7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 1/12

HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT – SEM

Việc phát các chùm điện tử tron SEM c!n i"n nh# $iệc t%o r& chùm điện tử tron '(nh hi)n $i điện ttr*+,n -*&. t/c 01 điện tử đ#2c phát r& t3 45n ph6n điện tử 7c6 th) 01 phát 8% nhiệt. h&+ phát 8%tr#9n:::;. 4&* đ6 đ#2c t<n t"c: T*+ nhi=n. th> t<n t"c c?& SEM th#9n ch@ t3 AB 'V đ>n CB 'V $D 4

h%n ch> c?& thF* '(nh t3. $iệc hGi t các chùm điện tử c6 #Jc 46n -*á nhK $1o mGt đi)m '(ch th#Jc nh4L rFt 'h6 'h<n: Điện tử đ#2c phát r&. t<n t"c $1 hGi t th1nh mGt chùm điện tử hp 7c $1i tr<mOn4tron đ>n $1i n&nomPt; nh9 hệ th"n thF* '(nh t3. 4&* đ6 -*t tr=n , mRt m* nh9 các c*Gn -*ttnh điện: ĐG phn ii c?& SEM đ#2c 8ác đWnh t3 '(ch th#Jc chùm điện tử hGi t. m1 '(ch th#Jc c?&chùm điện tử n1+ W h%n ch> Xi -*&n 4&i. ch(nh $D th> m1 SEM 'hYn th) đ%t đ#2c đG phn ii t"t nh#TEM: No1i r&. đG phn ii c?& SEM cZn ph th*Gc $1o t#[n tác i\& $]t 0iệ* t%i , mRt m* $]t $1điện tử: ^hi điện tử t#[n tác $Ji , mRt m* $]t. 4L c6 các /c 8% phát r&. 4 t%o nh tron SEM $1 các php phn t(ch đ#2c thc hiện thYn -*& $iệc phn t(ch các /c 8% n1+: _ác /c 8% ch? +>* `ma

• Điện tử th/ cFp 7SPconb&r+ P0Pctron4;a Đ+ 01 ch> đG hi nh thYn bn nhFt c?& '(nh hi)n $iđiện tử -*t. chùm điện tử th/ cFp c6 n<n 0#2n thFp 7th#9n nhK h[n CB PV; đ#2c hi nh]n

 n "n nhn -*&n nhFp nhá+: VD ch5n c6 n<n 0#2n thFp n=n ch? +>* 01 các điện tử phát r&t3 , mRt m* $Ji đG 4* ch@ $1i n&nomPt. bo $]+ ch5n t%o r& nh h&i chi,* c?& , mRt m*:• Điện tử tán 8% n#2c 7d&c'4c&ttPrPb P0Pctron4;a Điện tử tán 8% n#2c 01 chùm điện tử &n đe* 'h

t#[n tác $Ji , mRt m* W ]t n#2c trX 0%i. bo đ6 ch5n th#9n c6 n<n 0#2n c&o: S tán 8%n1+ ph th*Gc rFt nhi,* $1o $1o th1nh phen h6& hfc X , mRt m*. bo đ6 nh điện tử tán 8% n#2rFt h\* (ch cho phn t(ch $, đG t#[n phn th1nh phen h6& hfc: No1i r&. điện tử tán 8% n#2c c6th) bùn đ) hi nh]n nh nhig* 8% điện tử tán 8% n#2c. i5p cho $iệc phn t(ch cF* tr5c tinh th)7ch> đG phn cc điện tử;: No1i r&. điện tử tán 8% n#2c ph th*Gc $1o các 0i=n '>t điện t%i ,mRt m* n=n c6 th) đPm 0%i thYn tin $, các đYmPn 4t điện:

§Æc thï quan trong cña HV§TQ lµ tÝn hiÖu sinh ra tõ vïng mÉu ®· qut ®!chiÖn thµnh "nh tr#n mµn h$nh TV %&ng tia cat&t' (atho)* +a, Tu-*.(+T/ v0it1t c" chi ti2t cña vïng qut3 

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 2/12

Một số phép phân tích trong SEM

• H*nh -*&n c&t"t 7_&thobo0*minP4PncP;a j1 các ánh 4án phát r& bo t#[n tác c?& chùm điện tử$Ji , mRt m*: khp phn t(ch n1+ rFt phl i>n $1 rFt h\* (ch cho $iệc phn t(ch các t(nh chFt-*&n. điện c?& $]t 0iệ*:

• khn t(ch phl ti& 7r&+ micro&n&0+4i4;a T#[n tác i\& điện tử $Ji $]t chFt c6 th) 4n 4inh phlti& đRc tr#n. rFt h\* (ch cho phn t(ch th1nh phen h6& hfc c?& $]t 0iệ*: _ác php phn t(ch c6th) 01 phl tán 4c n<n 0#2n ti&  7EnPr+ i4pPr4i$P r&+ SpPctro4cop+ ES; h&+ phl tán4c #Jc 46n ti& 7&$P0Pnth i4pPr4i$P r&+ SpPctro4cop+ S;:::

• MGt 4" '(nh hi)n $i điện tử -*t ho%t đGn X chn 'hYn 4i=* c&o c6 th) phn t(ch phl điện tửO*Pr. rFt h\* (ch cho các phn t(ch tinh t> , mRt:

•   SEMPA

 7 Kính hiển vi điện tử quét có phân tích phân cực ti>n Onha Scanning Electron Microscopy ith !olarisation "nalysis; 01 mGt ch> đG hi nh c?& SEM m1 X đ6. các điện tử th/cFp phát r& t3 m* 4L đ#2c hi nh]n nh9 mGt bPtPctor đRc iệt c6 th) tách các điện tử phn cc4pin t3 m*. bo đ6 cho php chp 0%i nh cF* tr5c t3 c?& m*:

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 3/12

Các bộ phận chính trong SEM

Đầu dò

Cuộn quét tia

_ác nh -*t tr=n m* t%o Xi mGt 0o%t các c*Gn 0ái ti& đRt tron cGt: _h5n bWch ch*+)n chùm ti

tron hệ tf& đG q: N6 đ#2c 8Pm nh# A nh -*t

Máy quét

Má+ -*t ph"i h2p đ`n G ch*+)n đGn c?& ti& 4[ cFp $Ji ch*+)n đGn c?& 45n điện tử đRt X ph(& 4&* _T

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 4/12

uá tr!nh t"o #nh

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 5/12

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 6/12

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 7/12

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 8/12

$u %i&' c(a )ính hi&n *i %i+n t, quét

MRc bù 'hYn th) c6 đG phn ii t"t nh# '(nh hi)n $i điện tử tr*+,n -*& nh#n '(nh hi)n $i điện tử -*

0%i c6 đi)m m%nh 01 phn t(ch m1 'hYn cen phá h?+ m* $]t $1 c6 th) ho%t đGn X chn 'hYn thFp: MGđi)m m%nh 'hác c?& SEM 01 các th&o tác đi,* 'hi)n đ[n in h[n rFt nhi,* 4o $Ji TEM 'hi>n cho n6 rFtbg 4ử bn: MGt đi,* 'hác 01 iá th1nh c?& SEM thFp h[n rFt nhi,* 4o $Ji TEM. $D th> SEM phl i>n h[rFt nhi,* 4o $Ji TEM:

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 9/12

-ng d.ng c(a /0Đ1

Co'positiona2 contrast3 4 t#[n phsn $, th1nh phen cF* t%o

Sur4ac5 topography3 hDnh nh , mRt

Morpho2ogy3 hDnh thái hfc

6artica25 si753 '(ch th#Jc h%t

8nt5rna2 u2trastructur53 cF* tr5c =n tron

Crysta22ographic in4o3 thYn tin $, tinh th)

E25'5nta2 co'position3 th1nh phen

Mapping and 2in5scans

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 10/12

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 11/12

7/21/2019 Hien Vi Dien Tu Quet

http://slidepdf.com/reader/full/hien-vi-dien-tu-quet 12/12