株式会社アルバック　アルバックテクノ株式会社

アルボイル　　総合カタログ

真空ポンプ油

真空グリース

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真空ポンプの最適運転に効果を発揮する　——ULVACが厳選した真空ポンプ油／グリース幅広い産業分野で活躍する真空機器。その真空機器と密接な関係にあるのが真空ポンプです。

真空ポンプの中の油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、油拡散ポンプ、油エゼクターポンプなどの性能を最大限に引き出すには真空ポンプ油が不可欠。

真空機器の総合メーカーULVACの厳選した真空ポンプ油、真空グリース「ULVOIL（アルボイル）」は、

ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長にも効果があり、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。

真空ポンプの最適運転に効果を発揮する　——ULVACが厳選した真空ポンプ油／グリース

・本パンフレットに記載されている会社名、商品名は商標および登録商標です。文中での記述は省略しています。

・記載事項は予告なく変更させていただくことがあります。

・記載物性値は代表値であり、保証値ではありません。

［真空ポンプ油］●Rシリーズ… ……………… p.4〜7… R-4　ULVAC純正 R-7　ULVAC純正 R-80　ULVAC純正　●スーパーRシリーズ… …… p.8〜9… R-7000　ULVAC純正 R-7500　ULVAC純正 R-8000　ULVAC純正　●R-2　ULVAC純正… …………… p.9

●D-11　ULVAC純正…………p.10〜11

●D-31　ULVAC純正…………p.10〜11　●B-6　ULVAC純正… ………p.10〜11

●BARRIERTA JFLUIDシリーズ… ………… p.12… J25FLUID… J60FLUID… J100FLUID… J100FLUIDE

●FONBLIN　Y-LVACシリーズ………… p.12… Y-LVAC06/6 Y-LVAC14/6 Y-LVAC25/6

［真空グリース］●BARRIERTAJFE552HV, SUPERIS/V… ………… p.13

●FONBLINGREASE…… p.13

●HIGHVACUUM　GREASE…………………… p.14…●OrelubeG1/3… ……… p.14

●Z-300　ULVAC純正………… p.15

●スーパーZ-300　ULVAC純正……………………… p.15

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油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ向け

Rシリーズ［石油系鉱物油］

スーパーRシリーズ［炭化水素系合成油］

高品位特性を追求した油回転真空ポンプ専用オイルULVAC純正油「ULVOIL」Rシリーズ、スーパーRシリーズは、油回転真空ポンプ向けに開発された

専用オイルです。幅広い用途・目的別に取りそろえた豊富なラインナップのなかから、みなさまのお

使いのポンプに最適なオイルがお選びいただけます。そのオイル特性は、真空ポンプを知り尽くした

ULVACならではの高品位特性を追求した、ULVACが自信を持ってお勧めする専用オイルです。

真空ポンプ油アルボイル

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Rシリーズ［石油系鉱物油］

スーパーRシリーズ［炭化水素系合成油］

Rシリーズ/スーパーRシリーズ

油回転真空ポンプの3大特性要素を満たすRシリーズ／スーパーRシリーズ

　油回転真空ポンプ油をお選びいただく上で下記の3要素は絶対不可欠なチェックポイントです。　①到達圧力を決める低蒸気圧特性　②隙間を埋めるシール特性　③機械部品の動きを助ける潤滑特性　「ULVOIL」R シリーズ／スーパー Rシリーズは、熱負荷・機械的負荷・物質との化学反応などに対して、優れた安定化を示す油回転真空ポンプ向け専用オイルです。

ポンプに合わせた適正な粘度

　使用温度が上がるとポンプ油の粘

度が下がり、シール特性が低減します。「ULVOIL」は、起動時に動力の過負荷を招かず、高温時にシール特性を損なわない、ポンプに合った適度な粘度を持つオイルです。

耐熱・耐酸化に優れた特性を発揮

　高負荷・長時間の運転によって、油は酸化され、スラッジ化を起こします。同時に油を構成している高分子が機械的に分断されて、油の粘度が低下します。「ULVOIL」は、耐熱・耐酸化に対しても安定した特性を発揮します。

抗乳化特性・化学的安定性に富む

　ポンプが吸引する物質（水分・溶剤など）でポンプ油が乳化したり、薄ま

ったりしてポンプ油の見掛け上の蒸気圧が上昇することがあります。また物質（酸・アルカリなど）によって、油高分子が重合したり、切断されたりして、油の粘度が増減します。「ULVOIL」は、抗乳化特性を持ち、化学的安定性に優れています。

用途・目的別に選べる自慢のラインナップ

　石油系鉱物油を原料とした「R シリーズ」、炭化水素系合成油を原料とした「スーパー R シリーズ」は、油回転真空ポンプの用途とその使用条件の多様化に応えるための真空ポンプ用純正油です。

「ULVOIL」Rシリーズ／スーパー Rシリーズ特性一覧

種類

項目

石油系鉱物油 炭化水素系合成油

試験法R-4 R-7 R-80

スーパー

R-7000

スーパー

R-7500

スーパー

R-8000

到達圧力(Pa) ＜ 4×10 − 1 ＜ 4×10 − 1 ＜ 7 ＜ 7×10 − 1 ＜ 7×10 − 1 ＜ 7×10 − 1 ULVAC社内評価法

性　　　状

外観色 淡黄色透明 淡黄色透明 淡褐色透明 淡褐色透明 褐色透明 淡褐色透明 視覚判定

動粘度

40℃ （㎜2/s） 47 69 57 68 68 78 JIS K 2283

100℃ （㎜2/s） 7 9 8 10 10 12 JIS K 2283

粘度指数 112 102 110 110 115 140 JIS K 2283

水分 （％） ＜ 0.01 ＜ 0.01 ＜ 0.01 ＜ 0.01 ＜ 0.01 ＜ 0.01 JIS K 2275

酸価 （mg KOH/g） ＜ 0.05 ＜ 0.05 ＜ 1.9 ＜ 0.1 ＜ 0.1 ＜ 0.1 JIS K 2501

密度　15℃ （g/cm3） 0.86 0.88 0.88 0.91 0.91 0.91 JIS K 2249

引火点 （℃） 200以上 250以上 200以上 230 230 230 JIS K 2265

流動点 （℃） − 12.5 − 12.5 − 37.5 − 20以下 − 20以下 − 20以下 JIS K 2269

特　　長低粘度

低温起動用

汎用ポンプ油 高粘度指数

高温高負荷用

長寿命

汎用ポンプ油

ダスト分離剤

配合油

高粘度指数——

主な用途

ルーツポンプ

小型ポンプ

中・大型ポンプ 食品・包装用

大型ポンプ

活性ガス排気

エッチング

ダスト＋ガス

排気

LPCVD

高温・高負荷

運転ポンプ

アッシャー

——

容　　器 （L） 200　20　2.0 200　20　2.2 200　20　2.0 4.0 4.0 4.0 ——

5

6

●製品別にみる特性比較●

耐フッ酸性フッ酸添加・攪拌後の動粘度変化率

Rシリーズ/スーパーRシリーズ

試験油ULVOILR-7

ULVOILスーパーR-7000

ULVOILスーパーR-7500

定性評価 良 優 優

動粘度減少率 （％） 27 1.1 1.3

試験前動粘度 （mm2/s）

72.6 72.8 68.5

試験後動粘度 （mm2/s）

53.0 72.0 67.6

（注）試験油150g に47％フッ酸4.5g を加え、70℃で6h、150rpm の攪拌後、ヘキサンにて油分を抽出し、水洗・脱水後動粘度を測定する法。

耐熱酸化安定性回転ボンベ式酸化安定度試験（RBOT）　JIS K 2514注

試験油ULVOILR-7

他社石油系油

ULVOILスーパーR-8000

他社炭化水素系合成油

定性評価 優 可 優 良継続時間注 423 39 360 172

（注）試験油50gと蒸留水5mlを銅触媒コイルの入った試験容器に入れ、0.63MPaの酸素雰囲気にて密閉する。これを150℃の恒温槽の中で100rpmで回転させ、酸素圧力が最高圧力から0.175MPaだけ降下するまでの時間（min）を評価値とする法。

抗乳化性試験　JIS K 2520注

試験油ULVOILR-7

ULVOILスーパーR-7000

他社炭化水素系合成油

定性評価 優 優 優試験結果 40-40-0-（5） 40-40-0-（5） 40-40-0-（5）

（注）試験油40mlと蒸留水40mlを試験容器に入れ、54℃に加熱して、所定の攪拌板にて700rpmで攪拌する。生成乳化層を「油層（ml）−水層（ml）−乳化層（ml）」の数式で観察する法。

7

Rシリーズ油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ向け

Rシリーズ［石油系鉱物油］R-4、R-7、R-80

　Rシリーズは、汎用性の高いエコノミータイプのオイルです。主に、幅広く利用されている小・中・大型油回転真空ポンプ向けに開発されたものです。

Rシリーズの使用上の注意

　極端な高負荷でのポンプの使用には、十分ご注意ください。発生熱や吸引ガスによって化学変化を引き起こす原因となりますので、ポンプ適正に合ったオイルをお選びください。　よりハイエンドな潤滑性・防錆効果・密度などをご希望の場合は、さらに高品位を追求したスーパー R シリーズのご使用をお勧めします。

R-4

R-7

50

1.3×103

1.3×102

1.3×10

1.3

1.3×10-1

1.3×10-2

1.3×10-3

100 150 200 300

温度（℃）

蒸気圧（

　）Pa

R-4

R-7

0-10 20 40 60 80 100 120 140 160

2

3

4

5678910

20

304050

100

200300

5001,000

温度（℃）

動粘度（

　）mm2/s

●テクニカルデータ●蒸気圧Rシリーズの蒸気圧−温度特性

R-4

R-7

50

1.3×103

1.3×102

1.3×10

1.3

1.3×10-1

1.3×10-2

1.3×10-3

100 150 200 300

温度（℃）

蒸気圧（

　）Pa

R-4

R-7

0-10 20 40 60 80 100 120 140 160

2

3

4

5678910

20

304050

100

200300

5001,000

温度（℃）

動粘度（

　）mm2/s

粘度特性Rシリーズの動粘度−温度特性

R-7 R-7

1.3×104 Pa　運転時間（PKS-070）(h) 1.3×104 Pa　運転時間（PKS-070）(h)

従来油 従来油

0 200 400 600 800 1,000 1,200 0

1

1

10

100 10

10-1

200 400 600 800 1,000 1,200

スラッジ発生量（

　）

全酸価（

　）g/100mL

mg KOH/g

全酸価特性高負荷・長時間運転による油の全酸価の変化

R-7 R-7

1.3×104 Pa　運転時間（PKS-070）(h) 1.3×104 Pa　運転時間（PKS-070）(h)

従来油 従来油

0 200 400 600 800 1,000 1,200 0

1

1

10

100 10

10-1

200 400 600 800 1,000 1,200

スラッジ発生量（

　）

全酸価（

　）g/100mL

mg KOH/g

スラッジ発生量高負荷・長時間運転によるスラッジ発生量

7

真空ポンプ油アルボイル

8

0 1 2 3 4 5

25℃静粘度の減少（PaS）

ゲル化

無添加1％添加5％添加

無添加1％添加5％添加

無添加1％添加5％添加

R-7

他社石油系鉱物油

スーパーR-7500

R-7

スーパーR-7000

スーパーR-75000 10 20 30 40

動粘度の減少率（％）

油回転真空ポンプ向け

スーパー Rシリーズ［炭化水素系合成油］R-7000、R-7500、R-8000

　スーパー R シリーズは、半導体プロセス用に新たに開発された芳香環を有する炭化水素系合成真空ポンプ油です。特に、耐熱性・耐酸化性・耐薬品性などに優れた効果を発揮します。

スーパーRシリーズの主な特性

　スーパー R シリーズは、芳香環を有する合成炭化水素であるため、オーバーホール時のオイル交換および廃油の処理が従来の石油（鉱物）系オイルと同等に処理できます。●スーパー R-7500の特性１．石油（鉱物油）系のポンプ油に比べ

て、NOx、O2、O3、ハロゲン系化合物等の排気ガスに強く、鉱物油の十数倍の寿命があり、特殊ガスを排気する油回転真空ポンプの作動油として最適です。

２．半導体製造プロセスにおいては、非常に硬い微粉末が腐食性（活性）ガスと一緒にポンプ内に混入しますが、スーパー R シリーズは、それら

を均一に分散させる能力に優れており、オイル交換の回数が従来のオイルに比べて大幅に減少されます。

３．オイルフィルターを使用した場合は、目詰まりが極めて少ないためにフィルターの交換頻度が激減します。さらに、配管・ポンプの系内に異物が堆積しにくくオーバーホールも容易です。

●テクニカルデータ●

耐フッ酸性耐フッ酸性−フッ酸添加・攪拌後の粘度の減少率

耐ダスト性耐ダスト性−コロイダルシリカを加えた時の静粘度の変化

8

真空ポンプ油アルボイル

9

0 10 20 30 40 50 60 0

102

102

101

10 20 30 40 50 60

A社記号 テスト場所 プロセスガス

B社C社

SiH2Cl2SiH2Cl2＋NH3SiH2Cl2＋NH3

日数 日数

全酸価（

　）mg KOH/g

動粘度（

　　）mm2/s40℃

真空ポンプ油アルボイル

9

スーパーRシリーズ

R-2

スーパーR-7500油の使用例

試　験　条　件

試　験　結　果

試　験　結　果

試験装置名‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥減圧CVD装置プロセスガス‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥SiH2Cl2、NH3

テスト油‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ULVOIL　スーパー R-7500使用油回転真空ポンプ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥㈱アルバック製D-330K型オイルフィルター無稼動日数‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥43日　運転時間24時間／日（3交代勤務）

油性状の経時変化

油の金属汚染量

●耐活性ガス性

●油中の金属汚染量の経時変化

●増粘防止効果

＊CVDプロセスガスの反応生成物による汚染

小型油回転真空ポンプ向け

R-2 小型油回転真空ポンプ「GHDシリーズ」の専用オイルです。

稼働時間（日）

金　属　元　素（重量：ppm）Fe Pb Cu Cr Al Ni Sn Si B Na P

0（新油） 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 021 12 0 0 0 0 0 0 3,942＊ 0 0 028 13 0 0 0 0 0 0 6,071＊ 0 0 036 13 0 0 0 12 0 0 8,915＊ 0 0 043 13 0 0 0 12 0 0 11,880＊ 0 0 0

●特性一覧到達圧力 （Pa） ＜ 6.7×10−1

性　　　状

外観色 淡黄色透明動粘度

40℃ （mm2/s） 17.3100℃ （mm2/s） 3.9

粘度指数 100以上酸価 （mgKOH/g） 0.10以下密度　15℃ （g/cm3） 0.82引火点 （℃） 200以上流動点 （℃） − 50.0

特　　長 低粘度　低温起動用主な用途 小型ポンプ容　　器 （L） 20　4.0　1.0

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真空ポンプ油アルボイル

油拡散ポンプ、油拡散エゼクターポンプ向け

Dシリーズ［炭化水素合成油・シリコーン系］D-11、D-31B-6［炭化水素系合成油］

コストパフォーマンスを追求した拡散ポンプ専用オイル

ULVAC純正油「ULVOIL」Dシリーズは油拡散ポンプ向け、B-6は油拡散エゼクターポンプ向けに、

それぞれ開発された専用オイルです。ポンプの用途・目的別に取りそろえたラインナップのなかから、

最適なオイルをお選びいただけます。そのオイル特性は、真空ポンプを始め真空総合メーカー

ULVACならではのコストパフォーマンスを追求した、ULVACが自信を持ってお勧めするオイルです。

10

1111

Dシリーズ/B-50K

拡散ポンプ油の基本特性3要素の条件をクリアする「ULVOIL」

１．到達圧力を決める低蒸気圧特性２．少ない熱量で蒸発し易い低蒸発

潜熱３．蒸発〜凝縮の運転サイクルに耐

える良好な耐熱・耐酸化安定性　「ULVOIL」は、拡散ポンプ油の選定条件として、上記の3要素を十分にクリアした専用オイルです。

拡散ポンプの機能アップに効力を発揮する「ULVOIL」

　拡散ポンプのヒーター熱容量は使用オイルの蒸発潜熱と密接な関係にあります。過多な熱量は突沸などの異常現象を招きかねません。一方、過少熱量の場合は、蒸発量が少なく所定排気量にいたりません。「ULVOIL」

は、ULVAC の純正だからこそ安心してご利用いただける拡散ポンプの専用オイルのオリジナルブランドです。

Dシリーズ、B-6の特長

　油拡散ポンプ油は、低蒸気特性と熱安定性が求められていることから、合成油が多用されています。「ULVOIL」D シリーズ（D-11、D-31）の場合も合成油が原料となっています。炭化水素系の D-11は、汎用性を高めたオイルです。また、シリコン系の D-31は、耐熱安定性に優れた特長を持っています。　油拡散エゼクターポンプ用の B-6は、炭化水素系合成油を原料としており、シリコン系合成油に比べ、価格と省エネの面で大変優れているのが大きな特長です。

「ULVOIL」Dシリーズ／ B-6特性一覧

用　途 油拡散ポンプ油 油拡散エゼクターポンプ油試験法

合成油の種類 炭化水素系 シリコン系 炭化水素系ULVOIL型番号 D-11 D-31 B-6到達圧力 (Pa) 7×10 − 5 3×10 − 8 2.7×10 − 2＊ ULVAC社内評価法

蒸気圧

20℃ (Pa) 7.3×10 − 5 2.1×10 − 8 1.2×10 − 5 ——40℃ (Pa) 1.7×10 − 3 2.1×10 − 6 1.4×10 − 4 ——100℃ (Pa) 1.5×10 − 1 1.1×10 − 3 3.3×10 − 1 ——

比熱 0.5 (100℃ J/g) 0.4 (100℃ J/g) 2.18 (25℃ J/g) JIS K 2249蒸発潜熱 (J/kg) 7.1×104 1.2×105 —— ——平均分子量 366 548 330〜340 ——密度 (25℃　g/cm3) 0.91 1.09 0.89 JIS K 2249動粘度 (mm2/s)

(測定温度　℃)

32

(40)

170

(25)

22

(40)

JIS K 2283

酸価 (mg KOH/g) ＜ 0.1 —— 0.00 JIS K 2501引火点 (℃) 221 240 200 JIS K 2265流動点 (℃) − 25以下 − 15以下 − 57以下 JIS K 2269外観色 (25℃) 淡黄色透明 無色透明 無色透明 視覚判定特長 汎用油 耐熱安定性 エゼクターポンプ用 ——ULVACポンプ・シリーズ型式 PFL、F、ULK U、ULK PBL ——容器 (L) 18　1.0 0.5 18 ——

＊水冷バッフル併用時の到達圧力です。

12

油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ドライポンプ向け

FOMBLIN Y-LVACシリーズ［フッ素系合成油］特　長●耐酸化性：不燃性。純酸素中でも安定しています。●耐薬品性：ほとんどの化学薬品に安定しています。●耐 熱 性：空気中では300℃まで安定しています。●不 活 性：金属、ゴム、樹脂への影響が少ないです。●劣化分解残渣：固体劣化物を生成しません。●そ の 他：無毒性、潤滑性、電気絶縁性に優れています。用　途真空ポンプ油、真空シール材、作動油、熱媒体、各種潤滑剤。

製品特性

性　　質品質規格 諸特性の実測例（ロータリーベーンポンプによる）

動粘度（20℃） 酸　価 蒸発損失（22時間149℃）

蒸気圧（20℃）　　（100℃）

ライトフラクション 到達圧力 オイル

消費量バックミグ

レイション率ポンプ内

油温単　　位 cSt mg KOH/g w/w%損失 Pa w/w% Pa cm3/h μg/cm2sec min℃・max℃測定方法 ASTM D445 MAN29/1 ASTM D972 MAN PF29/2 MAN29/31 MAN29/27

MAN29/31 MAN29/29 MAN29/29 MAN29/29

Y-LVAC25/6 270±20 ≦ 0.05 ≦ 5 ≦ 2.7×10 − 4

≦ 2.7×10 − 1 ≦ 0.01 ≦ 4×10 − 2 0.7 12 6370

Y-LVAC14/6 140±20 ≦ 0.05 ≦ 5 ≦ 2.7×10 − 4

≦ 2.7×10 − 1 ≦ 0.03 ≦ 6.7×10 − 1 0.6 12 5764

Y-LVAC06/6 62±6 ≦ 0.05 ≦ 5※ ≦ 5.3×10 − 4

≦ 9.3×10 − 1 ≦ 0.03 ≦ 6.7×10 − 1 0.4 12 5360

注1）記載される蒸気圧はクヌーセンエフュージョン（Knudsen-Effusion）法により測定されるため、20℃における実測ではありませんが、到達圧力に影響も及ぼすと思われる低沸成分はライトフラクションの欄に濃度として規定してあります。

注2）その他の特性／密度（20℃）：1.87〜1.92g/mL、表面張力（20℃）：18〜22dyne/cm、比熱（38℃）：1.01J/g・℃、蒸発潜熱（200℃、1.3×103Pa）：21〜42J/g

油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ドライポンプ向け

バリエルタ

フォンブリン

12

特　長●耐熱性、低温性に優れ、非常に広

い温度範囲で使用可能です。●強酸、強アルカリ等の腐食性薬品、

ガスに対して強い耐性があります。●耐酸化性に優れています。●ほとんどのゴム、プラスチックに

対して影響を及ぼしません。●不燃性です。●低蒸気圧です。●オイルの再生が可能です。用　途半導体製造装置、真空ポンプ油、作動油、熱媒体油、絶縁油

製品特性

試験項目 試験方法 試験条件 BARRIERTAJ25F J60F J100F J100F E

外観 —— —— 無色透明 無色透明 無色透明 無色透明基油 —— —— フッ素油 フッ素油 フッ素油 フッ素油比重 JIS K2249 20℃ 1.88 1.89 1.89 1.89引火点 JIS K2265 （℃） —— なし なし なし なし粘度 JIS K2283 （mm2/s） 40℃ 25 60 95 95

100℃ 5 9 13 13粘度指数 JIS K2283 —— 85 130 130 130流動点 JIS K2269 （℃） —— − 60 − 55 − 45 − 45銅板腐食 JIS K2513 100℃×3H 1a 1a 1a 1a蒸気圧 クヌーセン・エフュージョン法 （Pa） 20℃ 2×10− 3 1×10− 4 6×10− 6 9×10− 5

使用温度範囲 （℃） —— −55〜140 −50〜160 −40〜180 −40〜180

フッ素系真空ポンプ油

BARRIERTA J FLUIDシリーズ［フッ素系合成油］

※ 120℃

アルバック製ポンプの使用例

用　　　途 Y-LVAC BARRIERTA06/6 14/6 25/6 J25F J60F J100F J100F E

油回転真空ポンプ ● ● ● ●メカニカルブースター ● ● ● ● ● ● ●ドライポンプ ● ● ●

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真空機器向け

真空機器向け

FOMBLIN GREASE［フッ素系グリース］フォンブリン

FOMBLIN GREASE は、化学的に極めて安定で、不活性な FOMBLIN を基油に、PTFE（四フッ化エチレン樹脂）を増ちょう剤にそれぞれ使用して作られたグリースです。

特　長

●耐エネルギー線●潤滑性●耐熱性●不燃性●耐薬品性●低発塵性●低蒸気圧

代　表特性値

基　油 増ちょう剤NLGINo.

色密度20℃

ちょう度25℃

（60回混和）

蒸発損失204℃

使用温度範囲目安

蒸気圧20℃／ 100℃

単位 − − − − g/cm3 mm/10 22時間W% ℃ Pa

規格 − −ASTMD217

−ASTMD891

ASTMD217

ASTMD2595

− −

VAC2 PFPE PTFE 2 白 2.1 280 0.3 − 20/250 6.4×10−11／5.6×10− 6

VAC3 PFPE PTFE 3 白 2.1 240 0.3 − 20/250 6.4×10−11 ／ 5.6×10− 6

GRM60 PFPE PTFE 2 白 2 275 0.3 − 60/240 −ZNF PFPE PTFE 3 白 2 235 0.2 − 60/220 3.9×10−10／1.5×10− 6

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製品特性

特　長●− 35〜260℃の温度範囲で使用可能です。●蒸気圧が非常に低く、高真空下でも油分の蒸発が少ない。●耐熱性に優れています。●ほとんどの薬品、溶剤、燃料に溶解・反応しません。●ほとんどのゴム、プラスチックに対して悪影響を及ぼしません。用　途クリーンルーム／スパッタリング装置／真空治具装置／電子顕微鏡／真空ポンプ／真空蒸着機／連続真空メッキ装置／その他高温条件下における転がり軸受、オイルシール、Oリング等

試 験 項 目 試験方法 試験条件BARRIERTA

JFE 552 HV SUPER IS/V基油 —— —— フッ素油 フッ素油増ちょう剤 —— —— PTFE PTFE比重 —— 20℃ 約1.95 約1.95ちょう度 JIS K2220.7 25℃　60W 2号 2号滴点 JIS K2220.8 （℃） —— なし なし銅板腐食 JIS K2220.9 100℃×24H 合格 合格蒸発量 JIS K2220.10 （wt％） 99℃×22H 0.03 0.1離油度 JIS K2220.11 （wt％） 100℃×24H 2.0 5.1酸化安定度 JIS K2220.12 （MPa） 99℃×100H 0.01 0.01低温トルク JIS K2220.18 （N-cm） − 30℃起動 98 88

　 　 　 定常 88 69Dm・N値 —— ×10000 30 30蒸気圧（基油） クヌーセン・エフュージョン法 （Pa） 20℃ 5×10−14 5×10−14

外観 目視 —— 白色 白色使用温度範囲 （℃） —— − 35〜260 − 35〜260

フッ素系グリース

バリエルタ

BARRIERTA JFE 552 HV,SUPER IS/V［フッ素系合成油］

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　オア・ルーブ G1/3グリースは高純度に精製されたパラフィンオイルをベースに、合成モリブデン等を添加したグリースです。　特に、G1/3グリースは高荷重による摩擦熱や温度によるグリースの垂れ流れがありません。　また、金属面に馴染みもよく、ちょう度 No.1〜3まで使用できるロングライフの万能機械用グリースです。

用　途

ベアリング（ボール、ローラー、ニードル）／カム／スライド面・シール剤

特　性

熱安定性：高温、摩擦熱によってグリースは流れ出しません。極圧性のある油膜：極圧添加剤により

金属表面をコーティングし、スムーズな潤滑を実現します。使用（ちょう度）範囲の広さ：ちょう度（NLGI）No.1〜3までのベアリングに使用できます。真空装置の潤滑油として：ベアリング、スライド部、シール材として使用できます。

HIGH…VACUUM…GREASE

万能機械用グリース

真空機器向け

真空機器向け

高真空用グリース［グリース］HIGH VACUUM GREASE

　高度に精製された高粘度のジメチルシリコーンオイルをベースに、微粉末のシリカを増ちょう剤とした淡灰色半透明の硬いグリース状の製品です。潤滑性、シール性、耐水性、耐薬品性、耐熱性、耐寒性、耐酸化性などに優れています。　また揮発分を少なくしてありますので、高真空の潤滑シール剤として使用されます。　高真空用グリースを連続使用する場

合には− 40℃〜180℃の温度範囲で使用してください。短時間であれば210℃まで使用できます。更に減圧状態では260℃まで使用できます。　ストップコックグリースやバルブシールと同じ用途に使用されますが、ちょう度が低く、硬めの、しっかりとしたシール性が必要な場合に使用してください。　特に高真空装置、圧力装置のシール剤として優れた性能を示します。

代表特性外観 淡灰色

ちょう度　未混和 210

60回混和 245

比重（25℃） 1.0

離油度（％、200℃/24hrs） 0.5

加熱減量（％、200℃/24hrs） 1.0

Orelube G1/3［グリース］

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性　状　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ASTM（米国材料試験協会）

NLGI No.2（No.1〜3使用可能）混和ちょう度（Worked, 60 strokes） 270 ASTM D-217増ちょう剤 非石鹸基（有機クレー）色相 黄金色外観 バター状滴点 なし ASTM D-2265適用温度範囲 − 23℃〜180℃原料鉱油の動粘度（cSt） @40℃　113 ASTM D-445

@100℃　12.1酸化安定度試験（100hrs.@98.9℃,psi loss） 3 ASTM D-942蒸発量（22hrs.@178℃,%wt.loss） 3 ASTM D-2595銅板腐食試験（24hrs.@100℃） 1a ASTM D-130水洗耐水度試験（％　wt.loss @79.4℃） 3.1 ASTM D-1264四球式摩耗試験（1200rpm, 40kg, 75℃, 0.49 ASTM D-2266　　　　　　　　1hr scar diameter, mm）四球式耐荷重性能試験（Weld load, kg） 200 ASTM D-2596　　　　　　　　　　（load wear index,kg） 35チムケン式耐荷重性能試験（OK load, lbs） 30 ASTM D-2509離油度試験（24hrs.@25℃,％.loss） 2.3 ASTM D-1742

高真空用グリース

Orelube

オア・ルーブ

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…真空機器向け

真空機器向け

グリースアルボイル

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Z-300/スーパーZ300

Z-300［フッ素系グリース］スーパー Z-300［フッ素系グリース］究極の潤滑性を追求した特殊な真空環境で使用する専用グリース

　Zシリーズは、フッ素系合成油を基油とし、真空という特殊な環境においても良好な潤滑特性を発揮させるために、PTFE（増ちょう剤）を添加した高真空用フッ素グリースです。真空環境の汚染を最小限に抑えるばかりでなく、潤滑特性も最大限に引き出すため、ベース油に低蒸気圧油を採用するなど、高性能の固体潤滑剤を厳選し、配合しています。

取扱上のご注意

　Z シリーズの潤滑特性をフルに発揮するためには、他物質の混入を非常に嫌います。ご使用の際、次の点に注意してご使用ください。１．使用部分は清浄に保ってくださ

い。２．充填に使用する器具も清浄なも

のを使用してください。３．ゴミなどがグリース容器内に混

入しないように清潔に保管してください。

性　状

試　験　項　目 試験法 Z-300 スーパーZ-300

外観 目視 白色、粘ちょう状 白色、粘ちょう状

ちょう度 60W JIS K 2220.7 299 300

離油度 （200℃×24h） （%） JIS K 2220.11 8.6 10.6

密度 （g/cm3） 1.97 1.97

基油動粘度 40℃ 100℃ （mm2/s）粘度指数

JIS K 2220.2315047355

68.813.8209

流動点 （℃） JIS K 2269 − 70 − 70

蒸気圧（基油）

20℃ （Pa）VAP-9000評価※ 2.8×10 − 7 6.4×10 − 10

クヌーセン・エフュージョン法 3.9×10 − 10 −

100℃ （Pa）VAP-9000評価※ 4.3×10 − 5 1.8×10 − 6

クヌーセン・エフュージョン法 1.3×10 − 6 −

＊使用温度範囲は-70〜250℃です（上限は使用限界温度）※アルバック理工株式会社のVAP-9000にて評価しています。

PRINTED WITH

SOY INK TM

アルバックテクノ株式会社www.ulvac-techno.co.jp

株式会社アルバック

VOC（揮発性有機化合物）成分フリーのインキを使用して印刷しました

アロマフリー型大豆インキを使用しています

●［編集・製版・刷版の環境配慮］　本カタログはCTP（Computer to Plate）化し、製版工程でのポリエステル・アセテートフィルムの使用を全廃しました。これい伴い、フィルム現像時のアルカリ性現像液・酸性定着液も不要となりました。 TJ0200-06/12064000AP