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隔振性能

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Frequency, Hz

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霜规范

Dimensions ( WxD xH ) Platfo「m Custom-made

Maximum Load Capacity

Actuator

Maximum Actuator Force

500 - 1700 kg 1500 - 3500 kg

Electromagnetic Actuator

Vertical : 40 N, Horizontal : 20 N

3000 - 6000 kg

Vertical : 80 N Horizontal : 40 N

Active Isolation Range

Degrees of行eedom

0.5 -100 Hz

6 degrees

Vib 「ation Isolation Pe「to「mance �90% at 2 Hz / 99% at 1 D Hz

Settling Time �0.3 sec*

Input Voltage (V)

Power Consumption (W)

AC 80 - 260 V / 50 - 60 Hz

Maximum 110 W. Below 50 Win no「mal operation

Operating Range

Tempe「ature ("C) 5 - 50 °C

Hum心ty(%) 20 - 90%

Required Ai「 Pressu「e �5 kg/cm2

*0.3 sec settling time is measured alter 90% reduction of input. (The settling time varies with several conditions, such as payload, force, natural frequency, etc.)

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应用领域

扫描电子显微镜(SEM)

，透射电镜(TEM)

扫描麟显微镜(STM)

扫描探针显微镜(SPM)

，核磁共振波谱仪(NMR)

，超精密测噩仪器

FEITEM BRUKERNMR HITACHI SEM ZEISS SEM

24

DVIA-MB系列应用实例#2

霄

l二

罕

ZEISS Gemini SEM

·安装在地板振动严重的环境中，特别是水平方向低频段振动较强烈。

·安装了DVIA-MB的地板振动水平，Z轴测量为VC-D, X轴测量为VC-E, Y轴测量为VC-E。

·DVIA-MB上方振动水平，所有方向都测量为VC-G。

．可以发现，安装了DVIA-MB后，测量出来的样本图像变好了。

Test Direction

VC-Curves

地板 隔振台上方

霜Z轴 .• X轴 �·y轴1/3 Octave band 1/3 Octave band 1/3 Octave band

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Frequency, Hz

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Frequency, Hz

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．． 应用DVIA-MB前 ．

． 应用DVIA-MB后

26

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隔振性能

10

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Frequency, Hz

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霜规格

D1mens1ons ( WxD xH ) Platform

Maximum Load Capacity

Actuato「

n/a

150 - 350 kg 二300- 2000 kg

Custom-made

150- 350 kg 二300- 2000 kg

Electromagnetic Actuator

Maximum Actuator Force Vertical : 6 N Horizontal : 3 N

Vertical : 12 N Horizontal : 6 N

Vertical : 6 N Horizontal : 3 N

Vertical : 12 N Horizontal : 6 N

Active Isolation Range 0.5 - 100 Hz

Degrees of Freedom 6 degrees

Vibration Isolation Performance �90% at 2 Hz / 99% at 10 Hz

Settling Time �0.3 sec*

Input Voltage (V) AC 80 - 260 V / 50 - 60 Hz

Power Consumption (W) Maximum 65W <20 Win normal

Maximum 195 W <60 Win normal

Maximum 65W <20 Win normal

Maximum 195 W <60 Win normal

Ope「ating Range Temperature ( °C) 5 - 50'C

Humidity( %) 20 - 90%

•o.3 sec settling time is measured after 90% reduction of input. (The settling time varies with several conditions, such as payload, force, natural frequency, etc.)

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Cell Sorter Metrology

应用领域

扫描电子显微镜(SEM)

·透射电镜(TEM)

·扫描隧道显微镜(STM)

·扫描探针显微镜(SPM)

·核磁共振波谱仪(NMR)

·超精密测量工具超精密测量仪器

Electron Microscopy

28

DVIA-UB系列应用实例#2一·

SEM

·安装了DVJA-UB的地板振动水平，Z轴测量为VC-C, X轴和Y轴测量为VC-E。

·DVJA-UB上方振动水平，Z轴测量为VC-G, X轴和Y轴测量为VC-F。

．可以发现，安装了DVJA-UB后，测量出来的样本图像变好了。

VC-Curves

Test Direction 地板

Z

X

Y

C

E

E

隔振台上方

G

F

F

霜Z轴1/3 Octave band

启X轴1/3 Octave band

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Frequency, Hz

100 10

Frequency, Hz

100 10

Frequency, Hz

100

．． 应用DVIA-UB前 ．

． 应用DVIA-UB后

30

特点

，装有附件的纳米工程及测量设备用振动解决方案

运动台前馈控制系统能够对运动台部件位移模拟输出和加速度数据进行实时测量，从而有效减少部件移动时产生的干扰（振动）。

．快速的稳定时间＆出色的位置准确度

位懂传感器通过数字化信号处理器能够不断测量隔振台的位懂，并使其保持原位置，因此位置准确度极高。 另外，加速度传感器能够实时感知地板

及设备部件所产生的振动，并输送信号，以使执行器开始工作。

．装有数字化处理器的智能控制系统

DVIA-P 系列的数字化控制器采用 A/ D 19-channel 16-bit 和 DI A 10-channel 24-bit D / A 转换器来获得振动的同步采样。该控制器采用高性能的

数字化信号处理器，实时计算6个轴的所有振动和控制力，并且驱动气动执行器以隔振。

．出色的耐用性及拥有控制力的气动执行器

DVIA-P 系列装有高性能加速度传感器和强大的气动执行器，极为耐用，并且能够支持搭载了运动部件的高负载设备。

．在低频段发挥出色的隔振性能

装有气动执行器和传感器，在设计和制作过程中保障其拥有0.5 Hz以下的共振频率，并导入实时反馈、前馈控制系统，在0.5-10 Hz低频段发挥

出色的隔振性能。

．为实现最佳性能而进行现场调试

各个安装现场的振动环境不同，因此为了配合现场清况需要进行调试。专业工程师前往现场，为使隔振台发挥最佳性能而进行现场调试。

.• Rotational Displacement

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.• Acceleration Signal of Stage

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