EBARA-PM-EMT390 JP 001...2017/02/21 · • CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合...
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精密・電子事業カンパニー 精密・電子事業カンパニー 超高真空を作り出す荏原の磁気浮上式ターボ分子ポンプ 磁気軸受タイプEMT型/EMT-K型 （コントローラ一体型） ドライ真空ポンプ EMT390M (340 L/s)型 特長 • 磁気浮上仕様 • 340～3,300 Ｌ/sまでの幅広い製品ラインナップ • コントローラ一体型（EMT2200MK型、EMT3300MK型） • 空冷型と水冷型を選択可能（EMT2200MK型、EMT3300MK型を除く） • 高温仕様、耐食仕様を選択可能（オプション） • 様々な特殊仕様をラインナップ（反応生成物対応、極低振動型） • 取付姿勢自由 • ネットワーク接続対応 • CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合 ◯◯◯型の表記は当社の機種記号です。 型 式 E M T 3 9 0 M 排 気 速 度 N 2 340 L/s N 2 ( 保 護 金 網 付 き の 場 合 ） 320 L/s H 2 290 L/s 到 達 圧 力 < 1×10 -6 Pa < 1×10 -7 Pa 許 容 排 気 口 圧 力 400 Pa 最 大 ガ ス 流 量 3 ) N 2 2000 sccm 最 大 圧 縮 比 N 2 1×10 8 H 2 4.5×10 3 吸 気 口 フ ラ ン ジ ISO-B100 1) CF100 排 気 口 フ ラ ン ジ KF25 2 ） 軸 受 方 式 磁気軸受 冷 却 方 式 空冷／水冷 推 奨 補 助 ポ ン プ ≧160 L/min 質 量 14 kg 17 kg 耐 食 仕 様 選択可能（オプション） 仕様表 1) ISO1609 ボルテッドフランジ 2) ISO2861/1 クランプタイプフランジ 3) 補助ﾎﾟﾝﾌﾟ容量を320 L/minとした場合の許容最大流量 4) オプションで大容量型コントローラを選択可能
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精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
超高真空を作り出す荏原の磁気浮上式ターボ分子ポンプ
磁気軸受タイプEMT型/EMT-K型 （コントローラ一体型）
ドライ真空ポンプ
EMT390M (340 L/s)型
特長• 磁気浮上仕様• 340～3,300 Ｌ/sまでの幅広い製品ラインナップ• コントローラ一体型（EMT2200MK型、EMT3300MK型）• 空冷型と水冷型を選択可能（EMT2200MK型、EMT3300MK型を除く）• 高温仕様、耐食仕様を選択可能（オプション）• 様々な特殊仕様をラインナップ（反応生成物対応、極低振動型）• 取付姿勢自由• ネットワーク接続対応• CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合
◯◯◯型の表記は当社の機種記号です。
型式 EMT390M
排気速度
N2 340 L/s
N2 (保護金網付きの場合） 320 L/s
H2 290 L/s
到達圧力 < 1×10-6 Pa < 1×10-7 Pa
許容排気口圧力 400 Pa
最大ガス流量3) N2 2000 sccm
最大圧縮比N2 1×108
H2 4.5×103
吸気口フランジ ISO-B1001) CF100
排気口フランジ KF252）
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 空冷／水冷
推奨補助ポンプ ≧160 L/min
質量 14 kg 17 kg
耐食仕様 選択可能（オプション）
仕様表
1) ISO1609 ボルテッドフランジ2) ISO2861/1 クランプタイプフランジ3) 補助ﾎﾟﾝﾌﾟ容量を320 L/minとした場合の許容最大流量4) オプションで大容量型コントローラを選択可能
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
外観寸法図
CF100 φ152 21 269ISO-B100 φ165 12 260
（単位:mm）
CF100 φ152 21 269ISO-B100 φ165 12 260
（単位:mm）
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
性能曲線
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
入力電圧 AC200 - 240 V ±10 %
相数 単相
周波数 50 / 60 Hz
所要電力 最大700 VA
定格出力周波数 680 Hz
使用周囲温度 0 - 40 ℃
湿度 35 - 85 %
質量 9 kg
コントローラ
