5���! '�!�� ��#� @ �B �+98;� 390/�*+08. �� ��������� $����� ?��� 4���� B3 �+99-� +3B�*+09. ��F� ��� D����� ��������� @� ?��� '��� I����� "� 4��������� L� ?�� ��� '�!�� ��#� @ 09 �+990� ++008�*+B-. �� ��������� ������� ��� $����� 0 �+99B� 39;�*+B+. �� ��������� '�!�� ��#� @ B� �+99/� +/�-3�*+B3. ?��� %���� '�!���� �� (��� ���� ?���� ������� ������ +990�*+B�. ?� %���� ������ +0 �+9;/� +�9�*+B0. ��4��� $����� ��$� ��� ����� �� 1�� ��!��� ?���� 0; �+983� �9+�*+BB. '�F� C��� (� ?���� '��� �����2 ���� $�I��E�� '�!�� ��#� ����� /; �+99+� +38/�*+B/. I�D��� C��� '�F� C��� �� ��������� '�!�� ��#� @ B+ �+99B� +3�-��*+B;. ��I� D����� ���� 1�� ��� �� '�!�� �������� $����� ; �+99B� +;BB�*+B8. ��I� D����� ���� (��� "�$� @��� ��?� ������ ���� 1�� ��� C� @������D!� D�?� F���� ?� ?���� $�

D���� F� %������� �� 1�� ��!��� ?���� +9; �+99/� 0+�*+B9. "�$� @��� ���� 1�� ��� D�?� F���� I�D��� C��� '�F� C��� �� 1�� ��!��� ?���� +/0,+// �+99�� ++�9�*+/-. 1�(� $��� ���� $�I��E�� @�(� '������ � $� @��������� $� '������� '�!�� ��#� ����� ;/ �+99/� ;/8�*+/+. 1�(� $��� ���� $�I��E�� @�(� '������ � $� @��������� $� '������� '�!�� ��#� @ B0 �+99/� 9;-��*+/3. ��C� $������ ���� $�I��E�� ��$� C������ '�!�� ��#� @ /+ �3---� 3�09�*+/�. �� @����� �� ?�#����� �� �!��� $��� (������� '�!�� ��#� @ �- �+980� 8;-�*+/0. '�1� I������ '�!�� ��#� +0B �+9//� /�;�*+/B. F� '�� $� '���� @��� C������� 4� �� ��?� ������ '�!�� ��#� @ 00 �+99+� /;0+�*+//. $�$� C�E�� ���� $�I��E�� '�@� ����� �� F���� (�$� A����� ����� '�!�� +9� �+99B� +/;�*+/;. ?� I� �� 4� ������ $� $������� ( � '�!�� ����� 0; �+98B� ;B-�*+/8. ��F� ������ C��� ��! ��D� ?����! ( � '�!�� ����� 09 �+98/� +-/B�*+/9. (� C�� @�?� $�!����� A�A� '��� ��(� ������ $�(� '������ �� ( � '�!�� /+ �+98;� 38;0�*+;-. "�(� 4�������� ����� '�!�� ����� 3--3 �� �����*+;+. �� ����� �� C������ F�D� ? ���� ���� 1�� ��� '�!�� ��#� @ B- �+990� 80/�*+;3. "� @��� �� (���� '� ��#� )� '���� $� I��� O� "�����6 O� ������� �� '�!�� �������� $����� +- �+998� /8+��*+;�. $�(� "���� D��� A���� I��� �������� ( � '�!�� ����� B8 �+99+� B93�*+;0. I��� �������� $��� ����E $�(� "���� D��� A���� ( � $���� ���� 3 �+99+� /0;�*+;B. �� I���� I� ���� F� %������� )� $����� I� @����� F� $��E 4� %���� "��� ?��� 4��� 3-B �+99+� 3;0�*+;/. �� ������ �� 4������� 4� ����#�� (� C�� A� '��� �� ������ �� ( � '�!�� 8B �+999� �3/0�*+;;. 4� $���� @�C� '����� ?�C� ����� '�!�� ��#� ����� ;9 �+99;� 3�0-�*+;8. 4� "���! ?� @������ �� ( � '�!�� // �+989� +8/+�*+;9. (�(� ����� "��� 1��!�� ��@� I�������� ( � '�!�� ����� B9 �+99+� 3+--�*+8-. %� 4�������� �� 4��������� $�%� A���� I�1� ������ ��@� F����� $��� @���E�� ��'� C��� �� ( � '�!�� ;/

�+990� 0/�/�*+8+. ?� ������������ C� ?���������� ( � '�!�� ����� ;+ �+99;� 30/��*+83. V� O���� ?�4� U��� ���� �� (�� F� U��� �� @��� �� ( � '�!�� 80 �+998� BB�8�*+8�. V� O���� ?�4� U��� ���� �� (�� F� U��� �� @��� �� ( � '�!�� 8/ �+999� 389�*+80. (��� 4������ (� ��@���� @�I� "����� A� ?���6�� �� U��� ��$� @���� ?�%� ���� @� I�������� �� ���������

'�!�� ��#� @ /3 �3---� ++-89�*+8B. $�'� ?���� ���� "���� ���� $������E�$������ ���� @������ ���� ?�� ��� ���� M#����!�� '�!�� ��#� @ /+

�3---� +-0B+�*+8/. @�I� "����� (� ��@���� (��� 4������ �� ��������� $����� ���� ?��� ?!� � '���� /;B �3--3� D++�0�*+8;. ��C� '����� '�!�� ��#� 9B �+9B0� �B9�*+88. $� D��������� )� '� � "�'�(� F��� @�I� "����� ��I� @���� '����� $��� ����� ;0 �+99/� 3++�*+89. ��4� %������ %������ %����! ���� ? �������� ! �� ��� %������ $������� � '���� '���� 1�� U�� +98/�*+9-. �� 4�� "� $�X���F���E����� �� '����� (� @����E�� '� I��� C� �������� ?��� ?���� ������� 0; �+98�� /8;�*+9+. �� 4�� "� $�X���F���E����� �� '����� @� ?������� @� ������� '� I��� (� @����E�� ��%� ?�� '�!�� ��#� @ �-

�+980� 0;+��*+93. ?��� @����� ���� $�I��E�� '��� $����� '����� $��� ����� B; �+988� 38B�*+9�. '��� 4��� ��$� @���� ������� ��� $����� 3 �+99�� +--0�

3;0 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 147: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*+90. �� I�� U� �������E C��� ��� ��� )�D� ������� �� $����� �� ( � '�!�� ;/ �+998� B-/��*+9B. ��(� ��#�� I�$� I����� C�(��� (��������� '�!�� ��#� ����� 8- �+998� �38-�*+9/. ?� D������� $� I�� ��� �� 4�� @� I�������� �� ��������� �� ( � '�!�� 89 �3--+� �;8��*+9;. ��(� ��������� '��� ��#� A� ���� '�!�� ��#� @ �� �+98/� 0-�0�*+98. 1�I� $���� �� U��� L����������� ! ;0 �+998� 8��*+99. �� I������ �� �� ��7 ?���'� ?�#� �� ��������� D�)� $��� C�(��� (��������� �%���� (��� ���� ������7 ?����

�� ��� (�� D��� ?��������� ?���� ��� +998�*3--. $� C���� $� I�� ��� �� 4�� �� �� �� '�!�� �������� $����� ; �+99B� 83+9�*3-+. '� F������� ���� 1�����! )� )����� �� ?���� ��(� F����! ���� ������� (��� ������� 4� ?���� �� ����� '�!��

8B �+98/� 0809�*3-3. ��(� F����! �� �� �� ����� '�!�� 8� �+98B� /-99�*3-�. ��"� 4������ (�'� F������� �� '�!�� ����� 9/ �+993� /B98�*3-0. �� (�#������ �� �� '�!�� ��#� @ 0B �+993� +B+8�*3-B. ?���'� ?�#� ���� C� (��������� �� ��������� �� ?����� '����� $��� @ ;0 �+99/� �/9�*3-/. �� 4�� (�#� %������� %������ '�!�� ;B �+989� +3+�*3-;. F� ������� %2�������� �� ������ ��� ��������� ����������� �! �������� ? ������ "����� $��� '�!�� 88 �+98-� +�*3-8. ���� '��� '�!�� ��#� +38 �+9/3� 3-9��*3-9. ���� '��� � @���� ��� @���� �� ?������������� (������� '���� ������ +9;��*3+-. �� F���� %� ����� (� '��N����� (� @��������� '�!�� ��#� @ /B �3--+� 0B+-+�*3++. $��� "��!� A� '���� (� ?��� ������� ��� $����� +- �3--+� +83�*3+3. 4� ��������� ��4� '���� (� "��������� '�!�� ��#� @ 0B �+993� +0�/0�*3+�. �� ��� ��D� ����� A�?� A�������! �� ��������� ������� ��� $����� ; �+998� 999�*3+0. �� ��� ��D� ����� A�?� A�������! �� ��������� �� 1�� ��!��� ?���� 33; �+998� /+;�*3+B. ��?� I����� D�@� D���� �� $����� ���� 0 �+989� �8B�*3+/. ���� 1������� ?�(� ?��� '�!�� ��#� @ 3- �+9;9� �93�*3+;. @�?� %��� $� ?��!���� $�?� ���������� F� $�E��� C� ���������� '�!�� ��#� @ 3B �+983� 0+03�*3+8. 4� "������� ���� I������ �� ����� '�!�� B� �+9;-� ++3/�*3+9. (��� 4������ �� ��������� '�!�� ��#� @ /+ �3---� +0-9B�*33-. '�U� U� $� ������� 4���������� �� ?������������� ? ������ @���� +99/�*33+. �� (��� �� D����� ��%� ?���� $�F� @����! '�!�� ��#� @ ++ �+9;B� 33;+�*333. �� @����� �� (��� (�#� '�!�� 3/ �+9;;� ��9�*33�. 1� $��! ��?� ������ '�!�� ��#� @ �B �+98;� 30B/�*330. 1� D��� '��� C��E� (� ?��� �� 1�� ��!��� ?��� �B=�/ �+98-� B0��*33B. ��%� ?������� ���� 1������� ��"� C��� '�!�� ��#� @ 0+ �+99-� �;�8�*33/. ?��� ?��� ���� C������� $� @����� �� ?�#��� �� �����! ������� ��� $����� B �+99/� B89�*33;. �� (������ C� ���������� '�!�� ��#� @ 3/ �+983� 0B+0�*338. �� $� �� �� ���������� C� O���� '�!�� ��#� @ /- �+999� +3;+-�*339. �� "������ ?� ����� '�!�� ��#� ����� 8B �3---� B3+0�*3�-. $� ������� (��� 4������ �� ��������� C�(��� (��������� ( � '�!�� ����� ;/ �3---� +0+9�*3�+. C� I����� �� 4�������� �� F����� %��� �!�� ����� �3 �+99B� ;39�*3�3. ��C� $������ ?� '����� �� ( � '�!�� ;8 �+99B� �-0-�*3��. "� I���� "� 4��������� C� �������� '�!�� ��#� @ B3 �+99B� ++8�;�*3�0. 4� �� ��?� ������ ( � '�!�� ����� /+ �+993� 3++/�*3�B. C�'� �� ���� A�)� $����# ��?� ������ ( � '�!�� ����� /9 �+99/� ��08�*3�/. ?� '����� I�D� 1����� U� �������E C��� ��� ��� %� C������� �� I�� )� (#��� �� I���� ������� ���

$����� B �+99/� 0���*3�;. '� ��� ��� �� (������ $�?� ���������� ������ 3- �+983� 03;�*3�8. �� ?����� ?� L���� A� @������ F� %������ ?���'� ?�#� �� ( � '�!�� 8- �+99/� 00-�*3�9. $�(� "���� ��(� F���� ��F� D� I��� F��� ( � '�!�� ����� B0 �+989� +3��*30-. $�(� "���� D��� A���� �� ( � '�!� ;/ �+990� �83��*30+. $� ���������� �� D����� ( � '�!�� ����� B+ �+98;� +�BB�*303. �� D����� $� ���������� �� D�� '� I��� '�!�� ��#� @ 0- �+989� +8+;�*30�. $� U������� C� I������� F� )����� (� )������� "� (������ ?��� ?���� ������� // �+988� ++;;�*300. (��� 4������ �� ��������� '�!�� ��#� @ /0 �3--+� ;B0+0�*30B. I�D��� C��� F�?� ?���� ��1� @�������� �� ��������� D�)� $��� ( � '�!�� ����� ;- �+99;� +98-�*30/. A�)� $����# ��?� ������ ��F� $���� ?�(� (���� A�?� A�������! D�)� $��� '�!�� ��#� ����� ;8 �+99;� 08/9�*30;. I�D��� C��� ?� '����� I�D� 1����� )� ��������� F�?� ?���� U� �������E O� ?�� �� ( � '�!�� 8; �3---�

;38��*308. C� (���� ���� I�D��� C��� �� ��������� 1�$��� �����! @�U� I�������� (� @���! ��1� @��������

������� ��� $����� 8 �+999� B0+�*309. ���� ?�� <� ?�� O� ?�� ?�'� ��� @�I� "�! F�?� "�� ������� ��� $����� +- �3--+� ;/�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3;B

Page 148: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*3B-. $� '������ 4� $���� '�!�� ��#� @ /� �3--+� 030B+B�*3B+. (�A� @�����# (�1� @������# U�?� @����#��� A�)� '����# M ���� ? �������� /3 �+988� /+3�*3B3. )� '���� $� F��������� $� I��� �� ��! �� 1�� ��!��� ?���� 33;,3�- �+998� +-8��*3B�. $��� $������� $�(� '������ C� ���������� $�?� ���������� $� %��� '�!�� ��#� @ B9 �+999� /B8B�*3B0. ��'� A����� ��@� 4������� ���� D��� "�$� ����� ?��� ?���� ����� �9 �+98+� �0+�*3BB. @� ������� (� @����E�� '� I��� ?��� ?���� ������ 08 �+98�� +-B�*3B/. @� ������ (��� ���� �!���������� ������ ���� ��7 '� I��� '� M������ �%���� ��7 '���������� �� ��� %$�?

?!� ����� A�� +; ��� %������� �� '�!��N�� '���� +98; � +89�*3B;. '����� F���!���� ���� 1�� ��� ��I� D����� D�?� F���� �� "������� '�!�� ��#� @ B- �+990� 8�9�*3B8. "� F���E @� ���#��� �� C���� ��%� @����� '�!�� ��#� @ B8 �+998� +�9B;�*3B9. �� ������� ��"� ?���� �� ��! D� @�!�� �� ( � '�!�� 80 �+998� �8�/�*3/-. D� @�!�� �� 1�� ��!��� ?���� +98 �+99/� 0-�*3/+. D� @�!�� F� D����� �� ( � '�!�� B� �+983� 8;0B�*3/3. <� ����� D� @�!�� I� ������� �� ( � '�!�� /8 �+99-� +�;8�*3/�. D� ����� $� L���� ( � '�!�� ����� /8 �+99/� 0;B�*3/0. "� ?�����E�?������ (� #�� I���� D� ����� �� ( � '�!�� 8/ �+999� �9/8�*3/B. (� C�� A� '��� ( � '�!�� ����� /- �+993� 3-89�*3//. �� ��$������ 4� ��������� (� "��������� ������� ��� $����� 0 �+99B� +3+-�*3/;. $� '������� (� @��������� (��� 4������ %� D����� $� D������ '�!�� ��#� ����� B- �+98�� ;/+�*3/8. $�"� U�� $��� ����� '�!�� ��#� @ 39 �+980� /99/�*3/9. D�(� F������� '�!�� ��#� @ 8 �+9;�� 008;�*3;-. ��(� ������ F��� ��������F������ '���� �� ?��� ?��� ( +9+ ��9� �+90;� 00;�*3;+. "� 4��������� '� @����� L� ?�� ��� C� �������� '�!�� ��#� @ 08 �+99�� 083��*3;3. 4�F� ?������� "�(� D���� '�!�� ��#� @ �+ �+98B� B3/3�*3;�. �� "������ '�!�� ��#� ����� /+ �+988� 38;9�*3;0. �� "������ '�!�� ��#� @ 00 �+99+� +3-�9�*3;B. �� @������ '�!�� ��#� @ 03 �+99-� 90B8�*3;/. �� @������ '�!�� ?��� ?���� @ 3+; �3---� 3��*3;;. $�)� F����� �� '�!�� �������� $����� � �+99+� �-/B�*3;8. '��� I����� '�!�� ��#� @ 0; �+99�� +839�*3;9. '��� I����� '�!�� ��#� ����� ;� �+990� 30/-�*38-. ��O� D��� I�$� F� ��"� ���� '�!�� ��#� ����� ;- �+99�� /++�*38+. ��O� D��� I�$� F� '�!�� ��#� ����� ;+ �+99�� ++80�*383. �� C������ (��� ?����� ��C� '������� %��� �!�� ����� 9 �+989� ;-+�*38�. C� �������� "� 4��������� �� '���E�� '� @����� L� ?�� ��� '�!�� ��#� @ B- �+990� /;-9�*380. L� ?�� ��� "� 4��������� '� @����� C� �������� '�!�� ��#� @ 09 �+990� +089�*38B. "� 4��������� C� �������� L� ?�� ��� '� @����� ?� ����������� $� D���� ?� ?���� I� ���� F� %�������

'�!�� ��#� @ B- �+990� ;90-�*38/. ��D� ���� �� ��������� �� 1�� ��!��� ?���� 33;=338 �+998� /-3�*38;. �� ��������� '����� $��� @ ;/ �+99;� ��B�*388. ��(� ������ '�(� 4������ '� ?����� '�!�� ��#� @ 09 �+990� +/0+B�*389. ��(� ������ '�(� 4������ $�'� C������� '�!�� ��#� @� B0 �+99/� B08-�*39-. C� C�� ��(� $����� �� ��� $� '������� '�!�� ��#� ����� /3 �+989� BBB�*39+. C� C�� ��(� $����� �� ��� $� '������� '�!�� ��#� @ 03 �+99-� ;0;-�*393. �� ��� $� '������� '�!�� ��#� ����� BB �+98B� 30;+�*39�. ?� )����� C� C�� M� $������ '�!�� ��#� @ 09 �+990� ;-/-�*390. '�(� ?����E %�@� ?����� '�!�� ��#� @ B; �+998� �39B�*39B. '�(� ?����E �� ����� %�@� ?����� '�!�� ��#� @ B9 �+999� ;���*39/. $�$�$� @�� ���� $�I��E�� ��C� $������ ��$� C������ '�!�� ��#� @ /3 �3---� �-;+�*39;. �� D����� �� �� '�!�� ��#� @ 38 �+98�� 3+B3�*398. �� L����� �� %��� '� M������ A����� 0+ �+99-� +�;0�*399. �� L����� $�F� "��� �� %��� ?� ?���E '� M������ ( � '�!�� ( B+ �+99-� B3/�*�--. �� ?������ �� ������� �� C��� ��� �� ��! L� ?�� ��� "� 4��������� A�?� A�������! C� (��������� $� D����

F� %������� '�!�� ��#� @ B� �+99/� ;;/3�*�-+. �� ?������ �� ������� �� ��! ������� ��� $����� � �+990� 8/+�*�-3. �� M ������� (� "��������� ( � '�!�� ����� ;B �+999� �/B-�*�-�. �� ����� �� 4� ��������� ��4� '���� (� "��������� '�!�� ��#� @ 0� �+99+� 3+�+�*�-0. C� 4������� (� "��������� ��'� ������ I� �����! $��� $������ �� 4��� C� ���� '�!�� ��#� @ /+

�3---� B--3�*�-B. �� @��E���� �� (���! @� ������ (� O�����! �� 1�� ��!��� ?���� 38+ �3--+� +;+�*�-/. �� ��������� '����� $��� @ // �+993� +99�

3;/ -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 149: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*�-;. @� ������� (� @����E�� '� I��� ( � '�!�� ����� 03 �+98�� /�/�*�-8. ?� ?������ ?� D� F� $� D� 4��� ������� ��� $����� 3 �+99�� +�/-�*�-9. ?� <� $� F��������� �� ������� @� U�� �� ��! �� 1�� ��!��� ?���� +/0 �+99�� ++3;�*�+-. ���� �� ��������� C� (��������� �� ( � '�!�� 8- �+99/� 3998�*�++. A� '���� (� ?��� U� @������ �� (���� �� 1��� $� O�������� (� ?������ C� "����� $��� "��!� �� 1��

��!��� ?���� 33; �+998� B8��*�+3. @� I�������� (��� 4������ �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 88 �3---� ++09�*�+�. ��?� ������ �� 1�� ��!��� ?���� 9; �+98;� �9�*�+0. %�(� "��� F��� '��� '�!�� ��#� @ +�8 �+9/B� (+9;�*�+B. �� ������ ��A� 4��������� F� ������� I� O� ����� ? ������ "����� $��� '�!�� B0 �+9;-� ;;�*�+/. �� C�� U�U� D��� (��� ������ ���� �������� '�!�� ��#� ����� /3 �+989� 90B�*�+;. %�C� C������� '�@� ����� ���� $�I��E�� '�!�� ��#� @ B0 �+99/� +0B-0�*�+8. @�I� "�! <� ?�� ��I� ����� ��)� 4!�� "��� ?��� 4��� �-8 �+99;� +99�*�+9. ?� <� ��I� ����� ���� ?�� O� ?�� @�I� "�! �� '�!�� �������� $����� ++ �+999� +8B�*�3-. U� �������E ?��� I��� )�D� ������� '�!�� ��#� ����� /8 �+989� /3-�*�3+. %� C������� C��� ��� ��� �� I�� �� $����� ��D� ������� U� �������E ( � '�!�� ����� /8 �+99/� +3+0�*�33. U� �������E C��� ��� ��� %� C������� F��� ?������ ?� A����� @� ?�������� (� @����� �� ������ %� ?�����

�� @���� �� I���� (� F������ ������� ��� $����� / �+99;� /8;�*�3�. U� �������E C��� ��� ��� %� C������� )� (#��� �� LE���?���! �� I���� �� I�� �� $����� ��D� �������

������� ��� $����� 0 �+99B� �+8�*�30. �� I�� C� ��� ��� %� C������� U� �������E $����� ���� ?��� ?!� � '���� B9� �3---� �-B�*�3B. $� F��#���� �� ?�� �� �� ������ (� (���� '�!�� ����� ( 3-B �+99B� 38;�*�3/. ���� $����� F��� $���� ���� ����� ���� '� �� (� C�� A�A� '��� ��'� ��!� I��� ?������ �� ( � '�!�� ;/

�+990� 3/�/�*�3;. (��� @��� I�%� M5F��� ��C� ���� M� $������ (� #�� I���� �� ( � '�!�� 88 �3---� /�+;�*�38. I�@�I� "�� ?�%� ���� ��"�F� "��� (��� 4������ D�)� $��� �� ( � '�!�� 89 �3--+� �;-/�*�39. I�@�I� "�� (��� 4������ ��"�F� "��� �� ��������� D�)� $��� C� 4������� (� "��������� %� �������� �������

��� $����� �3--3��*��-. ?� <� ��I� ����� @�I� "�! "��� ?��� 4��� �+3 �+998� +/-�*��+. $�'� ?���� ���� "���� '�1� '��#����� ���� M#���!�� ���� ?�� ��� ���� $������E�$������ ( � '�!�� �����

;/ �3---� �-B3�*��3. $�'� ?���� '�1� '��#����� ���� "���� ���� ?�� ��� @� I�������� D�)� $��� ( � '�!�� ����� ;/ �3---� 3-0;�*���. ���� $������E�$������ $�'� ?���� '�'� '��#����� ( � '�!�� ����� ;9 �3--+� B03�*��0. "�(� 4�������� I�4� $�����! ���� @������ $�'� ?���� ���� ����� ( � '�!�� ����� /8 �+99/� +/0��*��B. ��'� ?��#�� "�(� 4�������� ��7 ?���'� ?�#� �� �� �%���� (��� ���� ������7 ?���� �� ��� (�� D��� ?���������

?���� ��� +998 � 38+�*��/. ��'� ?��#�� "�(� 4�������� (�C� @��� �� %������� $����� 3/ �+99;� +-3+�*��;. "�(� 4�������� ��'� ?��#�� ��(� I�� ���� "���� ��$� 4������� ���� $���� '�@� $������� ( � '�!��

����� ;+ �+99;� �83-�*��8. ?� (����� �� ���E ��D� (��� ��U� �� ��@� @��! ( � '�!�� ����� ;+ �+99;� ��/;�*��9. ?� (����� ��D� (��� C�$� '���� "�U� "��� )�C� @���� "��� ?��� 4��� �-8 �+99;� +8/�*�0-. (��� 4������ @� I�������� 1�(� $������� (� F��� A� ?���6�� �� ��������� �� ( � '�!�� 8B �+999� ;+9+�*�0+. �� I���� U� �������E I� 1����� ?� '����� ( � '�!�� ����� ;0 �+999� 39�/�*�03. ���� $�I��E�� D��� $�4� D�C� ?����! ��(� ��#�� ��%� ����� ������� ��� $����� 3 �+99�� 9;-�*�0�. ��C� $������ ���� $�I��E�� ?� '����� '����� $��� @ ;3 �+99B� +-�+�*�00. )� ������E $�$� C����� ��$� (��� ���� "������� ( � '�!�� ����� ;� �+998� 39++�*�0B. (� )�� (��� 4������ "� U��� ?�%� ���� %� @�������� '� $���� �� ��������� �� ( � '�!�� 9- �3--+� 3-30�*�0/. 1� 4������� C� "����� "��� ?��� 4��� 30- �+990� 38�*�0;. ��C� ������� 4��� $��N��� ( � '�!�� ����� ;� �+998� /+;�*�08. ?� ?���� �� ��������� F� %������� �� ( � '�!�� 83 �+99;� 0B//�*�09. 1�$��� �����! (� )�� �� ��������� D�)� $��� ( � '�!�� ����� ;� �+998� 30B/�*�B-. 4�D� ?���� �� ( � '�!�� BB �+980� ;/0�*�B+. �� @����� (� ?����� @� D����� L�(� ?������� �� �������� �� I� ��� '�!�� ��#� @ 09 �+990� +;�-;�*�B3. �� D�� '� I��� ( � '�!�� ����� B+ �+98;� +B-/�*�B�. ?�?� ������� (��� @����1��� ��(� ?����� 4��� 4����� �� ������ 4� 4����� ������� ��� $����� ; �+998� ++BB�*�B0. ���� ���� ��(� ������ '�!�� ��#� @ B; �+998� +BB9+�*�BB. �� F���� C� C�� (� @��������� ( � '�!�� ����� ;- �+999� +;+8�*�B/. '� I����� �� 1�� ��!��� ?���� 3�- �+998� B9;�*�B;. $� I������ ��$� 1������� ?� '�!� '�!�� ��#� ����� 8; �+999� B�0/�*�B8. 1�4� $��� %�(� ��#�� %�������� '�������� �� 1�����!������ $������� M2���� L��#�����! '���� M2���� +9;9�*�B9. ?��� %���� '�!���� �� (��� ���� $������� 3�� %������ ������� ������ +99- � 38��

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3;;

Page 150: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*�/-. ?��� $���� ?� L������ 4��� ����� (� "��������� (��� 4����� �� ��������� D�)� $��� ������� ��� $����� 9�3---� 8-B�

*�/+. 1��� �� �������� ���� ��� $� ������� C�(��� (��������� '� D�������� ������� ��� $����� 9 �3---�++08�

*�/3. �� (���� @� I�������� �� ��������� D�)� $��� $�%� D���� �� ( � '�!�� 8B �+999� +/-9�*�/�. �� ��������� '�!�� ?���� ?��� @ +8/ �3--+� +;;�*�/0. ��(� ?����� F!���������� (��� ���� ?����� ��������� L��#�����! '���� ��������� +99+�*�/B. ���� I���� ?� ���� �� ��������� �� ��������*�//. $� F����� %��� "���� ���� D���� $�?� ������� ( � '�!�� ����� / �+989� 0;39�*�/;. (� ?��� U� @������ $��� "��!� F��� #�� @�������� ������� ��� $����� B �+99/� 0�9�*�/8. ���� @���� $� ����� ?���'� ?�#� '�!�� ��#� @ /+ �3---� �B0/�*�/9. ���� @���� ������� ������ $��� +- �3--+� +;0�*�;-. F��� #�� @�������� ���� ������ (� O������ @� ������ I� O���� '�1� ��� ( � '�!�� ����� ;8 �3--+� 380��*�;+. '�D� (������� '�!�� ��#� ����� �0 �+9;B� 9B��*�;3. ��(� ?����� 1�4� $��� '�!�� ��#� ����� �B �+9;B� +39��*�;�. �� ������� �� ?������ �� ��! ������� ��� $����� 0 �+99B� B-8�*�;0. C� 4������� (� "��������� ��'� ������ I� �����! $��� $������ �� 4��� C� ���� ������� ��� $�����

9 �3---� ;�3�*�;B. ?�A� ������!���# %�)� "����# A�(� A����!�# (�?� A��# �� 1�� ��!��� ?���� +�0 �+99+� 3+8�*�;/. $� U������ $� ?����E� I� F������ F� M����� U� F������ M ������������ ; �+993� /9�*�;;. �� D����� '� ������������� �� ( � '�!�� B9 �+98/� 3-00�*�;8. $� I��� )� '���� �� "��� �� 1�� ��!��� ?���� +/0 �+99�� ++B+�*�;9. ���� C�(��� (��������� �� ��������� '�!�� ��#� @ B� �+99/� +/�-/�*�8-. D� ����� $� F��������� �� ��! �� 1�� ��!��� ?���� 33; �+998� B;-�*�8+. $�1� @��������?����� (� 4�����# ��'� ����� �� C���� "� F���E ��%� @����� ����� '�!�� ����� �+9 �3---� ++��*�83. �� C���� $�1� @��������?����� ������� ��� $����� +- �3--+� +/8�*�8�. "� F���E �� C���� ��%� @����� @� ���#��� ��'� ����� '�!�� ��#� @ /- �+999� /-0B�*�80. ��(� ?����� (�#� '�!�� �- �+99-� B9��*�8B. @�)� ?��#��� F� 4���E���� ?��� @�����#�� '�!�� ��#� ����� /3 �+989� 3989�*�8/. @�)� ?��#��� F� 4���E���� ?��� @�����#�� �� 1�� ��!��� ?���� ++0 �+989� �3B�*�8;. D� ?������ �� ������ D� 4��� I� ���� '�!�� ?��� ?���� @ +0- �+98;� �++�*�88. ?� ������ I� ���� 4� 4����� D� 4��� �� 1�� ��!��� ?���� 9; �+98;� +-8��*�89. ?� ������ I� �� � I� ���� D� 4��� �� 1�� ��!��� ?���� ++0 �+989� B33�*�9-. ��?� ?������� �� M���� '����� $��� @ 00 �+98+� +�;�*�9+. (� )�� 1�$��� �����! �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 80 �+998� BB;B�*�93. (� )�� M� F��� 1�$��� �����! "� U��� �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 8; �3---� ;89�*�9�. 4� C������ 4� C������ ��4� '���� (� "��������� %� "����� ( � '�!�� ����� ;3 �+998� 3B3-�*�90. $� I��� �� '���� �� %����!� (� @�E��� �� 1�� ��!��� ?���� 3�- �+998� B;9�*�9B. F� 4���E���� @�C� U��� ��O� ��� $�V� "��� �� 1�� ��!��� ?���� +0+ �+993� +3��*�9/. �� $����� '�!�� ��#� ����� B0 �+98B� +0/�*�9;. ?� I��E��� $� I��� U� ?��� F� ME�� "� )��E�� ( � '�!�� ����� ;+ �+99;� +-/B�*�98. D�%� ? ��� '�C� �������� (�#� '�!�� 3/ �+9;;� 8++�*�99. 1�4� $��� (�#� '�!�� +/ �+9/;� 09�*0--. ��(� ?����� '�!�� ��#� ����� 09 �+983� ++8;�*0-+. �� ��������� ��(� ��#�� ������� ��� $����� 0 �+99B� 00+�*0-3. A�?� A�������! �� U��� C� (��������� D�)� $��� I�D��� C��� $� D���� ��$� @���� '�!�� ��#� @ 08

�+99�� +;9B0�*0-�. ��(� ��#�� ���� $����E�� U� U�� %� I��#��������� C�(��� (��������� A�?� A�������! '����� $��� @ /9

�+990� ++���*0-0. <� ?�� F� 4� ���� ?�� ��I� ����� @�I� "�! '� F�� �� '�!�� �������� $����� +- �+998� 939��*0-B. 4� D���� �� D����! "� 4��������� '�!�� ��#� ����� ;8 �+99;� ��3/�*0-/. 1�A� ?������ "�� M������ ��������! �� 1������� 3�� %������ M2���� L��#�����! '���� M2���� +9�;�*0-;. @� $�!����� 4�D� ?���� ?��� ?���� ������� 0+ �+983� /8�*0-8. ��)� ����� (��� ?������ '����� $��� @ 0/ �+983� 03��*0-9. (� F����� '� F����� ��L� "���� I� ������ �� $������� '����� $��� @ ;3 �+99B� ��B�*0+-. ?���'� ?�#� �� ��������� C�(��� (��������� @� �������! ��$� @���� ��4� 4����������� C� $������� �� ( �

'�!�� 8+ �+99;� 3/3/�*0++. �� ?����� A� @����� ?� L���� F� %������� ?���'� ?�#� �� ( � '�!�� 80 �+998� 3-;+�*0+3. @�U� I�������� $� ������� �� ��������� ������� ��� $����� ; �+998� 0;3�*0+�. (�U� ��� $� ����� ?������ 30 �+989� 80+�*0+0. ��$� "����� ���� F���! ?������ 3;+ �+99/� B��

3;8 -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 151: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*0+B. (� @��E��� "� @��E��� �� ��! D� ���� "��� ?��� 4��� �B0 �+999� +08�*0+/. ?� $�� ��$� $����E ������� ��� $����� 8 �+999� +8-9�*0+;. �� $����� I��� @�!� (�F� ()�@�!��� ��D� ������� '�!�� ��#� ����� ;� �+990� ++8�*0+8. I��� @�!� �� $����� ?�?� "�����# (�F� (�@�!��� ��(� O��� ��D� ������� �� I�� �� A��� ?��� "������ ( +�

�+99B� 3++-�*0+9. ?� A� �� �� D������� 4� C��E �� A��� ?��� "������ ( +� �+99B� 39+0�*03-. ?� F� '� U��� �� ������ '�!�� ��#� @ B; �+998� �+8B�*03+. �� ? ���� $� I��� 4� ������� L� 4�� $� F�������� �� I� �� L� I������� ������� ��� $����� ; �+998�

+;3;�*033. U�I� U� ?� I��� "� (�!��� U� $�� "� ?���� ( � '�!�� ����� ;� �+998� 9+B�*03�. �� '� �# ��$� O����# $�4� '��� D� I����� "��� ?���� 4��� �;; �3---� +B/�*030. ?�%� ���� D�)� $��� �� ��������� ��$� @���� ( � '�!�� ����� ;; �3---� +0B8�*03B. F� ?6������ ?� ?�������� $� @���� ��%� ?������� '�!�� ��#� ����� ;B �+99B� +��/�*03/. 1� F����� $�'� ��������� %� @������� �� F����� ��%� ?������� '�!�� ��#� @ B9 �+999� B+/3�*03;. 1� F����� I� $��� %� @������� $�'� ��������� �� F����� ��%� ?������� �� ( � '�!�� 88 �3---� B30�*038. '� F����� D� C����� ������� ��� $����� B �+99/� ++B3�*039. �� ������� F� 4�������� �� $�� F� F������ '� ����� ��L� "���� '�!�� ��#� @ B8 �+998� 33-;�*0�-. 1� F����� �� C�� �� ?���� (� (��� ��%� ?������� ( � '�!�� ����� ;9 �3--+� 0�08�*0�+. 1�$� A������� '� F����� $��� ���?����� 4� (#���E '�!�� ��#� @ /+ �3---� +-8��*0�3. ��F� I������ ?� $���� ���� ?� ������� '�!�� ��#� @ �9 �+989� +�-B��*0��. "� '����� �� �� '�!�� ��#� ����� ;8 �+99;� 0309�*0�0. 4��� ����� D�)� $��� @�U� I�������� �� ��������� C� (��������� @�1� ��! "��������� ���� ���� ������

���� ��� ����������� %������� ����� �3 �+99/� 098�*0�B. ?� ��� �� ��� ?� C���� ���!�! C� ?�����#�� ?�?� (�� F�(� 1����� )%%% %�� ����� +9 �+998� �+;�*0�/. ���� $�I��E�� D�"� �� %�C� C������� ������� ��� $����� +- �3--+� 3�-�*0�;. C�@� O���� ��$� F� '�U� U� ?� ������ ?� %����! %�O� F���! )%%% "����� %�� 03 �+99B� +B08�*0�8. D��� �� ���� $�I��E�� D� D��E������ )%%% %�� ����� 3+ �3---� 39B�*0�9. $� $����� �� �� (��� ��#� $����� ?��� �- �3---� /0B�*00-. (� C�� A� '��� �� ( � '�!�� 8B �+998� ��+0�*00+. (� C�� ������� ��� $����� +- �3--+� 3�0�*003. �� "��� �� A��� ?��� "������ @ +; �+999� 3�9;�*00�. I� %��� $�? @�� �+99;� BB�*000. U� 1����� ?� 1���� F� F������ $����� ���� ?��� ?!� � '���� /;B �3--+� D+-�B�*00B. '��� ?������� )� @����� �� A��� ?��� "������ @ +� �+99B� +�9+�*00/. �� ��������� "��� ?��� 4��� 39/ �+99;� /+�*00;. D�(� ��F��� (� �������� �� L����� ?������ 3;- �+99B� ++;9�*008. M� C������ M�$� I���� %� ?����� '� C������ �� ?��� ���� ( � '�!�� ����� /9 �+99/� 0;/�*009. (� "��� �� �� ��7 ?���'� ?�#� �� �� �%���� (��� ���� ������7 ?���� �� (�� D��� ?��������� ?���� ��� +999�*0B-. "�D� $����� 1��� ��1���� ��@� ������� $�'� ?���� "�(� 4�������� ���� $������E�$������ ( � '�!�� �����

;3 �+998� 3300�*0B+. 4��� F�� �� ��?� I�� ��(� A��A������ ��%� %������ '�!�� ��#� @ 3- �+9;9� /30�*0B3. $�D� C��� 1�1� %������ ���� D�������� $��� $�(���� $� $����!�� ��C� ?���� ��4� F������E )%%%

"����� %�� ����� +3 �+99+� 0B/�*0B�. ��@� ��� �� ������� �� ��! '�!�� ��#� ����� 8+ �+998� 039�*0B0. $��� ������ �� ��������� '�!�� ��#� @ B; �+998� 930+�*0BB. $�D� C��� ���� "����� "�$� �!�E�E��E �� A��� ?��� "������ @ +0 �+99/� 3-/-�*0B/. �� ��������� $����� ���� ?��� ?!� � '���� 0+; �+99;� 3+;�*0B;. D� O�� C�'� I������� ?� ��� �� ( � '�!�� ;8 �+99B� 3;-;�*0B8. (�(� "��� ��?� '�� I�4� $�����! "�%� 4���� F��� ����� ��4� @������ ( � '�!�� ����� /9 �+99/� �803�*0B9. 4� ������ �� D�� �� @��� '� I��� ������� ��� $����� / �+99;� ++++�*0/-. M� C��X���� M�$� I�X��� '� C��X���� �� ?��� ���� �� A��� ?��� "������ @ +; �+999� +-/0�*0/+. C�(��� (��������� ?���'� ?�#� ( � '�!�� ����� /8 �+99/� 3B39�*0/3. D�)� $��� ( � ?���� ?��� +0/ �+999� 3/3�*0/�. I��� '�� ��F� $��� ?��� ����� �� ���� $�L� M� D�)� $��� ( � '�!�� ����� ;- �+99;� +�8+�*0/0. @�?� ?��!�����!��� (� F��� D�)� $��� �� ��������� ( � '�!�� ����� ;+ �+99;� +0�-�*0/B. (� F��� @�?� ?��!�����!��� �� ��������� D�)� $��� ( � '�!�� ����� ;0 �+999� +B90�*0//. ��I� ����� <� ?�� %� ��� @�I� "�! �� ( � '�!�� 8B �+999� /8+/�*0/;. (� )�� (� F��� (��� 4����� �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 8- �3---� /--3�*0/8. (�A� I�������# A�)� I���# A�C� �������� %��� M���E���#� A��� 4���# ������� ��� $����� ; �+998� 8-3�*0/9. ���� 4������ (�'� @����� (���'� ?�#� ��I� ����� <� ?�� ( � '�!�� ����� ;� �+998� �;80�*0;-. ��'� O��� O�U� ���� <� D��� "�?� ?�� "� U��� ( � '�!�� ����� ;/ �3---� +9+�

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 3;9

Page 152: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*0;+. (� )�� "� U��� (��� 4������ �� ��������� ( � '�!�� ����� ;/ �3---� 3/3;�*0;3. ���� ����! ���� 4������ ��L�(� I��� ?���'� ?�#� ( � '�!�� ����� ;; �3---� 3--/�*0;�. D�)� $��� �� �� 1�� ������� 4������� ������ "������ ++ �3--+� 3�B�*0;0. M� C��X���� M�$� I�X��� '� C��X���� �� ?��� ���� ( � '�!�� ����� ;+ �+99;� 33B��*0;B. @�4� �� ��%� ����� ���� $����� %�'� $��� (�(� "��� '� #�� (��� $����� ���� ?��� ?!� � '���� 098

�+998� +8B�*0;/. ��@� ��� �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 89 �3--+� B;-;�*0;;. @�?� ?��!�����!��� �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 8; �3---� �+3/�*0;8. (� C��� �� $�!�� '� �������� 4� ��#! "� �����2 )%%% "����� %�� �8 �+99+� 3B3-�*0;9. ��@� ��� �� ��������� D�)� $��� �� ( � '�!�� 89 �3--+� �09-�*08-. �� ��������� �� A��� ?��� "������ @ +; �+999� /B9�*08+. �� ?������ �� ������� �� ��! �� A��� ?��� "������ ( +B �+99;� 0-8�*083. 1��� �� �������� $� ������� C�(��� (��������� '� D�������� �� $����� '� L������� �� $����! ( �

'�!�� ����� ;; �3---� +9-8�*08�. ��$� @����� F� I��� "� ?���� ��M� 1���� ?��� ?���� %������� 0B �3--+� 89��*080. D� O�� �� @���� M� O��� C� I������� ?� ��� ( � '�!�� ����� ;B �+999� 8;��*08B. I�(� ���� @��� ������� ( � '�!�� ����� ;B �+999� �-+;�*08/. I�(� ���� @��� ������� ( � '�!�� ����� ;/ �+999� �;B�*08;. M� C��X���� M�$� I�X��� �� %��������� '� C��X���� �� ?��� ���� �� A��� ?��� "������ @ +8 �3---� //B�*088. �� 1����� M� C��X���� �� %��������� M� I�X��� %� ?����� �� ?��� ���� F� I��� ��$� @����� I� I���

( � '�!�� ����� ;/ �3---� 3-;+�*089. �� 1����� M� C��X���� '� C��X���� M� I�X��� �� ?�� ����� �� ( � '�!�� 9- �3--+� ;/8�*09-. O�4� ��� O�'� F���� ��D� <� ��F� D��� '� @��� $�'� ?���� '�1� '��#����� ?������ 383 �+998� ++-B�*09+. �� @���� D� O�� ?� ��� M� O��� ( � '�!�� ����� ;; �3---� 8�-�*093. ?� ?�E�� �� @���� U� D������� M� O��� ( � '�!�� ����� ;/ �3---� 0--;�*09�. F� ������� ?���� �������� "������ 09 �+99+� 0B��*090. 4�$� I���� @��� I�� ?���� �������� "������ B/ �+99�� 3;��*09B. (� $������� ?�?� %������ ������� ��� $����� � �+990� 9-3�*09/. ?��� @� ������� ��� $����� 0 �+99B� 83;�*09;. ��'� ?��#�� "� 4�������� ?����� 1��� ���� $�? @����� $�! 3--+�*098. (� C�� D��� +/8 �+99�� +0��*099. (� C���� ���!�! "����� ����� B �+998� 3B�*B--. $�4� ������ ���� D���� $�? @�� �+99/� 38�*B-+. @� @������ ������� ��� $����� 8 �+999� +98B�*B-3. �� ��������� "��� ?��� 4��� �8� �3---� 8+�*B-�. '� C���� �� @������E �� F���� (� <���� �� ?��#�� ������� ��� $����� +- �3--+� 3;+�*B-0. ��@� '������ �� F�������� D��� M�#�� '����� $��� ( 08 �+98�� B9��*B-B. C� '���� D��� M�#�� $����� ���� ?��� @�� +; �+993� 38�*B-/. <� ����� ��D� O�� I� ������� '� C������� �� ( � '�!�� // �+989� 0;39�*B-;. <� ����� I� ������� @� ?����E�� �� ( � '�!�� // �+99-� B8-B�*B-8. %�F�(� ���� ����� �� ������ �� ?����� �� $���#� �� %����� @� @�� ��� �� ���� ���� M����� "��� ?���

4��� 3+; �+993� B/�*B-9. ��(� I�� ��$� 4������� ?�$� $!��� ���� @������ "�(� 4�������� �� ( � '�!�� 8B �+999� +0/-�*B+-. �� ?�������� ��4� $�!�� F� $�� @� ?���X����� F� O����� F��� ?������ U� �������E ������� ��� $����� ;

�+998� 9;��*B++. @� ?�������� F��� ?������ �� �������� F� O����� ?���� �������� "������ 98 �+998� +-9;�*B+3. $�C� @���� ��%� @������ '�$� M��� "� ������� @�I� "����� �� ( � '�!�� 8+ �+99;� /;3�*B+�. (��� 4������ �� ��������� $�C� @���� ��%� @������ �� 4������ �� '������� ( � '�!�� ����� ;B �+999� +89��*B+0. <� ����� I� ������� @� ?����E�� �� ( � '�!�� /8 �+99-� +-+8�*B+B. <� ����� '�!�� ��#� @ 0� �+99+� 3�;3�*B+/. ���� '��� � �� 1�� ��!��� ?���� �0 �+9;9� +B��*B+;. F� F� $�4� "��� � '�!�� ��#� ����� B0 �+98B� 3+-;�*B+8. 4� ������ ���� (���� �� A��� ?��� "������ ( / �+988� +;;8�*B+9. �� ��������� '�!�� ��#� ����� /8 �+993� 33-�*B3-. �� "���� ��#� '�!�� "������ + �+9;-� +0B�*B3+. (� I�! 1�F� $�$��� ?����� ?���� M2���� L��#�����! '���� M2���� +98/�*B33. %� $������E ���� (���6�� $��� '�� �� %���#� �� ��������� D�)� $��� ������� ��� $����� +- �3--+� +0B�*B3�. $�(� "���� $����� ���� ?��� ?!� � '���� �8� �+99B� 03��*B30. (� (���� �� �� ������ A�$� "������ $� F��#���� (�#� $����� 9 �+99;� ++/+�*B3B. �� $���#� %� ���� ����� D� D����� �� ?����� ?���� �������� "������ 8/ �+99/� /+;�*B3/. ?� (����� ���� ������ C�$� '���� ��?� @����� ?���� �������� "������ 90 �+99;� +89�

38- -. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)�

Page 153: Home | Universal Vacuum Technology...%%ˇ? ) # ˚ ˝ ˜" ˜ ˚ " " ˚ ˚ ˝ ˝ ˚ ! ˜ ˛ ˛ # ˜ ! ˚ ˜ ˝ ˚ ˜ ˙/˛ ˚ ˜ !"#$ %% & ’( )

*B3;. $� ������� ������� ��� $����� +- �3--+� +-++�*B38. ��'� F��#���� �� I������ ���� ���#�� $� 1������ ?���� �������� "������ 8- �+99/� +�9�*B39. I� M���� "� (��� ?���� �������� "������ 0; �+99+� ;+-�*B�-. I� M���� "� (��� �� $����� ���� B �+99-� 3B/;�*B�+. I� M���� "� (��� �� $����� ���� ; �+993� +�+��*B�3. �� $������ F��� "�� '�%� D������� "��� ?��� 4��� +0� �+98/� �+�*B��. ��'� I���� �� $������ $����� ?��� 4���� B3 �+989� /-9�*B�0. )�$� F�������� "������! (���� ������ +993�*B�B. %� ���������E 4������� ��� D��� �� $������� D��! 1�� U�� +9/B�*B�/. (� C�� A� '��� ������� ��� $����� 3 �+99�� +B+9�*B�;. (� C�� ?���� �������� "������ 90 �+99;� B-;�*B�8. (�I� C���� ���!�! '�(� D������ D��� A���� $�(� "���� "����� )��� +8 �+99;� �-+�*B�9. (�I� C���� ���!�! D��� A���� $�(� "���� '�(� D������ �� "����� ++/ �+990� 0B0�*B0-. �� I������ �� ?�������� F� �������� "� $������ ?� A��6�� '� @��� I� F������ F��� ?������ ?����

�������� "������ +-9 �+998� �8B�*B0+. I� %�� F� ������� F� F����� ( � '�!�� ����� �/ �+98-� 39+�*B03. I� %�� "��� ?��� 4��� 8- �+98+� 33;�*B0�. (�(� A��#���� (�D� '�� � ��?� O������ $�?� ����! ������� ��� $����� B �+99/� +3/0�*B00. �� ������ "� ��$���� �� '�������� $� @��� (� C�� A� '��� �� ������ "����� ����� 0 �+998� 3B9�*B0B. �� ������ ?���� �������� "������ +-- �+998� +8-�*B0/. F� �������� ?� A��6�� I� F������ D��� 333 �+998� +3-�*B0;. F� �������� �� I������ ?� A��6�� I� F������ "����� ����� / �+999� /��*B08. F� �������� �� I������ ?� A��6�� I� F������ ?���� �������� "������ +33 �+999� +B-�*B09. (� %������ M��� %�!���E )�@� 1����� C��� 4���� ������� ��� $����� 9 �3---� /�3�*BB-. (� %������ M��� %�!���E C��� 4���� �� A��� ?��� "������ ( +8 �3---� +98;�*BB+. $�1� C����� ��7 I�%� ? ��� �%��� ?!������� ������� D��! 1�� U�� +990 � 0+9�*BB3. @� $������ )%%% "����� $��� 3/ �+99-� +/8�*BB�. @�I� ������ ��D� @���� 4�$� I���� �� $����� ���� +3 �+99;� 308B�*BB0. @�I� "�! �� ?���6� U�?� ������ ?�'� ��� <� ?�� ������� ��� $����� 9 �3---� 8+9�*BBB. C�(��� (��������� $� ������� ���� I��! )� (�2������ �� (������# 1����� �8� �+99/� �3+�*BB/. @� ������ (��� 4������ 1�(� $������� )� F�������� D�)� $��� �� ��������� �� ( � '�!�� 9- �3--+� B--3�*BB;. �� C���� (��� ��#� '�!�� ����� 39 �+999� B++�*BB8. ��?� @����� ���� D������� (�F� ���������� ��"� ����� %��� 4������ "��� ?��� 4��� �++ �+99;� +-;�*BB9. $� C������ (� F��� 4� $�������� F� ������� ������� ��� $����� ; �+998� 0B0�*B/-. U� $����!� F� O���� ?� )����� "����� (?$% +3� �3--+� +88�*B/+. '�@� ���E������ D�F� �������� C�D� "!��� �� ( � '�!�� 89 �3--+� �098�*B/3. F� F�� 4� �!�� $� $����� ?���� �������� "������ +3+ �+999� B;9�*B/�. ��?� ���� ?�'� ��� @�I� "�! C�U� ���� O� ?�� U�U� "�� C� "�� ��D� ���� �� ( � '�!�� 89 �3--+� ;8+0�*B/0. ��?� ���� ?�'� ��� O� ?�� C�U� ���� U��� �� @�I� "�! ��D� ���� "��� ?��� 4��� �98 �3--+� ++-�*B/B. �� I�#�� ����� ��#� 9; �+99;� �-/+�*B//. I�?� U�� @� $��� �� I���� <� ?�� %���������� ?��� ?���� 3 �+999� 3���*B/;. (�F� ���������� '���� �� ?��� ( �03 �+99�� 38;�*B/8. �� �� ������ F� F������� (� (��� ?� ?����#���� ������� ��� $����� ; �+998� 083�*B/9. A�$� "������ ������� ��� $����� +- �3--+� +B��*B;-. $�)� ����� )��� $��� ��$� C���� I�C� '���� "��� '���� �� @������ $����� ���� B3 �3---� 0+��*B;+. $�)� ����� )��� $��� ��$� C���� I�C� '���� "��� '���� ������� ��� $����� 8 �+999� 0B;�*B;3. "��� '���� I��� '���� )��� $��� ��$� C���� ��A� D��� ������� ��� $����� � �+990� ++3-�*B;�. (� ?�������� C� 4����E (� @������ �� F����� �� $�!�� %� D���������� @���������� 3+ �3---� 009�*B;0. $� (�� @� $!�� 1� ������� �� @������ $����� ���� B8 �3--+� �+9�*B;B. %��� ��������� �� �� U�D� ����� ��?� @����� �� "����� ++8 �+99/� B0��*B;/. (� D����� C� '������?���! �� F������� '� ������ L� F������� �� A��� ?��� "������ ( +8 �3---� 3-3��*B;;. ��U� ���� D� 4��� ��@� @��! ��?� @����� "����� ����� 8 �3---� 3B�*B;8. ��?� @����� D� 4��� ��U� ���� �� D�� ��@� @��! ?� (����� "� ?������ �� ?���� )%%% "����� $��� �B �+999�

9+-�*B;9. 1� (��� U� I������ ?� M���� $� )������ U�F� F� <� ?�� ������� ��� $����� +- �3--+� +-+;�*B8-. ���� D������ F� O���� (� I��������# �� '���� $� I�� �� @� U�� V�4� <��� F� O������ ��L� "���� C�D�

"!��� ��7 ��?� @����� �%��� )�������� "������! "������ +-- C����=��3 (?$% '��������� +999�*B8+. (� )�� �� ��������� "���� ����� +3 �3--3� B+�*B83. �� ��������� "����� )��� �3--+��

-. !������� /������ � ��� � �� ����������� ! "# $�%%�& ��'(�)� 38+