Post on 14-Apr-2020
Е.Н.Пятышев Заведующий лабораторией НИЛ «НМСТ»
www.mems.ru
Experience in creating MEMS for special applications
Evgeny Pyatyshev Chief of NMST Laboratory
Опыт разработки MЭMС различного назначения
St.Petersburg State Polytechnical University
NMST Laboratory
St.Petersburg Polytechnical University
NMST Laboratory
MEMS in the Future • - just another mechanical manufacturing technology , like a CNC tool. • - ICs have always been 3D MEMS just exploits this 3D aspect to build mechanical devices. •EVERYTHING mechanical, optical, fluidic, that can be miniaturized by MEMS, will be miniaturized. •MEMS built in IC foundries is part of the movement toward “More than Moore” •As MEMS continues to expand and evolve, we will begin seeing a technology shift, “More than MEMS”
Kurt Petersen, Ph.D.
VorführenderPräsentationsnotizen
очередная автоматическая технология производства, как станки с ЧПУ.
• - МЭМС будет использовать 3D аспект трехмерных интегральных схем, чтобы создавать механические устройства.
•ВСЁ механическое, оптическое, жидкостное что может быть уменьшено с помощью МЭМС, будет уменьшено.
•Внедрение МЭМС в производство интегральных схем позволяет развиваться быстрее, чем по закону Мура.
•По мере того, как МЭМС будут расширяться и развиваться, мы будем иметь возможность наблюдать технологии, превосходящие МЭМС
More than Moore: Расширение сфер M
ore
Moo
re: М
иниа
тюри
заци
я
ITRS 2011 Edition
VorführenderPräsentationsnotizenМиниатюризация
Расширение сфер приложения
сферы производстварасширение ассортимента, изменение вида продукции
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
Направления деятельности:
Разработка функциональных микро-электромеханических систем (МЭМС) по
техническому заданию заказчика (R&D MEMS)
Разработка технологического процесса производства МЭМС изделий, в том
числе создание технологических карт, на оборудовании заказчика (development of
MEMS technologies)
VorführenderPräsentationsnotizenРазработка функциональных микро-электромеханических систем (МЭМС) по техническому заданию заказчика (R&D MEMS)Разработка технологического процесса производства МЭМС изделий, в том числе создание технологических карт, на оборудовании заказчика (development of MEMS technologies)
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
Сфера интересов:
• Инерциальные сенсоры (inertial sensors) • Электрооптические коммутаторы (MOEMS)
• Бетавольтаика (beta-voltaic cell)
• Метрологические приборы (MEMS for metrology)
• Микроустройства управления (control devices)
• Микроактуаторы (microactuators)
• Микрофлюидика (microfluidic systems)
• СВЧ коммутаторы (RF-switches)
MEMS Pressure Sensors
Glass Plate Membrane
Silicon Chip
Piezoresistors Protective Gell
Polymer Package
Automotive Sensors
Industrial Stantard Sensors
From chip to sensor
VorführenderPräsentationsnotizenОсобенности – от чипа (чувствительного элемента) к датчику.
Специфика областей применения (АSIC).
www.mems.ru
2,8 мм
7,0 мм
Silicon chip thickness H = 0,4 mm
Diaphragm h = 5..50mkm S = 1,2*0,8 mm
PRESSURE PIEZORESISTIVE SENSORS for AERODYNAMICS STUDIES
Low profile sensor for installing
on aerodynamics models
Shock tube for dynamics testing
Multipurpose “bolt” sensor
Frequency range of pressure pulsation above 100 kHz
St.Petersburg Polytechnical University NMST Laboratory
1978
VorführenderPräsentationsnotizenДатчики для исследования в проточных частях компрессоров.
Датчики для установки непосредственно на поверхность аэродинамической модели (т.н. «низкопрофильный датчик») для отдела промышленной вентиляции ЦАГИ . Датчик был выполнен по классической МЭМС – технологии: мембрана, созданная жидкостным травлением с диффузионными тензорезисторами, соединенными по мостовой схеме. Однако контактные площадки были покрыты нержавеющей сталью и имели более развитую площадь. Такое технологическое решение обеспечило возможность монтажа датчиков, используя методики стандартной тензометрии, хорошо освоенные заказчиком. Датчики устанавливались на поверхность моделей с помощью клея, распайка выводов производилась обычным микропаяльником.
Низкопрофильные датчики для установки на поверхности аэродинамических моделей для ЦАГИ (ЛПИ 1978)
Малые размеры, высокая динамика.
www.mems.ru
St.Petersburg Polytechnical University NMST Laboratory
Silicon chips
Sensor for installing on impeller
Sensor with all sitall package H = 1.6 mm D = 6 mm
The level of centrifugal acceleration above 30000 g
Cenrifugal impeller fragment
PRESSURE PIEZORESISTIVE SENSORS for TURBOMACHINERY
VorführenderPräsentationsnotizenДатчики давления – одна из первых микроэлектромеханических разработок нашей лаборатории
Конструкция датчиков предусматривает установку на рабочие колеса и обеспечивает работоспособность датчиков при уровне ускорений до 30000 g. На основе технологии фоточувствительного стекла разработана конструкция ситаллового корпуса для датчиков устройства диагностики состояния ГПА.
www.mems.ru
ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКОГО ТИПА
для мониторинга турбомашин
Испытания система антипомпажной защиты
ГПА Нева 16 Кировский завод
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
VorführenderPräsentationsnotizenДатчики пульсаций статического давления для исследования нестационарных аэродинамических процессов в проточной части нагнетателей газоперекачивающих агрегатов (ГПА) широко применялись при испытаниях на модельных и натурных ступенях.
Головной нагнетатель природного газа Нева-16 разработки Кировского Завода (СПб)
Надежность, взрывобезопасность. Макет системы противопомпажной защиты (патент совместно с КЗ).Испытано на головном образце ГПА Нева 16 совместно с КЗ (Кировский завод)
МЭМС, создаваемые по технологии КНС (MEMS on SOI wafers)
Гироскопы и акселерометры (gyro & accelerometer)
Электромеханические реле (electromechanical switch)
Электрооптические коммутаторы (MOEMS switch)
Микроманипуляторы (microactuator)
Микроклапана (microvalve)
Переменные конденсаторы (variable capacitors)
Ячейки энергонезависимой памяти (PI memory)
Технология «кремний-на-стекле» (Silicon-on-glass)
From technology to devices
VorführenderPräsentationsnotizenОт технологии к устройству
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
MOEMS Switch
Размер чипа 5 x 5 мм (chip size 5 x 5 mm);
Толщина кремниевой структуры 100 мкм (height of silicon structure 100 μm);
Ширина торсионов 8 мкм, длина ~ 2 мм (torsions width – 8 μm, length – 2000 μm)
Vertical micromirror
Optical fiber
VorführenderPräsentationsnotizenМИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Torsions displacement
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
• total mirror shift – 120 μm • switch voltage – 100V
Potential distribution in electrostatic comb drive
Simulation in COMSOL Multiphysics
VorführenderPräsentationsnotizenРезультаты моделирования параметров оптического коммутатора
Зависимость статического усилия, развиваемого приводом как функция от перекрытия зубцов
View of MOEMS switch after RIE of silicon and wet etching of glass
• Общее перемещение зеркала – 120 мкм
• Управляющее напряжение – 100 В
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
VorführenderPräsentationsnotizenФрагменты изготовленного оптического коммутатора после жидкостного травления стекла
www.mems.ru www.gyro.ru
Inertial Sensors
Чувствительный элемент датчика угловых скоростей (MEMS gyroscope)
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
Чувствительный элемент акселерометра (MEMS accelerometer)
Размер чипа 5 x 5 мм (chip size 5 x 5 mm); Толщина кремниевой структуры 50 мкм (hSi = 50 μm)
VorführenderPräsentationsnotizenИНЕРЦИАЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ
MEMS encapsulation on wafer level and through wafer
Скол стеклянной пластины толщиной 500 мкм с отверстиями для сквозной металлизации, изготовленными методом лазерно-стимулированного травления (laser-stimulated fast glass etching, h = 500 – 2000 μm; d = 30 – 1000 μm; 30 minutes per 1000 holes)
Инерциальные МЭМС датчики в герметичных (вакуумных) капсулах (wafers with encapsulated silicon gyros and accelerometers NMST Lab.)
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
(bottom glass)
(top glass)
(MEMS structure) (metallization)
(getter)
Laser-stimulated glass etching
VorführenderPräsentationsnotizenИНЕРЦИАЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ
Было освоено капсулирование ИНС
Кремниевые МЭМС в герметичном исполнении
Технология лазерно-стимулированного травления стекла
Газовая ячейка для атомных часов
заказчик - ОАО «Российский институт радионавигации и времени»
6х6х1.4 мм
Буферный газ -неон
Изотопы Rb или Cs
разработаны и изготовлены образцы
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
От капсулирования ИНС к ячейке для атомных часов
VorführenderPräsentationsnotizenОт капсулирования ИНС к ячейке для атомных часов
Газовая ячейка для атомных часов. Пластина и чип ячейки. Габариты 6 х 6 х 1.4 мм
разработаны и изготовлены образцы газовых ячеек
исследования технологических процессов изготовления сверхминиатюрные газовые ячейки для стандарта частоты
Glass cell for encapsulation of MEMS on chip level
- герметизация в вакууме (encapsulation in vacuum 10-3 torr);
- герметизация в газонаполненном корпусе (encapsulation in inert gases N2, Ar, Ne);
- сквозная металлизация через стекло (through wafer metallization by sputtering)
- изготовление сквозной металлизации как до, так и после герметизации чипа (through holes can be made after chip encapsulation)
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
(bottom glass)
(top glass)
(thick silicon frame)
(Ti getter)
(cap for MEMS structure)
VorführenderPräsentationsnotizenДвухкамерная ячейка с геттером для герметизации кремниевых МЭМС
www.mems.ru
St.Petersburg Polytechnical University
NMST Laboratory
THERMAL AC-DC CONVERTER Pair of 20-elements
thermopiles
400 Ohm heater
Membrane thickness 1 mkm
Silicon chip 2,5*3*0,4 mm Membrane with alternate
SiO2 and Si3N4 layers
Poly-Si thermpiles
Low RTC heater
Mechanical strength
High thermocouple voltage & stability
High linearity
Secondary standard
Input voltage 1V Output voltage 100 mV
Frequency range 10 Hz …1 MHz
Accuracy 10-5 % VNII of Metrology
VorführenderPräsentationsnotizenПо заказу ВНИИ Метрологии им. Д.И.Менделеева разработаны тепловые преобразователи для вторичного эталона AC-DC. По ряду параметров преобразователи имеют лучшие показатели, чем у существующих вторичных эталонов переменного напряжения.
THERMAL AC-DC CONVERTER
St.Petersburg Polytechnical University
NMST Laboratory
3d Generation
VorführenderPräsentationsnotizenВ метрологии характерные времена разработки и исследований более 10 лет
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
THERMO VACUUM METER
www.mems.ru
For vacuum control
www.gyro.ru www.mems.ru
NMST Lab
INS modul
ZAO GYROOPTICA
For vacuum control
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
THERMO VACUUM METER
VorführenderPräsentationsnotizenВакуумметр на основе теплового микропреобразователяв составе INS фирмы Gyrooptica.Используется для контроля герметичности корпусов
St.Petersburg Polytechnical University
NMST Laboratory
www.mems.ru
MEMS THERMAL CONVERTER – VACUUM METER
0
20
40
60
80
100
120
1,00E-04 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 1,00E+01
Pressure, mm Hg
Ther
moe
lect
rom
otiv
e, m
V
VorführenderPräsentationsnotizenХарактеристики тепловых вакуумметров полученные во ВНИИ Метрологии
Лист1
микропреобразовательKV2-2KV2-1KV1-1ПМТ-2
термоэлектрический МПТ-1
1.60E-051.60E-05109.95510.000522281.210.000453345.30.00601192.31.21E-041.00E+011.00E+00
2.00E-052.00E-05109.9530.99998181070.000568281.10.99964438120.000469345.20.00692191.959.58E-051.00E+011.00E+00
3.00E-053.00E-05109.9430.99989086440.000632280.90.99893314370.000494345.10.00846191.421.50E-049.98E+009.98E-01
4.00E-054.00E-05109.9350.99981810740.000705280.70.99822190610.0005303450.0102190.861.86E-049.96E+009.96E-01
5.00E-055.00E-05109.9270.99974535040.000793280.40.99715504980.000636344.70.0152189.322.25E-049.94E+009.94E-01
6.00E-056.00E-05109.9180.99966349870.000896280.10.99608819350.000716344.40.0186188.362.73E-049.93E+009.93E-01
7.00E-057.00E-05109.910.99959074170.00102279.70.99466571830.000806344.10.0223187.353.38E-049.89E+009.89E-01
8.00E-058.00E-05109.9020.99951798460.00117279.30.99324324320.000924343.70.0254186.544.01E-049.87E+009.87E-01
9.00E-059.00E-05109.8930.9994361330.00146278.50.9903982930.00103343.20.0288185.634.86E-049.83E+009.83E-01
2.00E-042.00E-04109.8160.99873584650.00193277.20.98577524890.00116342.80.0326184.575.89E-049.80E+009.80E-01
3.00E-043.00E-04109.7320.99797189760.00269275.20.97866287340.00149341.60.0413182.287.45E-049.74E+009.74E-01
4.00E-044.00E-04109.6490.99721704330.00348273.20.97155049790.00196339.90.0513179.788.84E-049.68E+009.68E-01
5.00E-045.00E-04109.560.99640762130.00464270.30.96123755330.00242338.40.0626177.191.10E-039.65E+009.65E-01
6.00E-046.00E-04109.4630.99552544220.00572267.90.95270270270.00321335.80.0758174.241.33E-039.59E+009.59E-01
7.00E-047.00E-04109.370.99467964170.00694264.90.94203413940.00409332.90.0902171.151.58E-039.53E+009.53E-01
8.00E-048.00E-04109.260.99367923240.00749263.60.93741109530.00515329.80.108167.491.87E-039.46E+009.46E-01
9.00E-049.00E-04109.1570.99274248560.00907260.10.92496443810.00620326.50.124164.672.22E-039.38E+009.38E-01
2.00E-032.00E-03108.30.9849483880.0105257.20.91465149360.00722323.40.141161.512.63E-039.31E+009.31E-01
3.00E-033.00E-03107.40.97676322130.0131251.50.89438122330.00845319.90.202153.613.12E-039.24E+009.24E-01
4.00E-034.00E-03106.460.96821426950.0149248.20.88264580370.0107313.90.247148.823.55E-039.16E+009.16E-01
5.00E-035.00E-03105.10.95584557320.0178243.10.86450924610.0128308.60.301143.803.95E-039.05E+009.05E-01
6.00E-036.00E-03104.20.94766040650.0247231.90.82467994310.0317269.70.347140.024.49E-038.97E+008.97E-01
7.00E-037.00E-03102.7820.93476422170.03222210.78591749640.0357263.00.408135.744.89E-038.86E+008.86E-01
8.00E-038.00E-03101.40.92219544360.0427207.20.73684210530.0460246.70.456133.445.44E-038.73E+008.73E-01
9.00E-039.00E-03100.40.9131008140.0465202.50.72012802280.0522238.70.510131.085.92E-038.60E+008.60E-01
1.88E-021.33E-02970.88217907330.0536195.10.69381223330.0580231.70.563128.976.45E-038.45E+008.45E-01
2.23E-021.68E-0294.20.85671411030.0709179.710.63908250360.0614227.80.620126.917.03E-038.30E+008.30E-01
2.70E-022.15E-0291.40.83124914740.0891166.70.59281650070.0691219.80.680124.927.66E-038.15E+008.15E-01
3.40E-022.85E-02880.80032740670.106156.380.5561166430.0765212.70.732123.368.16E-038.00E+008.00E-01
4.18E-023.63E-0284.70.77031512890.124148.110.52670697010.0844205.90.796121.798.70E-037.82E+007.82E-01
5.15E-024.60E-02810.73666499930.128146.290.52023470840.0930199.20.860120.469.28E-037.67E+007.67E-01
6.22E-025.67E-02770.70028648080.170133.110.47336415360.1000194.00.907119.529.89E-037.50E+007.50E-01
8.22E-027.67E-0271.50.65026601790.212124.880.44409672830.1250179.020.965118.461.08E-027.35E+007.35E-01
1.00E-019.45E-0265.90.5993360920.276115.970.41241109530.1520167.121.010117.761.13E-027.20E+007.20E-01
1.42E-011.37E-0158.90.53567368470.329110.810.39406116640.2130151.461.320115.341.20E-027.03E+007.03E-01
2.12E-012.07E-0149.70.45200309220.386106.670.37933854910.2660142.261.680112.711.28E-026.88E+006.88E-01
4.00E-013.95E-0136.20.32922559230.449103.760.36899004270.3260134.822.040111.131.36E-026.72E+006.72E-01
8.00E-017.95E-0128.30.25737801830.521101.370.36049075390.3780130.002.250110.381.45E-026.57E+006.57E-01
2.00E+001.99E+00230.20917648130.58699.580.35412517780.4400126.172.530109.751.55E-026.44E+006.44E-01
9.73E+009.72E+00180.16370333320.62898.610.35067567570.5070123.283.220108.611.65E-026.29E+006.29E-01
0.66797.790.34775960170.5760120.843.700108.121.76E-026.14E+006.14E-01
0.70397.110.3453413940.6440118.824.250107.711.88E-025.99E+005.99E-01
0.73696.520.34324324320.7090117.185.390107.152.00E-025.82E+005.82E-01
0.77395.960.34125177810.7730115.827.100106.742.09E-025.67E+005.67E-01
0.81495.440.33940256050.8370114.798.250106.582.23E-025.52E+005.52E-01
0.86894.810.33716216220.9000113.858.940106.492.38E-025.37E+005.37E-01
0.91094.360.33556187770.9620113.049.720106.432.53E-025.21E+005.21E-01
0.95193.950.33410384071.0500112.352.70E-025.04E+005.04E-01
193.460.33236130871.5200109.602.94E-024.87E+004.87E-01
1.392.230.32798719771.7800108.473.14E-024.72E+004.72E-01
1.8690.30.32112375532.0100107.723.35E-024.57E+004.57E-01
2.0689.830.31945234712.2500107.033.49E-024.42E+004.42E-01
2.589.120.31692745382.5000106.533.72E-024.27E+004.27E-01
3.0588.470.31461593173.0120105.664.05E-024.09E+004.09E-01
3.2588.310.31404694173.5400105.094.32E-023.92E+003.92E-01
3.6188.030.31305120914.5800104.274.61E-023.75E+003.75E-01
4.387.630.3116287345.0400104.004.91E-023.60E+003.60E-01
4.887.410.31084637275.6600103.685.24E-023.45E+003.45E-01
7.4686.680.30825035566.0100103.555.59E-023.30E+003.30E-01
8.1186.580.30789473687.1000103.195.96E-023.15E+003.15E-01
8.7486.490.30757467997.9000103.026.22E-023.00E+003.00E-01
9.8286.370.30714793748.0900102.996.77E-022.85E+002.85E-01
8.5100102.97.22E-022.71E+002.71E-01
9.0000102.87.86E-022.58E+002.58E-01
8.57E-022.43E+002.43E-01
8.94E-022.28E+002.28E-01
9.74E-022.11E+002.11E-01
1.06E-011.98E+001.98E-01
1.16E-011.85E+001.85E-01
1.23E-011.70E+001.70E-01
1.37E-011.55E+001.55E-01
1.49E-011.42E+001.42E-01
1.66E-011.29E+001.29E-01
1.81E-011.18E+001.18E-01
2.06E-011.06E+001.06E-01
2.24E-019.52E-019.52E-02
2.49E-018.40E-018.40E-02
2.83E-017.28E-017.28E-02
3.22E-016.53E-016.53E-02
3.74E-015.78E-015.78E-02
4.35E-014.66E-014.66E-02
Лист1
МПТ-1
KV2-2
KV2-1
KV1-1
ПМТ-2
Давление, мм.рт.ст.
ТермоЭДС, мВ
Диаграмма1
МПТ1
ПМТ2
KV2-2
Лист2
0.000016
0.00002
0.00003
0.00004
0.00005
0.00006
0.00007
0.00008
0.00009
0.0002
0.0003
0.0004
0.0005
0.0006
0.0007
0.0008
0.0009
0.002
0.003
0.004
0.005
0.006
0.007
0.008
0.009
0.01328
0.01679
0.02151
0.0285
0.0363
0.046
0.05666
0.0767
0.0945
0.1365
0.2065
0.3945
0.7945
1.9945
9.7245
Pressure, mm Hg
Thermoelectromotive, mV
MEMS THERMAL CONVERTER – VACUUM METER
109.955
109.953
109.943
109.935
109.927
109.918
109.91
109.902
109.893
109.816
109.732
109.649
109.56
109.463
109.37
109.26
109.157
108.3
107.4
106.46
105.1
104.2
102.782
101.4
100.4
97
94.2
91.4
88
84.7
81
77
71.5
65.9
58.9
49.7
36.2
28.3
23
18
Лист3
микропреобразователь
термоэлектрический МПТ-1
1.60E-051.60E-05109.9551
2.00E-052.00E-05109.9530.9999818107
3.00E-053.00E-05109.9430.9998908644
4.00E-054.00E-05109.9350.9998181074
5.00E-055.00E-05109.9270.9997453504
6.00E-056.00E-05109.9180.9996634987
7.00E-057.00E-05109.910.9995907417
8.00E-058.00E-05109.9020.9995179846
9.00E-059.00E-05109.8930.999436133
2.00E-042.00E-04109.8160.9987358465
3.00E-043.00E-04109.7320.9979718976
4.00E-044.00E-04109.6490.9972170433
5.00E-045.00E-04109.560.9964076213
6.00E-046.00E-04109.4630.9955254422
7.00E-047.00E-04109.370.9946796417
8.00E-048.00E-04109.260.9936792324
9.00E-049.00E-04109.1570.9927424856
2.00E-032.00E-03108.30.984948388
3.00E-033.00E-03107.40.9767632213
4.00E-034.00E-03106.460.9682142695
5.00E-035.00E-03105.10.9558455732
6.00E-036.00E-03104.20.9476604065
7.00E-037.00E-03102.7820.9347642217
8.00E-038.00E-03101.40.9221954436
9.00E-039.00E-03100.40.913100814
1.88E-021.33E-02970.8821790733
2.23E-021.68E-0294.20.8567141103
2.70E-022.15E-0291.40.8312491474
3.40E-022.85E-02880.8003274067
4.18E-023.63E-0284.70.7703151289
5.15E-024.60E-02810.7366649993
6.22E-025.67E-02770.7002864808
8.22E-027.67E-0271.50.6502660179
1.00E-019.45E-0265.90.599336092
1.42E-011.37E-0158.90.5356736847
2.12E-012.07E-0149.70.4520030922
4.00E-013.95E-0136.20.3292255923
8.00E-017.95E-0128.30.2573780183
2.00E+001.99E+00230.2091764813
9.73E+009.72E+00180.1637033332
МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ТЕПЛОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
Non standard
Modif - Flat -16 TO-8 3101.8
Modif 155.36-2
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
VorführenderPräsentationsnotizenкорпусирование
St.Petersburg State Polytechnical University
NMST Laboratory
MICROSENSORS FOR MICRO AIR VECHICAL
www.mems.ru Non standard
package
St.Petersburg Polytechnical University
NMST Laboratory
Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого
Лаборатория нано- и микросистемной техники
THERMO TRANSDUCER - INCLINOMETER
Vertical deflectation
Angel range +/- 90
Accuracy 1%
Convection in closed volume
VorführenderPräsentationsnotizenДатчик угла наклона (инклинометр) на основе теплового микропреобразователя
www.mems.ru
THERMO ACCELROMETER
St.Petersburg Polytechnical University
NMST Laboratory
VorführenderPräsentationsnotizenСовместно с фирмой General Motors (США) проводится разработка микроустройств стабилизации движения транспортных средств с использованием тепловых микроакселерометров
St.Petersburg Polytechnical University NMST Laboratory
R&D Cooperation & Interaction
www.mems.ru
IIC
NMTSLab
MicroElectronics Technologies
Computing mechanics Lab
Experimental Physics
Experimental Nuclear Physics
Semiconductor & Nano Physics
Radio Physics
Physical Electronics
Imformation-measuring Technologies
Imformation MechMash Technologies
Automation
Heat Theoretical footing
Compressor&HVAC bulding
EnergoMasch
MechMasch
Technical Cybernetics
Technlogies&Materials Medical Technics
RadioPhysics
Aero Hydro Dynamics
CNII RTK
PhysicsMechanics
VorführenderPräsentationsnotizenМикросистемная техника развивается на стыке множества отраслей науки и техники.
Лаборатория ведет разработки в тесном взаимодействии с ведущими кафедрами ряда технических университетов, лабораториями НИИ и предприятиями, специализирующимися в области микросистемной техники
World -Wide Cooperation & Interaction
www.mems.ru
IIC
NMTSLab
General Motors
Semi International
Applied MicroStructures
EV Group
ELMOS
SuperWide
Samsung
Planar-TM
>150 Russian Co+TU
St.Petersburg Polytechnical University NMST Laboratory
VorführenderPräsentationsnotizenУчастие в разработках МСТ специалистов различных областей знания обеспечивается на уровне взаимодействия с разработчиками и заказчиками внутри РФ и всего Мира.
Foliennummer 1Foliennummer 2Foliennummer 3Foliennummer 4Foliennummer 5Foliennummer 6Foliennummer 7Foliennummer 8Foliennummer 9Foliennummer 10Foliennummer 11Foliennummer 12Foliennummer 13Foliennummer 14Foliennummer 15Foliennummer 16Foliennummer 17Foliennummer 18Foliennummer 19Foliennummer 20Foliennummer 21Foliennummer 22Foliennummer 23Foliennummer 24Foliennummer 25Foliennummer 26Foliennummer 27Foliennummer 28