Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

25
4/6/2020 1 Advanced Computation: Computational Electromagnetics Formulation of Rigorous CoupledWave Analysis (RCWA) Outline Background Semianalytical form of Maxwell’s equations in Fourier space Matrix form of Maxwell’s equations Matrix wave equation Solution to the matrix wave equation Multilayer framework: scattering matrices Calculate transmission and reflection Slide 2 TMM PWEM RCWA 1 2

Transcript of Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

Page 1: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

1

Advanced Computation:

Computational Electromagnetics

Formulation of Rigorous Coupled‐Wave Analysis (RCWA)

Outline

• Background

• Semi‐analytical form of Maxwell’s equations in Fourier space

• Matrix form of Maxwell’s equations

• Matrix wave equation

• Solution to the matrix wave equation

• Multilayer framework: scattering matrices

• Calculate transmission and reflection

Slide 2

TMM PWEM RCWA

1

2

Page 2: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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2

Slide 3

Background

Rigorous Coupled‐Wave Analysis

•Developed in 1980’s• Dr. M. G. “Jim” Moharam• Dr. Thomas K. Gaylord

•Alternate Names for the Method• Rigorous coupled‐wave analysis• Fourier modal method• Transfer matrix method with a plane wave basis

Slide 4

Dr. M. G. “Jim” Moharam

Dr. Thomas K. Gaylord

3

4

Page 3: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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3

Geometry of RCWA

Slide 5

P

The 2D Unit Cell for Single Layer

Slide 6

r ,x y

x

y

z

All layers must be uniform in the z direction.

homogeneous

In RCWA, it is only necessary to construct the cross section of the unit cells.  Thickness is conveyed elsewhere.

5

6

Page 4: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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4

Sign Convention

Slide 7

The negative sign convention will be used here for a wave travelling in the +z direction.

jkze

Slide 8

Semi‐Analytical Form of Maxwell’s Equations in 

Fourier Space

7

8

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5

Starting Point for RCWA

Slide 9

0 r

0 r

0 r

yzx

x zy

y xz

HHk E

y z

H Hk E

z x

H Hk E

x y

0 r

0 r

0 r

yzx

x zy

y xz

EEk H

y z

E Ek H

z xE E

k Hx y

Start with Maxwell’s equations in the following form…

Recall that the magnetic field was normalized according to

0

0

H j H

z‐Uniform Media

Slide 10

x

y

z

We are going to consider Maxwell’s equation inside a medium that is uniform in the z direction.

The medium may still be inhomogeneous in the x‐yplane, but it must be uniform in the z direction.

homogeneous

9

10

Page 6: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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6

Fourier Transform in x and y Only

Slide 11

Unlike PWEM, RCWA only Fourier transforms along x and y.  The z parameter remains analytical and unchanged.  The Fourier expansion of the materials in the x‐y plane are

1 2

1 2

r ,

22

, r

2 2

,

1,

yx

x y

j mT nT r

m nm n

j mT nT r

m nx y

x y a e

a x y e dxdy

1 2

1 2

r ,

22

, r

2 2

,

1,

yx

x y

j mT nT r

m nm n

j mT nT r

m nx y

x y b e

b x y e dxdy

It follows that the Fourier expansion of the fields are

, ,

, ,

, ,

, , , ;

, , , ;

, , , ;

x y

x y

x y

j k m n x k m n y

x xm n

j k m n x k m n y

y ym n

j k m n x k m n y

z zm n

E x y z S m n z e

E x y z S m n z e

E x y z S m n z e

, ,

, ,

, ,

, , , ;

, , , ;

, , , ;

x y

x y

x y

j k m n x k m n y

x xm n

j k m n x k m n y

y ym n

j k m n x k m n y

z zm n

H x y z U m n z e

H x y z U m n z e

H x y z U m n z e

,inc 1 2,xy xyk m n k mT nT

Wave Vector Components

Slide 12

The longitudinal components of the wave vectors are needed for:

(1) calculating diffraction efficiencies(2) calculating the eigen‐modes of a homogeneous layer analytically

,inc 1, 2,

,inc 1, 2,

, , , 2, 1,0,1, 2, ,

, , , 2, 1,0,1, 2, ,

x x x x

y y y y

k m n k mT nT m

k m n k mT nT n

The transverse components of the wave vectors are equal throughout all layers of the device.

,inc 1 2,xy xyk m n k mT nT

*2 * * 2 20 r r, , ,z x yk m n k k m n k m n

These are calculated from the dispersion relation in the medium of interest.

The conjugate operations enforce the negative sign convention.

11

12

Page 7: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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7

Substitute Expansions into Maxwell’s Equations

Slide 13

0 ryz

x

EEk H

y z

1 2, , , , , ,

0 ,, ; , ; , ;x y x y x yj mT nT rj k m n x k m n y j k m n x k m n y j k m n x k m n y

z y m n xm n m n m n m n

S m n z e S m n z e k b e U m n z ey z

, ,, , , ; x yj k m n x k m n y

z zm n

E x y z S m n z e

, ,, , , ; x yj k m n x k m n y

y ym n

E x y z S m n z e

1 2

r ,,j mT nT r

m nm n

x y b e

, ,, , , ; x yj k m n x k m n y

x xm n

H x y z U m n z e

0 ,

, ;, , ; , ;y

y z m q n r xq r

dS m n zjk m n S m n z k b U q r z

dz

1 2

2 2

, , , , , ,

0 ,

, ;, , ; , ;x y x y x y x y

m q x n r yj

j k m n x k m n y j k m n x k m n y j m q T n r T r j k q r x k q r yyy z m q n r x

m n m n q r

S m n zjk m n S m n z e e k b e e U q r z e

z

m n

1 2, , , , , ,

0 ,

, ;, , ; , ;x y x y x yj k m n x k m n y j k m n x k m n y j m q T n r T r j k q r x k q r yy

y z m q n r xm n q r

S m n zjk m n S m n z e e k b e U q r z e

z

The derivative is ordinary because z is the only independent variable left.

Semi‐Analytical Form of Maxwell’s Equations in Fourier Space

Slide 14

If this is done for all of Maxwell’s equations, we get…

Real‐Space

0 ,

0 ,

0 ,

, ;, , ; , ;

, ;, , ; , ;

, , ; , , ; , ;

yy z m q n r x

q r

xx z m q n r y

q r

x y y x m q n r zq r

dU m n zjk m n U m n z k a S q r z

dz

dU m n zjk m n U m n z k a S q r z

dz

jk m n U m n z jk m n U m n z k a S q r z

Semi‐Analytical Fourier‐Space

0 r

0 r

0 r

yzx

x zy

y xz

HHk E

y z

H Hk E

z x

H Hk E

x y

0 r

0 r

0 r

yzx

x zy

y xz

EEk H

y z

E Ek H

z xE E

k Hx y

0 ,

0 ,

0 ,

, ;, , ; , ;

, ;, , ; , ;

, , ; , , ; , ;

yy z m q n r x

q r

xx z m q n r y

q r

x y y x m q n r zq r

dS m n zjk m n S m n z k b U q r z

dz

dS m n zjk m n S m n z k b U q r z

dz

jk m n S m n z jk m n S m n z k b U q r z

Note: U(m,n;z) and S(m,n;z) are functions of z.  , , a, and b are not.

13

14

Page 8: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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8

Slide 15

Matrix Form of Maxwell’s Equations

Normalize the Fourier‐Space Equations

Slide 16

,

,

,

, ;, , ; , ;

, ;, , ; , ;

, , ; , , ; , ;

yy z m q n r x

q r

xx z m q n r y

q r

x y y x m q n r zq r

dU m n zjk m n U m n z a S q r z

dz

dU m n zjk m n U m n z a S q r z

dz

jk m n U m n z jk m n U m n z a S q r z

,

,

,

, ;, , ; , ;

, ;, , ; , ;

, , ; , , ; , ;

yy z m q n r x

q r

xx z m q n r y

q r

x y y x m q n r zq r

dS m n zjk m n S m n z b U q r z

dz

dS m n zjk m n S m n z b U q r z

dz

jk m n S m n z jk m n S m n z b U q r z

Define normalized wave vectors.

0 0 0

yx zx y z

kk kk k k

k k k

Normalize the z coordinate.

0z k z

15

16

Page 9: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

9

Matrix Form of Maxwell’s Equations (1 of 2)

Slide 17

,

, ;, , ; , ;y

y z m q n r xq r

dU m n zjk m n U m n z a S q r z

dz

Start with the first equation.

This equation is written once for every combination of m and n.

1,1 0

1,2

0 ,

y

yy

y

k

k

k M N

K

1,11,1 1,1

1,21,2 1,2

,, ,

yz x

yz xz y x

yz x

UU S

UU S

U M NU M N S M N

u u s r

Note: only truly Toeplitz symmetry for 1D gratings.

Toeplitz convolution 

matrix

ry z y x

dj

dz K u u s

This large set of equations can be written in matrix form as

Matrix Form of Maxwell’s Equations (2 of 2)

Slide 18

r

r

r

y z y x

x x z y

x y y x z

dj

dzd

jdz

j

K u u s

u K u s

K u K u s

r

r

r

y z y x

x x z y

x y y x z

dj

dzd

jdz

j

K s s u

s K s u

K s K s u

2 2

,2 2

2 2

,2 2

2 2

,2 2

, ;, , ; , ;

, ;, , ; , ;

, , ; , , ; , ;

M Ny

y z m q n r xq M r N

M Nx

x z m q n r yq M r N

M N

x y y x m q n r zq M r N

dU m n zjk m n U m n z a S q r z

dz

dU m n zjk m n U m n z a S q r z

dz

jk m n U m n z jk m n U m n z a S q r z

2 2

0 ,2 2

2 2

0 ,2 2

2 2

0 ,2 2

, ;, , ; , ;

, ;, , ; , ;

, , ; , , ; , ;

M Ny

y z m q n r xq M r N

M Nx

x z m q n r yq M r N

M N

x y y x m q n r zq M r N

dS m n zjk m n S m n z k b U q r z

dz

dS m n zjk m n S m n z k b U q r z

dz

jk m n S m n z jk m n S m n z k b U q r z

17

18

Page 10: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

10

Slide 19

Matrix Wave Equation

Solve for Longitudinal Field Components

Slide 20

r

r

r

y z y x

x x z y

x y y x z

dj

dzd

jdz

j

K u u s

u K u s

K u K u s

r

r

r

y z y x

x x z y

x y y x z

dj

dzd

jdz

j

K s s u

s K s u

K s K s u

To eliminate the longitudinal field components sz and uz, start by solving the third and sixth equation for these terms.

1

rz x y y xj s K u K u

1

rz x y y xj u K s K s

19

20

Page 11: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

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11

Eliminate Longitudinal Field Components

Slide 21

r

r

1

r

y z y x

x x z y

z x y y x

dj

dzd

jdz

j

K u u s

u K u s

s K u K u

r

r

1

r

y z y x

x x z y

z x y y x

dj

dzd

jdz

j

K s s u

s K s u

u K s K s

Substitute sz and uz back into the remaining four equations.

1

r r

1

r r

y x y y x y x

x x x y y x y

d

dzd

dz

K K u K u s u

s K K u K u u

1

r r

1

r r

y x y y x y x

x x x y y x y

d

dzd

dz

K K s K s u s

u K K s K s s

1

r r

1

r r

y x y y x y x

x x x y y x y

d

dzd

dz

K K s K s u s

u K K s K s s

1

r r

1

r r

y x y y x y x

x x x y y x y

d

dzd

dz

K K u K u s u

s K K u K u u

Rearrange the Terms

Slide 22

Next, expand the equations and rearrange the terms.

1 1

r r r

1 1

r r r

x x y x x x y

y y y x y x y

d

dzd

dz

u K K s K K s

u K K s K K s

1 1

r r r

1 1

r r r

x x y x x x y

y y y x y x y

d

dzd

dz

s K K u K K u

s K K u K K u

21

22

Page 12: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

12

1 1

r r r

1 1

r r r

x x y x x x y

y y y x y x y

d

dzd

dz

u K K s K K s

u K K s K K s

1 1

r r r

1 1

r r r

x x y x x x y

y y y x y x y

d

dzd

dz

s K K u K K u

s K K u K K u

Block Matrix Form

Slide 23

Just as was done for the transfer matrix method using scattering matrices, write the matrix equations in block matrix form.

1 1

r r r

1 1

r r r

x x

y y

x y x x

y y y x

d

dz

u sQ

u s

K K K KQ

K K K K

1 1

r r r

1 1

r r r

x x

y y

x y x x

y y y x

d

dz

s uP

s u

K K K KP

K K K K

TMM vs. RCWA

Slide 24

TMM

1 1

r r r

1 1

r r r

1 1

r r r

1 1

r r r

x y x x

y y y x

x y x x

y y y x

K K K KP

K K K K

K K K KQ

K K K K

RCWA

2r r

2r r r

2r r

2r r r

1

1

x y x

y x y

x y x

y x y

k k k

k k k

k k k

k k k

P

Q

23

24

Page 13: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

13

P and Q in Homogeneous Layers

Slide 25

When a layer is homogeneous, the P and Qmatrices reduce to

2r r1

r 2r r

r

r

x y x

y y x

K K I KQ

K I K K

P

2r r1

r 2r r

x y x

y y x

K K I KP

K I K K

Notice that these matrices do not contain computationally intensive convolution matrices.

Therefore, they are very fast and efficient to calculate for this special case.

Matrix Wave Equation

Slide 26

From here, derive a wave equation just as was done for TMM. 

x x

y y

d

dz

s uP

s uEq. (1)

x x

yy

d

dz

sQs

u

uEq. (2)

Second, substitute Eq. (2) into Eq. (3) to eliminate the magnetic fields.

2

2

x x

y y

d

dz

s sPQ

s s

2

2

x x

yy

d

dz

d

dz

sP

u

us

First, differentiate Eq. (1) with respect to z.

Eq. (3)

Third, the final matrix wave equation is

22 2

2 x x

y y

d

dz

s sΩ 0 Ω PQ

s sThis is the standard “PQ” form!

25

26

Page 14: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

14

Slide 27

Solution to the Matrix Wave Equation

Analytical Solution in the z Direction

Slide 28

The matrix wave equation is

22

2

x x

y y

d

dz

s sΩ 0

s s

This is really a large set of ordinary differential equations that can each be solved analytically.  This set of solutions is

0 0x z z

y

ze e

z

Ω Ωss s

s

The terms  and  are the initial values for this differential equation.  

The ± superscripts indicate whether they pertain to forward propagating waves (+) or backward propagating waves (‐).

0s 0s

27

28

Page 15: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

15

Computation of e±z

Slide 29

Recall from TMM…

1f f A W λ W

1 1 z z z ze e e e Ω λ Ω λW W W W

2

2 2

Eigen-vector matrix of

Eigen-value matrix of

W Ω

λ Ω

21

22

2N

z

zz

z

e

ee

e

λ

Use this relation to compute the matrix exponentials.

Arbitrary square matrix (full rank)

Eigen-vector matrix calculated from

Diagonal eigen-value matrix calculated from

A

W A

λ A

Revised Solution

Slide 30

Start with the following solution.

0 0x z z

y

ze e

z

Ω Ωss s

s

1

1

exp

exp

z

z

e z

e z

Ω

Ω

W λ W

W λ W

Eq. (1) Eq. (2)

Substituting Eq. (2) into Eq. (1) yields

1 10 0x z z

y

ze e

z

λ λsW W s W W s

scc

The terms            and       are initial values that have yet to be calculated.  Therefore W‐1 can be combined with these terms to produce column vectors of proportionality constants c+ and c-.

x z z

y

ze e

z

λ λsW c W c

s

0s 0s

29

30

Page 16: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

16

The negative sign is needed so both terms will be positive after differentiation. 

Solution for the Magnetic Fields (1 of 2)

Slide 31

A similar solution can be written for the magnetic fields.

x z z

y

ze e

z

λ λuV c V c

u

x z z

y

zde e

zdz

λ λuVλ c Vλ c

u

Vmust be calculated from the eigen‐value solution of .  To put this equation in terms of the electric field, differentiate with respect to z.

Solution for the Magnetic Fields (2 of 2)

Slide 32

Recall,

x x

y y

x z z

y

x z z

y

z zdz zdz

ze e

z

zde e

zdz

λ λ

λ λ

u sQ

u s

sW c W c

s

uVλ c Vλ c

u

Vλ QW 1V QWλ

Eq. (1)

Eq. (2)

Eq. (3)

Substitute Eq. (2) into Eq. (1) to eliminate sx and sy.

x z z

y

zde e

zdz

λ λuQW c QW c

u

Compare this expression to Eq. (3).

31

32

Page 17: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

17

Overall Field Solution

Slide 33

The field solutions for both the electric and magnetic fields were

x z z

y

x z z

y

ze e

z

ze e

z

λ λ

λ λ

sW c W c

s

uV c V c

u

x

zy

zx

y

z

z ez

z e

z

λ

λ

s

s W W 0 cψ

u V V 0 c

u

Combining these into a single matrix equation yields

1where V QWλ

Interpretation of the Solution

Slide 34

zez λWψ c(z) – Overall solution which is the sum of all the modes at plane z’.

W – Square matrix who’s column vectors describe the “modes” that can exist in the material.  These are essentially pictures of the modes which quantify the relative amplitudes of Ex, Ey, Hx, and Hy. 

ez’ – Diagonal matrix describing how the modes propagate.  This includes accumulation of phase as well as decaying (loss) or growing (gain) amplitude.

c – Column vector containing the amplitude coefficient of each of the modes.  This quantities how much energy is in each mode.

33

34

Page 18: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

18

Visualization of this Solution

Slide 35

x

y

z

Modes

11

1

c

w

v

1ze 2ze 3ze 4ze 5ze

22

2

c

w

v3

33

c

w

v4

44

c

w

v5

55

c

w

v

1ze 2ze 3ze 4ze 5ze

11

1

c

w

v2

22

c

w

v3

33

c

w

v4

44

c

w

v5

55

c

w

v

Solution in Homogeneous Layers

Slide 36

Recall that in homogeneous layers P and Q are2

r r1 rr 2

r r r

x y x

y y x

K K I KP Q P

K I K K

The solution to the eigen‐value problem is

2 Ω PQ Eigen-Vectors:

I 0W

0 I

22

2Eigen-Values: z z

z z

j

j

K 0 K 0λ λ

0 K 0 K

** * 2 2r rz x y K I K K

The eigen‐modes for the magnetic fields are simply

1V Qλ

35

36

Page 19: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

19

Slide 37

Multilayer Framework: Scattering Matrices

R. C. Rumpf, "Improved formulation of scattering matrices for semi‐analytical methods that is consistent with convention," PIERS B, Vol. 35, 241‐261, 2011.

Geometry of a Multilayer Device

Slide 38

x

y

zSample of an infinitely periodic lattice

Unit cell

0z

1z Z

2z Z

3z Z

0z

1z Z

2z Z

3z Z

37

38

Page 20: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

20

Eigen System in Each Layer

Slide 39

x

y

z

0z

1z Z

2z Z

3z Z

Boundary conditions require that all layers have the same Kx and Kymatrices.

1 1

r,1 r,1 r,1

1 1 1

r,1 r,1 r,1

1 1

r,1 r,1 r,1

1 1 1

r,1 r,1 r,1

21 1 1

x y x x

y y y x

x y x x

y y y x

K K μ K KP

K K μ K K

K K K KQ

K K K K

Ω PQ

1 1 1 1 1 , , W λ V c c

1 1

r,2 r,2 r,2

2 1 1

r,2 r,2 r,2

1 1

r,2 r,2 r,2

2 1 1

r,2 r,2 r,2

22 2 2 2 2 ,

x y x x

y y y x

x y x x

y y y x

K K μ K KP

K K μ K K

K K K KQ

K K K K

Ω P Q W λ

2 2 2 , V c c

1 1

r,3 r,3 r,3

3 1 1

r,3 r,3 r,3

1 1

r,3 r,3 r,3

3 1 1

r,3 r,3 r,3

23 3 3

x y x x

y y y x

x y x x

y y y x

K K K KP

K K K K

K K K KQ

K K K K

Ω PQ

3 3 3 3 3 , , W λ V c c

BCs

BCs

BCs

BCs

Field Relations & Boundary Conditions

Slide 40

Field inside the ith layer:

,

,

,

,

i

i

x i

zy i i i i

i zx i i i i

y i

z

z ez

z e

z

λ

λ

s

s W W c0ψ

u V V c0

u

Boundary conditions at the first interface:

1

1 1 1

1 1 1

0i

i i i

i i i

ψ ψ

W WW W cc

V VV V cc

Boundary conditions at the second interface:

0

0

0 2

2 2 2

2 2 2

i i

i i

i i

k Li i i

k Li i i

k L

e

e

λ

λ

ψ ψ

W W W Wc c0

V V V Vc c0Note: k0 has been incorporated to normalize Li.

39

40

Page 21: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

21

Adopt the Symmetric S‐Matrix Approach

Slide 41

The scattering matrix Si of the ith layer is still defined as:

But the elements are calculated as

1 1

2 2

i

c cS

c c

11 12

21 22

i ii

i i

S SS

S S

1 10 0

1 10 0

i i i

i i i

A W W V V

B W W V V

0i ik Li e λX

11 111

11 112

21 12

22 11

ii i i i i i i i i i i i

ii i i i i i i i i i i

i i

i i

S A X B A X B X B A X A B

S A X B A X B X A B A B

S S

S S

• Layers are symmetric so the scattering matrix elements have redundancy.• Scattering matrix equations are simplified.• Fewer calculations.• Less memory storage.

iS

X = expm(-LAM*k0*L(nlay));

Global Scattering Matrix

Slide 42

x

y

z

0z

1z Z

2z Z

3z Z

BCs

BCs

BCs

BCs

1S

2S

3S

device 1 2 3 S S S S

Scattering matrix for all layers.

Connection to outside regions

global ref device trn S S S S

Recall this procedure from Lecture 5.

41

42

Page 22: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

22

Reflection/Transmission Side Scattering Matrices

Slide 43

The reflection‐side scattering matrix is

ref 111 ref ref

ref 112 ref

ref 121 ref ref ref ref

ref 122 ref ref

2

0.5

S A B

S A

S A B A B

S B A

1 1ref 0 ref 0 ref

1 1ref 0 ref 0 ref

A W W V V

B W W V V

trn 111 trn trn

trn 112 trn trn trn trn

trn 121 trn

trn 122 trn trn

0.5

2

S B A

S A B A B

S A

S A B

1 1trn 0 trn 0 trn

1 1trn 0 trn 0 trn

A W W V V

B W W V V

The transmission‐side scattering matrix is

r,I

r,I

0

0

0limL

r,II

r,II

0

0

refs

trns

0limL

External regions are homogeneous so we do not need to construct convolution matrices.

A = W0\Wref + V0\Vref;B = W0\Wref - V0\Vref;SR.S11 = -A\B;SR.S12 = 2*inv(A);SR.S21 = 0.5*(A - B/A*B);SR.S22 = B/A;

A = W0\Wtrn + V0\Vtrn;B = W0\Wtrn - V0\Vtrn;ST.S11 = B/A;ST.S12 = 0.5*(A - B/A*B);ST.S21 = 2*inv(A);ST.S22 = -A\B;

Slide 44

Calculating Transmission and Reflection

43

44

Page 23: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

23

Calculating the Transmitted and Reflected Fields

Slide 45

The electric field source is calculated assuming unit amplitude polarization vector 𝑃.

0,inc 1 incT inc ref T

0,

x pq

y pq

p

p

δs c W s

δ

Given the global scattering matrix, the coefficients forthe reflected and transmitted fields are

ref 11 inc trn 21 inc c S c c S c

The transverse components of the reflected and transmitted fields are then

refT T ref ref ref 11 inc

trnT T trn trn trn 21 inc

r s W c W S c

t s W c W S cT

T

x

y

x

y

rr

r

tt

t

These are amplitude coefficients of the transverse components of the spatial harmonics, not reflectance or transmittance.

0,

0

0

delta function , position1

0

0

pq p q

δ

1x

y

z

p

P p P

p

Calculating the Longitudinal Components

Slide 46

The longitudinal field components are calculated from the transverse components using the divergence equation (see TMM).

1,ref

1,trn

z z x x y y

z z x x y y

r K K r K r

t K K t K t

1

Derivation

0

0

, , , , , , 0

, , , , , , 0

yx z

x x y y z z

x x y y z z

x x y y z z

z z x x y y

z z x x y y

E

EE E

x y z

jk m n S m n jk m n S m n jk m n S m n

k m n S m n k m n S m n k m n S m n

K s K s K s 0

K s K s K s

s K K s K s

** * 2 2

,ref r,ref r,ref

** * 2 2

,trn r,trn r,trn

z x y

z x y

K I K K

K I K K

45

46

Page 24: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

24

Calculating the Diffraction Efficiencies

Slide 47

The diffraction efficiencies R and T are calculated as22 2 2

,ref r,ref 2

i

2

ncr,ref

22 2 2

,trn r,trn

incr,inc

Re

R

Re

Re

e

x y z

z

z

x y z

z

z

k

k

t t

r r r

K

r

KR r

t t

T t

Don’t forget to reshape R and T back to 2D arrays!

,r R

,t T

Remember that these equations assume a unit amplitude source. 

Calculating Overall Reflectance and Transmittance

Slide 48

The overall reflectance R and transmittance T are calculated by summing all of the diffraction efficiencies.

R

T

R

T

Reflectance and Transmittance on a Decibel Scale

dB 10 dB 1010 log 10logR R T T Be careful NOT to use 20log10!

47

48

Page 25: Formulation of Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA)

4/6/2020

25

Power Conservation

Slide 49

It is always good practice to check for conservation of power.

1A TR When no loss or gain is incorporated into the simulation (i.e. A = 0), conservation reduces to

no loss or gain1R T

49