Effect of lead-free frit and RuO on the electrical ...
Transcript of Effect of lead-free frit and RuO on the electrical ...
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
Vol. 31, No. 5 (2021) 218-227
https://doi.org/10.6111/JKCGCT.2021.31.5.218
p-ISSN 1225-1429
e-ISSN 2234-5078
Effect of lead-free frit and RuO2 on the electrical properties of thick film
NTC thermistors for low temperature co-firing
Bon Keup Kooโ
Department of Materials Science and Engineering, Hanbat National University, Daejeon 34158, Korea
(Received July 30, 2021)
(Revised September 1, 2021)
(Accepted September 3, 2021)
Abstract A thick film NTC thermistor for low temperature co-firing was manufactured by printing and sintering a pasteprepared using NTC powder of Mn1.5Ni0.4Co0.9Cu0.4O4 composition, lead free frit, and RuO2 on a 96 % alumina substrate.The effect of frit and RuO2 on the electrical properties of thick film NTC thermistor was studied. The resistance of thethick film NTC thermistor was higher than that of the bulk phase sintered at the same temperature, but it was found that thenegative resistance temperature characteristic appeared more clearly and linearly in the resistance - temperature characteristic.On the other hand, the area resistance decreased as the sintering temperature increased, and the area resistance increased asthe amount of frit added increased. The B constant of the thick film NTC thermistor was 3000 K or higher. Among them,it was found that the B constant of the thick film NTC thermistor made of paste with 5 wt% of frit added and sintered at900
oC showed the highest B constant. Also, it can be seen that the area resistance decreased with the addition of RuO2,
and the change in the area resistance decrease of the thick film NTC thermistor obtained by sintering the paste containing5 wt% of RuO2 at 900
oC is the most obvious.
Key words Thick film NTC thermistor, Low temperature co-firing, Lead free frit, Ruthenium oxide, Microstructure
์ ์จ ๋์ ์์ฑ์ฉ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ๋ฌด์ฐ๊ณ ํ๋ฆฟํธ
๋ฐ RuO2์ ์ํฅ
๊ตฌ๋ณธ๊ธโ
ํ๋ฐญ๋ํ๊ต ๊ณต๊ณผ๋ํ ์ ์์ฌ๊ณตํ๊ณผ, ๋์ , 34158
(2021๋ 7์ 30์ผ ์ ์)
(2021๋ 9์ 1์ผ ์ฌ์ฌ์๋ฃ)
(2021๋ 9์ 3์ผ ๊ฒ์ฌํ์ )
์ ์ฝ ์ ์จ ๋์ ์์ฑ์ฉ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ Mn1.5Ni0.4Co0.9Cu0.4O4 ์กฐ์ฑ์ NTC ๋ถ๋ง๊ณผ lead free frit ๋ฐ RuO2๋ฅผ ์ด
์ฉํ์ฌ ์ ์กฐํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ 96 % ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ ์์ ์ธ์์ ์๊ฒฐ์ ํตํด ์ ์กฐํ ํ, ์ด ํ๋ง NTC์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๋ฏธ์น๋
ํ๋ฆฟํธ ๋ฐ RuO2์ ์ํฅ์ ์ฐ๊ตฌํ์๋ค. ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ์ ํญ์ ๋์ผํ ์จ๋์์ ์๊ฒฐํ ๋ฒํฌ ์์ ๋นํด ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ
์ผ๋ ์ ํญ-์จ๋ ํน์ฑ์์ ๋ถ ์ ํญ ์จ๋ ํน์ฑ์ ๋ ๋ช ํํ๊ฒ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ํํธ, ์๊ฒฐ์จ๋ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ
๋ผ ๋ฉด์ ์ ํญ์ ๊ฐ์ํ์๊ณ ํ๋ฆฟํธ ์ฒจ๊ฐ๋์ด ๋ง์์๋ก ๋ฉด์ ์ ํญ์ ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ๋ค. ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ B ์ ์๋ 3000 K
์ด์์ ๊ฐ ๋ํ๋๋๋ฐ ๊ทธ ์ค ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ํ์ด์คํธ๋ก ๋ง๋ ํ๋ง NTC๋ฅผ 900oC์์ ์๊ฒฐํ ์ํธ์ B ์ ์๊ฐ ๊ฐ
์ฅ ๋๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ๋ํ, RuO2 ์ฒจ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฉด์ ์ ํญ์ ๊ฐ์๊ฐ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์์ผ๋ฉฐ RuO2๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐ
ํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ 900oC์์ ์๊ฒฐํ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ๋ฉด์ ์ ํญ ๊ฐ์์ ๋ณํ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ๋๋ ท์ด ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค.
1. ์ ๋ก
์ต๊ทผ 4์ฐจ ์ฐ์ ํ๋ช ์ ์ฃผ์ญ์ด ๋๋ IoT ๋ฐ ์์จ์ฃผํ
์๋์ฐจ ๋ฑ์ ๊ธฐ์ ์ด ๋น ๋ฅธ ์๋๋ก ๋ฐ์ ํด ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๋ค์
ํ ์ข ๋ฅ์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ์ ์ผ์์ ์ค์์ฑ์ด ์ ์ ์ปค์ง๊ณ ์๋ค
[1,2]. ์ด ์ค ์จ๋์ ๋ฐ๋ผ ์ ํญ์ ๋ณํ๊ฐ ๋ํ๋๋ ์จ๋
์ผ์๋ฅผ ์๋ฏธ์คํฐ(thermistor)๋ผ๊ณ ํ๋๋ฐ ์๋ฏธ์คํฐ ์ค ๋ถ
() ์จ๋-์ ํญ ๊ณ์๋ฅผ ๋ํ๋ด๋ NTC(Negative Temperature
of Coefficient) ์๋ฏธ์คํฐ๋ ๊น์น๋์ฅ๊ณ ์ ์๋์ฐจ ๋ฑ ๋ค
์ํ ๊ธฐ๊ธฐ์ ์จ๋ ์ผ์ ์ธ์๋ ๋์ ์ ๋ฅ ์ ํ๊ธฐ(inrush
current limiters)๋ RF ๋ชจ๋์ ์จ๋๋ณด์ ํ๋ก ๋ฑ์ ๋๋ฆฌ
โ Corresponding authorโ E-mail: [email protected]
Effect of lead-free frit and RuO2 on the electrical properties of thick film NTC thermistors for low temperature co-firing 219
์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ค[3]. NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ ์ฐํ๋ฌผ์ ์ด์ฉํ ๋ถ
์๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด๋ก๋ถํฐ ์ป์ด์ง๋๋ฐ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก Mn, Ni, Co,
Cr, Fe ๋ฑ์ ์ ์ด๊ธ์ ์ฐํ๋ฌผ์ ์ด์ฉํ์ฌ ์ ์กฐํ๋ฉฐ ์ด๋ค
์ฐํ๋ฌผ๋ก๋ถํฐ AB2O4 ํํ์์ ๊ฐ๋ ์คํผ๋ฌ(spinel) ์์
์ฐํ๋ฌผ์ด ์์ฑ๋๋๋ฐ (Mn3xyNixCoy)O4 (MNC) ์กฐ์ฑ์
์คํผ๋ฌ ์์ด ๊ฐ์ฅ ์ฐ์ํ NTC ํน์ฑ์ ๋ํ๋ธ๋ค๊ณ ์๋ ค
์ ธ ์๋ค[4]. ๋ํ, ๋ค์ํ ํน์ฑ์ ์ป๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ฌ๋ฉด์ฒด ํ
์ ์๋ฆฌ(tetrahedral site)์ ํ๋ฉด์ฒด ํ์ ์๋ฆฌ(octahedral
site)์ ๋ค๋ฅธ ํ์ ์ํ์ ์์ด์จ์ ์นํํ๋ ์ฐ๊ตฌ์ ํจ
๊ป ์ ๊ธฐ์ ๋ ๊ธฐ๊ตฌ๋ ๋ง์ด ์ฐ๊ตฌํ์๋๋ฐ ๊ทธ ์ค ํด๋ผ๋ก ํธ
ํ ์ ๊ธฐ์ ๋ ๊ธฐ๊ตฌ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ์ ๋ ฅํ ์ ๊ธฐ์ ๋ ๊ธฐ๊ตฌ๋ก ๋ณด๊ณ
๋๊ณ ์๋ค[5].
NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฒํฌ(bulk)ํ, ๋ฐ๋ง
(thin film)ํ ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ํ๋ง(thick film)ํ์ผ๋ก ๋๋์ด์ง๋
๋ฐ, ๋ฒํฌํ์ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ธ๋ผ๋ฏน ๋ฒํฌ ๊ณต์ ์ ์ํด ์ ์กฐ๋
๋ฉฐ ์๊ฒฐ ์จ๋๋ ๋ณดํต 1200oC ๋ด์ธ์ ๊ณ ์จ์์ ์๊ฒฐํ์ฌ
์ป์ด์ง๋ค[6-8]. ํํธ ๋ฐ๋งํ์ ๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง ๋ฒ
๋ฑ ๋ค์ํ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌ๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ ์ต๊ทผ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ์งํ
๋๊ณ ์๋ ๋จ๊ณ์ ์๋ค[9-11]. ํ๋งํ์ NTC ์๋ฏธ์คํธ
๋ถ๋ง์ ํ์ด์คํธ๋ก ๋ง๋ค์ด ํ๋ง ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ ์กฐํ๋ ๊ฒ์ผ
๋ก ์นฉ ํํ์ ๋ถํ์ด๋ ์ค์ฅํ์ผ๋ก ๋ง์ด ์ ์กฐ๋์ด ์ฌ์ฉ
ํ๊ณ ์๋ค[12-22]. ํ๋ง ๊ณต์ ์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๋ฑ์ ์ธ๋ผ๋ฏน
๊ธฐํ์ ํ์ด์คํธ ํํ์ NTC ์กฐ์ฑ๋ฌผ์ ์คํฌ๋ฆฐ ํ๋ฆฐํฐ๋ฅผ
์ด์ฉํ์ฌ ๋ง์ ํ์ฑํ๊ณ ์ด๋ฅผ ์๊ฒฐํ์ฌ ๋ง์ ๋ง๋๋ ๊ณต
์ ์ ์๋ฏธํ๋ค. ์ด๋ฌํ ํ๋ง ๊ณต์ ์ ๋๋ ์์ฐ์ด ๊ฐ๋ฅํ
์ ์กฐ ๊ณต์ ์ด๋ฏ๋ก MLCC, ์ธ๋ผ๋ฏน ๋ฉํฐ์นฉ ๋ชจ๋๊ณผ MEMS
(Micro Electro Mechanical Systems) ๋ฐ LTCC(Low
Temperature Co-fired Ceramics), ์ผ์ ๋ฑ ์ธ๋ผ๋ฏน ์ ์๋ถ
ํ ์ ์กฐ์ ๋ง์ด ํ์ฉ๋๊ณ ์๋ค[23-27]. ํํธ, ํ๋ง NTC
์๋ฏธ์คํฐ๋ ์ค๊ณ์ ์ ์ฐ์ฑ ๋ฐ ์ ํญ ์จ๋ ํน์ฑ์ ์ฌํ์ฑ
์ด ์ฐ์ํ๊ณ , ํธ๋ฆฌ๋ฐ(trimming)์ ์ํด ์ฝ๊ฒ ์ ํญ์ ์กฐ
์ ํ์ฌ ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ ๋ฐ ์ ํ๋๊ฐ ์ฐ์ํ ๋ถํ ์ ์กฐ๊ฐ ๊ฐ
๋ฅํ๋ฏ๋ก ์์๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์๋ค.
ํ๋งํ NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ ์๊ฒฐ ์จ๋๋ฅผ ๋ฎ์ถ๋ ์ญํ ์
ํ๋ ์ฒจ๊ฐ์ ์ ์ข ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ ํ๋ญ์ค(flux) ํ์ ๊ณผ ํ๋ฆฟํธ
(frit) ํ์ ์ผ๋ก ๋๋์ด์ง๋๋ฐ ํ๋ญ์ค ํ์ ์ ๋น๊ต์ ์ต์
์ด ๋ฎ์ ์ฐํ๋ฌผ์ธ PbO๋ Bi2O3๋ฅผ ์ฐํ๋ฌผ ํํ๋ก ์ฒจ๊ฐ
ํ์ฌ ํ์ด์คํธ๋ก ์ ์กฐํ๊ณ ์ด๋ฅผ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ธฐํ์ ์ธ์ํ์ฌ
์๊ฒฐํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋งํ๋๋ฐ ์ด ๊ฒฝ์ฐ ํ๋ง ํ๋ฉด์ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ
์กฐ๊ฐ ๊ท ์ผํ์ง ๋ชปํ ๊ฒฝํฅ์ด ์๊ณ , ์์จ์ ์ ํญ์ด ๋๊ณ
์ ํญ-์จ๋ ํน์ฑ์ด ์ง์ ์ ์ด์ง ์์ ๊ฒฝํฅ์ด ์๋ค[12-14].
ํํธ, ํ๋ฆฟํธ ํ์ ์ ์ ์ต์ ์ ๊ธ๋ผ์ค(glass) ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ
์ ์กฐํ์ฌ ์ด๋ฅผ ๊ฒฐํฉ์ ๋ก ์ฒจ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ธ๋ฐ ํ๋ฆฟํธ ํ์ ์
๋ํ์ ์ธ ์ฐ๊ตฌ๋ S. Japtap ๋ฑ์ ์ฐ๊ตฌ๋ผ๊ณ ์๋ ค์ ธ ์๋ค
[15-22]. ์ด๋ค์ ์ฐ๊ตฌ์์๋ CaO, BaO, Al2O3, B2O3,
SiO2 ์กฐ์ฑ์ผ๋ก ์ ์กฐํ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฉฐ ํ์ด์คํธ ์ ์ฒด
์ ๋ํ์ฌ 5~30 wt%๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ฌ ํ์ด์คํธ๋ฅผ ๋ง๋ค์ด ์
๋์ ์ผ๋ก ๋ง์ ์์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ฌ ํ๋ง NTC๋ฅผ ์
์กฐํ์ฌ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ์ฐ๊ตฌํ์๋๋ฐ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ๋ง์ด ์ฒจ๊ฐ
ํจ์ผ๋ก์จ B ์ ์๋ ๋น๊ต์ ๋๊ฒ ๋์์ผ๋ ์ฐํ์ ์ด ๋
์ frit๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์๊ฒฐ์ฒด์ ํ๋ฉด ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์น๋ฐํ์ง
๋ชปํ์๊ณ , ๋ํ ์์จ ์ ํญ์ด ๋งค์ฐ ๋๊ฒ ๋ํ๋๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ
๋ฐํํ์๋ค. ๋ํ, ํ๋ง NTC์ ์ ํญ์ ๋ฎ์ถ๋ ค๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ
๋ก ์ ํญ์ด ์์ RuO2๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ๋ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ํํ์๋๋ฐ
์์จ์์ ๋ฐ๋์ฑ ์๋ฏธ์คํฐ๋ก ์ฌ์ฉ๋๊ธฐ ์ํด์๋ RuO2๋ฅผ
10~40 wt% ์ฒจ๊ฐํ์ฌ์ผ ํ๋ค๊ณ ๋ณด๊ณ ํ์๋ค[18-20]. ๊ทธ๋ฌ
๋ ๊ณ ๊ฐ์ RuO2๋ฅผ ๊ณผ๋ํ๊ฒ ์ฒจ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ ๊ฒฝ์ ์ ์ผ๋ก
์ ์ ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ผ ๋ณด๊ธฐ์ ์ด๋ ค์ด ์ธก๋ฉด์ด ์์ผ๋ฉฐ ์ด๋ค์ ์ฒจ
๊ฐํ ํ๋ฆฟํธ๊ฐ RuO2์ ํ์ฐ์ ์ด๋ ํ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋์ง
์ ๋ํ ๊ณ ์ฐฐ์ ํ์ง ์์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋ณธ์ธ์ ์์ ์ฐ๊ตฌ
์์ Bi2O3๋ฅผ ์ฃผ์๋ฃ๋ก ์ ์กฐํ ์ ๋์ฑ์ด ์ข์ ํ๋ฆฟํธ์
B2O3๋ฅผ ์ฃผ์๋ฃ๋ก ์ ์กฐํ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ์กฐํ RuO2
๊ณ ํ๋ง ์ ํญ์ฒด์์ 850oC์์ ๋ฐ์ํ ํ๋ง์ ํญ์ฒด์์
์ ํญ๋ง์ Ru ์์์ ๋ถํฌ๋ฅผ EDS๋ก ์ธก์ ํ ๊ฒฐ๊ณผ Bi2O3
๊ณ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ํ๋ง์ ํญ์ฒด์๋ ํ๋ฆฟํธ ์ ์ฒด์ Ru
์์๊ฐ ๊ฒ์ถ๋ ๋ฐ๋ฉด, B2O3๋ฅผ ์ฃผ์๋ฃ๋ก ํ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฌ์ฉ
ํ ๊ณ์์๋ Ru์ ๋ถํฌ๊ฐ ์ผ์ ๋ถ๋ถ์์๋ง ๊ฒ์ถ๋๋ ์ฐ
๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ป์ ๋ฐ ์๋ค. ๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก ํ๋ฆฟํธ์ ์กฐ์ฑ์
RuO2 ๊ณ ํ๋ง์ ํญ์ฒด์ ์ ํญ์ ์์ ์ฑ ๋ฐ ์ ํญ ๊ฐ์์
๋งค์ฐ ์ค์ํ๋ค ํ ์ ์๋ค.
๋ฐ๋ผ์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์์ ์ฐ๊ตฌ[29]์์ ์ฌ์ฉํ์๋
Mn1.5Ni0.4Co0.9Cu0.4O4 ์กฐ์ฑ์ NTC ๋ถ๋ง๊ณผ Bi2O3๊ฐ ๋ค๋
ํจ์ ํ ์ ์ต์ ํ๋ฆฟํธ ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ RuO2๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ Ag ๊ณ
ํ๋ง๋์ฒด์ ํจ๊ป ์ ์จ ๋์ ์์ฑ์ด ๊ฐ๋ฅํ ํ๋ง NTC
์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ ์ ์กฐํ ๋ค์ ํ๋ง NTC์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๋ฏธ
์น๋ ํ๋ฆฟํธ์ RuO2์ ์ํฅ์ ์ฐ๊ตฌํ์๋ค.
2. ์คํ ๋ฐฉ๋ฒ
2.1. ์ ์จ ์๊ฒฐ์ฉ NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ํ์ด์คํธ ๋ฐ ํ๋ง
์ํธ ์ ์กฐ
ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ ์ฃผ์ฑ๋ถ์ธ NTC
๋ถ๋ง์ ์์ฝ ํน๊ธ Mn3O4, NiO, Co3O4์ CuO๋ฅผ ์ด์ฉํ
์ฌ ์กฐ์ฑ์ด Mn1.5Ni0.4Co0.9Cu0.4O4๊ฐ ๋๋๋ก ํ๋ ํ ๋ถ๋ง
์ ํ๋ผ์คํฑ ํต์ ์ง์ฝ๋์(ZrO2) ๋ณผ๊ณผ ํจ๊ป ๋ฃ์ด 24์๊ฐ
๋ณผ ๋ฐ๋ก ๊ฑด์ ํผํฉํ์ฌ ์ค๋นํ์๊ณ , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ํ๋ง NTC์
์ ์จ ์์ฑ๊ณผ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ธฐํ์ ๋ถ์ฐฉ์ ์ํด ์ฒจ๊ฐํ๋ ํ๋ฆฟ
ํธ๋ SiO2, B2O3, Al2O3, Bi2O3, ZnO, ZrO2, MgO, Na2O
๋ฑ์ ์ด์ฉํ์ฌ Table 1๊ณผ ๊ฐ์ ์กฐ์ฑ์ผ๋ก ํํํ ํ ๋ณผ
๋ฐ๋ก ๊ฑด์ ํผํฉํ ๋ถ๋ง์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๋๊ฐ๋์ ๋ฃ์ด ์ฉ์ต
ํ ํ ๊ธ๋ ํ ์๋ฃ๋ฅผ ์๋ฃจ๋ง๋(alumina) Jar๋ฅผ ์ด์ฉํ
์ฌ ๋ฏธ๋ถ๋ง๋ก ๋ง๋ค์ด ์ค๋นํ์๋ค. ์์ธํ ํ๋ฆฟํธ์ ์ ์กฐ
220 Bon Keup Koo
๋ฐฉ๋ฒ๊ณผ ํ๋ฆฟํธ์ ์ ๋ถ์ ๋ฐ ์ด์ ํน์ฑ์ ์์ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ
์์ ์ ์ํ์๋ค[29].
์ ์กฐํ NTC ๋ถ๋ง์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 0, 2, 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ํ
์ ๋ฐ์์ 1์ฐจ ํผํฉํ ํ ์ฌ๊ธฐ์ ์ธ์์ฑ์ ๋ถ์ฌํ๊ธฐ ์
ํ์ฌ ์ํธ ์ ๋ฃฐ๋ก์ค(ethyl cellulose)๊ณ ๋น์ดํด(vehicle)์
๊ณ ํ๋ถ์ 10 wt% ์ฒจ๊ฐํ ๋ค์ ์ถฉ๋ถํ ์ ๋ฐ์์ ์ ๋ด์ผ
๋ก ์์ด์ค ํ ์ด ํผํฉ๋ฌผ์ 3 roll mixer๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ 10
๋ถ๊ฐ ๊ท ์ผํ๊ฒ ํผํฉํ์ฌ ํ์ด์คํธ๋ฅผ ์ ์กฐํ์๋ค.
์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ ๊ทน ์ญํ ์ ํ ๋์ฒด ๋ง์ ํ์ฑํ๊ธฐ
์ํ์ฌ Fig. 1(a)์ ๊ฐ์ ํจํด์ ๋ง์คํฌ๋ฅผ ์คํฌ๋ฆฐ ํ๋ฆฐ
ํฐ์ ์ค์นํ๊ณ ๊ณ ์จ์ฉ Ag ํ์ด์คํธ๋ฅผ 96 % ์๋ฃจ๋ฏธ๋
๊ธฐํ์ ์คํฌ๋ฆฐ ์ธ์ํ๊ณ 10๋ถ๊ฐ ์์จ์์ ๋ ๋ฒจ๋ง(leveling)
์ ์ํด ์ ์งํ ํ 120oC๋ก ์ค์ ๋ ์ค๋ธ์ ๋ฃ์ด ๊ฑด์กฐํ
์๋ค. ๊ฑด์กฐ๋ ์ ๊ทน ๋์ฒด๋ง ์ฌ์ด์ NTC ํ๋ง์ ์ธ์ํ๊ธฐ
์ํ์ฌ Fig. 1(b)์ ๊ฐ์ ์ฌ๊ฐํ ํํ์ ๋ง์คํฌ๋ฅผ ์คํฌ
๋ฆฐ ํ๋ฆฐํฐ์ ๋ฐ๋ฅด๊ฒ ์ฅ์ฐฉํ ํ ์ ์กฐํ NTC ํ์ด์คํธ๋ฅผ
๋ ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ์ ํํ ์ธ์ํ ํ ์์จ์์ 10๋ถ๊ฐ ์
์งํ ํ ๋์ฒด์ ๊ฒฝ์ฐ์ ๋์ผํ ์จ๋์ ์ค๋ธ์ ๋ฃ์ด ๊ฑด์กฐ
ํ์๋ค. ์ด๋ ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ์ธ์๋ NTC ํ๋ง์ ๊ฐ๋ก์
์ธ๋ก๋น(aspect ratio)๋ 1:1๋ก ๋๋๋ก ์ค๊ณํ์๋ค. ๊ฑด์กฐํ
NTC ํ๋ง ์ํธ์ ์ ๊ธฐ๋ก์ ๋ฃ์ด 800, 850, 900oC์์
์ ๊ทน๊ณผ ๋์ ์๊ฒฐํ์ฌ NTC ํ๋ง ์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ ์ ์กฐํ์
๋ค. ํํธ, ํ๋ง์ ์ ํญ ๋ณํ์ ๋ฏธ์น๋ RuO2์ ์ํฅ์ ๊ด
์ฐฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ RuO2๋ฅผ ๋ฌด์ฐ๊ณ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ
์กฐ์ฑ์ 0, 2, 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ์ฌ ๊ฐ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ํ์ด์คํธ
๋ฅผ ๋ง๋ ํ ์์ ๋์ผํ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์คํ์ ํ์๋ค.
2.3. ํ๋ฆฟํธ์ ๋ถ๋ง ํน์ฑ ๋ฐ ํผ์งํน์ฑ ์ธก์
์คํ์ ์ฌ์ฉํ ํ๋ฆฟํธ์ ํ์์ ๋์ ๊ณ๋ฐฉ์ถํ์ฃผ์ฌ์ ์
ํ๋ฏธ๊ฒฝ(cold type FE-SEM: Hitachi S-4800)์ผ๋ก ๊ด์ฐฐํ
์๊ณ , ์ ๋๋ถ์๊ธฐ(Malvern Instrument Mastersizer 3000-
Maz6140)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ํ๊ท ์ ๊ฒฝ์ ์ธก์ ํ์๋ค. ํํธ ํ
๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ ํํ 0.1 g์ ํ๋ ํ ํ 3 ๋ชฐ๋๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ
๋์คํฌ ์ํ๋ก ์ฑํํ ์๋ฃ๋ฅผ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ ์์ ๋๊ณ
700oC~1000
oC์์ 10๋ถ๊ฐ ์ ์งํ ํ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ ๊ณผ ํ์
์ง๊ฒฝ ๋ณํ๋ฅผ ์ธก์ ํ์ฌ ์(1)์ ๊ณต์์ผ๋ก ํผ์ง๋ฅ (spreading
ratio)์ ๊ณ์ฐํ์๋ค.
(1)
์ฌ๊ธฐ์ S1์ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ ์ ๋์คํฌ์ ๋จ๋ฉด์ ์ด๋ฉฐ, S2๋
์ด์ฒ๋ฆฌ ํ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ํผ์ง ์๋ฃ์ ๋จ๋ฉด์ ์ด๋ค.
2.4. ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ํน์ฑ ์ธก์
์๊ฒฐํ์ฌ ์ป์ NTC ํ๋ง ์ํธ์ Ag ์ ๊ทน์ ๋ฆฌ๋์ ์
์ฐ๊ฒฐํ์ฌ ํ๋ธํ ์ ๊ธฐ๋ก ๋ฃ์ ํ ์์จ์์๋ถํฐ 200oC
๋ฒ์์์ ์จ๋๋ฅผ ๋ณํ์ํค๋ฉด์ Digital Multimeter๋ฅผ ์ด์ฉ
ํ์ฌ ์ ํญ์ ์ธก์ ํ์๊ณ , ์ด๋ฅผ ๋ฉด์ ์ ํญ(sheet resistivity;
ohm/sq.)์ผ๋ก ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ํ, ์ ํญ์ ์จ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ณ
ํ๋ฅผ ๋ํ๋ด๋ ๊ทธ๋ํ์ ๊ธฐ์ธ๊ธฐ์ธ B ์ ์๋ 25oC์ 200
oC
์์์ ์ ํญ๊ฐ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์(2)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ๊ตฌํ์๋ค.
B = [Ln(25oC) Ln(200oC)/(1/298 1/473)] [K] (2)
์ฌ๊ธฐ์ 25oC๋ 25oC์์์ ์ํธ์ ๋ฉด์ ํญ(ohm/sq.)์ด
๋ฉฐ 200oC๋ 200oC์์์ ์ํธ์ ๋ฉด์ ์ ํญ์ด๋ค.
ํํธ, ํ๋ง NTC ์ํธ์ ํ๋ฉด ๋ฐ ๋จ๋ฉด์ ์ ๊ณ๋ฐฉ์ถ์ฃผ์ฌ
์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ(FE-SEM)์ผ๋ก ๊ด์ฐฐํ์์ผ๋ฉฐ, X์ ํ์ ๋ถ์
๊ธฐ(Rigaku Miniflex)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ NTC ํ๋ง์ ์ ๋ถ์
์ ํ์๋ค.
3. ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ
3.1. ํ๋ฆฟํธ์ ์ ๋ ๋ฐ ํผ์งํน์ฑ
ํ๋ง๊ณต์ ์์ ํ๋ฆฟํธ์ ์ญํ ์ ๋งค์ฐ ์ค์ํ๋ค. ํ๋ง๋
์ฒด์ ๊ฒฝ์ฐ ํ๋ฆฟํธ๋ ์ธ๋ผ๋ฏน์ ์ต์ฐฉ๋๊ธฐ ์ด๋ ค์ด ํ๋ง๋์ฒด
์ ์ฃผ์ ์์ฌ์ธ Ag ๋ฑ์ ๊ธ์์ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ธฐํ์ ์ ์ฐฉ์
์ผ์ฃผ๋ ์ญํ ๊ณผ ํจ๊ป ๊ธ์๋ถ๋ง์ ์ ์ ์ฑ์ฅ๊ณผ ์๊ฒฐ์๋
์ฃผ์ํ ์ญํ ์ ํ๋ค. ๋ณธ์ธ์ ์์ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ํ๋ฉด
Ag ๋ฑ์ ๊ธ์๋ถ๋ง์ Glass ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt%๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ฌ
์ ์กฐํ ํ๋ง ๋์ฒด๊ฐ ์ ํญ์ด ๊ฐ์ฅ ๋ฎ์๊ณ ๋์ฒด๋ง์ ๋ฏธ์ธ
Spreading Ratio % = S2S1
S1
---------------- 100
Table 1Composition of glass frit
Raw materials SiO2 Al2O3 MgO Na2O B2O3 ZrO2 ZnO Bi2O3
wt% 20.3 2.5 0.8 0.5 8 3.1 5.5 59.3
Fig. 1. Print mask patterns of conductor (a) and NTC thick film (b).
Effect of lead-free frit and RuO2 on the electrical properties of thick film NTC thermistors for low temperature co-firing 221
๊ตฌ์กฐ๋ ๊ฐ์ฅ ์น๋ฐํ๋ค๋ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด๊ณ ํ ๋ฐ ์๋ค[30].
ํํธ, ํ๋ง ์ ํญ์ฒด์์๋ RuO2์ ๊ฐ์ ๋์ ์ฑ ๋ฌผ์ง๊ณผ
์๋์ ์ผ๋ก ์ ํญ์ด ๋์ ํ๋ฆฟํธ ์ฑ๋ถ์ ์ฒจ๊ฐ๋์ ๋ณํ์
์ผ ์ ํญ์ ๋ฒ์๊ฐ ๋ค๋ฅธ ์ฌ๋ฌ ์ข ๋ฅ์ ํ์ด์คํธ๋ฅผ ๋ง๋ค์ด
์ํ๋ ํ๋ง ์ ํญ์ฒด ์ ์กฐ์ ํ์ฉ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํ๋ฆฟํธ๊ฐ
ํ๋ง์ ํญ์ฒด์ ์ฃผ์ฑ๋ถ์ด ๋๋ฉฐ, ์ ํญ๋ง์ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ธฐํ์
์ต์ฐฉ์ํค๋ ์ญํ ์ ํ๋ ๋งค์ฐ ์ค์ํ ๋ฌผ์ง์ด๋ผ๊ณ ์๋ ค์ ธ
์๋ค[31-33]. ๋ํ, ๋ณธ์ธ์ ํ๋ฆฟํธ์ ์กฐ์ฑ์ ๋ฐ๋ผ ๋์ ์ฑ
๋ถ๋ง์ธ RuO2๊ฐ ํ๋ฆฟํธ์ ํ์ฐํ๋ ์์์ด ๋ค๋ฅด๊ณ ๊ทธ๋ก
์ธํด ์ ํญ์ ์์ ์ฑ์ ์ํฅ์ ์ค๋ค๋ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ฐํํ
๋ฐ ์๋ค[32]. ๋ฐ๋ผ์ ํ๋ง ๊ธฐ๋ฒ์์ ํ๋ฆฟํธ์ ์กฐ์ฑ๊ณผ ์ฒจ
๊ฐ๋ ๋ฑ์ ๋งค์ฐ ์ค์ํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์์ ์ฐํ๋ฌผ์ด ์ฃผ์ฑ๋ถ์ธ NTC ๋ฌผ์ง
์ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ์๊ฒฐํ๊ณ ์ด ์ฐํ๋ฌผ ์ ํญ๋ง์ ์๋ฃจ๋ฏธ
๋ ๋ฑ์ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ธฐํ์ ์ ๋ถ์ฐฉ์ํค๊ธฐ ์ํด์ ํ๋ฆฟํธ๊ฐ
์ฒจ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ด ํ์ํ๋ฏ๋ก ํ๋ฆฟํธ์ ์กฐ์ฑ๊ณผ ์ ๋ํน์ฑ์
ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ ์ ์กฐํ๋๋ฐ ๋งค์ฐ ์ค์ํ๋ค. Figure
2๋ Table 1์ ์กฐ์ฑ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด PbO๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ
์ง ์๊ณ ๋์ Bi2O3๋ฅผ ์ฃผ์ฑ๋ถ์ผ๋ก ํ์ฌ ์ ์กฐํ ๋ฌด์ฐ๊ณ
ํ๋ฆฟํธ ๋ถ๋ง์ ๋ชจ์ต์ ์ดฌ์ํ SEM ์ฌ์ง์ด๋ฉฐ, Figure 3
์ ์ด ๋ถ๋ง์ ์ ๋ ๋ถํฌ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์
๊ฐ์ด ๋ถ์ํ ๋ฌด์ฐ๊ณ ํ๋ฆฟํธ์ ํ๊ท ์ ๊ฒฝ์ ๋๋ต 1~2 m
์ด๋ฉฐ ์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก 5 m ์ดํ์ ๋น๊ต์ ๋ฏธ์ธํ๊ฒ ์ ๋ถ์
๋์์์ ์ ์ ์์๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ณธ ์กฐ์ฑ์ ํ๋ฆฟํธ์ ์ฐ
ํ์ ์ ์์ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ ์ํ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด 538oC์์ผ๋ฉฐ
์ด๋ ๋ฒํฌํ์ ์ ์จ ๋์ ์์ฑ์ฉ NTC ์กฐ์ฑ์ ์ ํฉํ
ํ๋ฆฟํธ๋ผ๊ณ ํ๋จ๋๋ค[29].
Figure 4๋ NTC ํ๋ง ํ์ด์คํธ์ ํฌํจ๋ ํ๋ฆฟํธ์
๋ฐ์์จ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ํผ์ง ํน์ฑ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ํ๋ง
NTC๋ฅผ ์ธ์ ํ ์์ฑ์ ํ๋ฉด ๋จผ์ ์ ์ต์ ์ ์ ๋ฆฌ์์ด
์ฉ์ต์ ํ์ฌ ์ฐํ๋ฌผ๊ณผ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ธฐํ ์ฌ์ด์ ํผ์ ธ ์น๋ฐํ์
์๊ฒฐ์ ์ด์งํ๊ณ , ์ผ๋ถ๋ NTC์ ๊ธฐํ ์ฌ์ด์์ NTC
๋ง์ ๊ธฐํ์ ์ต์ฐฉ์์ผ ๋ง์ ์ ์ฐฉ๋ ฅ์ ๋์์ ๊ฒ์ด ์์
๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํ๋ฆฟํธ์ ํผ์ง์ฑ์ ์ฐํ์ ๊ณผ ํจ๊ป ํ๋ฆฟํธ์
์ค์ํ ํน์ฑ์ด ๋๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด 700oC
๋ฐ์์จ๋๋ถํฐ ํผ์ง๋ฅ ์ด ์ฆ๊ฐํ๊ธฐ ์์ํ์ฌ ๋ฐ์์จ๋ ์ฆ
๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ํผ์ง๋ฅ ์ด ์ง์ ์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํจ์ ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ,
์ผ๋ฐ์ ์ธ NTC ํ๋ง์ ์๊ฒฐ ์จ๋์ธ 850~900oC ๋ถ๊ทผ์
์ 550~600 %์ ํผ์ง๋ฅ ์ ๋ํ๋ด๊ณ ์๋ ๊ฒ์ ์ ์
์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ํผ์ง ํน์ฑ๊ณผ 538oC์ ์ฐํ์ ์ ๊ฐ๋
ํ๋ฆฟํธ๋ ํ๋ง NTC ํ์ด์คํธ ์ ์กฐ์ ์ ํฉํ ํ๋ฆฟํธ๋ผ
๊ณ ํ๋จ๋๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ์ ๋ํน์ฑ์ ํ๋ฆฟํธ์ ๋ค๋ ํจ์
ํ ์ ์ต์ Bi2O3๊ฐ ์ ๋ํน์ฑ์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ์๊ธฐ
๋๋ฌธ์ด๋ผ ์๊ฐํ ์ ์๋ค.
3.2. NTC ํ๋ง ์ํธ์ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ ๋ฐ ์ ๋ถ์
Figure 5๋ 800, 850, 900oC์์ ์๊ฒฐํ ํ๋ง NTC
Fig. 2. Microstructure of glass frit powder.
Fig. 3. Particle size distribution of glass frit.
Fig. 4. Change of frit spreading ratio of frit according to reaction temperature.
222 Bon Keup Koo
์ํธ์ ํ๋ฉด์ FE-SEM์ผ๋ก ๊ด์ฐฐํ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ ์ฌ์ง์ด๋ค.
ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ง ์์ ์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ ์๊ฒฐ์จ๋ ์ฆ๊ฐ์
๋ฐ๋ผ ์ ์ ์ฑ์ฅ์ด ๋๋ ทํ๊ฒ ๋ํ๋์ง ์์๊ณ , ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ
์ฒจ๊ฐํ ์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ 850oC๊น์ง๋ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ์ ํฐ ๋ณ
ํ๋ ๋ํ๋์ง ์์์ผ๋ 900oC ์๊ฒฐ์์๋ ๋ฏธ์ธํ ์ ์
๋ค์ด ์ฌ๋ผ์ง๊ณ ์ ์ ์ฑ์ฅ์ด ๋๋ ทํ๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์
Fig. 5. Surface microstructure according to the amount of frit added in the NTC thick film thermistor sintered at various temperatures.
Fig. 6. The microstructure of the interface between the NTC thick film thermistor and the substrate according to the amount of frit added to the NTC thick film sintered at various temperatures.
Effect of lead-free frit and RuO2 on the electrical properties of thick film NTC thermistors for low temperature co-firing 223
์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ํ์์ ํ๋ฆฟํธ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ์ํธ์ ๊ฒฝ
์ฐ ๋ช ํํ๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํ๋ง NTC
์๋ฏธ์คํฐ์ 900oC ์ดํ์ ์ ์จ ์์ฑ์ ์ํด์๋ ํ๋ฆฟํธ
๋ฅผ 5 wt% ์ฐธ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ด ๊ฐ์ฅ ์ ๋นํ๋ค๊ณ ํ๋จ๋๋ค.
Figure 6์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 0, 2, 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ NTC ํ๋ง์
์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ธ์ํ ํ 800, 850, 900oC์์ ์๊ฒฐํ
์ํธ์ ๋จ๋ฉด ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ ์ฌ์ง์ด๋ค. ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ง ์์
์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ ๊ธฐํ์ NTC ํ๋ง์ด ์ต์ฐฉ๋๋ ํ์์ด ๋ํ
๋์ง ์์์ผ๋ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ์ํธ์ 900oC์์
์๊ฒฐํ ์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ ์ ์ฑ์ฅ ๋ฐ ์น๋ฐํ์ ํจ๊ป ๊ธฐํ๊ณผ
๊ณ๋ฉด ์ฌ์ด์ ํ๋ฆฟํธ๋ก ๋ณด์ด๋ ์์ ๋ชจ์ต์ด ๋ณด์ด๋ฉฐ ์ด ๋ฌผ
์ง์ด ๊ธฐํ์ NTC ํ๋ง์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ต์ฐฉ์์ผ ๋ง
๊ณผ ๊ธฐํ์ด ํ๋๋ก ๋ถ์ด์๋ ๋ชจ์ต์ ๊ด์ฐฐํ ์ ์์๋ค. ๋ฐ
๋ผ์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ NTC ํ๋ง์ 900oC์์ ์
๊ฒฐํ ๊ฒฝ์ฐ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ฐํ์ ๋ง์ด ์ ์ ์ฐฉ๋์ด ํ๋ง NTC
๋ก ์ถฉ๋ถํ ์ฌ์ฉ์ด ๊ฐ๋ฅํ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จํ ์ ์์๋ค.
Figure 7์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ํ๋ง NTC ์ํธ์
700oC~900
oC์ ์จ๋์์ ์๊ฒฐํ ํ๋ง NTC ํ๋ฉด์ XRD
์๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. 700oC ์๊ฒฐ์จ๋์์๋ ๋ฏธ๋ฐ์ Mn2O3
์ tetragonal ์์ spinel ์์ด ๊ด์ฐฐ๋์์ผ๋ ์๊ฒฐ์จ๋๊ฐ
850oC ์ด์์ผ๋ก ๋์์ง์ ๋ฐ๋ผ ์ถ๋ฐ๋ฌผ์ง๊ณผ tetragonal ์
์ ์คํผ๋ฌ์ ์ฌ๋ผ์ง๊ณ cubic ์์ spinel ๊ตฌ์กฐ์ MNC
์๋ง์ด ์กด์ฌํจ์ ์ ์ ์์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ 850oC~900
oC๊ฐ
๋๋ฉด NTC ์๋ฏธ์คํฐ ํน์ฑ์ ๋ฐํํ๋ cubic ์์ ์คํผ
๋ฌ๋ง ์กด์ฌํ์ฌ ์ ์จ ์์ฑ์ผ๋ก NTC ํน์ฑ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ
์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ค๊ณ ํ๋จ๋๋ค.
3.3. NTC ํ๋ง ์ํธ์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ
Figure 8์ NTC ์๋ฏธ์คํฐ ์กฐ์ฑ์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 0, 2, 5 wt%
์ฒจ๊ฐํ์ฌ ์ ์กฐํ NTC ํ์ด์คํธ๋ฅผ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ธ
์ํ ํ ์ํธ์ 800, 850, 900oC์์ ์๊ฒฐํ ํ๋ง NTC
Fig. 7. X-ray diffraction patterns according to the amount of frit added of the NTC thick film thermistor sintered at various
temperatures.
Fig. 8. Resistance to temperature change of thick film NTC thermistor sintered at various temperatures. (a) 800
oC, (b) 850
oC,
(c) 900oC.
224 Bon Keup Koo
์ํธ์ ์จ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฉด์ ์ ํญ์ ๋ณํ๋ฅผ ๋ํ๋ธ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค.
๊ทธ๋ํ์ Y์ถ์ ๋ฉด์ ์ ํญ์ ์์ฐ๋์๋ก ๋ณํํ ๊ฐ์ด๋ฉฐ
X์ถ์ ์ธก์ ์จ๋๋ฅผ ์ ๋์จ๋๋ก ๋ณํํ ๋ค์ ์ด๋ฅผ ์ญ์๋ก
์ทจํ ๊ฐ์ด๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ๊ทธ๋ํ์ ์ค๋ฅธ์ชฝ
์ 25oC ๊ทผ๋ฐฉ์ ์์จ์์๋ ๋ฉด์ ์ ํญ์ด ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ์ผ
๋ ์ธก์ ์จ๋ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ ํญ์ ํฐ ํญ์ผ๋ก ๊ฐ์ํ๋ ๊ฒ
์ ์ ์ ์์์ผ๋ฉฐ, ๊ฐ๊ฐ์ ์๊ฒฐ์จ๋์์ ์ํธ์ ํ๋ฆฟํธ
์ฒจ๊ฐ๋์ด ๋ง์์๋ก ์ ํญ์ ๋๊ฒ ๋ํ๋๋ ๊ฒฝํฅ์ด ์์์
์ ์ ์์๋ค. ์ด๋ ํ๋ฆฟํธ ์ญ์ NTC ํน์ฑ์ด ์๊ณ , ๊ธฐ
๋ณธ์กฐ์ฑ์ NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ๋นํ๋ฉด ์ ํญ์ด ํฐ ๋ถ๋์ฒด์ด
๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ํ๋๋ ํ์์ด๋ผ๊ณ ํ๋จ๋๋ค. ๋ํ, ์๊ฒฐ์จ
๋ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ ํญ์ ๋ฎ๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋๋ฐ
ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ง ์๊ณ 800oC์์ ์๊ฒฐํ ์ํธ๊ณผ ํ๋ฆฟ
ํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ๊ณ 900oC์ ์๊ฒฐํ ์ํธ์ ์ ํญ์ด
๊ฑฐ์ ์ ์ฌํ ๊ฐ์ ๊ฐ์ง๋ ๊ฒ์ ์ ์ ์์๋ค. ์ด๋ ์์
Figure 5์ 6์ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ ์ฌ์ง์์ ๋ณด์๋ฏ์ด ์ ์ ์ฑ์ฅ
๊ณผ ์น๋ฐํ์ ๊ด๋ จ์ด ์๋ค๊ณ ํ๋จ๋๋ค. ์ฆ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt%
์ฐธ๊ฐํ์ฌ 900oC์์ ์๊ฒฐํ ๊ฒฝ์ฐ NTC ์ ์์ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก
์น๋ฐํ๊ฐ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ง์ด ์ผ์ด๋๊ณ ์ด๊ฒ์ด ์ ํญ์ ๊ฐ์
์ํค๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ์ ธ์๋ค๊ณ ํ๋จ๋๋ค. ํํธ, ์ฌ๊ธฐ์ ์ฃผ๋ชฉ
ํ ์ฌ์ค์ ๊ทธ๋ํ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ ํญ์ ๋ํ ์จ๋
์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ณํ๊ฐ ์ธก์ ์จ๋ ๋ฒ์์์ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ๋ํ๋๋ค
๋ ๊ฒ์ด๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ์ง์ ์ฑ์ ์จ๋ ์ผ์๋ก ํ์ฉ๋ ๋
๋งค์ฐ ์ค์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ ์กฐํ ํ๋ง NTC ์
๋ฏธ์คํฐ๋ ์์ฉํ ๊ฐ๋ฅํ ์ํธ์ด๋ผ๊ณ ํ๋จํ ์ ์๋ ๋งค
์ฐ ์ค์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ผ๊ณ ์๊ฐ๋๋ค.
Table 2๋ Fig. 8์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ํ์๋ ์ธก์ ๊ฐ์ ์(1)์
๋์ ํ์ฌ ๊ตฌํ B ์ ์๋ฅผ ์ ๋ฆฌํ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ด๋ ์ง์ ์
๊ธฐ์ธ๊ธฐ๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก B ์ ์๊ฐ 3000 K
์ด์์ ๊ฐ์ ๊ฐ์ง์ ์ ์ ์์๊ณ , ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ
๊ฐํ ํ์ด์คํธ๋ก ๋ง๋ NTC ํ๋ง์ 900oC ์๊ฒฐ ์ํธ์
B ์ ์๊ฐ ๊ฐ์ฅ ํฐ ๊ฒ์ ์ ์ ์์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์์ ๋ฏธ์ธ
๊ตฌ์กฐ ์ฌ์ง๊ณผ ์ ํญ ์จ๋ ํน์ฑ ๋ฐ B ์ ์๋ฅผ ์ข ํฉ์ ์ผ๋ก
๊ฒํ ํ ๊ฒฐ๊ณผ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ
๊ฐํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ธ์ํ ํ 900oC์์
์๊ฒฐํ ์ํธ์ด ์ ์จ ๋์ ์์ฑ NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ก ๊ฐ์ฅ
์ ๋นํ๋ค๊ณ ํ๋จ๋๋ค.
3.4. ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ RuO2
์ฒจ๊ฐ์ ์ํฅ
์์ Fig. 8์ ๊ฒฐ๊ณผ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt%
์ฒจ๊ฐํ์ฌ ์ ์กฐํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ NTC ์๋ฏธ์คํฐ
ํ๋ง์ ๋ง๋ ํ 900oC ์๊ฒฐ์จ๋์์ ์๊ฒฐํ ์ํธ์ ๊ฒฝ
์ฐ NTC ํน์ฑ์ด ๊ฐ์ฅ ๋๋ ท์ด ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ, B
์ ์ ์ญ์ ๋น๊ต์ ํฐ ๊ฐ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ์ ์ ์ ์์๋ค.
๊ทธ๋ฌ๋ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ฒํฌ ์ํธ์ ๋นํด
์๋์ ์ผ๋ก ์ ํญ์ด ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์์ฉํ๋ฅผ ์
ํด์๋ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ์ ์ ํญ์ ๋ฎ์ถ๋ ๊ฒ์ด ํ์
ํ๋ค๊ณ ํ๋จํ์ฌ ์์ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์
์คํ์ ํ์๋ค[29,32].
ํ๋ง ์ ํญ์ฒด์ ์ฃผ์๋ฃ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ RuO2๋ ๋น๊ต์ ๋ฎ
์ ๋น์ ํญ์ ๊ฐ์ง๋ฉฐ +100 ppm/oC์ TCR(temperature
coefficient of resistance)์ ๋น๊ต์ ์ ํญ ์์ ์ฑ์ด ์ํธ
ํ ์ฐํ๋ฌผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค[34]. ๋ฐ๋ผ์ ๋ฎ์ ์จ๋์์๋
๋ฐ๋์ฒด์ ์ ํญ ๋ฒ์๋ก ์ ํญ์ ๋ฎ์ถ๋ ค๋ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ํด ํ
๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ํ์ด์คํธ ์กฐ์ฑ์ RuO2๋ฅผ 0, 2, 5
wt% ์ฒจ๊ฐํ์ฌ ์ ์กฐํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ธ์
ํ ํ 800~900oC์์ ์๊ฒฐํ ์ํธ์ ๋ํ์ฌ ์ ํญ ์จ๋
ํน์ฑ์ ์ฐ๊ตฌํ์๋ค. ์ฌ๊ธฐ์ RuO2์ ์ฒจ๊ฐ๋์ 5 wt% ์ด
ํ๋ก ํ์ ํ ๊ฒ์ RuO2๊ฐ ์ ํญ ์จ๋ ํน์ฑ์ด ์์ ํ๊ธฐ๋
ํ๋ ๊ณ ๊ฐ์ ๊ท๊ธ์ ์ฐํ๋ฌผ์ด๋ฏ๋ก ๊ฐ๋ฅํ ๋ฒ์์์ ์ ์
์์ ์ฒจ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ด ๋ฐ๋์งํ๋ค๊ณ ํ๋จํ์ฌ 5 wt% ์ดํ
๋ก ์กฐ์ฑ ์ค๊ณ๋ฅผ ํ์๋ค.
Figure 9๋ ๊ฐ ์๊ฒฐ์จ๋์์ RuO2 ์ฒจ๊ฐ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ์จ
๋-์ ํญ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. RuO2 ์ฒจ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ ํญ์ ๊ฐ์๊ฐ ๋
ํ๋จ์ ์ ์ ์์์ผ๋ 850oC ์๊ฒฐ์จ๋ ๊น์ง๋ ์ ํญ ๊ฐ
์ ํจ๊ณผ๊ฐ ๋๋ ท์ด ๋ํ๋์ง ์์๊ณ , 900oC ์๊ฒฐ์์๋
RuO2 ์ฒจ๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ํญ ๊ฐ์ ํจ๊ณผ๊ฐ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ์
ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ ๊ฐ์ฅ ๋๋ ท์ด ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ์ด๋ ๋ณธ
์ฐ๊ตฌ์์ ์์ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ์์ Bi2O3๋ฅผ ๋ค๋ ์ฒจ๊ฐํ์ฌ ์
๋์ฑ ๋ฐ ๋ฐ์์ฑ์ด ์ฐ์ํ ํ๋ฆฟํธ์ ๊ฒฝ์ฐ 900oC์์๋
์ ๋ฆฌ๊ฐ ์ถฉ๋ถํ ์ฉ์ต๋๊ณ , ํ๋ฆฟํธ ์ฃผ์์ ์๋ RuO2๊ฐ
ํ๋ฆฟํธ์ ํ์ฐํ์ฌ ๊ณ ์ ํญ์ ์ ํญ๋ง์ ํผ์ ธ ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก
ํ๋ฆฟํธ์ ์ ํญ์ ๊ฐ์์ํค๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ผ๊ณ ํด์ํ ์ ์๋ค
[32]. ๋ฐ๋ผ์ 5 wt%๋ก ๋น๊ต์ ์ ์ ์์ RuO2 ์ฒจ๊ฐ๋ก
NTC ํ๋ง์ ์ ํญ์ ๊ฐ์์ํค๋ ๊ฒ์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ค๋ ๊ฒ์
์ ์ ์์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ค๋ฅด๊ฒ S. Japtap ๋ฑ์
RuO2๋ฅผ 0~55 wt% ์ฒจ๊ฐํ์ฌ NTC ํ๋ง ํ์ด์คํธ๋ฅผ ์
์กฐํ์ฌ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ์ ์ธ์ํ์ฌ 850oC๋ก ์๊ฒฐํ์ฌ ํน
์ฑ์ ๊ด์ฐฐํ์๋๋ฐ ์๊ฒฐ์ฒด์ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ๋ก ๋ณด์ ์๊ฒฐ์ด ์
์ผ์ด๋์ง ์์๋ค๊ณ ์๊ฐํ๋ฉฐ, RuO2๋ฅผ ๋ง์ด ์ฒจ๊ฐํ์ฌ๋
์์จ์์์ ์ ํญ์ด ๋๊ฒ ๋์์ผ๋ฉฐ ์์จ์์ ๋ฐ๋์ฑ ์๋ฏธ
์คํฐ๋ก ์ฌ์ฉ๋๊ธฐ ์ํด์๋ RuO2๋ฅผ 40 wt% ์ด์ ์ฒจ๊ฐํ
์ฌ์ผ ํ๋ค๊ณ ํ์๋ค[16]. ์ด์ ๊ฐ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๊ทธ๋ค์ด ์ฌ์ฉ
Table 2B constant of thick film NTC thermistor sintered at varioussintering temperatures
Frit additionamount
SinteringTemp. (
oC)
0 wt% 2 wt% 5 wt%
800oC 3194 3173 3289
850oC 3266 3220 3367
900oC 3109 3124 3381
Effect of lead-free frit and RuO2 on the electrical properties of thick film NTC thermistors for low temperature co-firing 225
ํ ํ๋ฆฟํธ๋ B2O3๋ฅผ ์ฃผ์ฑ๋ถ์ผ๋ก ํ๋ ํ๋ฆฟํธ๋ก ์ด๋
RuO2์ ํ์ฐ์ ํฐ ์ํฅ์ ์ฃผ์ง ๋ชปํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ผ๊ณ ์๊ฐ
ํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ 5 wt% ์ ๋์ ์ฒจ๊ฐ
์ ์ํด์๋ ๋ฐ์์ฑ์ด ๋์ ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ ๋น๊ต
์ ์ ์ ์์ RuO2๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ์ฌ๋ 900oC์ ๋น๊ต์ ๋ฎ์
์จ๋์์ Ag ๋ฑ์ ์ ๊ทน๊ณผ ๋์ ์์ฑ์ด ๊ฐ๋ฅํ ๋ฐ๋์ฑ
์ ํญ ๋ฒ์๋ฅผ ๊ฐ๋ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ ์ ์กฐํ ์ ์
์๋ค.
Figure 10์ Fig. 9์ ๊ฒฐ๊ณผ ๊ฐ์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ตฌํ B ์ ์์
๋ณํ๋ฅผ ๋ํ๋ธ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. RuO2 ์ฒจ๊ฐ๋ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ B ์
์๋ ๊ฐ์ํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ํ๋์ ์ ์ ์์๋๋ฐ ์ด๋
RuO2๊ฐ +TCR์ ๊ฐ๋ ๋ฌผ์ง์ด๋ฏ๋ก TCR์ ์์ ํจ๊ณผ๋ก
ํด์ํ ์ ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก B ์ ์๋ 3000 K
์ด์์ด ๋ํ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ ์ ์จ ์์ฑ ํ๋ง NTC ์
๋ฏธ์คํฐ๋ก ์ฌ์ฉํ๊ธฐ์๋ ์ถฉ๋ถํ๋ค๊ณ ํ๋จ๋๋ค.
4. ๊ฒฐ ๋ก
์ ์จ ๋์ ์์ฑ์ฉ ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ฅผ Mn1.5Ni0.4Co0.9
Cu0.4O4 ์กฐ์ฑ์ NTC ๋ถ๋ง๊ณผ Bi2O3๋ฅผ ์ฃผ์๋ฃ๋ก ํ lead
free frit ๋ฐ RuO2๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ ์กฐํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ 96 %
์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๊ธฐํ ์์ ์ธ์์ ์๊ฒฐ์ ํตํด ์ ์กฐํ ํ, ์ด
ํ๋ง NTC์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ํ๋ฆฟํธ ๋ฐ RuO2์
์ํฅ์ ์ฐ๊ตฌํ์ฌ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฒฐ๋ก ์ ์ป์๋ค.
1) ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ๋ ์๊ฒฐ์จ๋ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ํ๋ง
์ ํญ์ ๋ฎ๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์์ผ๋ฉฐ ๋ถ() ์ ํญ ์จ๋
ํน์ฑ์ด ์ง์ ์ ์ผ๋ก ๋ช ํํ๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ๊ทธ
๋ฆฌ๊ณ ํ๋ฆฟํธ ์ฒจ๊ฐ๋์ด ๋ง์์๋ก ์ ํญ์ ์ฝ๊ฐ ๋๊ฒ ๋ํ
๋๋ ๊ฒฝํฅ์ด ์์์ ์ ์ ์์๋ค.
2) ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํฐ B ์ ์๋ 3000 K ์ด์์ ๊ฐ
์ ๋ํ๋์ ์ ์ ์์๊ณ , ํ๋ฆฟํธ๋ฅผ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ํ
์ด์คํธ๋ก ๋ง๋ ํ๋ง์ 900oC์์ ์๊ฒฐํ ์ํธ์ B ์ ์
๊ฐ ๊ฐ์ฅ ๋๊ฒ ๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ํ์์
Fig. 9. Resistance to temperature changes of thick film NTC thermistors with added RuO2 sintered at various temperatures.
(a) 800oC, (b) 850
oC, (c) 900
oC.
Fig. 10. Change of B constant according to RuO2 addition amount of thick film NTC thermistor sintered at various tem-
peratures.
226 Bon Keup Koo
ํ๋ง์ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ์ ๊น์ ์ฐ๊ด์ฑ์ด ์์์ ์ ์ ์์๋ค.
3) RuO2 ์ฒจ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ ํญ์ ๊ฐ์๊ฐ ๋ํ๋จ์ ์ ์
์์๋๋ฐ 5 wt% ์ฒจ๊ฐํ ํ์ด์คํธ๋ฅผ 900oC์์ ์๊ฒฐํ
ํ๋ง NTC ์๋ฏธ์คํธ์ ์ ํญ ๊ฐ์์ ๋ณํ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ๋๋ ท์ด
๋ํ๋จ์ ์ ์ ์์๋ค. ์ด๋ frit์ RuO2์ ๋ฐ์์ผ๋ก
๊ณ ์ ํญ์ ํ๋ฆฟํธ์ ์ ํญ์ด ๋ฎ์์ ธ์ ๋ํ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ
๋จ๋์๋ค.
๊ฐ์ฌ์ ๊ธ
๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์ 2018๋ ๋ ํ๋ฐญ๋ํ๊ต ๊ต๋ดํ์ ์ฐ๊ตฌ๋น์ ์ง
์์ ๋ฐ์์.
References
[ 1 ] F. Al-Turjman, A. Radwan, S. Mumtaz and J. Rodri-
guez, โMobile traffic modeling for wireless multimedia
sensor networks in IoTโ, Computer Comm. 112 (2017)
109.
[ 2 ] J. Yuan, J. Zhang, S. Ding and X. Dong, โCooperative
localization for disconnected sensor networks and a
mobile robot in friendly environmentsโ, Inf. Fusion 37
(2017) 22.
[ 3 ] T.G. Nenov and S.P. Yordanov, โCeramic sensors: Tech-
nology and applicationsโ, CRC press (1996) p. 1.
[ 4 ] H. Takuoki, K. Takayuki and M. Yoshihiro, โNew therm-
istor materialsโ, National Technical Report (1982) p. 1123.
[ 5 ] M.N. Muralidharan, P.R. Rohini, E.K. Sunny, K.R. Dayas
and A. Seema, โEffect of Cu and Fe addition on electri-
cal properties of Ni-Mn-Co-O NTC thermistor composi-
tionโ, Ceram. Int. 38 (2012) 6481.
[ 6 ] E. Elbadraoui, J.I. Baudour, B. Gillot, S. Fritsch and A.
Rousset, โCation distribution and mechanism of electri-
cal conduction in nickel-copper manganite spinelsโ,
Solid State Ion. 93 (1997) 219.
[ 6 ] J.I. Leem T.W. Kim, J.Y. Shin and J.H. Ryu, โPrepara-
tion and characterization of Mn-Co-Ni NTC Thermistorโ,
J. Korean Cryst. Growth and Cryst. Technol. 25 (2015)
80.
[ 7 ] K. Park, J.K. Lee, J.-G. Kim and S. Nahm, โImprove-
ment in the electrical stability of Mn-Ni-Co-O NTC
thermistor by substituting Cr2O3 for Co3O4โ, J. Alloy.
and Compd. 437 (2007) 211.
[ 8 ] Z. Wang, Z. Li, Y. Zhang, R. Zhang. P. Qin, C. Chen
and L. Winnubst, โPreparation and electrical properties
of Ni0.6Mn2.4xSnxO4 NTC ceramicsโ, Ceram. Int. 40
(2014) 4875.
[ 9 ] S. Liang, C. Cao, H. Li, M. Luo, M. Gao and X. Qin,
โOne-step synthesis of Ni-Mn-Al-O thin film on Al2O3
substrate via hydrothermal methodโ, Microelectron. Eng.
182 (2017) 53.
[10] T. Xuan, J. Yan, J. Wang, W. Kong and A. Chang, โChar-
acterization of Al-doped Mn-Co-Ni-O NTC thermistor
films prepared by the magnetron co-sputtering approachโ,
J. Alloy. and Compd. 831 (2020) 154831.
[11] W. Ren, Y.-C. Zhang, N.-N. Zhu, A.-L. Feng and S.-G.
Shang, โSynthesis of NiMn2O4 thin film via a simple
solid-state reaction ruteโ, Ceram. Int. 46 (2020) 11675.
[12] S.A. Kanade and V. Puri, โComposition dependence
resistivity of thick film Ni(1x)CoxMn2O4; (0 y 0.5)
NTC thermistorsโ, Mater. Lett. 60 (2006) 1428.
[13] S.A. Kanade and V. Puri, โElectrical properties of thick-
film NTC thermistor compound of Ni0.8Co0.2Mn2O4
ceramic: Effect of inorganic oxide binderโ, Mater. Res.
Bull. 43 (2008) 819.
[14] S.A. Kanade and V. Puri, โProperties of thick film
Ni0.6Co0.4FeyMn2yO4: (0 y 0.5) NTC ceramicโ, J. Alloy.
and Compd. 475 (2009) 352.
[15] M. Hrovat, D. Belavic, J. Kita, J. Hole, J. Cilensek and
S. Drnovsek, โThick film NTC thermistor and LTCC
materials: The dependence of the electrical and micro-
structure characteristics on the firing temperatureโ, J.
Eur. Ceram. Soc. 29 (2009) 3265.
[16] S. Jagtap, S. Rane, S. Gosavi and D. Amalnerkar,
โPreparation, characterization and electrical properties of
spinel-type environment friendly thick film NTC therm-
istorsโ, J. Eur. Ceram. Soc. 28 (2008) 2501.
[17] S. Jagtap, S. Rane, S. Gosavi and D. Amalnerkar, โLow
temperature synthesis and characterization of NTC pow-
der and its โlead freeโthick film thermistorโ, Micro-
elctron. Eng. 87 (2010) 104.
[18] S. Jagtap, S. Rane, S. Gosavi and D. Amalnerkar, โRuthe-
nium dioxide doped manganite-based NTC thermistors
for low-resistance applicationโ, Microelectron. Int. 26
(2009) 19.
[19] S. Jagtap, S. Rane, R. Aiyer, S. Gosavi and D. Amal-
nerkar, โStudy of microstructure, impedance and dc
electrical properties of RuO2-spinel based screen printed
โgreenโ NTC thermistorโ, Curr. Appl. Phys. 10 (2010)
1156.
[20] S. Jagtap, S. Rane, S. Gosavi and D. Amalnerkar, โStudy
on I-V characteristics of lead free NTC thick film
thermistor for self heating applicationโ, Microelectron.
Eng. 88 (2011) 82.
[21] S. Jagtap, S. Rane, S. Gosavi, U. Mulik and D. Amal-
nerkar, โInfrared properties of โlead freeโ thick film NTC
thermo-resistive sensor based on the mixture of spinel
material and RuO2โ, Sens. Actuators A 197 (2013) 166.
[22] S. Jagtap, S. Rane and S. Gosavi, โSynthesis, characteri-
zation and fabrication of NTC thick film thermistor
using lead free glass fritโ, J. Mater. Sci. and Eng. A 6
(2016) 301.
[23] P.J. Holmes and R.G. Loasby, โHandbook of Thick Film
Technologyโ (Electrochemical Pub. Limited (1976) p. 97.
[24] C.C. Lin, W.C.J. Wei, C.Y. Su and C.H. Hsueh โOxida-
tion of Ni electrode in BaTiO3 based multilayer ceramic
capacitor (MLCC)โ, J. Alloy. Compd. 485 (2009) 653.
[25] C.G. Hindrichsen, R. Lou-Mรธller, K. Hansen and E.V.
Thomsen, โAdvantage of PZT thick film for MEMS
sensorsโ, Sens. and Actuators A: Phys. 163 (2010) 9.
[26] C.-S. Hsi, F,-M. Hsieh and H.-P. Chen, โCharacteristics
of thick film resistors embedded in low temperature co-
fired ceramic (LTCC) substrateโ, J. Eur. Ceram. Soc. 27
(2007) 2779.
[27] M. Kohl, G. Veltl and M. Busse, โPrinted Sensor pro-
Effect of lead-free frit and RuO2 on the electrical properties of thick film NTC thermistors for low temperature co-firing 227
duced via thick-film technology for the use in monitor-
ing applicationsโ, Procedia Technol. 15 (2014) 107.
[28] B.K. Koo, โEffect of lead free glass frit compositions on
properties of Ag system conductor and RuO2 based
resistor pastesโ, J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater.
Eng. 24 (2011) 200.
[29] B.K. Koo, โFabrication and characteristics of NTC
thermistor for low temperature sinteringโ, J. Korean
Cryst. Growth and Cryst. Technol. 28 (2018) 1.
[30] B.K. Koo and H.G. Kim, โEffect of frit and sintering
conditions on the microstructure and electrical property
in Ag and Ag/Pd thick film conductorsโ, J. Korean
Ceram. Soc. 25 (1988) 623.
[31] B.K. Koo and H.G. Kim, โMicrostructure and electrical
properties of RuO2 system thick film resistorsโ, J.
Korean Ceram. Soc. 27 (1990) 337.
[32] B.K. Koo, โEffect of lead free glass frit compositions on
properties of Ag system conductor and RuO2 based
resistor pasteโ, J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater.
Eng. 24 (2011) 200.
[33] R.W. Vest, โMaterials science and thick film technol-
ogyโ, J. Am. Ceram. Bull. 65 (1986) 631.
[34] F. Garisto, โThermodynamic behaviour of ruthenium at
high temperaturesโ (Atomic Energy of Canada Ltd.,
Pinawa, 1988) p. 4.